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produkte V i P
April 2014 Vol. 26 Nr. 2 www.vip-journal.de © 2014 WILeY-VCH Verlag GmbH & Co. kGaA, Weinheim 16 ViP
Membranpumpen als Vorvakuumlieferant bei Turbopumpen Hersteller: VACUUBRAND.Angebot: Membranpumpen der Bau-reihe „VARIO“, die als Vorvakuumpum-pen für Hochvakuumpumpen einge-setzt werden können. Der Hersteller ist auf den Grob- und Feinvakuumbereich spezialisiert und bietet ein breites Spek-
trum an geeigneten Vorvakuumpum-pen an, die, oftmals im Dauerbetrieb über viele Jahre, speziellen Anforde-rungen an das Gasfördervermögen und End vakuum genügen müssen.
Merkmale: Membranpumpen ar-beiten völlig ölfrei und werden häufig als Vorpumpen für moderne Turbomo-lekularpumpen mit integrierter Mole-kularpumpstufe und zulässigem Vor-vakuum im mbar-Bereich eingesetzt. Im Vergleich zu Drehschieberpumpen vermeidet man die Gefahr einer Kon-tamination der Hochvakuumanlage mit Öl. Ölwechsel und die Entsorgung von Altöl entfallen. Die Reihe „VARIO“ verbindet moderne Regelelektronik und -software mit leistungsfähiger Mechanik. Durch Erhöhen der Dreh-zahl beim Abpumpen erreichen die
Membranpumpen ein deutlich hö-heres Saugvermögen als gleichgroße konventionelle Membranpumpen. Im Endvakuumbereich erzielen sie bessere Leistungswerte durch die patentierte Optimierung der Drehzahl. Bei weni-ger Umdrehungen pro Minute wird gleichzeitig die Geräuschentwicklung reduziert sowie Energiebedarf und Vi-bration verringert. Die Standzeit der Membranen und die Serviceintervalle verlängern sich.
VACUUBRAND GMBH + CO KG Alfred-Zippe-Straße 4 97877 Wertheim Tel.: +49 (0)9342 808-0 Fax: +49 (0)9342 808-5555 E-Mail: [email protected] Website: www.vacuubrand.com
AnAlyTicA, HAlle B1, STAnd 424
edwards-Pumpen für den Vacuum Quality Monitor von Granville-PhillipsDas Differenzialpumpsystem für den Vacuum Quality Monitor „835 VQM“ von Granville-Phillips wird mit den Compound-Turbomolekularpumpen „EXT75DX“ von Edwards ausgestattet.
Der VQM liefert Echtzeitinformatio-nen, die zur Optimierung von Prozessen wie PVD, Ionenimplantation, reaktivem Ätzen und anderen Vakuumprozes-sen vor allem in der Solarzellen- und Halbleiterindustrie verwendet werden können. Sie dienen außerdem zur Über-wachung des Vakuumsystems und der Diagnostik von anderen vakuumnut-zenden Prozessen etwa bei Dünnfilm-beschichtungen, FuE, Hochenergie-
physik und anderen Anwendungen, bei denen die Kenntnis der Vakuumbedin-gungen entscheidend ist.
Der VQM kann in verschiedenen Vakuumsystemen eingesetzt werden. Eine Druckdifferenz zwischen der Va-kuumkammer und der Messstelle des VQM wird erzielt, indem man den Strö-mungsleitwert des Sensors mit mithilfe einer Öffnung im Gateventil verändert und den Sensor mit einer Turbopumpe abpumpt. Damit kann das Vakuum in einem Druckbereich zwischen 3 Torr und 5•10–9 Torr überwacht werden. – Die Hauptgründe, für den VQM die Ed-wards-Pumpe „EXT75DX“ einzusetzen,
waren die hohe Leistung für ein Hoch-vakuum von ultrareiner Qualität, die ge-ringen Vibrationen, die hohe Backing-Toleranz, die geringe Energieaufnahme sowie die kompakten Abmessungen. Durch die Zuverlässigkeit der Pumpe wird auch das „GUTS“-Programm von Granville-Phillips (Guaranteed Up Time Support) möglich.
Edwards GmbH Ammerthalstraße 36 85551 Kirchheim Tel.: + 49 (0)89 99191888 E-Mail: [email protected] Website: www.edwardsvacuum.com
Produkte
www.vip-journal.de Vol. 26 Nr. 2 April 2014© 2013 WILeY-VCH Verlag GmbH & Co. kGaA, Weinheim ViP 17
Restgasanalysator – Massenspektrometer bis 300 amuHersteller: SI Scientific Instruments.Angebot: Quadrupol-Massenspek-trometersystem „RGA300“, entwi-ckelt speziell für die Prozessanalyse in Halbleiter-, Gas-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen. Das einfache Design enthält lediglich eine geringe Anzahl von Bauteilen, was die Ausgaskomponenten minimiert und die Zuführung von Verunreinigungen reduziert.
Merkmale: Das System besteht aus Restgasanalysator mit Detektor, Elek-tronikeinheit und Echtzeit-Software auf Basis von Windows. Der Messkopf enthält einen Faraday-Detektor, zur Steigerung der Empfindlichkeit und
Verkürzung der Messzeiten kann zu-sätzlich ein Sekundärelektronenverviel-facher (SEV) eingebaut werden. Durch Autokalibrationsroutinen ist ein Aus-tausch von Filament oder SEV vom An-wender selbst vollziehbar. Zum Schutz der zwei Heizfäden ist eine ständige Überwachung des Drucks vorgesehen. Bei Überdruck werden sie sofort abge-schaltet, was die Lebensdauer erheb-lich steigert. Durch den logarithmi-schen Stromverstärker werden kleine und große Konzentrationen simultan gemessen. Zum Ausheizen kann die Elektronikeinheit wartungsfreundlich mittels zwei Schrauben entfernt wer-den. – Die Software bietet vielfältige Auswerte- und Anzeigemöglichkeiten wie Druck über der Massezahl, Druck über der Zeit, Histogrammodus, Leck-detektion, umfangreiche Bibliothek, Messtabellen, Grenzwerttabellen usw. Acht Quadrupol-Messköpfe können simultan überwacht werden.
SI Scientific Instruments GmbH Römerstr. 67 82205 Gilching Tel.: +49 (0)8105 7794-0 Fax: +49 (0)8105 7794-22 E-Mail: [email protected] Website: www.si-gmbh.de
Spezialanfertigungen von leskerDie Kurt J. Lesker Company, ein renom-mierter US-amerikanischer Hersteller für Vakuumkomponenten, hat in der europäischen Hauptzentrale in Has-tings/UK eine Fabrikation für Spezialan-fertigungen eröffnet. Die Anlage unter dem Namen „Quick Turn Cell“ wird die Produktion von elektrischen Durchfüh-rungen, Flüssigkeitsdurchführungen und kundenspezifischen Komponen-ten ermöglichen und soll so die Pro-duktion von wichtigen Komponenten für den europäischen Wachstumsmarkt unterstützen.
Seit ihrer Gründung 1954 hat sich die Kurt J. Lesker Company zu einem aner-kannten weltweit agierenden Unter-nehmen entwickelt, das die Märkte für
Hochvakuum und Ultrahochvakuum beliefert. Mit vier Divisionen – Vacuum Mart, Process Equipment, Materials und Manufacturing – bietet es die umfang-reichste Produktpalette und Service-Lösungen für die Vakuumindustrie weltweit.
Kurt J. Lesker Company (KJLC) Europazentrale 15/16 Burgess Rd. Hastings, East Sussex TN35 4NR United Kingdom Tel.: +44 1424 458 100 Fax: +44- 1424 458 103 Deutschsprachiger Support: +44- 1424 458 102 (Gebührenfrei: 08000 812 843) E-Mail: [email protected] Website: www.lesker.com
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April 2014 Vol. 26 Nr. 2 www.vip-journal.de © 2014 WILeY-VCH Verlag GmbH & Co. kGaA, Weinheim 18 ViP
Ausgezeichneter Vakuum-Ausbildungskoffer Mit einem selbstentwickelten Ausbil-dungskoffer errangen vier StudiumPlus-Studierende von Pfeiffer Vacuum den ersten Platz beim HESSENMETALL-Inno-
vationswettbewerb „M+Eine Zukunft“. Das Team überzeugte die Jury in der Ka-tegorie „Studierende“ mit seiner inno-vativen Idee und einer professionellen Kurzpräsentation. Insgesamt waren 15 Teams in vier unterschiedlichen Berei-chen angetreten (Bild: Das Gewinner-team mit Ausbildungsleiter und Vor-stand der Pfeiffer Vacuum Technology AG).
Die Idee hinter dem Projekt war, Kindern und Jugendlichen das Thema „Vakuum“, das im naturwissenschaftli-chen Schulunterricht nur in geringem Umfang vorkommt, mit spannenden Versuchen nahezubringen. Sina Becker, Max Hergeth und Pascal Wielsch, die das Konzept gemeinsam mit ihrem Kol-legen Patrick Lange entwickelt hatten,
haben mit pädagogischem Beistand verschiedene Experimentiermöglich-keiten entwickelt, in einem Koffer zu-sammengefasst und einen Leitfaden geschrieben, der die Experimente be-gleitet. Bei einem Schulbesuch in einer Grundschule konnten schon positive Erfahrungen gesammelt werden. Als nächster Schritt ist nun die Herstellung einer Kleinserie des „Vakuumexperi-mentierkoffers“ geplant.
Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Tel. : +49 (0)6441 802-0 Fax : +49 (0)6441 802-1500 E-Mail: [email protected] Website: www.pfeiffer-vacuum.de
compiler für die Power-ArchitekturHersteller: Altium.Angebot: Neue Version des „TASKING C“-Compilers für die Power Architec-ture, eine hochentwickelte Compi-lerlösung für die Entwicklung von Embedded Applikationen im Automo-tive-Umfeld. Unterstützt werden in die-sem Release die auf Power Architecture basierenden Mikrocontrollerfamilien „Qorivva/5xxx“ von Freescale und die „SPC5“-Serie von STMicroelectronics.
Merkmale: Neben verschiedenen Verbesserungen bei Code-Optimie-rungen in Bezug auf Geschwindigkeit und Größe bringt der neue Compiler Unterstützung für die Mikrocontroller-serien „MPC56xx“ und „SPC56x“, wobei die Benutzer durch die Auswahl des entsprechenden e200 Core-Levels auch
Anwendungen für neue Bausteine ent-wickeln können. Mit diesem neuen Release seines VX-Toolsets folgt das Unternehmen dem Trend der Branche, Toolsets in der Eclipse IDE zu integrie-ren. Dies wird durch ein Plug-In ermög-licht, das eine nahtlose Integration der Compiler-Tools sowie der Simulator-schnittstelle in das Eclipse-Framework ermöglicht. Das „TASKING“-Compiler-Plug-In ermöglicht Anpassung und Optimierung des Build-Prozesses durch Auswahl der entsprechenden Compi-ler-Optionen aus einem „Konfigurati-onsbaum“. Dies erspart dem Entwickler die manuelle Eingabe der Optionen in Textfeldern oder in der Befehlszeile. –
Altium Limited ist ein australisches, multinationales Softwareunterneh-
men, das sich auf Software für 3D-Lei-terplattendesign, Elektronikdesign und das Embedded-Systems-Design kon-zentriert. Mit „Altium Designer“ bietet das Unternehmen eine durchgängige Designumgebung an, die alle Aspekte des Designs intelligenter Systeme in ei-ner einzigen Applikation verbindet, die zu einem möglichst erschwinglichen Preis angeboten wird.
Altium Europe GmbH Philipp-Reis-Str. 3 76137 Karlsruhe Tel.: +49 (0)721 8244 300 Fax: +49 (0)721 8244 320 E-Mail: [email protected] Website: www.altium.com/de
langfristige ersparnis durch edwards-PumpenDie Lieferung von neuen Vakuumpum-pen von Edwards an UNI Plasma, ei-nem koreanischen OEM-Hersteller von Beschichtungs- und Sputteranlagen, wird dem Endkunden langfristige Kos-tenersparnis bringen. Bislang wurden kugelgelagerte Turbopumpen verwen-det, die beim Endkunden relativ häufig gewartet werden müssen. Da es vor Ort aber keine Wartungsmöglichkeit gibt,
musste die Technik für die Zweijahres-wartung ins Ausland gebracht werden; dementsprechend mussten Pumpen in Reserve gehalten werden, um wäh-rend der Wartung keine Ausfallzeit zu haben und Produktionsausfälle zu ver-meiden. Durch die Bestellung von STP-Turbopumpen von Edwards, die dank ihrer magnetischen Lagerung praktisch keine Wartung mehr benötigen, ist die
Notwendigkeit für eine solche Doppel-struktur entfallen.
Edwards GmbH Ammerthalstraße 36 85551 Kirchheim Tel.: + 49 (0)89 99191888 E-Mail: [email protected] Website: www.edwardsvacuum.com
