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경선추 “미래를 창조하는 ICT Innovator"

Glass 에칭 ESL(Etch Stop Layer) 공정기술

본 기술은 TFT-LCD, OLED, 모바일 등 평판디스플레이에 사용되는 박형, 경량 핵심 기술의 기초 기술임.

본 기술은 완제품 자체 두께를 감소시키기 위한 일환으로 유리 기판의 두께를 감소시켜 무게와 두께를

동시에 낮추면서, 대면적화 경향에 따라 대면적 글라스의 시각기술에 효과적임

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3 기술적용 분야 및 기술의 시장성

기술 개요 1

기대효과 4

개발기술의 주요내용 2

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1. 기술 개요(1)

고객 및 시장의 니즈

최근에 다양한 전자제품에 사용되는 글라스에 대하여 높은 평활도를 유지하면서도 두께를 더욱 얇게 만드는 것이 요구되고 있다

현재 TFT-LCD용 모듈글라스의 경우 1.26 또는 1.00 mm 두께의 모듈글라스를 식각하여 0.6 mm까지, 알칼리글라스의 경우 0.5mm를 0.3 mm까지 박판화한 제품이 생산되고 있으며, 향후에도 이러한 박판화 경향은 더욱 가속될 것으로 전망된다

기판 글라스의 대면적화 경향에 따라 이에 대응할 수 있는 대면적 글라스의 식각기술이 개발되어야 함.

TFT-Cell 제작 완료 시점에 유리 기판을 화학적, 물리적 방법으로 두께를 줄이는 것이 필수적임.

TFT-LCD, OLED 등 평판 디스플레이가 사용되는 소비자용 IT 단말기에서 박형, 경량은 핵심 경쟁 요소임.

특히 얇은 글라스 에칭기술을 이용하여 curved 디스플레이산업에 전반적인 응용 가능성 많음.

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1. 기술 개요(2)

기술개념

에칭공정시 일정한 두께를 가진 초 박판 글라스 에칭기술, 글라스 에칭용액에 다른 박막이 손상을 받지 않도록 하기 위한 ESL(etch stop layer) 최적의 소재를 이용한 평가공정을 확립.

기술구성도

기판 준비 Glass ESL layer 소재 증착 및 평가

Glass 에칭 및 ESL layer 평가

Glass 에칭기술 확보 및 ESL layer 소재 확립

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2. 개발기술의 주요내용(1)

고객/시장의 니즈를 충족시키는 독특한 점 공정전 Glass 기판 표면을 물리/화학적인 방법을 이용한 표면개질처리

Glass 만을 에칭하는 기술공정 확보 및 glass slimming 기술확보

Glass 두께 uniformity 에칭기술 확보

ESL layer 소재 특성 기술 확보 및 추가 응용분야 제공함

평판디스플레이 시장변화에 대응 용이

기술의 상세 사양

Glass slimming을 위한 구조 예 Thin Glass

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2. 개발기술의 주요내용(2)

기술현황 및 우수성

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2. 개발기술의 주요내용(3)

기술개발 완료시기

2014년 9월

기술이전 범위

Glass etching ESL (Etch Stop Layer)의 공정기술 관련 know–how기술

• ESL layer 소재 특성 최적화 기술 (기술문서 제공)

유리기판에 PI 물질 코팅 관련 표면처리, 코팅, etching 후 slimming 하는 전체 공정 관련 know–how기술

Glass 에칭 후 패널 제작 기술

• know-how 기술을 바탕으로 에칭된 기판에 패널 제조 공정 기술 제공

기술문서

• Glass 기판 ESL layer 에칭 테스트 공정 기술전수와 관련한 문서 작업 (기술이전 업체와 공동 진행)

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3. 기술적용 분야 및 기술의 시장성(1)

기술이 적용되는 제품/서비스

적용 제품

- TFT-LCD 디스플레이

- OLED 디스플레이, Curved OLED 디스플레이

- 게임산업 디스플레이

- Mobile phone, 스마트 패드, 중소형 LDC panel

기술의 장점

• 디스플레이 패널의 두께와 무게가 약 40%이상 절감 가능

• 얇아진 만큼 화면 굴절율이 감소

• 투과율이 증가되어 디스플레이 품질 개선 효과

기술의 중요성 : Glass 에칭을 통한 slimming 기술은 평판 디스플레이의 핵심 기술로서 차세대 디스플레이 (초대형/초고속 TFT-LCD, 대면적 AMOLED, 플렉서블 디스플레이) 개발시 필수임

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2. 개발기술의 주요내용(4)

관련 기술의 표준화 동향 Bendable, foldable 플렉서블 디스플레이에 대한 용어 정의, 신뢰성 평가 방법 등에 대한 표준 제안 준비중

보유 특허

출원/ 등록 구분

특허명 출원국 (등록)

출원(등록)번호 출원(등록)년도

출원 표시장치 및 이를 제조하는 방법 한국 등 2013-0152419 2013년

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3. 기술적용 분야 및 기술의 시장성(2)

해당 제품/서비스 시장 규모

Glass slimming 시장은 전세계 Mobile application 및 Tablet PC, OLED 평단디스

플레이 출하량 증가와 함께 경박단소 추세로 꾸준한 성장이 전망됨. Slimming 비중

은 2011년 7% -> 2015년 21% 수준까지 확대 예상. 특히 Curved 디스플레이 형태

로 많은 응용분야를 가질 것으로 예측됨

(근거; DisplayResearch 2013)

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3. 기술적용 분야 및 기술의 시장성(3)

해당 제품/서비스 시장 국내외 동향

Thin Glass를 이용한 디스플레이 응용 (Curved LCD, Mobile phone, Curved OLED)

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4. 기대효과

고객이 본 기술을 통해 얻을 수 있는 경제적 효과

기술적 기대효과

• 곡면 디스플레이 패널 개발

• ESL layer 소재를 이용한 Glass etching 공정기술 개발

• 디스플레이용 소재/공정/장비 평가

• 다양한 디스플레이 응용분야 적용

기술이전을 통한 기대효과 • 본 기술은 디스플레이 패널 적용을 위한 핵심기술이며 대면적용 장비 개발이 용이하고, 원장유리교체를 통한 비용절감이 가능하며, 저비용으로 고성능의 디스플레이 제조가 가능함

경제적 기대효과

• 원판 Glass 교체를 통한 Slimming 비용 절감

• Glass Slimming 기술을 통하여 다양한 신사업 다각화 기능

• 기술경쟁력 기반으로 Slimming 관련 디바이스 확대