Upload
mark-ng
View
388
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
Vi hệ thốngVi hệ thống
1
GV: Nguy ễn Hoàng Nam(chương trình Kỹ sư CLC – Khóa 51)
18/08/2010
Vi hệ thống
Phân loại theo công nghệ sản xuất
§3 Phân loại và ứng dụng
Vi khối Vi bề mặt Vi khắc
Nguyễn Hoàng Nam2Vi hệ thống
Vi hệ thống
�1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS
�1.3.2 Vi quang hệ thống - MOEMS
Phân loại theo lĩnh vực
Nguyễn Hoàng Nam3Vi hệ thống
�1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic
�1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS
Vi hệ thống
�Vi ngắt (micro-switch)
1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS
Nguyễn Hoàng Nam4Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS
�Vi ñộng cơ (micro-motor)
Nguyễn Hoàng Nam5Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)
Nguyễn Hoàng Nam6Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)
Nguyễn Hoàng Nam7Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
Nguyễn Hoàng Nam8Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�Vi cuộn cảm (micro-inductor)
Nguyễn Hoàng Nam9Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�Vi tụ (micro-capacitor)
Kiểu bềmặt treo
Nguyễn Hoàng Nam10Vi hệ thống
Kiểu càirăng lược
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�Vi cộng hưởng (micro-resonator)
ạng
than
hñơ
n
ạngñĩa
Nguyễn Hoàng Nam11Vi hệ thống
Dạ
ng ñơ
Dạ
ngth
anh
ñôi
Dạ
ngDạ
ngLC
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�Vi lọc (micro-filter)
Bộ lọc ñơn Bộ lọc ñôi
Nguyễn Hoàng Nam12Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic
Nguyễn Hoàng Nam13Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS
Nguyễn Hoàng Nam14Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS
Nguyễn Hoàng Nam15Vi hệ thống
Vi hệ thống
1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS
Nguyễn Hoàng Nam16Vi hệ thống
Vi hệ thống
Phân loại theo phạm vi ứng dụng
ngàn
hng
hiệ
pxe
Nguyễn Hoàng Nam17Vi hệ thống
Tron
gng
ành
công
nghiệ
hơi
Vi hệ thống
Phân loại theo phạm vi ứng dụng
Nguyễn Hoàng Nam18Vi hệ thống
Vi hệ thống
Phân loại theo phạm vi ứng dụng
Nguyễn Hoàng Nam19Vi hệ thống
Vi hệ thống
Tổng quát
Nguyễn Hoàng Nam20Vi hệ thống