18
1 CS・3253-984 EDR-N8S 隔膜置換器付差圧伝送器は半導体センサとマイクロ コンピュータを内蔵し、測定差圧を高精度の DC 420mA 信号に 変換します。 気体・液体・スチームなど各種プロセス流体の流量やレベル()、圧力の測定に適しています。防爆エリアなどさまざまな設置 環境にも対応します。 また、半導体複合センサの採用により、圧力の測定・通信出力 が可能です。 標準仕様 EDR-N8S レンジ コード 測定スパン レンジ設定範囲 8000 0.74880kPa -80LRV80kPa-80URV80kPa 40000 39.2400kPa -400LRV400kPa-400URV400kPa 100000 1001000kPa -1000LRV1000kPa-1000URV1000kPa 注) URV とは 100(DC 20mA)を出力させる入力差圧 LRV とは 0(DC 4mA)を出力させる入力差圧 DC 420mA 出力信号範囲 DC3.621.6A-2.5110%) DC 11.442.0V 許容負荷抵抗 600Ω(電源電圧 DC 24V のとき) 日立通信 通信ライン条件 DC 16.742.0V 250Ω~1.2kΩ 電源電圧と負荷抵抗の関係は図 1 を参照 ください。 外部調整・設定 ゼロ点調整(測定スパンの±100%)、 LRVURV の調整・設定、ダンピング時定数 の設定が可能です(但し、指示計付および 機能を有効にした場合)。 異常時のバーン アウト バーンアップ、バーンダウン、バーンアウト なしのいずれかを選択可能(出荷時設定は バーンアウトなし)。 ●材質コード:標準、316L の場合 レンジ コード 8000 ±0.15±[0.05+(0.1×8/X)]X 8kPa 以上 X 8kPa 未満 40000 ±0.15100000 ±0.21精度は X に対するパーセントで、X URV,LRV の絶対値 または測定スパンの最も大きい値。単位は kPa2開平出力のとき ゼロカット指定あり 出力 1.1%以下:±(リニア出力精度×45)出力 1.150%:±(リニア出力精度×50/開平出力%)出力 50%以上 :リニア出力と同じ ※通信により、ゼロカット点以下の出力をゼロにするかゼ ロカット点を任意の直線または比例出力にするかを選 択できます。 ゼロカット指定なし 出力 20%以下:0-20%点の直線 出力 20%以上:上記のゼロカット指定ありの場合と同じ むだ時間 最小値 0.15s ダンピング時定数 (増幅部時定数) 電気的に 0.1102.4s(0.1s ステップ)コミュニケータにより設定できます。 受圧部時定数 レンジ コード 時定数(25℃のとき) 受圧部 キャピラリ 1m 当たり 8000 0.05s 0.2s 40000 0.03s 0.1s 100000 0.03s 0.1s 応答時間は受圧部時定数、キャピラリ時 定数、ダンピング時定数(増幅部時定 数)、むだ時間の加算値となります。 保存温度範囲 -4085使用湿度範囲 0100RH 使用温度範囲 周囲温度範囲 -4085(レンジコード 100000 -1060℃) 接液温度範囲 -40180最大使用圧力 フランジの最高使用圧力以下 (負圧の場合は図 2 を参照ください。) 使用場所の振動 連続振動 29.4m/s 2 以下 インテリジェント隔膜置換器付差圧伝送器 EDR-N8S

Hitachi - EDR -N8S...1 CS・3253-984 EDR レンジ EDR-N8S 隔膜置換器付差圧伝送器は半導体センサとマイクロ コンピュータを内蔵し、測定差圧を高精度の

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1

CS・3253-984

EDR-N8S 隔膜置換器付差圧伝送器は半導体センサとマイクロ

コンピュータを内蔵し、測定差圧を高精度の DC 4~20mA 信号に

変換します。

気体・液体・スチームなど各種プロセス流体の流量やレベル(水

位)、圧力の測定に適しています。防爆エリアなどさまざまな設置

環境にも対応します。

また、半導体複合センサの採用により、圧力の測定・通信出力

が可能です。

標準仕様

形 式 EDR-N8S

差 圧 範 囲

レンジ

コード 測定スパン レンジ設定範囲

8000 0.748~80kPa -80≦LRV≦80kPa,-80≦URV≦80kPa

40000 39.2~400kPa -400≦LRV≦400kPa,-400≦URV≦400kPa

100000 100~1000kPa -1000≦LRV≦1000kPa,-1000≦URV≦1000kPa

注) URV とは 100%(DC 20mA)を出力させる入力差圧

LRV とは 0%(DC 4mA)を出力させる入力差圧

出 力 信 号 DC 4~20mA

出 力信 号範 囲 DC3.6~21.6mA(-2.5~110%)

電 源 電 圧 DC 11.4~42.0V

許 容負 荷抵 抗 600Ω(電源電圧 DC 24V のとき)

通 信 方 式 日立通信

通信ライン条件

電 源 電 圧 DC 16.7~42.0V

負 荷 抵 抗 250Ω~1.2kΩ

電源電圧と負荷抵抗の関係は図 1 を参照

ください。

外部調整・設定 ゼロ点調整(測定スパンの±100%)、

LRV,URV の調整・設定、ダンピング時定数

の設定が可能です(但し、指示計付および

機能を有効にした場合)。

異常時のバーン

アウト

バーンアップ、バーンダウン、バーンアウト

なしのいずれかを選択可能(出荷時設定は

バーンアウトなし)。

精 度

●材質コード:標準、316L の場合

レンジ

コード 精 度

8000 ±0.15%

±[0.05+(0.1×8/X)]%

X は 8kPa 以上

X は 8kPa 未満

40000 ±0.15%

100000 ±0.2%

注 1) 精度は X に対するパーセントで、X は URV,LRV の絶対値

または測定スパンの最も大きい値。単位は kPa。

注 2) 開平出力のとき

ゼロカット指定あり

出力 1.1%以下:±(リニア出力精度×45)%

出力 1.1~50%:±(リニア出力精度×50/開平出力%)%

出力 50%以上 :リニア出力と同じ

※通信により、ゼロカット点以下の出力をゼロにするかゼ

ロカット点を任意の直線または比例出力にするかを選

択できます。

ゼロカット指定なし

出力 20%以下:0-20%点の直線

出力 20%以上:上記のゼロカット指定ありの場合と同じ

応 答 時 間

む だ 時 間 最小値 0.15s

ダンピング時定数

(増幅部時定数)

電気的に 0.1~102.4s(0.1s ステップ)を

コミュニケータにより設定できます。

受圧部時定数 レンジ

コード

時定数(25℃のとき)

受圧部 キャピラリ

1m 当たり

8000 約 0.05s 約 0.2s

40000 約 0.03s 約 0.1s

100000 約 0.03s 約 0.1s

・ 応答時間は受圧部時定数、キャピラリ時

定数、ダンピング時定数(増幅部時定

数)、むだ時間の加算値となります。

保 存温 度範囲 -40~85℃

使 用湿 度範囲 0~100%RH

使 用温度範囲

周囲温度範囲 -40~85℃

(レンジコード 100000 は-10~60℃)

接液温度範囲 -40~180℃

最 大使用圧力 フランジの最高使用圧力以下

(負圧の場合は図 2 を参照ください。)

使用場所の振動 連続振動 29.4m/s2以下

インテリジェント隔膜置換器付差圧伝送器

EDR-N8S

Page 2: Hitachi - EDR -N8S...1 CS・3253-984 EDR レンジ EDR-N8S 隔膜置換器付差圧伝送器は半導体センサとマイクロ コンピュータを内蔵し、測定差圧を高精度の

2 CS・3253-984

温 度 特 性 (-20~60℃のとき)

●材質コード:標準、316L の場合

レンジ

コード 温度特性

8000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.05+(0.5×T/50)]%

±[0.05+(0.35+0.15×30/X)×T/50]%

±[0.05+(0.8×T/50)]%

±[0.05+(0.65+0.15×30/X)×T/50]%

X は 30kPa 以上

X は 30kPa 未満

X は 30kPa 以上

X は 30kPa 未満

40000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.05+(0.5×T/50)]%

±[0.05+(0.35+0.15×160/X)×T/50]%

±[0.05+(0.8×T /50)]%

±[0.05+(0.65+0.15×160/X)×T/50]%

X は 160kPa 以上

X は 160kPa 未満

X は 160kPa 以上

X は 160kPa 未満

100000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.05+(0.5×T/50)]%

±[0.05+(0.35+0.15×400/X)×T/50]%

±[0.05+(0.8×T /50)]%

±[0.05+(0.65+0.15×400/X)×T/50]%

X は 400kPa 以上

X は 400kPa 未満

X は 400kPa 以上

X は 400kPa 未満

注) 温度特性はXに対するパーセントで、XはURV,LRVの絶対

値または測定スパンの最も大きい値。単位は kPa。

T は温度変化幅(℃)。

温 度 差 影 響

口径

影響値

突出し長さ 接液温度差

(10℃変化)

キャピラリ温度差

(1m,10℃変化)

80A(3B) 0.08kPa 0.04kPa E0

0.2kPa 0.1kPa E>0、EZ>0

100A(4B) 0.08kPa 0.04kPa E0、E>0

静 圧 特 性 (25℃のとき)

●材質コード:標準、316L の場合

レンジ

コード 静圧特性

8000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.05+(0.05×P/2.5)]%

±[0.05+(0.05×40/X)×P/2.5]%

±[0.05+(1.95+0.1×80/X)×P/2.5]%

X は 40kPa 以上

X は 40kPa 未満

40000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.05+(0.05×P/2.5)]%

±[0.05+(0.05×200/X)×P/2.5]%

±[0.05+(1.45+0.1×400/X)×P/2.5]%

X は 200kPa 以上

X は 200kPa 未満

100000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.05+(0.05×P/2.5)]%

±[0.05+(0.05×500/X)×P/2.5]%

±[0.05+(1.45+0.1×1000/X)×P/2.5]%

X は 500kPa 以上

X は 500kPa 未満

注) 静圧特性はXに対するパーセントで、XはURV,LRVの絶対

値または測定スパンの最も大きい値。単位は kPa。

P は静圧値で単位は MPa。

材 質

ダイアフラム SUS316L

ダイアフラム 以外の接液部

SUS316

規格フランジ SUS304 または SUSF304

キ ャ ピ ラ リ SUS316(ポリエチレン被覆)

注)接液条件コード WVT の場合は

ポリエチレン被覆なしとなります。

本体フランジ 締 付 ボ ル ト

SCM435

増幅部ケース アルミニウム合金

取 付 板 SPCC (耐酸塗装)

U ボ ル ト SUS304

封 入 液 シリコーンオイル(比重:0.955, 25℃のとき)

プロセス接続口 JIS 10K 80A RF (相当フランジ)

フ ラ ン ジ 突 出 し 長 さ

0mm

キ ャ ピ ラ リ 長 さ

5m

キ ャ ピ ラ リ 取 出 し 方 向

ウェハータイプ

(ダイアフラム面に対し水平)

配 線 接 続 口 G1/2

チ ェ ッ ク 端 子 現場指示計接続端子から電流出力

出力電流 DC4~20mA

保 護 等 級 JIS C 0920 IP67

サージアブソーバ 電源入力回路に内蔵

サージ耐量:1,000A (8/20μs)

衝撃試験電圧:15,000V (1.2/50μs)

塗 色 ライトグレー (耐酸塗装)

質 量 約 10kg

取 付 け 50A パイプ等に U ボルトで取り付けます。

付 属 品 50A パイプ取付板、U ボルト 1 式

外部調整・設定用マグネット

付加仕様

通 信 方 式 HART 通信

増 幅 部 形 状

正 面 端 子 形

端子板が正面配置構成の増幅部ケース。

チェック端子付:出力電圧 DC40~200mV

質量:約 10.5kg

静 圧 測 定 (絶対圧測定)

出 力 方 式 複合変換器 EDB500MA 形で DC 1~5V 出

力および内蔵指示計による表示。

測 定 ス パ ン 0.5~5MPa abs.

精 度 ±0.2%

±0.2×(1/X)%

X は 1MPa 以上

X は 1MPa 未満

温 度 特 性

ゼロシフト ±〔0.05+(1.0×T/50)〕%

±〔0.05+(0.5+0.5×2/X)×T/50〕%

X は 2MPa 以上

X は 2MPa 未満

総合シフト ±〔0.05+(2.5×T/50)〕%

±〔0.05+(2.0+0.5×2/X)×T/50〕%

X は 2MPa 以上

X は 2MPa 未満

注)精度、温度特性はXに対するパーセントでXは

URV、LRVの絶対値または測定スパンの最も大きい

値。単位はMPa。Tは温度変化幅(℃)。

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3

CS・3253-984

T I I S 耐 圧

油 入 防 爆 形

(正面端子形増幅部は 2016/9 取得予定)

防 爆 規 格 ExdoⅡCT4X

第 1類危険箇所、第 2類危険箇所で使用で

きます。

指示計なしの場合は伝送器の出力信号の

振り切れを利用した警報表示システムを外

部に構築してください。

周囲温度範囲 -20~55℃

本体表面温度 -20~100℃

配線接続 口 X-EXRCA 形耐圧パッキン金具(島田電機

㈱製 EXPC-16B も可能)を必ずご使用くだ

さい。

指 示 計 デジタル指示計

指示部 5 桁、単位部 7 桁、バーグラフ

表示項目

以下の項目を個別に表示/非表示設定

可能

複数項目選択時は自動切り替え

差圧%、差圧値、差圧実目盛、静圧%、

静圧値

実目盛

単位は圧力、流量、高さからの選択また

は任意設定

設定範囲は-99,999~99,999

周囲温度範囲:-20~85℃

プロセス接続口 JIS 20K、ANSI 150、ANSI 300、

JPI 150、JPI 300 など

接続口径:80A(3B)、100A(4B)

(詳細はコード表でご確認ください。)

フ ラ ン ジ 突 出 し 長 さ

50mm、100mm、150mm

(高圧側のみ突出しタイプも製作可)

ダ イ ア フ ラ ム カ バ ー (口径 80A(3B)の 突出しなしのみ )

材質:FEP

(使用圧力:大気圧以上、使用温度:-10~

120℃)

ダイアフラムカバー取り付けの場合、精度

が±0.5%加算されます。

キ ャ ピ ラ リ 長 さ

1~10m(1m 単位)

キ ャ ピ ラ リ 取 り 出 し 方 向

裏出しタイプ(ダイアフラム面に対して垂直)

ボ ル ト 材 質 本体フランジ締付ボルト:SUS630

封 入 液

ふっ素オイル 接液温度範囲:-20~120℃

比重:1.860(20℃のとき)

(負圧の場合は図 3 を参照ください。)

酸素測定用の場合は禁油仕上げも併せて

ご指定ください。

サ ニ タ リ 用 シ リ コ ー ン オ イ ル

接液温度範囲:-20~150℃

比重:0.965(25℃のとき)

(負圧の場合は図 4 を参照ください。)

プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル

接液温度範囲:-20~150℃

比重:1.037(25℃のとき)

(負圧ではご使用できません。)

接 液 部 仕 上げ 禁油仕上げ または 禁油禁水仕上げ

接 液 条 件

高 温 用

(コート ゙:HT)

接液温度範囲:-10~310℃

周囲温度範囲:-10~85℃

封入液比重:1.065(25℃のとき)

(使用圧力は大気圧以上)

低 温 用

(コート ゙ :LT)

接液温度範囲:-70~60℃

周囲温度範囲:-20~60℃

封入液比重:0.873(25℃のとき)

(負圧の場合は図 5 を参照ください。)

真 空 用

( コ ー ト ゙ : V )

接液温度範囲:-40~180℃

周囲温度範囲:-20~85℃

封入液は標準仕様と同一

(温度により使用可能圧力が変わります。

図 2 を確認の上ご使用ください。)

ウ ェ ハ ー タ イ フ ゚

高温真空用

(コード:WVT)

接液温度範囲:-10~310℃

周囲温度範囲:-10~85℃

封入液比重:1.065(25℃のとき)

(温度により使用可能圧力が変わります。

図 6 を確認の上ご使用ください。)

注)キャピラリはポリエチレン被覆なしとなり

ます。

高温真空用

(コート ゙ :VT)

接液温度範囲:-10~310℃

周囲温度範囲:-10~85℃

封入液比重:0.955(25℃のとき)

ただし先端部は 1.065

(温度により使用可能圧力が変わります。

図 6 を確認の上ご使用ください。)

高温高真空用

(コード:SVT)

接液温度範囲:10~310℃

周囲温度範囲:-10~85℃

封入液比重:0.955(25℃のとき)

ただし先端部は 1.079

負圧は 0.0133kPa abs.まで使用可能。

(図 7 を参照ください。)

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4 CS・3253-984

接液部材質種類

材質コード ダイアフラム ダイアフラム以外の

接液部

316L SUS316L SUS316L

HC ハステロイC ハステロイC

TA タンタル タンタル

注)

材質コードTAは突出し長さ 0mm のみ製作

材質は耐食性を考慮して選定してください。

また、測定流体に水素が存在する等によりダイアフラムの水

素透過による誤差が懸念される場合は、金めっきダイアフラ

ム(コード:Z52)または、金めっきダイアフラム+水素吸蔵合

金内蔵(コード:Z72)を推奨いたします(ただし、Z52、Z72

でも水素透過による誤差を完全に防ぐことは困難です)。

精 度

●材質コード:HC、TA の場合

(接液条件コード:VT、SVT は含まない)

レンジ

コード 精 度

8000 ±0.2%

±[0.1+(0.1×8/X)]%

X は 8kPa 以上

X は 8kPa 未満

40000 ±0.2%

±[0.1+(0.1×40/X)]%

X は 40kPa 以上

X は 40kPa 未満

100000 ±0.25%

±[0.15+(0.1×200/X)]%

X は 200kPa 以上

X は 200kPa 未満

注) 精度は X に対するパーセントで、X は URV,LRV の絶対値

または測定スパンの最も大きい値。単位は kPa。

●接液条件コード:VT、SVT の場合

レンジ

コード 精 度

8000

±0.5% 40000

100000

温 度 特 性 (-20~60℃のとき)

●材質コード:HC、TA の場合

レンジ

コード 温度特性

8000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.1+(1.0×T/50)]%

±[0.1+(0.5+0.5×50/X)×T/50]%

±[0.1+(1.5×T/50)]%

±[0.1+(0.75+0.75×50/X)×T/50]%

X は 50kPa 以上

X は 50kPa 未満

X は 50kPa 以上

X は 50kPa 未満

40000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.1+(1.0×T/50)]%

±[0.1+(0.5+0.5×200/X)×T/50]%

±[0.1+(1.5×T /50)]%

±[0.1+(0.75+0.75×200/X)×T/50]%

X は 200kPa 以上

X は 200kPa 未満

X は 200kPa 以上

X は 200kPa 未満

100000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.15+(1.0×T/50)]%

±[0.1+(0.5+0.5×400/X)×T/50]%

±[0.1+(1.5×T /50)]%

±[0.1+(0.75+0.75×400/X)×T/50]%

X は 400kPa 以上

X は 400kPa 未満

X は 400kPa 以上

X は 400kPa 未満

注) 温度特性はXに対するパーセントで、XはURV,LRVの絶対

値または測定スパンの最も大きい値。単位は kPa。

T は温度変化幅(℃)。

静 圧 特 性 (25℃のとき)

●材質コード:HC、TA の場合

レンジ

コード 静圧特性

8000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.1+(0.1×P/2.5)]%

±[0.1+(0.1×50/X)×P/2.5]%

±[0.1+(2.5+0.1×80/X)×P/2.5]%

X は 50kPa 以上

X は 50kPa 未満

40000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.1+(0.1×P/2.5)]%

±[0.1+(0.1×220/X)×P/2.5]%

±[0.1+(2.0+0.1×400/X)×P/2.5]%

X は 220kPa 以上

X は 220kPa 未満

100000

ゼロシフト

総合シフト

±[0.1+(0.1×P/2.5)]%

±[0.1+(0.1×500/X)×P/2.5]%

±[0.1+(2.0+0.1×1000/X)×P/2.5]%

X は 500kPa 以上

X は 500kPa 未満

注) 静圧特性はXに対するパーセントで、XはURV,LRVの絶対

値または測定スパンの最も大きい値。単位は kPa。

P は静圧値で単位は MPa。

小口径フランジ接続形

差 圧 範 囲

レンジ

コード 測定スパン レンジ設定範囲

8000

口径

1B(25A)

1.5B(40A)

8~80kPa

-80≦LRV≦80kPa,-80≦URV≦80kPa

口径

2B(50A)

E0 2~80kPa

E>0

EZ>0 8~80kPa

40000 40~400kPa -400≦LRV≦400kPa,-400≦URV≦400kPa

100000 100~1000kPa -1000≦LRV≦1000kPa,-1000≦URV≦1000kPa

精 度

口径 精 度 キャピラリ

長さ 突出し長さ

25A

(1B)

±1.0%

±[1.0+0.045×(T-Ta)]%

T は Ta℃未満

T は Ta℃以上 1~5m

E0 のみ

(突出し不可)

40A

(1.5B)

±0.5% 1~10m E0

±1.0%

±[1.0+0.045×(T-Ta)]%

T は Ta℃未満

T は Ta℃以上 1~5m

E>0

EZ>0

50A

(2B)

レンジコード

8000

±0.2%

±[0.1+(0.1×8/X)]%

X は 8kPa 以上

X は 8kPa 未満

1~10m E0

レンジコード

40000 ±0.2%

レンジコード

100000 ±0.2%

±0.5% E>0、EZ>0

Ta、Tb の値は下表となります。

接液温度(℃)

-40~60 60~90 90~120 120~150 150~180

Ta 60 50 40 25 15

Tb 45 40 30 15 5

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5

CS・3253-984

温 度 特 性

口径 温度特性 突出し長さ

1B(25A) 標準仕様×3 E0 のみ

1.5B

(40A)

標準仕様×2 E0

標準仕様×3 E>0、EZ>0

2B

(50A)

標準仕様と同一 E0

標準仕様×2 E>0、EZ>0

温 度 差 影 響

口径

影響値

突出し長さ 接液温度差

(10℃変化)

キャピラリ温度差

(1m,10℃変化)

25A(1B) 1.6kPa 1.3kPa E0 のみ

40A

(1.5B)

0.6kPa 0.4kPa E0

2.0kPa 1.3kPa E>0

50A

(2B)

0.2kPa 0.1kPa E0

0.8kPa 0.4kPa E>0

静 圧 特 性 口径 静圧特性 突出し長さ

1B(25A) 標準仕様×3 E0 のみ

1.5B

(40A)

標準仕様×2 E0

標準仕様×3 E>0

2B

(50A)

標準仕様と同一 E0

標準仕様×2 E>0

受圧 部時定数 レンジ

コード

時定数(25℃のとき)

受圧部 キャピラリ 1m

当たり

8000 約 0.2s 約 1.6s

40000 約 0.1s 約 0.3s

100000 約 0.1s 約 0.3s

使用 温度範囲

周囲温度範囲 -10~60℃(口径 50A(2B),E0 は-20~85℃)

接液温度範囲 -20~180℃

保存 温度範囲 -10~60℃

プロセス接続口 JIS 10K、20K、30K、63K

ANSI 150、300

JPI 150、300 など

接続口径:25A(1B)、40A(1.5B)、50A(2B))

(詳細はコード表でご確認ください。)

フ ラ ン ジ 突 出 し 長 さ

0mm、50mm、100mm、150mm

(高圧側のみ突出しタイプも製作可。ただ

し、25A(1B)は 0mm のみとなります。)

ダ イ ア フ ラ ム カ バ ー (口径 2B(50A)の 突出しなしのみ)

材質:FEP (使用圧力:大気圧以上、使用

温度範囲:-10~120℃)

ダイアフラムカバー取り付けの場合、精度が

±0.8%加算されます。

接 液 条 件

高 温 用

(コード:HT)

接液温度範囲:-10~310℃

周囲温度範囲:-10~60℃

(口径 50A(2B),E0 は-10~85℃)

封入液比重:1.065(25℃のとき)

(使用圧力は大気圧以上)

低 温 用

(コード:LT)

接液温度範囲:-70~60℃

周囲温度範囲:-20~60℃

封入液比重:0.873(25℃のとき)

(負圧の場合は図 5 を参照ください。)

真 空 用

( コ ー ド : V )

接液温度範囲:-20~180℃

周囲温度範囲:-10~60℃

(口径 50A(2B),E0 は-20~85℃)

封入液は標準仕様と同一

(温度により使用可能圧力が変わります。

図 2 を確認の上ご使用ください。)

コミュニケータを接続して通信を行うために 最低 250Ωの負荷抵抗が必要です。

図 1 供給電源電圧/負荷抵抗特性

0 0

250

600

1200

11.4 16.7

負荷

抵抗

]

24.0 42.0 供給電源電圧[DC V]

使用可能範囲

使用不可範囲

36.6 V

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6 CS・3253-984

図 3 使用圧力と接液温度 (封入液:ふっ素オイル)

図 5 使用圧力と接液温度 (低温用)

図 7 使用圧力と接液温度 (高温高真空仕様)

図 2 使用圧力と接液温度 (標準仕様と真空仕様)

図 4 使用圧力と接液温度 (封入液:サニタリ用シリコーンオイル)

図 6 使用圧力と接液温度 (高温真空仕様)

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7

CS・3253-984

増幅部形状:側面端子形の場合

増幅部形状:正面端子形の場合

外部接続図

注 1) 接地は D 種接地工事(接地抵抗 100Ω以下)を行ってください。

注 2) 接地は伝送器側または受信計器側のどちらか一方で行ってください。

2 点接地にならぬようご注意ください。

注 3) 伝送器側の接地端子は端子箱の内側と増幅部ケース外側にあります。

どちらの端子をご使用になっても構いません。

注 4) 現場指示計を接続する場合、抵抗値は配線抵抗も含め 20Ω以下としてください。

注 5) T1、T2、T3 端子は未接続です。

現場指示計と接続の場合 現場指示計なしの場合

注 1) 接地は D 種接地工事(接地抵抗 100Ω以下)を行ってください。

注 2) 接地は伝送器側または受信計器側のどちらか一方で行ってください。

2 点接地にならぬようご注意ください。

注 3) 伝送器側の接地端子は端子箱の内側と増幅器ケース外側にあります。

どちらの端子をご使用になっても構いません。

注 4) 現場指示計を接続する場合、抵抗値は配線抵抗も含め 20Ω以下としてください。

現場指示計と接続の場合 現場指示計なしの場合

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8 CS・3253-984

EDB500MAと接続する場合

外部接続図

注 1) 接地は D 種接地工事(接地抵抗 100Ω以下)を行ってください。

注 2) 接地は伝送器側または受信計器側のどちらか一方で行ってください。

2 点接地にならぬようご注意ください。

注 3) 伝送器側の接地端子は端子箱の内側と増幅部ケース外側にあります。

どちらの端子をご使用になっても構いません。

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9

CS・3253-984

突出しなし(E0)の場合

突出しあり(E50、E100、E150)の場合

寸法図(単位:mm)

ウェハータイプ

50100150

突き出し長さE

増幅部形状:正面端子形の場合

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10 CS・3253-984

突出しなし(E0)の場合 フランジ規格(相当フランジ) φD φF φd φC n×φh t

25A

JIS10K 125 63 30 90 4×19 14

JIS20K 125 63 30 90 4×19 16

JIS30K 130 63 30 95 4×19 20

JIS40K 130 63 30 95 4×19 22

JIS63K 140 63 30 100 4×23 27

40A

JIS10K 140 80 42 105 4×19 16

JIS20K 140 80 42 105 4×19 18

JIS30K 160 80 42 120 4×23 22

JIS40K 160 80 42 120 4×23 24

JIS63K 175 80 42 130 4×25 32

50A

JIS10K 155 98 64 120 4×19 16

JIS20K 155 98 64 120 8×19 18

JIS30K 165 98 64 130 8×19 22

JIS40K 165 98 64 130 8×19 26

JIS63K 185 98 64 145 8×23 34

80A

JIS10K 185 127 88 150 8×19 18

JIS20K 200 127 88 160 8×23 22

JIS30K 210 127 88 170 8×23 28

JIS40K 210 127 88 170 8×23 32

JIS63K 230 127 88 185 8×25 40

100A

JIS10K 210 154 88 175 8×19 18

JIS20K 225 154 88 185 8×23 24

JIS30K 240 154 88 195 8×25 32

JIS40K 250 154 88 205 8×25 36

JIS63K 270 154 88 220 8×27 44

25A (1B)

ANSI150 108 63 30 79.4 4×16 14.5

ANSI300 124 63 30 88.9 4×20 17.5

ANSI600 124 63 30 88.9 4×20 17.5

ANSI900 149 63 30 101.6 4×26 29

ANSI1500 149 63 30 101.6 4×26 29

ANSI2500 159 63 30 107.9 4×26 35

40A (1.5B)

ANSI150 127 80 42 98.4 4×16 17.5

ANSI300 156 80 42 114.3 4×23 21

ANSI600 156 80 42 114.3 4×23 22.5

ANSI900 178 80 42 123.8 4×29 32

ANSI1500 178 80 42 123.8 4×29 32

ANSI2500 203 80 42 146 4×32 44.5

50A (2B)

ANSI150 152 98 64 120.6 4×20 19.5

ANSI300 165 98 64 127 8×20 22.5

ANSI600 165 98 64 127 8×20 25.5

ANSI900 216 98 64 165.1 8×26 38.5

ANSI1500 216 98 64 165.1 8×26 38.5

ANSI2500 235 98 64 171.4 8×29 51

80A (3B)

ANSI150 191 127 88 152.4 4×20 24

ANSI300 210 127 88 168.3 8×23 29

ANSI600 210 127 88 168.3 8×23 32

ANSI900 241 127 88 190.5 8×26 38.5

ANSI1500 267 127 88 203.2 8×32 48

ANSI2500 305 127 88 228.6 8×35 67

100A (4B)

ANSI150 229 154 88 190.5 8×20 24

ANSI300 254 154 88 200 8×23 32

ANSI600 273 154 88 215.9 8×26 38.5

ANSI900 292 154 88 235 8×32 44.5

ANSI1500 311 154 88 241.3 8×35 54

ANSI2500 356 154 88 273 8×42 76.5

※JPI フランジは ANSI フランジと同一寸法です。

※φd はダイアフラム材質 SUS316L の場合です。

突出しあり(E50、E100、E150)の場合 フランジ規格(相当フランジ) φD φF φg φd φC n×φh t

40A

JIS10K 140 80 37 30 105 4×19 16

JIS20K 140 80 37 30 105 4×19 18

JIS30K 160 80 37 30 120 4×23 22

JIS40K 160 80 37 30 120 4×23 24

JIS63K 175 80 37 30 130 4×25 32

50A

JIS10K 155 98 48 42 120 4×19 16

JIS20K 155 98 48 42 120 8×19 18

JIS30K 165 98 48 42 130 8×19 22

JIS40K 165 98 48 42 130 8×19 26

JIS63K 185 98 48 42 145 8×23 34

80A

JIS10K 185 127 72 64 150 8×19 18

JIS20K 200 127 72 64 160 8×23 22

JIS30K 210 127 72 64 170 8×23 28

JIS40K 210 127 72 64 170 8×23 32

JIS63K 230 127 72 64 185 8×25 40

100A

JIS10KF 210 154 96 88 175 8×19 18

JIS20K 225 154 96 88 185 8×23 24

JIS30K 240 154 96 88 195 8×25 32

JIS40K 250 154 96 88 205 8×25 36

JIS63K 270 154 96 88 220 8×27 44

40A (1.5B)

ANSI150 127 80 37 30 98.4 4×16 17.5

ANSI300 156 80 37 30 114.3 4×23 21

ANSI600 156 80 37 30 114.3 4×23 22.5

ANSI900 178 80 37 30 123.8 4×29 32

ANSI1500 178 80 37 30 123.8 4×29 32

ANSI2500 203 80 37 30 146 4×32 44.5

50A (2B)

ANSI150 152 98 48 42 120.6 4×20 19.5

ANSI300 165 98 48 42 127 8×20 22.5

ANSI600 165 98 48 42 127 8×20 25.5

ANSI900 216 98 48 42 165.1 8×26 38.5

ANSI1500 216 98 48 42 165.1 8×26 38.5

ANSI2500 235 98 48 42 171.4 8×29 51

80A (3B)

ANSI150 191 127 72 64 152.4 4×20 24

ANSI300 210 127 72 64 168.3 8×23 29

ANSI600 210 127 72 64 168.3 8×23 32

ANSI900 241 127 72 64 190.5 8×26 38.5

ANSI1500 267 127 72 64 203.2 8×32 48

ANSI2500 305 127 72 64 228.6 8×35 67

100A (4B)

ANSI150 229 154 96 88 190.5 8×20 24

ANSI300 254 154 96 88 200 8×23 32

ANSI600 273 154 96 88 215.9 8×26 38.5

ANSI900 292 154 96 88 235 8×32 44.5

ANSI1500 311 154 96 88 241.3 8×35 54

ANSI2500 356 154 96 88 273 8×42 76.5

※JPI フランジは ANSI フランジと同一寸法です。

※φd はダイアフラム材質 SUS316L の場合です。

ウェハータイプ

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11

CS・3253-984

突出しなし(E0)の場合

突出しあり(E50、E100、E150)の場合

裏出しタイプ

80A(3B)の場合 100A(4B)の場合

50100150

突き出し長さE

増幅部形状:正面端子形の場合

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12 CS・3253-984

突出しなし (E=0) フランジ規格(相当フランジ) φD φF φd φC n×φh t f

50A

JIS10K 155 96 64 120 4×19 16 2

JIS20K 155 96 64 120 8×19 18 2

JIS30K 165 105 64 130 8×19 22 2

JIS40K 165 105 64 130 8×19 26 2

JIS63K 185 105 64 145 8×23 34 2

80A

JIS10K 185 127 88 150 8×19 18 2

JIS20K 200 127 88 160 8×23 22 2

JIS30K 210 127 88 170 8×23 28 2

JIS40K 210 127 88 170 8×23 32 2

JIS63K 230 127 88 185 8×25 40 2

100A

JIS10K 210 151 88 175 8×19 18 2

JIS20K 225 160 88 185 8×23 24 2

JIS30K 240 160 88 195 8×25 32 2

JIS40K 250 165 88 205 8×25 36 2

JIS63K 270 165 88 220 8×27 44 2

50A (2B)

ANSI150 152 92 64 120.6 4×19 19.1 1.6

ANSI300 165 92 64 127 8×19 22.4 1.6

ANSI600 165 92 64 127 8×19 31.8 6.4

ANSI900 216 92 64 165 8×26 44.5 6.4

ANSI1500 216 92 64 165 8×26 44.5 6.4

ANSI2500 235 92 64 171.4 8×29 58 6.4

80A (3B)

ANSI150 191 127 88 152.4 4×20 23.9 1.6

ANSI300 210 127 88 168.1 8×23 28.5 1.6

ANSI600 210 127 88 168.1 8×23 38.3 6.4

ANSI900 241 127 88 190.5 8×26 44.5 6.4

ANSI1500 267 127 88 203.2 8×32 54.2 6.4

ANSI2500 305 127 88 228.6 8×35 73 6.4

100A (4B)

ANSI150 229 157 88 190.5 8×20 23.9 1.6

ANSI300 254 157 88 200.2 8×23 31.8 1.6

ANSI600 273 157 88 215.9 8×26 44.5 6.4

ANSI900 292 157 88 235 8×32 50.9 6.4

ANSI1500 311 157 88 241.3 8×35 60.4 6.4

ANSI2500 356 157 88 273 8×42 82.6 6.4

※JPI フランジは ANSI フランジと同一寸法です。

※φd はダイアフラム材質 SUS316L の場合です。

項目 コード S

接液条件

付加仕様なし 70

HT 170 LT 120

V 70

突出しあり (E>0) フランジ規格(相当フランジ) φD φF φd φC n×φh t f

80A

JIS10K 185 127 64 150 8×19 18 2

JIS20K 200 127 64 160 8×23 22 2

JIS30K 210 127 64 170 8×23 28 2

JIS40K 210 127 64 170 8×23 32 2

JIS63K 230 127 64 185 8×25 40 2

100A

JIS10K 210 151 88 175 8×19 18 2

JIS20K 225 160 88 185 8×23 24 2

JIS30K 240 160 88 195 8×25 32 2

JIS40K 250 165 88 205 8×25 36 2

JIS63K 270 165 88 220 8×27 44 2

80A (3B)

ANSI150 191 127 64 152.4 4×20 23.9 1.6

ANSI300 210 127 64 168.1 8×23 28.5 1.6

ANSI600 210 127 64 168.1 8×23 38.3 6.4

ANSI900 241 127 64 190.5 8×26 44.5 6.4

ANSI1500 267 127 64 203.2 8×32 54.2 6.4

ANSI2500 305 127 64 228.6 8×35 73 6.4

100A (4B)

ANSI150 229 157 88 190.5 8×20 23.9 1.6

ANSI300 254 157 88 200.2 8×23 31.8 1.6

ANSI600 273 157 88 215.9 8×26 44.5 6.4

ANSI900 292 157 88 235 8×32 50.9 6.4

ANSI1500 311 157 88 241.3 8×35 60.4 6.4

ANSI2500 356 157 88 273 8×42 82.6 6.4

※JPI フランジは ANSI フランジと同一寸法です。

※φd はダイアフラム材質 SUS316L の場合です。

裏出しタイプ

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13

CS・3253-984

突出しなし(E0)の場合

突出しあり(E50、E100、E150)の場合

VT,SVTタイプ

50100150

突き出し長さE

増幅部形状:正面端子形の場合

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14 CS・3253-984

突出しなし (E=0) フランジ規格(相当フランジ) φD φF φd φC n×φh t f

80A

JIS10K 185 127 88 150 8×19 18 2

JIS20K 200 127 88 160 8×23 22 2

JIS30K 210 127 88 170 8×23 28 2

JIS40K 210 127 88 170 8×23 32 2

JIS63K 230 127 88 185 8×25 40 2

100A

JIS10K 210 151 88 175 8×19 18 2

JIS20K 225 160 88 185 8×23 24 2

JIS30K 240 160 88 195 8×25 32 2

JIS40K 250 165 88 205 8×25 36 2

JIS63K 270 165 88 220 8×27 44 2

80A (3B)

ANSI150 191 127 88 152.4 4×20 23.9 1.6

ANSI300 210 127 88 168.1 8×23 28.5 1.6

ANSI600 210 127 88 168.1 8×23 38.3 6.4

ANSI900 241 127 88 190.5 8×26 44.5 6.4

ANSI1500 267 127 88 203.2 8×32 54.2 6.4

ANSI2500 305 127 88 228.6 8×35 73 6.4

100A (4B)

ANSI150 229 157 88 190.5 8×20 23.9 1.6

ANSI300 254 157 88 200.2 8×23 31.8 1.6

ANSI600 273 157 88 215.9 8×26 44.5 6.4

ANSI900 292 157 88 235 8×32 50.9 6.4

ANSI1500 311 157 88 241.3 8×35 60.4 6.4

ANSI2500 356 157 88 273 8×42 82.6 6.4

※JPI フランジは ANSI フランジと同一寸法です。

※φd はダイアフラム材質 SUS316L の場合です。

突出しあり (E>0) フランジ規格(相当フランジ) φD φF φd φC n×φh t f

100A

JIS10K 210 151 88 175 8×19 18 2

JIS20K 225 160 88 185 8×23 24 2

JIS30K 240 160 88 195 8×25 32 2

JIS40K 250 165 88 205 8×25 36 2

JIS63K 270 165 88 220 8×27 44 2

100A (4B)

ANSI150 229 157 88 190.5 8×20 23.9 1.6

ANSI300 254 157 88 200.2 8×23 31.8 1.6

ANSI600 273 157 88 215.9 8×26 44.5 6.4

ANSI900 292 157 88 235 8×32 50.9 6.4

ANSI1500 311 157 88 241.3 8×35 60.4 6.4

ANSI2500 356 157 88 273 8×42 82.6 6.4

※JPI フランジは ANSI フランジと同一寸法です。

※φd はダイアフラム材質 SUS316L の場合です。

VT,SVTタイプ

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15

CS・3253-984

形式

EDR-N8S

番号 項 目 コード 内 容

1 レンジコード 8000 測定スパン 0.748~80kPa 40000 測定スパン 39.2~400kPa 100000 測定スパン 100~1000kPa

2 通 信 - 日立通信 H HART 通信

3 増幅部形状 ST 側面端子形 FT 正面端子形

4 調整レンジ - 0~最大レンジで調整

C( ) ( )内に調整レンジ、単位符号記入

5 防 爆 - なし

XC TIIS 耐圧油入防爆形 (増幅部形状:正面端子形は 2016/9 対応予定。お問い合わせください。)

6 指 示 計 - なし M デジタル指示計付(表示 0~100%)

MJ( ) デジタル指示計付、実目盛表示( )内に表示目盛、単位符号記入

7 フランジ規格 JIS

25J10 フランジ規格 JIS 10K 25A RF 相当 E0 のみ 25J20 フランジ規格 JIS 20K 25A RF 相当 E0 のみ 25J30 フランジ規格 JIS 30K 25A RF 相当 E0 のみ 25J40 フランジ規格 JIS 40K 25A RF 相当 E0 のみ 25J63 フランジ規格 JIS 63K 25A RF 相当 E0 のみ 40J10 フランジ規格 JIS 10K 40A RF 相当 40J20 フランジ規格 JIS 20K 40A RF 相当 40J30 フランジ規格 JIS 30K 40A RF 相当 40J40 フランジ規格 JIS 40K 40A RF 相当 40J63 フランジ規格 JIS 63K 40A RF 相当 50J10 フランジ規格 JIS 10K 50A RF 相当 50J20 フランジ規格 JIS 20K 50A RF 相当 50J30 フランジ規格 JIS 30K 50A RF 相当 50J40 フランジ規格 JIS 40K 50A RF 相当 50J63 フランジ規格 JIS 63K 50A RF 相当 80J10 フランジ規格 JIS 10K 80A RF 相当 80J20 フランジ規格 JIS 20K 80A RF 相当 80J30 フランジ規格 JIS 30K 80A RF 相当 80J40 フランジ規格 JIS 40K 80A RF 相当 80J63 フランジ規格 JIS 63K 80A RF 相当 100J10 フランジ規格 JIS 10K 100A RF 相当 100J20 フランジ規格 JIS 20K 100A RF 相当 100J30 フランジ規格 JIS 30K 100A RF 相当 100J40 フランジ規格 JIS 40K 100A RF 相当 100J63 フランジ規格 JIS 63K 100A RF 相当

コード表

EDR-N8S インテリジェント隔膜置換器付差圧伝送器

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16 CS・3253-984

7 フランジ規格

AN

SI

25A150 フランジ規格 ANSI 150 1B RF 相当 E0 のみ 25A300 フランジ規格 ANSI 300 1B RF 相当 E0 のみ 25A400 フランジ規格 ANSI 400 1B RF 相当 E0 のみ 25A600 フランジ規格 ANSI 600 1B RF 相当 E0 のみ 25A900 フランジ規格 ANSI 900 1B RF 相当 E0 のみ 25A1500 フランジ規格 ANSI 1500 1B RF 相当 E0 のみ 25A2500 フランジ規格 ANSI 2500 1B RF 相当 E0 のみ 40A150 フランジ規格 ANSI 150 1.5B RF 相当 40A300 フランジ規格 ANSI 300 1.5B RF 相当 40A400 フランジ規格 ANSI 400 1.5B RF 相当 40A600 フランジ規格 ANSI 600 1.5B RF 相当 40A900 フランジ規格 ANSI 900 1.5B RF 相当 40A1500 フランジ規格 ANSI 1500 1.5B RF 相当 40A2500 フランジ規格 ANSI 2500 1.5B RF 相当 50A150 フランジ規格 ANSI 150 2B RF 相当 50A300 フランジ規格 ANSI 300 2B RF 相当 50A400 フランジ規格 ANSI 400 2B RF 相当 50A600 フランジ規格 ANSI 600 2B RF 相当 50A900 フランジ規格 ANSI 900 2B RF 相当 50A1500 フランジ規格 ANSI 1500 2B RF 相当 50A2500 フランジ規格 ANSI 2500 2B RF 相当 80A150 フランジ規格 ANSI 150 3B RF 相当 80A300 フランジ規格 ANSI 300 3B RF 相当 80A400 フランジ規格 ANSI 400 3B RF 相当 80A600 フランジ規格 ANSI 600 3B RF 相当 80A900 フランジ規格 ANSI 900 3B RF 相当 80A1500 フランジ規格 ANSI 1500 3B RF 相当 80A2500 フランジ規格 ANSI 2500 3B RF 相当 100A150 フランジ規格 ANSI 150 4B RF 相当 100A300 フランジ規格 ANSI 300 4B RF 相当 100A400 フランジ規格 ANSI 400 4B RF 相当 100A600 フランジ規格 ANSI 600 4B RF 相当 100A900 フランジ規格 ANSI 900 4B RF 相当 100A1500 フランジ規格 ANSI 1500 4B RF 相当 25A150 フランジ規格 ANSI 2500 4B RF 相当

JPI

25JP150 フランジ規格 JPI 150 1B RF 相当 E0 のみ 25JP300 フランジ規格 JPI 300 1B RF 相当 E0 のみ 25JP400 フランジ規格 JPI 400 1B RF 相当 E0 のみ 25JP600 フランジ規格 JPI 600 1B RF 相当 E0 のみ 25JP900 フランジ規格 JPI 900 1B RF 相当 E0 のみ 25JP1500 フランジ規格 JPI 1500 1B RF 相当 E0 のみ 25JP2500 フランジ規格 JPI 2500 1B RF 相当 E0 のみ 40JP150 フランジ規格 JPI 150 1.5B RF 相当 40JP300 フランジ規格 JPI 300 1.5B RF 相当 40JP400 フランジ規格 JPI 400 1.5B RF 相当 40JP600 フランジ規格 JPI 600 1.5B RF 相当 40JP900 フランジ規格 JPI 900 1.5B RF 相当 40JP1500 フランジ規格 JPI 1500 1.5B RF 相当 40JP2500 フランジ規格 JPI 2500 1.5B RF 相当 50JP150 フランジ規格 JPI 150 2B RF 相当 50JP300 フランジ規格 JPI 300 2B RF 相当 50JP400 フランジ規格 JPI 400 2B RF 相当 50JP600 フランジ規格 JPI 600 2B RF 相当 50JP900 フランジ規格 JPI 900 2B RF 相当 50JP1500 フランジ規格 JPI 1500 2B RF 相当 50JP2500 フランジ規格 JPI 2500 2B RF 相当 80JP150 フランジ規格 JPI 150 3B RF 相当 80JP300 フランジ規格 JPI 300 3B RF 相当 80JP400 フランジ規格 JPI 400 3B RF 相当 80JP600 フランジ規格 JPI 600 3B RF 相当 80JP900 フランジ規格 JPI 900 3B RF 相当 80JP1500 フランジ規格 JPI 1500 3B RF 相当 50JP2500 フランジ規格 JPI 2500 2B RF 相当 100JP150 フランジ規格 JPI 150 4B RF 相当 100JP300 フランジ規格 JPI 300 4B RF 相当 100JP400 フランジ規格 JPI 400 4B RF 相当 100JP600 フランジ規格 JPI 600 4B RF 相当 100JP900 フランジ規格 JPI 900 4B RF 相当 100JP1500 フランジ規格 JPI 1500 4B RF 相当 100JP2500 フランジ規格 JPI 2500 4B RF 相当

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17

CS・3253-984

8

フランジ突出し および

ダイアフラム カバー

E0 突出し長さ 0mm E50 突出し長さ 50mm 口径 25A(1B)には選択不可 E100 突出し長さ 100mm 口径 25A(1B)には選択不可 E150 突出し長さ 150mm 口径 25A(1B)には選択不可

EZ50 突出し長さ 高圧側:50mm、低圧側:0mm(低圧側フランジ口径は高圧側より1サイズ小さくなります)

口径 25A(1B)には選択不可

EZ100 突出し長さ 高圧側:100mm、低圧側:0mm(低圧側フランジ口径は高圧側より1サイズ小さくなります)

口径 25A(1B)には選択不可

EZ150 突出し長さ 高圧側:150mm、低圧側:0mm(低圧側フランジ口径は高圧側より1サイズ小さくなります)

口径 25A(1B)には選択不可

E0TDS 突出し長さ 0mm FEP ダイアフラムカバー付(圧力:大気圧以上、使用温度:-10~120℃)

口径 100A(4B)、40A(1.5B)および 25A(1B)には選択不可

9 キャピラリ長さ

ウェハータイプ

1 キャピラリ長さ:1m 2 キャピラリ長さ:2m 3 キャピラリ長さ:3m 4 キャピラリ長さ:4m 5 キャピラリ長さ:5m 6 キャピラリ長さ:6m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可 7 キャピラリ長さ:7m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可 8 キャピラリ長さ:8m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可 9 キャピラリ長さ:9m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可 10 キャピラリ長さ:10m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可

裏出しタイプ

1U キャピラリ裏出し 長さ:1m VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードで指定ください。 2U キャピラリ裏出し 長さ:2m VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードで指定ください。 3U キャピラリ裏出し 長さ:3m VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードで指定ください。 4U キャピラリ裏出し 長さ:4m VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードで指定ください。 5U キャピラリ裏出し 長さ:5m VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードで指定ください。

6U キャピラリ裏出し 長さ:6m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可

VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードで指定ください。

7U キャピラリ裏出し 長さ:7m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可

VT、SVT をご指定の場合は、側面取出しをご指定ください。

8U キャピラリ裏出し 長さ:8m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可

VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードでご指定ください。

9U キャピラリ裏出し 長さ:9m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可

VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードでご指定ください。

10U キャピラリ裏出し 長さ:10m 口径 25A(1B)、および 40A(1.5B)の E>0 には選択不可

VT、SVT をご指定の場合はウェハータイプの長さコードでご指定ください。

10 材 質

- ダイアフラム:SUS316L 接液部:SUS316 316L ダイアフラム:SUS316L 接液部:SUS316L HC ダイアフラム:ハステロイ C 接液部:ハステロイ C TA ダイアフラム:タンタル 接液部:タンタル E0 にのみ選択可能

11 ボルト・取付板

材質 - 本体フランジボルト:SCM435 取付板:SPCC U ボルト:SUS304

S630 本体フランジボルト:SUS630 取付板:SUS304 U ボルト:SUS304

12 封 入 液

- シリコーンオイル FO ふっ素オイル

100CS サニタリ用シリコーンオイル PG プロピレングリコール

13 禁 油 - 処理なし

NL 禁油仕上げ NLW 禁油禁水仕上げ

14 接液条件

- 標準 HT 高温用 接液温度:-10~310℃ ※封入液コードの指定はできません。 LT 低温用 接液温度:-70~60℃ ※封入液コードの指定はできません。 V 真空用 接液温度:-20~180℃ ※封入液コードの指定はできません。

WVT ウェハータイプ高温真空用 接液温度:-10~310℃

※封入液コードの指定はできません。キャピラリは側面取出しのみとなります。

VT 高温真空用 接液温度:-10~310℃

フランジサイズは 80A の E0 および 100A のみ。キャピラリは裏面取出しのみ対応。 ※封入液コードの指定はできません。

SVT 高温高真空用 接液温度:10~310℃ 使用圧力下限:0.0133kPa abs.

フランジサイズ 80A の E0 および 100A のみ。ダイアフラム材質はハステロイ C のみ対応。 ※封入液コードの指定はできません。キャピラリは裏面取出しのみとなります。

コード記載例:EDR-N8S-8000-ST-XC-M-80J10-E0-5

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18 CS・3253-984

●ご使用の前に「取扱説明書」をよくお読みのうえ正しくご使用ください。 ●改良のため外観及び仕様の一部を変更することがあります。

HCS-2182P