7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 1/53
ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘITRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ
Nguyễn Xuân Văn
NGHIÊN CU CH! TẠ" #ÀNG #$NG T%"&
NH'# CH" #(C TIÊUNG )(NG QUANG X*C T+C
,H"+ -U.N TỐT NGHIỆ/ ĐẠI HỌC HỆ CH0NH QU1
Ng2n34 V56 78 9: 63u56
HÀ NỘI ; &<==
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 2/53
ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘITRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ
Nguyễn Xuân Văn
NGHIÊN CU CH! TẠ" #ÀNG #$NG T%"&
NH'# CH" #(C TIÊUNG )(NG QUANG X*C T+C
,H"+ -U.N TỐT NGHIỆ/ ĐẠI HỌC HỆ CH0NH QU1
Ng2n34 V56 78 9: 63u56
C>n ?@ 3Bng Dn4 /GEFTEF - Văn Hng
HÀ NỘI ; &<==
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 3/53
-ỜI C# JN
Lời đầu tiên, em xin bày tỏ sự kính trọng và biết ơn sâu sắ nh!t t"i #$%&'%& Lê
()n *+ng ng-ời đ. đ/nh h-"ng, gi01 đ2 và t34 đi5u ki6n thu7n 89i nh!t h4 em
tr4ng su:t thời gi;n h4àn thành kh<; 8u7n t:t nghi61& 'hầy đ. h= >3y h4 em nh?ngkiến th@ và kA n)ng ơ bBn tr4ng vi6 nghiên @u kh4; họ&
Cm xin đD bi6t Bm ơn '%& EgF 'h/ *+ng Lê đ. 8uFn t7n tGnh h-"ng >Hn, h=
bB4 h4 em nh?ng kiến th@ 8I thuyết và thự nghi6m JuI giK, ng sự gi01 đ2, đMng
viên đN em h4àn thành kh<; 8u7n này&
Cm xin đ-9 gOi 8ời Bm ơn t"i PE& *4àng 'h;nh (ân và '%& (Q RGnh L.m,
'h%& RS *ng T3nh, '%& 'rần R)ng 'hành, PE& EguyUn ()n Phiến, 'h%& EguyUn
()n VhiNn ng t4àn thN Kn bM #hWng (7t 8I (7t 8i6u 'X và %iêu >Hn, (i6n Vh4; họ(7t 8i6u, đ. Ju;n tâm, gi01 đ2 em ng;y tX ngày đầu 8àm kh<; 8u7n, gi01 em thự hi6n
K 1hY1 đ4 và < nhi5u I kiến đ<ng g<1 và4 kết JuB Z; kh<; 8u7n&
PQng xin đ-9 Bm ơn #hWng [u;ng h<; đi6n tO, '%& EguyUn 'h;nh *-ờng, '%&
'rần 'hu *-ơng đ. gi01 đ2 em r!t nhi5u tr4ng vi6 h4àn thành kh<; 8u7n&
Cm xin đ-9 Bm ơn sự Ju;n tâm, gi01 đ2, ân ần h= bB4 và nhi6t tGnh giBng >3y
Z; K thầy F t3i tr-ờng R3i họ PFng Egh6, R3i họ [u: gi; *à EMi& Eh?ng kiến
th@ mà K thầy F truy5n đ3t 8à n5n tBng v?ng hắ h4 h0ng em tr4ng JuK trGnhhọ t71 Qng nh- s;u khi r; tr-ờng&
(à u:i ng, đN < đ-9 kết JuB nh- ngày hFm n;y, em xin đ-9 gOi 8ời Bm ơn
và 8Wng biết ơn đến nh?ng ng-ời thân Z; mGnh&
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 4/53
TK# TLT NỘI )UNG
T\ tiêu Z; kh<; 8u7n này 8à thự hi6n K nghiên @u hế t34 màng mỏng n5n
'i]^ ;n;t;se 1h; t31 E < kíh th-" nm b_ng 1h-ơng 1hK1 Z ` nhi6t đM ;4 acc 4Pd
và khB4 sKt K tính h!t Ju;ng đi6n Z; v7t 8i6u này, nh_m hế t34 v7t 8i6u màng 'i] ^
h!1 th\ Knh sKng vng nhGn th!y @ng >\ng tr4ng Ju;ng x0 tK& 'X nh?ng nguyên 8i6u
b;n đầu h0ng tFi tiến hành hế t34 K mHu màng mỏng 'i]^ Z v"i K t 86 f khí E^
khK nh;u& 'r4ng kh<; 8u7n này, !u tr0 v7t 8i6u đ-9 nghiên @u b_ng 1h-ơng 1hK1
hiNn vi đi6n tO JuYt %CT và 1h-ơng 1hK1 1hân tíh 1h nhiUu x3 ti; ajd khB4
sKt đM >ày và b5 mDt màng b_ng #r4li8er K đD tr-ng h4 tính h!t Ju;ng a1h h!1
th\, đM truy5n Ju;d đ-9 khB4 sKt b_ng mKy ((o%,&&& PK 1hY1 đ4 thự hi6n trên K
h6 mKy Z; (i6n Vh4; họ (7t Li6u, (i6n Vh4; họ và PFng Egh6 (i6t E;m& Vết JuB
thự nghi6m đ-9 s4 sKnh đN r0t r; kết 8u7n v5 -u và nh-9 điNm Z; v7t 8i6u hế t34v"i m4ng mu:n 1hKt triNn h-"ng nghiên @u và @ng >\ng Z; v7t 8i6u này tr4ng Fng
ngh6 đi5u hế hy>r4&
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 5/53
-ỜI CA# Đ"AN
Cm xin ;m đ4;n kh<; 8u7n này đ-9 h4àn thành 8à kết JuB nghiên @u Z; riêng
mGnh >-"i sự h-"ng >Hn Z; #$%&'%& Lê ()n *+ng (i6n Vh4; họ (7t 8i6u (i6n
Vh4; họ và PFng ngh6 (i6t E;m& PK s: 8i6u, kết JuB tr4ng kh<; 8u7n 8à h4àn t4àntrung thự h-; tXng đ-9 ;i Fng b: tr4ng b!t kp Fng trGnh nà4&
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 6/53
#(C -(C
#M ĐU&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q
C3Ong =F TPNG QUAN&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&
q&q& (7t 8i6u 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q&q&q& $i"i thi6u v7t 8i6u 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q&q&^& P!u tr0 Z; v7t 8i6u 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q&q&^& 'ính h!t Ju;ng Z; v7t 8i6u 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&
q&^& (7t 8i6u 'i]^ n;n4met&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q&^&q& 'ính h!t Ju;ng x0 tK&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&
q&^&q&q& Pơ hế 1hBn @ng x0 tK Ju;ng >/ thN&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q&^&q&^& Pơ hế x0 tK Ju;ng Z; 'i]^ ;n;t;se&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q^
q&^&^& (7t 8i6u 'i]^ 1h; t31&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q
q&^&^&q& (7t 8i6u 'i]^ 1h; t31 K nguyên t: kim 843i&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&qq&^&^&^& (7t 8i6u 'i]^ 1h; t31 K nguyên t: 1hi kim&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&qq&& wng >\ng Z; v7t 8i6u 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q
q&&q& 'Kh *^ tX *^]&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&qq&&^& PK @ng >\ng khK Z; v7t 8i6u 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q
q&&^&q& wng >\ng 8àm x0 tK Ju;ng xO 8I mFi tr-ờng&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&qq&&^&^& wng >\ng 8àm h!t đMn tr4ng K 8Anh vự sơn tự 8àm s3h&&&&&&qq&&^&& O 8I K i4n kim 843i nDng tr4ng n-" &&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^cq&&^&& TMt s: @ng >\ng khK&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^q
C3Ong &F THC NGHIỆ#&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^^^&q& Phế t34 v7t 8i6u màng 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^^
^&q&q& Phế t34 mHu 'i]^ >3ng s48&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^^^&q&q&q&[uy trGnh thự nghi6m&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^^^&q&q&^&PK 1hBn @ng h<; họ xBy r; tr4ng Juy trGnh thự nghi6m&&&&&&&&^
^&q&^& Phế t34 mHu màng mỏng 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^^&q&& #h; t31 E và4 màng mỏng 'i]^&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^
^&^& PK kA thu7t đ4 khB4 sKt tính h!t Z; v7t 8i6u 'i]^ 1h; t31 E&&&&&&&&&&&&&&&&^^&^&q& #hY1 đ4 nhiUu x3 ti; ajd&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^^&^&^& V thu7t hiNn vi đi6n tO JuYt a%CTd&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^
^&^&& R4 đM >ày và b5 mDt màng b_ng #r4li8er&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^^&^&& #h h!1 th\ ((o%&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^
C3Ong F ,!T QU VÀ TH" -U.N&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&c&q& Phế t34 mHu&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&c&^& Vết JuB nhiUu x3 ti; &&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q&& Vết JuB h\1 C%CT&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&& Vết JuB đ4 đM >ày và b5 mDt màng b_ng #r4li8er&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&z&& Vết JuB đ4 1h h!1 th\&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&z& Vết JuB đ4 đM truy5n Ju;&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&
,!T -U.N&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&q
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 7/53
TÀI -IỆU THA# ,H"&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&&^
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 8/53
#M ĐU
TDt trời ung !1 h4 b5 mDt trKi đ!t mMt 8-9ng n)ng 8-9ng khng 8+ và4 kh4Bng
&qc^ {|n)m& (i6 nghiên @u huyNn h<; < hi6u JuB ngu+n n)ng 8-9ng này thành
K >3ng h?u >\ng khK 1h\ v\ đời s:ng 4n ng-ời 8à mMt tr4ng nh?ng thKh th@đ:i v"i sự 1hKt triNn nghiên @u kh4; họ và Fng ngh6 tr4ng t-ơng 8;i& TMt tr4ng
nh?ng h-"ng nghiên @u đ< 8à sO >\ng K h!t bKn >Hn đ<ng v;i trW Ju;ng x0 tK đN
huyNn h<; n)ng 8-9ng Knh sKng mDt trời thành n)ng 8-9ng đi6n h4D h<; họ&
'it;nium ji4xi>e a'i]^d 8à h!t x0 tK bKn >Hn& $ần mMt thế k tr` 83i đây, bMt
'i]^ v"i kíh th-" 2 }m đ. đ-9 đi5u hế ` Juy mF Fng nghi61 và đ-9 @ng >\ng
rMng r.i tr4ng nhi5u 8Anh vự khK nh;u~ 8àm h!t đMn tr4ng ;4 su, nhự;, gi!y, s9i vBi,
8àm h!t màu h4 sơn, men đ+ g:m, s@• €& $ần đây, 'i]^ tinh thN kíh th-" nm `
K >3ng th hGnh ruti8e, ;n;t;se, h4D hSn h91 ruti8e và ;n;t;se, và br44kite đ. đ-9
nghiên @u @ng >\ng và4 K 8Anh vự 1in mDt trời, Ju;ng 1hân hZy n-" và 8àm v7t
8i6u Ju;ng x0 tK tng h91 K h91 h!t h?u ơ, xO 8I mFi tr-ờng, hế t34 sơn tự 8àm
s3h, hế t34 thiết b/ đi6n tO, đầu Bm biến và tr4ng 8Anh vự >i6t khu‚n €,& PK @ng
>\ng m"i Z; v7t 8i6u 'i]^ kíh th-" nm hZ yếu >ự; và4 tính 4xy h4K khO m3nh Z;
n<& ("i h43t tính Ju;ng x0 tK ;4, !u tr0 b5n và khFng đM, v7t 8i6u 'i] ^ đ-9 h4
8à v7t 8i6u triNn vọng nh!t đN giBi Juyết r!t nhi5u v!n đ5 mFi tr-ờng nghiêm trọng và
thKh th@ tX sự F nhiUm& 'i]^ đ+ng thời Qng đ-9 hy vọng sƒ m;ng đến nh?ng 89iíh t4 8"n tr4ng v!n đ5 khZng h4Bng n)ng 8-9ng Ju; sO >\ng n)ng 8-9ng mDt trời >ự;
trên tính Ju;ng đi6n và khB n)ng 1hân tKh n-"&
'uy nhiên >4 đM rMng vng !m Z; 'it;nium ji4xi>e khK 8"n a,^ e( đ:i v"i
;n;t;se và ,c e( đ:i v"i ruti8ed nên h= Knh sKng tO ng43i a(d v"i b-" s<ng „ …
c nm m"i kíh thíh đ-9 đi6n tO tX vng h<; tr/ 8ên vng >Hn và gây r; hi6n t-9ng
Ju;ng x0 tK& Ri5u này, h3n hế khB n)ng Ju;ng x0 tK Z; 'it;nium ji4xi>e, thu
h†1 1h3m vi @ng >\ng Z; v7t 8i6u này& RN sO >\ng đ-9 Knh sKng mDt trời và4 JuK
trGnh Ju;ng x0 tK Z; 'it;nium ji4xi>e, ần thu h†1 vng !m Z; n<& RN thự hi6n
m\ đíh này nhi5u i4n kim 843i và 1hi kim đ. đ-9 sO >\ng đN th;y đi K th hGnh
Z; 'it;nium ji4xi>e& P< thN thự hi6n th;y đi !u tr0 Z; 'it;nium ji4xi>e b_ng
K 1h-ơng 1hK1~ s48 ge8, thZy nhi6t, đ+ng kết tZ;,• h4D th;y đi b5 mDt v"i K
1h-ơng 1hK1 t‚m, nh0ng, 1hun, h!1 1h\,•
#h; t31 'i]^ b_ng nh?ng i4n 1hi kim khK nh;u 8à Kh th@ hi6u JuB đN m`
rMng Knh sKng h!1 1h\ tX vng ( s;ng vng nhGn th!y và giBm sự tKi kết h91 Z;
nh?ng e8etr4n và 8S tr:ng đ-9 1hKt Ju;ng Z; 'i] ^& R. < mMt s: bài bK4 v5 sự tng
1
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 9/53
h91 h!t Ju;ng x0 tK 'i]^ 1h; t31 E nh- Z; nh<m tK giB & ‡s;hi, '& T4rik;ˆ;,
'& ]hˆ;ki, V& ‡4ki, ‰& ';g;, Visible-light photocatalysis in nitrogen-doped titanium
oxides €z '& T4rik;ˆ;, & ‡s;hi, '& ]hˆ;ki, V& ‡4ki, ‰& ';g;, Band-gap narrowing
of titanium dioxide by nitrogen doping € *& orie, ‰& Š;t;n;be, V& *;shim4t4,
Nitrogen-concentration dependence on photocatalytic activity of TiO2 K x N x powders
€,&&&
'X nh?ng nghiên @u n5n tBng đ<, v"i m4ng mu:n đ-9 đ<ng g<1 mMt 1hần nhỏ
h4 vi6 tGm kiếm v7t 8i6u Ju;ng x0 tK n5n 'i] ^ h43t đMng tr4ng vng Knh sKng nhGn
th!y, h0ng tFi tiến hành nghiên @u đ5 tài~ “Nghiên cứu chế tạo màng mỏng TiO2
nhằm cho mục tiêu ứng dụng quang xúc tác” &
2
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 10/53
C3Ong =F TPNG QUAN
=F=F V56 7%Su T%"&
111 !i"i thi#u $%t &i#u TiO2
TFi tr-ờng F nhiUm 8à h6 JuB Z; sự 1hKt triNn trên thế gi"i, đây 8à mMt v!n đ5
hết s@ nghiêm trọng khFng thN bỏ Ju;& (í >\ v5 F nhiUm mFi tr-ờng < thN đ-9 8i6t
kê r!t nhi5u nh-~ ‹ nhiUm ngu+n n-" >4 h!t thBi Fng nghi61 và hM gi; đGnh, K
b6nh v5 hF h!1 >4 F nhiUm khFng khí nh- %]x và E]x, khFng khí tr4ng 1hWng b/ F
nhiUm b`i K h91 h!t h?u ơ 1hKt r; tX v7t 8i6u xây >ựng m"i đ-9 1hKt triNn, >i4xin
th4Kt r; tX v7t 8i6u nhự; tr4ng JuK trGnh đ:t rK,&&& 'hự tế 8à vi6 sO >\ng n)ng 8-9ng
đN 843i bỏ sự F nhiUm mFi tr-ờng 83i 8àm t)ng 8-9ng khí thBi P]^ >Hn đến sự n<ng 8ên
t4àn ầu nhi5u hơn, >4 đ< >Hn đến mMt tGnh tr3ng kh< xO 8à khFng thN sO >\ng n)ng8-9ng đN h4àn thành m\ tiêu h:ng F nhiUm mFi tr-ờng&
'r4ng tr-ờng h91 nh- v7y,
h0ng t; ần mMt 843i v7t 8i6u m"i
< thN nh† nhàng hài hW; v"i mFi
tr-ờng b/ F nhiUm đN khFi 1h\ 83i
nguyên tr3ng b_ng Kh sO >\ng
n)ng 8-9ng tự nhiên, đ< 8à mMt 1hần Z; mFi tr-ờng& TMt giBi 1hK1
h4 v!n đ5 đ< 8à h!t x0 tK
Ju;ng& Ph!t x0 tK Ju;ng t34 r;
JuK trGnh 4xy h<; trên b5 mDt đN
843i bỏ K h!t đM h3i nh- K
h91 h!t h?u ơ h;y vi khu‚n,&&& khi n< đ-9 tiế1 x0 v"i Knh sKng mDt trời&
PK 1hBn @ng Ju;ng h<; trên b5 mDt 'it;nium ji4xi>e a'i]^d đ. thu h0t nhi5u sự
h0 I v5 vi6 @ng >\ng thự tế đN 8àm s3h mFi tr-ờng nh- 8àm s3h g3h, kính,•'i]^ < nh?ng 89i thế Z; sự n đ/nh h<; họ ;4, khFng gây đM, giK thành t-ơng đ:i
th!1, nh-ng mMt b!t 89i 8"n 8à h= < Knh sKng tO ng43i ahiếm kh4Bng f b@ x3 mDt
trờid đ-9 sO >\ng h4 K 1hBn @ng Ju;ng h<;& (G v7y n< 8à sự Ju;n tâm r!t 8"n
nh_m tGm Kh m` rMng vng b-" s<ng h!1 th\ Z; 'i] ^ s;ng vng nhGn th!y mà
khFng 8àm giBm h43t tính Ju;ng và đN sO >\ng < hi6u JuB hơn đD tính Ju;ng x0 tK
Z; 843i v7t 8i6u này& ("i nh?ng thành Fng b-" đầu, nh?ng nghiên @u v5 !u tr0
v7t 8i6u 'i]^ 1h; t31 đ. h@ng minh r_ng tính h!t và đD điNm !u tr0 Z; v7t 8i6u
3
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 11/53
'i]^ h4àn t4àn < thN th;y đi đ-9 khi th;y thế mMt 1hần K i4n tit;n b_ng K i4n
Z; K nguyên t: khK& *-"ng nghiên @u này nh_m m\ đíh m` rMng K @ng >\ng
Z; 843i v7t 8i6u này tr4ng 8Anh vự hế t34 v7t 8i6u xO 8I mFi tr-ờng, v7t 8i6u xây >ựng
thân thi6n mFi tr-ờng, n)ng 8-9ng s3h,• tr4ng đi5u ki6n hiếu sKng thFng th-ờng
mà khFng ần b sung ngu+n sKng tO ng43i a(d&
*i6n n;y, 'i]^ < r!t nhi5u @ng >\ng tr4ng uM s:ng nh- h<; m 1h‚m, h!t
màu, sơn, hế t34 K 843i thZy tinh, men và g:m h/u nhi6t• Œ >3ng h3t m/n kíh
th-" nm, 'i]^ đ-9 @ng >\ng tr4ng K 8Anh vự hế t34 1in mDt trời, sens4r, 8àm
h!t x0 tK Ju;ng,• RD bi6t 'i]^ đ-9 Ju;n tâm tr4ng 8Anh vự 8àm x0 tK Ju;ng
h<; @ng >\ng tr4ng xO 8I mFi tr-ờng và Fng ngh6 n)ng 8-9ng&
112 '(u t)úc c*a $%t &i#u TiO2
'i]^ tr4ng tự nhiên t+n t3i b; >3ng th hGnh khK nh;u 8à ruti8e, ;n;t;se, và
br44kite ahGnh q&qd& PB b; >3ng tinh thN này đ5u < hung mMt Fng th@ h<; họ 'i]^,
tuy nhiên !u tr0 tinh thN Z; h0ng 8à khK nh;u& *_ng s: m3ng, đM >ài 8iên kết 'i
], và g< 8iên kết Z; b; 1h; tinh thN đ-9 trGnh bày tr4ng bBng q&q&
'it;nium ao(d ]xi>e aood < mMt 1h; b5n đ< 8à 1h; ruti8e atetr;g4n;8d và h;i 1h;
giB b5n 8à ;n;t;se atetr;g4n;8d và br44kite a4rth4rh4mbid& PB h;i 1h; giB b5n huyNn
thành 1h; ruti8e khi v7t 8i6u đ-9 nung ` nhi6t đM trên cc
4
P € aq
4
P h4 1h;;n;t;se và c4P h4 1h; br44kited& TMt s: tK giB Qng th!y r_ng ` nhi6t đM cc 4P
1h; ;n;t;se bắt đầu huyNn s;ng 1h; ruti8e tr4ng K JuK trGnh xO 8I nhi6t €qc&
+,nh 11 !c d"ng th# h$nh %h!c nhau c&a TiO2' ()* rutile+ (B* anatase+ (* broo%ite,
4
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 12/53
-.ng 11 !c .c t/nh c0u tr1c c&a c!c d"ng th# h$nh c&a TiO2,
An6 Ru6%7 WYY9%6HS 6%n3 63Z 'etr;g4n;8 'etr;g4n;8 ]th4rh4mbi
H[ng \ ]^ng _`a ;,^,z
;,,^
;,q b,,q
N3b] 93cng g%n #^|mnm oq|;m> #b;
E\ dOn ef cng 63h ^
T3Z 6i3 c O j _`a q,^^ ,cz ^,q#56 d@ 93\% ,q , ,Đ@ 2% 7%n 9k6 T%;" _`a q, ad q, ad q,Ž^,c
Gb 7%n 9k6 T%;";T%
q, a^d
q,^4
c4
q, a^d
,4
^,z4 ,c4Žqc4
P!u tr0 m3ng 8-"i tinh thN Z; ruti8e, ;n;t;se và br44kite đ5u đ-9 xây >ựng tX
K đ; >i6n 1h:i trí tKm mDt a4t;he>r;d 'i] z n:i v"i nh;u Ju; 3nh h4D Ju; đ=nh
4xy hung ahGnh q&^d& TSi i4n 'i đ-9 b;4 Ju;nh b`i tKm mDt t34 b`i sKu i4n ]^&
+,nh 12 Khi b!t di3n c&a TiO2,PK m3ng 8-"i tinh thN Z; ruti8e, ;n;t;se và br44kite khK nh;u b`i sự biến >3ng
Z; mSi hGnh tKm mDt và Kh gắn kết gi?; K 4t;he>r;&
#h; ruti8e và ;n;t;se đ5u < !u tr0 tetr;g4n;8 8ần 8-9t h@; z và q^ nguyên tO
t-ơng @ng trên mMt F đơn v/& 'r4ng B h;i !u tr0, mSi ;ti4n 'i đ-9 1h:i trí v"i
sKu ;ni4n ]^ và mSi ;ni4n ]^ đ-9 1h:i trí v"i b; ;ti4n 'i& 'r4ng mSi tr-ờng h91
n<i trên kh:i bKt >i6n 'i]z b/ biến >3ng nh†, v"i h;i 8iên kết 'i] 8"n hơn mMt h0t s4
v"i b:n 8iên kết Wn 83i và mMt vài g< 8iên kết 86h khỏi c 4& %ự biến >3ng này thN
5
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 13/53
hi6n tr4ng 1h; ;n;t;se r hơn tr4ng 1h; ruti8e& TDt khK, kh4Bng Kh 'i'i tr4ng
;n;t;se 8"n hơn tr4ng ruti8e nh-ng kh4Bng Kh 'i] tr4ng ;n;t;se 83i ngắn hơn s4 v"i
ruti8e& Ri5u này Bnh h-`ng đến !u tr0 đi6n tO Z; h;i >3ng tinh thN, kY4 the4 sự khK
nh;u v5 K tính h!t v7t 8I và h<; họ&
+,nh 1/ 0u tr1c tinh th4 c&a TiO2' ()* rutile+ (B* anatase,
%ự gắn kết gi?; K 4t;he>r; Z; h;i 1h; ruti8e và ;n;t;se đ-9 mF tB nh- hGnh
q&& #h; ruti8e < đM xế1 hDt ;4 nh!t s4 v"i h;i 1h; Wn 83i, K kh:i bKt >i6n xế1 tiế1
x0 nh;u ` K đ=nh, h;i khFi bKt >i6n đ@ng 3nh nh;u hi; s‘ h;i 3nh hung và t34
thành huSi, 1h; ruti8e < kh:i 8-9ng riêng ,^ g|m& ("i 1h; ;n;t;se, K kh:i bKt
>i6n tiế1 x0 3nh v"i nh;u, tr\ c Z; tinh thN kY4 >ài r; và < kh:i 8-9ng riêng 8à ,g|m& 'i]^ ;n;t;se khFng 1h; t31 8à mMt h!t Kh đi6n >/ h-"ng < !u tr0
tetr;g4n;8 a;, ’ &^ ’d < h_ng s: đi6n mFi tAnh 8à q&
#h; br44kite < !u tr0 1h@ t31, br44kite < !u tr0 4rth4rh4mbi v"i đ:i
x@ng ^|m ^|m ^|m và nh<m khFng gi;n #b;& Eg4ài r;, đM >ài Z; 8iên kết 'i] Qng
khK nhi5u s4 v"i K 1h; ;n;t;se và ruti8e, Qng nh- g< 8iên kết ]'i] €qq& P< r!t
ít tài 8i6u nghiên @u v5 1h; br44kite&
+,nh 10 0u tr1c tinh th4 c&a TiO2' broo%ite,
6
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 14/53
'!t B K >3ng tinh thN đ< Z; 'i]^ t+n t3i tr4ng tự nhiên nh- 8à K kh4Kng,
nh-ng h= < ruti8e và ;n;t;se ` >3ng đơn tinh thN 8à đ-9 tng h91 ` nhi6t đM th!1&
*;i 1h; này Qng đ-9 sO >\ng tr4ng thự tế 8àm h!t màu, h!t đMn, h!t x0 tK&&&
PK mHu 'i]^ 1hân tíh tr4ng K nghiên @u hi6n n;y bắt đầu đ-9 tng h91 tX 1h;
;n;t;se và trBi Ju; mMt h-ơng trGnh nung đN đ3t đ-9 1h; ruti8e b5n €qc& “r44kite
Qng Ju;n trọng v5 mDt @ng >\ng, tuy v7y b/ h3n hế b`i vi6 đi5u hế br44kite s3h
khFng 8Hn ruti8e h4D ;n;t;se 8à đi5u kh< kh)n& TDt khK, >4 v7t 8i6u màng mỏng và
h3t n;n4 'i]^ h= t+n t3i ` >3ng th hGnh ;n;t;se và ruti8e, hơn n?; khB n)ng x0 tK
Ju;ng Z; br44kite hầu nh- khFng < nên t; sƒ khFng xYt đến 1h; br44kite tr4ng 1hần
Wn 83i Z; đ5 tài&
112 Tnh ch(t quang c*a $%t &i#u TiO2
P!u tr0 đi6n tO Z; h!t bKn >Hn đ<ng v;i trW Ju;n trọng tr4ng JuK trGnh Ju;ng
x0 tK& VhFng gi:ng nh- mMt h!t >Hn đi6n, mMt h!t bKn >Hn b;4 g+m vng >Hn aP“
P4n>uti4n “;n>d và vng h<; tr/ a(“ (;8ene “;n>d& E)ng 8-9ng khK bi6t gi?;
h;i m@ này đ-9 gọi 8à n)ng 8-9ng vng !m aCgd& Eếu khFng < sự kíh thíh, đi6n
tO 8!1 đầy vng h<; tr/, Wn vng >Hn tr:ng& Vhi h!t bKn >Hn đ-9 kíh thíh b`i K
1h4t4n v"i n)ng 8-9ng b_ng h4D ;4 hơn m@ n)ng 8-9ng vng !m, K đi6n tO
nh7n đ-9 n)ng 8-9ng tX K 1h4t4n sƒ huyNn >ời tX vng (“ 8ên P“& R:i v"i h!t
bKn >Hn 'i]^, JuK trGnh đ-9 thN hi6n nh- s;u~
Eh- h0ng t; đ. biết n)ng 8-9ng vng !m Z; ;n;t;se và ruti8e t-ơng @ng 8à
,^ và ,c e( t3i nhi6t đM 1hWng& Ph0ng < thN đ-9 xK đ/nh tX nhi5u kết JuB
thự nghi6m khK nh;u nh- đ4 đD tr-ng o|( h;y P|( Z; tiế1 giK1 1|n h;y tiế1giK1 %h4ttky bKn >Hn kim 843i, h4D đ4 1h h!1 th\, đ4 đM >Hn 1h\ thuM nhi6t đM
h;y Ju;ng >Hn Z; v7t 8i6u& *Gnh q& trGnh bày 1h Ju;ng >Hn Z; màng ;n;t;se và
ruti8e& Vết JuB trên hGnh q& h4 th!y n)ng 8-9ng ng-2ng Ju;ng >Hn Z; màng
;n;t;se ;4 hơn màng ruti8e& Rây 8à Ju;ng >Hn >4 kíh thíh vng vng và kết
JuB 8à n)ng 8-9ng ng-2ng gần nh- 1h h91 v"i n)ng 8-9ng vng !m Ju;ng
họ& P!u tr0 vng n)ng 8-9ng Z; 1h; ruti8e đ-9 nghiên @u rMng r.i& 'i]^
ruti8e < vng !m th”ng a,c e(d& PWn bờ h!1 th\ Z; tinh thN ;n;t;se đ-9
xK đ/nh 8à ,^ e( t3i nhi6t đM 1hWng và m` rMng t"i , e( t3i V&
7
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 15/53
+,nh 1 5h6 7uang d8n c&a m9ng anatase v9 rutile,
-.ng 12 !c .c t/nh c0u tr1c c&a c!c d"ng th# h$nh c&a TiO2,
C3%k6 ul6,3\% 7mng %ng
_g]a
Đ@ @ng eong l]
_Va
An6 ^, , ,^Ru6%7 ^,c ,^z ,c
'ính h!t Ju;ng họ Z; tXng 1h; 8à t-ơng đ+ng, tuy nhiên < mMt s: khK bi6t
nhỏ, ví >\ nh- bờ h!1 th\ Z; h0ng khK nh;u& “_ng 1h-ơng 1hK1 thự nghi6m,
ng-ời t; đ. Ju;n sKt th!y r_ng tr4ng màng mỏng !u tr0 ;n;t;se < đM 8inh đMng ;4
hơn s4 v"i !u tr0 ruti8e €& TD > B b; >3ng đ5u thN hi6n tính h!t Ju;ng nh-ng
;n;t;se 8à !u tr0 đ-9 -u tiên hơn tr4ng JuK trGnh Ju;ng x0 tK&
=F&F V56 7%Su T%"& nnY]6
121 Tnh ch(t quang xúc tác
E)m qc, khKi ni6m Ju;ng x0 tK r; đời& 'r4ng h4K họ n< >ng đN n<i đến
nh?ng 1hBn @ng xBy r; >-"i tK >\ng đ+ng thời Z; Knh sKng và h!t x0 tK, h;y n<i
Kh khK, Knh sKng hính 8à nhân t: kíh h43t h!t x0 tK, gi01 h4 1hBn @ng xBy r;&
Vhi < sự kíh thíh Z; Knh sKng, tr4ng h!t bKn >Hn sƒ t34 r; D1 đi6n tO 8S tr:ng và
< sự tr;4 đi e8etr4n gi?; K h!t b/ h!1 1h\, thFng Ju; ầu n:i 8à h!t bKn >Hn&
8
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 16/53
“_ng Kh nh- v7y, h!t x0 tK Ju;ng 8àm t)ng t: đM 1hBn @ng Ju;ng h<;, \ thN 8à
t34 r; mMt 843t Juy trGnh gi:ng nh- 1hBn @ng 4xy h4K khO và K 1hân tO ` >3ng
huyNn tiế1 < khB n)ng 4xy h4K khO m3nh khi đ-9 hiếu b_ng Knh sKng thíh h91&
:,2,:,:, ; ch< ph=n >ng x1c t!c 7uang d? th4
[uK trGnh x0 tK Ju;ng >/ thN < thN đ-9 tiến hành ` 1h; khí h4D 1h; 8ỏng&
PQng gi:ng nh- K JuK trGnh x0 tK >/ thN khK, JuK trGnh x0 tK Ju;ng >/ thN đ-9
hi; thành K gi;i đ43n nh- s;u~
_=aF Vhuếh tKn K h!t th;m gi; 1hBn @ng tX 1h; 8ỏng h4D khí đến b5 mDt h!t
x0 tK&
_&aF *!1 1h\ K h!t th;m gi; 1hBn @ng 8ên b5 mDt h!t x0 tK&
_aF *!1 th\ 1h4t4n Knh sKng, sinh r; K D1 đi6n tO 8S tr:ng tr4ng h!t x0
tK, và khuyếh tKn đến b5 mDt v7t 8i6u&
_paF #hBn @ng Ju;ng h<;, đ-9 hi; 8àm h;i gi;i đ43n nhỏ~
#hBn @ng Ju;ng h<; sơ !1, tr4ng đ< K 1hân tO h!t x0 tK b/ kíh
thíh aK 1hân tO h!t bKn >Hnd th;m gi; trự tiế1 và4 1hBn @ng v"i K
h!t h!1 1h\ 8ên b5 mDt&
#hBn @ng Ju;ng h<; th@ !1, Wn gọi 8à gi;i đ43n 1hBn @ng t:i– h;y 1hBn@ng nhi6t, đ< 8à gi;i đ43n 1hBn @ng Z; K sBn 1h‚m thuM gi;i đ43n sơ
!1&
_qaF EhB h!1 1h\ K sBn 1h‚m&
_raF Vhuếh tKn K sBn 1h‚m và4 1h; khí h4D 8ỏng&
'3i gi;i đ43n _a, 1hBn @ng x0 tK Ju;ng h4K khK 1hBn @ng x0 tK truy5n
th:ng ` Kh h43t h4K x0 tK& 'r4ng 1hBn @ng x0 tK truy5n th:ng, x0 tK đ-9 h43t
h4K b`i nhi6t Wn tr4ng 1hBn @ng x0 tK Ju;ng h4K, x0 tK đ-9 h43t h4K b`i sự h!1th\ Knh sKng&
Ri5u ki6n đN mMt h!t < khB n)ng x0 tK Ju;ng~• P< h43t tính Ju;ng h4K&• P< n)ng 8-9ng vng !m thíh h91 đN h!1 th\ Knh sKng tO ng43i h4D
Knh sKng nhGn th!y&
[uK trGnh b;n đầu Z; x0 tK Ju;ng >/ thN v"i h!t h?u ơ và vF ơ b_ng h!t
bKn >Hn a%emi4n>ut4r P;t;8ystd 8à sự sinh r; Z; D1 đi6n tO 8S tr:ng tr4ng h!t
9
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 17/53
bKn >Hn& P< r!t nhi5u h!t bKn >Hn khK nh;u đ-9 sO >\ng 8àm h!t x0 tK Ju;ng
nh-~ 'i]^, —n], —n%, P>%• Vhi đ-9 hiếu sKng < n)ng 8-9ng 1h4t4n ah˜d thíh
h91, b_ng h4D 8"n hơn n)ng 8-9ng vng !m Cg ah˜ ™ Cgd, thG sƒ t34 r; K D1
e8etr4n aed và 8S tr:ng ahd& PK đi6n tO đ-9 huyNn 8ên vng >Hn aJu;ng e8etr4nd,
Wn K 8S tr:ng ` 83i vng h4K tr/&
PK 1hân tO Z; h!t th;m gi; 1hBn @ng h!1 1h\ 8ên b5 mDt h!t x0 tK g+m h;i
843i~
• PK 1hân tO < khB n)ng nh7n e a‡e1t4rd&
• PK 1hân tO < khB n)ng h4 e aj4n4rd&
[uK trGnh huyNn đi6n tO < hi6u JuB hơn nếu K 1hân tO h!t h?u ơ và vF ơ
b/ h!1 1h\ tr-" trên b5 mDt h!t x0 tK bKn >Hn a%Pd& Vhi đ<, K Ju;ng e8etr4n ` vng >Hn sƒ huyNn đến nơi < K 1hân tO < khB n)ng nh7n e8etr4n a‡d, và JuK trGnh
khO xBy r;, Wn K 8S tr:ng sƒ huyNn đến nơi < K 1hân tO < khB n)ng h4
e8etr4n ajd đN thự hi6n 1hBn @ng 4xy h4K~
h˜ a%Pd e h
‡a;>sd e ‡a;>sd
ja;>sd h ja;>sd
PK i4n ‡a;>sd và ja;>sd s;u khi đ-9 hGnh thành sƒ 1hBn @ng v"i nh;u Ju;
mMt huSi K 1hBn @ng trung gi;n và s;u đ< h4 r; K sBn 1h‚m u:i ng& Eh- v7y
JuK trGnh h!1 th\ 1h4t4n Z; h!t x0 tK 8à gi;i đ43n kh`i đầu h4 t4àn bM huSi 1hBn
@ng& 'r4ng JuK trGnh Ju;ng x0 tK, hi6u su!t 8-9ng tO < thN b/ giBm b`i sự tKi kết
h91 Z; K e8etr4n và 8S tr:ng&
e h a%Pd C
'r4ng đ<~
a%Pd~ tâm bKn >Hn trung hW;&
C~ 8à n)ng 8-9ng đ-9 giBi 1h<ng r; >-"i >3ng b@ x3 đi6n tX ah˜š › h˜d
h4D nhi6t&
*i6u JuB Z; JuK trGnh Ju;ng x0 tK < thN đ-9 xK đ/nh b_ng hi6u su!t 8-9ng
tO, đ< 8à t= 86 gi?; s: sự ki6n xBy r; trên s: 1h4t4n h!1 th\& (i6 đ4 Knh sKng b/ h!1 th\
thự tế r!t kh< kh)n ` tr4ng h6 >/ thN vG sự tKn x3 Z; Knh sKng b`i b5 mDt h!t bKn
10
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 18/53
>Hn& RN xK đ/nh hi6u su!t 8-9ng tO h0ng t; 1hBi tuân the4 đ/nh 8u7t Ju;ng h<; Z;
Cinstein~
R/nh 8u7t Cinstein~ @At photon hay lCng tD !nh s!ng b? h0p thE th$ chF cG %h=
nHng %/ch th/ch mAt phIn tD ( mAt i3n tD*–&
+,nh 13 ; ch< x1c t!c 7uang c&a ch0t b!n d8n,
*i6u su!t 8-9ng tO Z; h6 8I t-`ng đ-9 xK đ/nh b`i h6 th@ đơn giBn~
Vhi mMt 1hân tO h!t bKn >Hn b/ kíh thíh và 1hân 8y r; mMt e8etr4n kœm the4
mMt 8S tr:ng, mMt s: e8etr4n sinh r; này < thN huyNn t"i h!t 1hBn @ng, t; gọi 8à E,
s: Wn 83i kết h91 v"i 8S tr:ng đN t34 83i mMt 1hân tO trung hW; E k & 'he4 đ/nh 8u7t
Cinstein t; < tng s: đi6n tO s: 1h4t4n h!1 th\ , v7y~
$iB sO mSi 1hân tO a‡d th;m gi; 1hBn @ng nh7n mMt e8etr4n, khi đ< s: 1hân tO
1hBn @ng sƒ b_ng s: e8etr4n đ-9 v7n huyNn&
(7y hi6u su!t 8-9ng tO < giK tr/~
11
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 19/53
Eếu t; xYt JuK trGnh xBy r; tr4ng mMt đơn v/ thời gi;n thG < thN th;y s: e8etr4n
b_ng t: đM v7n huyNn e8etr4n k và t: đM tKi kết h91 e8etr4n k k ~
Œ đây t; thX; nh7n sự khuyếh tKn Z; sBn 1h‚m và4 >ung >/h xBy r; r!t nh;nh,
khFng < 1hBn @ng ng-9 tKh đi6n tO Z; ‡ , và tKh 8S tr:ng Z; j& RN t)ng hi6u
su!t 8-9ng tO a d thG h0ng t; 1hBi nghA Kh t)ng t: đM huyNn đi6n tO k và giBm t:
đM tKi kết h91 e8etr4n v"i 8S tr:ng k k & “Hy đi6n tíh– đ-9 sO >\ng đN th0 đ‚y sự
bHy đi6n tO và 8S tr:ng ` b5 mDt, t)ng thời gi;n t+n t3i Z; e8etr4n và 8S tr:ng trên b5
mDt h!t x0 tK bKn >Hn& Ri5u này >Hn t"i vi6 8àm t)ng hi6u JuB Z; JuK trGnh
huyNn đi6n tíh t"i h!t 1hBn @ng&
“Hy đi6n tíh < thN đ-9 t34 r; b_ng Kh biến tính b5 mDt h!t bKn >Hn nh- đ-;
thêm kim 843i, h!t biến tính và4 h4D sự t h91 v"i K h!t bKn >Hn khK >Hn t"i sự
giBm t: đM tKi kết h91 đi6n tO 8S tr:ng và t)ng hi6u su!t 8-9ng tO Z; JuK trGnh
Ju;ng x0 tK&
:,2,:,2, ; ch< x1c t!c 7uang c&a TiO2 anatase
'i]^ ` >3ng ;n;t;se < h43t tính Ju;ng h<; ;4 hơn h”n K >3ng tinh thN khK,
đi5u này đ-9 giBi thíh >ự; và4 !u tr0 vng n)ng 8-9ng& Eh- h0ng t; đ. biết,
tr4ng !u tr0 Z; h!t rắn < b; vng n)ng 8-9ng 8à vng h<; tr/, vng !m và vng
>Hn& '!t B K hi6n t-9ng h<; họ xBy r; đ5u 8à >4 sự >/h huyNn e8etr4n gi?; K
vng v"i nh;u& ‡n;t;se < n)ng 8-9ng vng !m 8à ,^ e(, t-ơng đ-ơng v"i mMt
8-9ng tO Knh sKng < b-" s<ng nm& uti8e < n)ng 8-9ng vng !m 8à ,c e(
t-ơng đ-ơng v"i mMt 8-9ng tO Knh sKng < b-" s<ng „ q nm& $iBn đ+ n)ng 8-9ng
Z; ;n;t;se và ruti8e đ-9 h= r; nh- hGnh q&&
(ng h<; tr/ Z; ;n;t;se và ruti8e nh- h= r; trên giBn đ+ 8à x!1 x= b_ng nh;u và
Qng r!t >-ơng, đi5u này < nghA; 8à h0ng < khB n)ng 4xy h<; m3nh& Vhi đ-9 kíh
thíh b`i Knh sKng < b-" s<ng thíh h91, K e8etr4n h<; tr/ sƒ tKh r; khỏi 8iên kết,
huyNn 8ên vng >Hn, t34 r; mMt 8S tr:ng m;ng đi6n tíh >-ơng ` vng h<; tr/& PK
e8etr4n khK < thN nhBy và4 v/ trí này đN b.4 hW; đi6n tíh t3i đ<, đ+ng thời t34 r;
mMt 8S tr:ng m"i ng;y t3i v/ trí mà n< vX; đi khỏi& Eh- v7y 8S tr:ng m;ng đi6n tíh
>-ơng < thN tự >4 huyNn đMng tr4ng vng h<; tr/&
12
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 20/53
+,nh 14 Ji=n nHng lCng c&a pha anatase v9 pha rutile,
PK 8S tr:ng này m;ng tính 4xy h<; m3nh và < khB n)ng 4xy h<; n-" thành
nh<m ]* a]*d, Qng nh- mMt s: g: h?u ơ khK~
'i]^ahd *^] ]* * 'i]^
(ng >Hn Z; ruti8e < giK tr/ gần v"i thế khO n-" thành khí hi>r4 athế hu‚n 8à
c,cc(d, tr4ng khi v"i ;n;t;se thG ;4 hơn m@ này mMt h0t, đ+ng nghA; v"i mMt thếkhO m3nh hơn& 'he4 nh- giBn đ+ thG ;n;t;se < khB n)ng khO ] ^ thành ]^
, nh- v7y 8à
` ;n;t;se K e8etr4n huyNn 8ên vng >Hn < khB n)ng khO ]^ thành ]^&
'i]^aed ]^ 'i]^ ]^
Ri5u này đ-9 minh họ; b_ng hGnh q&&
+,nh 15 LM h$nh th9nh gc ]* v9 O2-,
13
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 21/53
Phính K g: ]* và ]^ v"i v;i trW Ju;n trọng ng;ng nh;u < khB n)ng 1hân
hZy K h91 h!t h?u ơ thành *^] và P]^&
Vhi 'i]^ ` >3ng tinh thN ;n;t;se đ-9 h43t h<; b`i Knh sKng < b-" s<ng a„d
thíh h91 thG xBy r; sự huyNn đi6n tO tX vng h<; tr/ 8ên vng >Hn, t3i vng h<; tr/ <sự hGnh thành K g: ]* và &
'i]^ahd *^] ]* * 'i]^
'i]^ahd ]* ]* 'i]^
'i]^ahd 'i]^
'3i vng >Hn < sự hGnh thành Z; K g: ] ^ và *]^~
'i]^aed ]^ ]^ 'i]^
]^ * *]^
^*]^ *^]^ ]^
'i]^aed *^]^ *] *] 'i]^
*^]^ ]^ ]^ *] *]
(7y sự khK bi6t 8à >4 >3ng ;n;t;se < khB n)ng khO ] ^ thành ]^ Wn ruti8e thG
khFng& j4 đ< ;n;t;se < khB n)ng nh7n đ+ng thời 4xy và hơi n-" tX khFng khí ng
Knh sKng tO ng43i đN 1hân hZy K h91 h!t h?u ơ& 'inh thN ;n;t;se >-"i tK >\ng
Z; Knh sKng tO ng43i đ<ng v;i trW nh- mMt ầu n:i trung huyNn đi6n tO tX * ^] s;ng
]^, huyNn h;i h!t này thành >3ng ]^ và ]* 8à h;i >3ng < h43t tính 4xy h<; ;4
< khB n)ng 1hân hZy h!t h?u ơ thành *^] và P]^&
Eh- v7y khi 'i]^ ;n;t;se đ-9 hiếu sKng v"i 1h4t4n < n)ng 8-9ng 8"n hơn
n)ng 8-9ng Cg sƒ t34 r; D1 đi6n tO 8S tr:ng 8inh đMng& 'r4ng khí JuyNn < r!t nhi5u
hơi n-", 4xy mà thế 4xy h4K khO Z; n-" và 4xy th4B m.n yêu ầu trên nên n-"
đ<ng v;i trW 8à h!t h4 và khí 4xy đ<ng v;i trW 8à h!t nh7n đN t34 r; K h!t m"i <tính 4xy h4K khO m3nh a]* và ]^
d < thN 4xy h4K hầu hết K h!t h?u ơ b/ h0t
bKm 8ên b5 mDt v7t 8i6u&
122 6%t &i#u TiO2 7ha tạ7
:,2,2,:, Vt li3u TiO2 pha t"p c!c nguyn t %im lo"i
%ự 1h; t31 K i4n kim 843i huyNn tiế1 h4D K i4n kim 843i nh<m đ!t hiếm
đ-9 khB4 sKt mMt Kh rMng r.i đN t)ng -ờng sự h43t đMng x0 tK Ju;ng Z; 'i] ^
14
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 22/53
€^c& Ph4i và Mng sự €^c đ. tiến hành mMt uM khB4 sKt < h6 th:ng đN nghiên
@u 1hBn @ng Ju;ng h<; a1h4t4re;tivityd Z; ^q 843i i4n kim 843i đ-9 1h; t31 và4
'i]^& Vết JuB h4 th!y, sự 1h; t31 i4n kim 843i < thN m` rMng đK1 @ng Ju;ng Z;
'i]^ và4 vng 1h khB kiến& Vhi i4n kim 843i đ-9 kết h91 và4 m3ng tinh thN Z;
'i]^, K m@ n)ng 8-9ng t31 h!t đ-9 hGnh thành tr4ng vng !m Z; 'i]^ the4 JuK
trGnh nh- s;u ~
Tn hž Ÿ Tanqd eh
Tn hž Ÿ Tanqd h žb
'r4ng đ< T và Tnq 8ần 8-9t 8à kim 843i và i4n kim 843i 1h; t31&
*ơn n?;, sự tr;4 đi đi6n tO a8S tr:ngd gi?; i4n kim 843i và 'i]^ < thN 8àm th;y
đi sự tKi h91 đi6n tO 8S tr:ng ~
“Hy đi6n tO ~ Tnq eb Ÿ Tanqd
“Hy 8S tr:ng ~ Tnq hvb Ÿ Tanqd
T@ n)ng 8-9ng Z; Tn|Tanqd 1hBi kYm âm hơn 3nh vng >Hn Z; 'i]^, Wn
m@ n)ng 8-9ng Z; Tn|Tanqd 1hBi >-ơng hơn 3nh vng h<; tr/ Z; 'i]^& R:i v"i
nh?ng 1hBn @ng Ju;ng x0 tK, JuK trGnh >/h huyNn h3t tBi Qng Ju;n trọng nh- JuK
trGnh bHy h3t tBi& Ph= khi đi6n tO và 8S tr:ng b/ bHy đ-9 >/h huyNn t"i b5 mDt, 1hBn
@ng x0 tK Ju;ng m"i < thN xBy r;& j4 đ<, i4n kim 843i 1hBi đ-9 1h; t31 gần b5mDt Z; h3t 'i]^ đN sự >/h huyNn Z; đi6n tíh đ-9 t:t hơn& 'r4ng tr-ờng h91 1h;
t31 sâu, >4 sự >/h huyNn đi6n tO, 8S tr:ng t"i b5 mDt kh< kh)n hơn, i4n kim 843i
th-ờng - xO– nh- nh?ng tâm tKi h91& *ơn n?;, t+n t3i n+ng đM t:i -u Z; i4n kim
843i 1h; t31, trên m@ đ<, JuK trGnh Ju;ng x0 tK b/ giBm >4 sự tKi h91 đ-9 t)ng
-ờng& 'r4ng s: ^q i4n kim 843i đ-9 nghiên @u, i4n e T4 u ]s e ( và h <
thN 8àm t)ng JuK trGnh Ju;ng x0 tK, tr4ng khi đ<, 1h; t31 i4n P4, ‡8, 83i t34 r; nh?ng
hi6u @ng khFng t:t €^c& %ự khK nh;u v5 hi6u @ng Z; K i4n kim 843i 8à >4 khB n)ng
bHy và >/h huyNn đi6n tO 8S tr:ng Z; h0ng& (í >\, Pu và e, khFng h= < thN bHyđi6n tO mà B 8S tr:ng và K m@ n)ng 8-9ng t31 h!t xu!t hi6n gần 3nh vng >Hn
Qng nh- 3nh vng h<; tr/ Z; 'i]^& j4 v7y, 1h; t31 Pu và e < thN t)ng -ờng JuK
trGnh Ju;ng x0 tK €^c,^q,^,c&
%ự 1hân tíh đ/nh tính tr4ng vi6 khB4 sKt Bnh h-`ng Z; K i4n kim 843i huyNn
tiế1 aPr, Tn, e, P4 , Ei và Pud 8ên JuK trGnh Ju;ng x0 tK Z; 'i] ^ đ-9 tiến hành
b`i Šu và K Mng sự €^z& %ự 4xy h<; Ju;ng x0 tK Z; ;xit ;eti đ-9 sO >\ng đN
đKnh giK tK >\ng Z; K i4n kim 843i 1h; t31 khK nh;u& j4 i4n Pu, Tn và e < thN
15
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 23/53
bHy B đi6n tO và 8S tr:ng, vi6 1h; t31 K i4n kim 843i này < thN h4 kết JuB t:t hơn
sự 1h; t31 K i4n Pr, P4, Ei, K i4n kim 843i h= bHy mMt 843i h3t tBi& u và K Mng
sự €^ đ. s4 sKnh JuK trGnh x0 tK Ju;ng Z; K kim 843i khK nh;u tr4ng nh<m đ!t
hiếm a L;, Pe, Cr, #r, $>, E> và %md khi đ-9 1h; t31 và4 'i] ^& %ự t)ng -ờng JuK
trGnh x0 tK Ju;ng và sự >/h Z; đK1 @ng Ju;ng v5 1hí; Knh sKng đỏ đ-9 Ju;n sKt
t3i n+ng đM 1h; t31 nh!t đ/nh& Vết JuB h4 th!y 1h; t31 i4n $> 8à hi6u JuB nh!t tr4ng
vi6 t)ng -ờng JuK trGnh x0 tK Ju;ng >4 < khB n)ng >/h huyNn h3t tBi t:i b5 mDt
'i]^ t:t nh!t&
*;mee> và Mng sự €^, đ. nghiên @u JuK trGnh 1hân tKh n-" đN sBn xu!t
hy>r4, sO >\ng Š] 1h; t31 i4n kim 843i huyNn tiế1 ae, P4, Ei, Pu và —nd >-"i tK
>\ng Z; b@ x3 8;ser tr4ng vng ự tím& P3nh vng >Hn Z; Š] kYm âm hơn
^ ^| P P O Q & j4 đ<, Š] khi b/ hiếu x3 tr4ng n-", khFng thN khO i4n * thành 1hân tO*^& 'uy nhiên, khi < i4n kim 843i huyNn tiế1 trên b5 mDt Š], 4xit Z; kim 843i
huyNn tiế1 đ-9 hGnh thành, h43t đMng nh- nh?ng h!t bKn >Hn Ju;ng x0 tK& j4
e], P4], Ei] và Pu^] < m@ n)ng 8-9ng vng >Hn âm hơn^ ^| P P O
Q , K đi6n tO
vng >Hn < thN khO i4n *& VhFng gi:ng nh- 4xit kim 843i trên, —n] khFng thN bHy
đi6n tO tX vng >Hn Z; Š] & j4 v7y ,1h; t31 —n khFng h4 hi6u JuB nh- K i4n
kim 843i khK& #h; t31 i4n Ei v"i n+ng đM qf và qcf h4 t: đM t34 thành hy>r4 ;4
nh!t, < thN mMt 1hần >4 8àm t)ng x0 tK tKh hy>r4 tX n-" khi sO >\ng mKy khu!ytX €& Vết JuB bK4 K4 h4 th!y khi Ei] h4D Pu^] đ-9 sO >\ng v"i mKy khu!y tX,
hy>r4 < thN đ-9 t34 thành b`i sự 1hân tKh n-" ng;y B tr4ng b<ng t:i, đ-9 biết
t"i nh- 8à 1hBn @ng ơ x0 tK ameh;n4;t;8yti re;ti4nd €& VhFng nh- K
nghiên @u trên, Šu và Mng sự €^z bK4 K4 kết JuB~ 1h; t31 i4n Pu và e và4 'i] ^
đem 83i hi6u JuB ;4 hơn 8à 1h; t31 i4n Ei& %ự s;i khK này < thN đ-9 giBi thíh b`i
K >3ng 1h; t31 khK bi6t& 'r4ng nghiên @u Z; Šu và Mng sự, i4n kim 843i đ-9
1h; t31 và4 m3ng h3t 'i]^, Wn tr4ng nghiên @ Z; *;mee> và Mng sự, i4n kim 843i
đ-9 8ắng đọng trên b5 mDt Z; Š] >-"i >3ng 4xit kim 83i, hGnh thành nên h!t bKn>Hn 4m14site&
#eng và Mng sự €q đ. khB4 sKt hi6u JuB uB 'i]^ 1h; t31 i4n “e tr4ng vi6 sBn
xu!t hy>r4 Ju;ng x0 tK < mDt h!t h4 đi6n tO aeth;n48d& Vết JuB h4 th!y, sự 1h;
t31 i4n kim 843i gần b5 mDt < 89i h4 vi6 >/h huyNn h3t tBi Wn 1h; t31 m3nh asâud
>Hn đến nh?ng biNu hi6n kYm& Vết JuB h4àn t4àn gi:ng v"i kết JuB Z; Ph4i €^c&
*ơn n?;, n+ng đM 1h; t31 và 1h-ơng 1hK1 hu‚n b/ Qng < thN Bnh h-`ng t"i vi6
16
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 24/53
sBn xu!t hy>r4 Ju;ng x0 tK& Œ đi5u ki6n t:i -u h<; i4n “e 1h; t31 tr4ng 'i] ^,
hy>r4 sBn xu!t đ-9 ;4 hơn f s4 v"i 'i]^ khFng 1h; t31&
Eh?ng nghiên @u huyên sâu v5 1h-ơng 1hK1 t)ng -ờng Ju;ng x0 tK Z;
'i]^ b_ng Kh 1h; t31 i4n kim 843i đ-9 tiến hành đD bi6t 8à tr4ng @ng >\ng 8àms3h n-", khFng khí& Eh?ng h91 h!t h?u ơ h!1 1h\ b`i K h!t x0 tK Ju;ng,
đ-9 1hân hZy hZ yếu b`i 8S tr:ng tr4ng vng h<; tr/ và K g: sinh r; ain>ue>d b`i
8S tr:ng& j4 đ<, ơ hế tr4ng vi6 huyNn >/h nh?ng 8S tr:ng t34 b`i b@ x3 Ju;ng t"i
b5 mDt 8à đi5u vF ng Ju;n trọng& TDt khK, đ:i v"i JuK trGnh Ju;ng x0 tK sBn xu!t
*^, sự >/h huyNn Z; đi6n tO tr4ng vng >Hn t"i b5 mDt và K m@ n)ng 8-9ng 8à
K yếu t: Ju;n trọng nh!t Bnh h-`ng t"i t: đM hGnh thành * ^& j4 đ<, K kết JuB >ự;
trên K @ng >\ng 8àm s3h khFng khí, n-" khFng thN trự tiế1 @ng >\ng h4 vi6 sBn
su!t *^& “ên 3nh đ<, hi6u @ng Ju;ng x0 tK 'i] ^ 1h\ thuM nhi5u và4 1h-ơng 1hK1 1h; t31, n+ng đM 1h; t31 và nguyên t: 1h; t31& j4 đ<, mMt sự khB4 sKt, s4 sKnh < h6
th:ng, 8à ần thiết đN đD tr-ng h4 JuK trGnh Ju;ng x0 tK sBn xu!t * ^ t)ng -ờng
b`i 1h; t31 i4n kim 843i&
:,2,2,2, Vt li3u TiO2 pha t"p c!c nguyn t phi %im
(i6 1h; t31 K ;ni4n aE, , P, %, vv•d tr4ng tinh thN 'i]^ < thN 8àm huyNn
>/h đK1 @ng Ju;ng Z; 'i]^ đến vng khB kiến €q,qq& VhFng gi:ng nh- K i4n
kim 843i a;ti4nd, K ;ni4n ít < khB n)ng hGnh thành K trung tâm tKi h91 và >4 đ<
nâng ;4 hi6u JuB h43t tính Ju;ng h4K hơn& ‡s;hi et ;8& €q đ. xK đ/nh hàm 8-9ng
1h; t31 th;y thế Z; P, E, , # và % h4 ]xy tr4ng ;n;t;se 'i]^& *ọ h4 r_ng vi6 trMn
tr3ng thKi 1 Z; E v"i ^1 Z; ] < thN đ‚y bờ vng h<; tr/ 8ên trên 8àm h†1 vng !m
Z; 'i]^& Tàng mỏng 'i]^ 1h; t31 E^ b_ng 1h-ơng 1hK1 1h0n x3 tr4ng mFi tr-ờng
h@; hSn h91 khí E^ acfd tr4ng ‡r, tiế1 the4 đ-9 Z ` c4P tr4ng E^ kh4Bng giờ&
“Mt 'i]^ 1h; t31 E^ Qng đ-9 hế t34 b_ng Kh xO 8I 'i]^ tr4ng E* azf d tr4ng
‡r ` zcc
4
P tr4ng giờ& PK mHu 'i]^ 1h; t31 E đ. đ-9 bK4 K4 8à < hi6u JuB h4 1hân hZy methy8ene x;nh >-"i Knh sKng nhGn th!y a„ cc nmd&
=FF ng sng t e56 7%Su T%"&
1/1 Tách + 2 t8 + 2O
RN ung !1 đZ nhu ầu v5 n)ng 8-9ng h4 4n ng-ời đến n)m ^cc tX n)ng
8-9ng mDt trời, nh?ng >ự tính sơ bM x!1 x= kh4Bng qcccc RdM !n nHng lCng m.t
trSi a>i6n tíh km x km h4 mSi >ự Knd đN huyNn h<; n)ng 8-9ng mDt trời v"i
hi6u su!t 8à qcf& '!t B >i6n tíh ần thiết 8à và4 kh4Bng ^cccc km^
, hiếm qf >i6n
17
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 25/53
tíh h4;ng m3 Z; trKi đ!t, c t!n khí * ^ < thN đ-9 t34 r; tr4ng mMt ngày& Vhí *^
< thN đ-9 sO >\ng h4 1in nhiên 8i6u, K nguyên 8i6u đầu h4 JuK trGnh tng h91
K h!t h<; họ nh- P*]* h;y nhi5u h!t khK& [u;ng x0 tK 1hân 8y n-" t34 * ^
và ]^ thu h0t đ-9 r!t nhi5u sự Ju;n tâm Z; K nhà kh4; họ& “`i vG đây 8à JuK trGnh
tKi sinh n)ng 8-9ng và h3n hế đ-9 vi6 1hBi sO >\ng nhiên 8i6u h<; th3h >Hn đến sự
1hKt thBi khí P]^&
+,nh 19 ; ch< 7uang x1c t!c TiO2 t!ch nUc cho s=n xu0t hydro €q^,
(i6 sBn xu!t *^ b_ng h!t Ju;ng x0 tK 'i]^ đ-9 thN hi6n tr4ng hGnh q&& (5
mDt 8I thuyết, t!t B K 843i h!t bKn >Hn đK1 @ng K yêu ầu n<i trên đ5u < thN
đ-9 sO >\ng nh- mMt h!t x0 tK Ju;ng đN sBn xu!t * ^& 'uy nhiên, hầu hết K h!t
bKn >Hn, h”ng h3n nh- P>% và %iP t34 r; )n mWn Ju;ng đi6n h<;, khFng 1h h91 đN
tKh *^]& ("i h43t tính x0 tK m3nh, n đ/nh h<; họ ;4 và thời gi;n t+n t3i 8âu Z;
D1 đi6n tO 8S tr:ng, 'i]^ đ. 8à mMt h!t x0 tK Ju;ng đ-9 sO >\ng rMng r.i& *i6nn;y, hi6u su!t huyNn đi tX n)ng 8-9ng mDt trời đN sBn xu!t * ^ b_ng Ju;ng x0 tK
'i]^ tKh n-" vHn Wn th!1, hZ yếu 8à vG K 8I >4 s;u~
• 'Ki t h91 Z; D1 đi6n tO 8S tr:ng kíh thíh Ju;ng~ đi6n tO tr4ng vng
P“ < thN tKi t h91 v"i 8S tr:ng tr4ng vng (“ và giBi 1h<ng n)ng 8-9ng
>-"i >3ng sinh r; nhi6t h;y 1h4t4n&
18
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 26/53
• By r; 1hBn @ng ng-9~ #hân tKh n-" thành hy>r4 và 4xy 8à mMt JuK
trGnh < n)ng 8-9ng ngày àng t)ng, >4 đ< 1hBn @ng ng-9 atKi t h91 Z;
hy>r4 và 4xy và4 tr4ng n-"d >U >àng xBy r;&
• VhFng < khB n)ng sO >\ng Knh sKng nhGn th!y~ RM rMng vng !m Z;'i]^ 8à kh4Bng ,^ e( và h= < Knh sKng ( < thN đ-9 sO >\ng h4
sBn xu!t hy>r4&
R‘ giBi Juyết nh?ng v!n đ5 trên và m\ tiêu sO >\ng Knh sKng mDt trời tr4ng K
1hBn @ng Ju;ng x0 tK sBn xu!t hy>r4 < tính khB thi, nh?ng 8S 8ự 8iên t\ đ-9 thự
hi6n đN th;y đi tr4ng K !u tr0 Z; v7t 8i6u 'i]^ nh_m m` rMng khB n)ng Ju;ng
x0 tK Z; v7t 8i6u này s;ng vng Knh nhGn th!y& Ehi5u tK giB đ. thO nghi6m b_ng
Kh 1h; t31 K i4n kim 843i, i4n 1hi kim,&&& họ đ. h@ng minh đ-9 đi5u đ< < Bnh
h-`ng hi6u JuB đến vi6 sBn xu!t hy>r4 €q^&
1/2 'ác ứng dụng :hác c*a $%t &i#u TiO 2
:,,2,:, Wng dEng l9m x1c t!c 7uang xD lX mYi trSng
'i]^ đ-9 đKnh giK 8à h!t x0 tK Ju;ng h<; thân thi6n v"i mFi tr-ờng và hi6u
JuB nh!t, n< đ-9 sO >\ng rMng r.i nh!t h4 JuK trGnh Ju;ng 1hân hZy K h!t F
nhiUm khK nh;u €q& Ph!t Ju;ng x0 tK 'i]^ Wn < thN đ-9 sO >\ng đN >i6t khu‚n,
nh- đ. tiến hành tiêu >i6t vi khu‚n C&48i& j4 < khB n)ng 4xi h<; m3nh nên 'i] ^ đ.
đ-9 hiếu x3, th-ờng đ-9 >ng đN 843i bỏ K tế bà4 u tr4ng JuK trGnh h?; tr/ ung
th-& “Bn h!t 1hBn @ng Ju;ng x0 tK Z; h!t bKn >Hn khFng 1h@ t31& Ehờ và4 sự
h!1 th\ K 1h4t4n < n)ng 8-9ng 8"n hơn n)ng 8-9ng vng !m Z; 'i] ^ mà K
e8etr4n b/ kíh thíh tX (“ 8ên P“, t34 K D1 e8etr4n 8S tr:ng& PK 1hần tO m;ng
đi6n tíh này sƒ >i huyNn r; b5 mDt đN thự hi6n 1hBn @ng 4xi h<; khO, K 8S tr:ng
< thN th;m gi; trự tiế1 và4 1hBn @ng 4xi h<; K h!t đM h3i, h4D < thN th;m gi;
và4 gi;i đ43n trung gi;n t34 thành K g: tự >4 h43t đMng đN tiế1 t\ 4xi h<; K h91h!t h?u ơ b/ h!1 1h\ trên b5 mDt h!t x0 tK t34 thành sBn 1h‚m u:i ng 8à P] ^
và n-" ít đM h3i nh!t& [uK trGnh Ju;ng 1hân hZy này th-ờng b;4 g+m mMt h4D
nhi5u g: h4D K 1hần tO trung gi;n nh- ]*, ]^, *^]^, h4D ]^, ng đ<ng v;i trW
Ju;n trọng tr4ng K 1hBn @ng Ju;ng x0 tK&
:,,2,2, Wng dEng l9m ch0t An trong c!c lZnh vMc s;n tM l9m s"ch
'i]^ Wn đ-9 sO >\ng tr4ng sBn xu!t sơn tự 8àm s3h, tên hính xK Z; 843i này
8à sơn Ju;ng x0 tK 'i]^& 'hự h!t sơn 8à mMt >3ng >ung >/h h@; vF s: K tinh
19
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 27/53
thN 'i]^ 2 hXng ÷ ^nm& j4 tinh thN 'i]^ < thN 8ơ 8Ong tr4ng >ung >/h mà
khFng 8ắng đọng nên Wn đ-9 gọi 8à sơn huy5n 1h 'i]^& Vhi đ-9 1hun 8ên t-ờng,
kính, g3h, sơn sƒ tự t34 r; mMt 8"1 màng mỏng bKm hắ và4 b5 mDt&
Eguyên 8I h43t đMng Z; 843i sơn trên nh- s;u~ %;u khi K v7t 8i6u đ-9 đ-; và4sO >\ng, >-"i tK >\ng Z; ti; ự tím tr4ng Knh sKng mDt trời, 4xi và n-" tr4ng
khFng khí, 'i]^ sƒ h43t đMng nh- mMt h!t x0 tK đN 1hân hu b\i, rêu, m:, khí đM
h3i, hầu hết K h!t h?u ơ bKm trên b5 mDt v7t 8i6u thành * ^] và P]^& 'i]^ khFng b/
tiêu h;4 tr4ng thời gi;n sO >\ng >4 n< 8à h!t x0 tK khFng th;m gi; và4 JuK trGnh
1hân hu&
Pơ hế Z; hi6n t-9ng này < 8iên Ju;n đến sự Ju;ng 4xi h4K K h!t gây F
nhiUm tr4ng n-" b`i 'i]^& PK h!t h?u ơ bY4, rêu, m:,&&& bKm hDt và4 sơn < thN
b/ 4xi h4K b_ng D1 đi6n tO 8S tr:ng đ-9 hGnh thành khi K h3t n;n4 'i]^ h!1 th\
Knh sKng và nh- v7y h0ng đ-9 8àm s3h khỏi màng sơn& Ri5u gây ng3 nhiên 8à
hính 8"1 sơn khFng b/ t!n Fng b`i K D1 4xi h4K khO m3nh mƒ này& Eg-ời t; 1hKt
hi6n r; r_ng, h0ng < tui thọ khFng kYm gG sơn khFng đ-9 biến tính b_ng K h3t
n;n4 'i]^&
:,,2,, [D lX c!c ion %im lo"i n.ng trong nUc €q€^
Vhi 'i]^ b/ kíh thíh b`i Knh sKng thíh h91 giBi 1h<ng K đi6n tO h43t đMng&PK i4n kim 843i nDng sƒ b/ khO b`i đi6n tO và kết tZ; trên b5 mDt v7t 8i6u& (7t 8i6u bKn
>Hn Ju;ng x0 tK, Fng ngh6 m"i h@; h†n đ-9 K1 >\ng nhi5u tr4ng xO 8I mFi
tr-ờng& Ph!t bKn >Hn kết h91 v"i Knh sKng ( đ. đ-9 >ng đN 843i K i4n kim 843i
nDng và K h91 h!t h@; i4n vF ơ& o4n b/ khO đến tr3ng thKi ít đM hơn h4D kim
843i tX đ< >U >àng tKh đ-9& (í >\~
^hž 'i]^ Ÿ ^e ^h
*g^a;Jd ¡ *ga;>sd a “/ h!1 1h\ 8ên b5 mDt v7t 8i6ud
*g^a;>sd ^e Ÿ *ga;>sd
^*^] ¡ ^* ^]*
^]* ^h Ÿ *^] q|^ ]^
&&&
!t nhi5u i4n kim 843i nh3y v"i sự huyNn Ju;ng h<; trên b5 mDt h!t bKn >Hn
nh- 8à ‡u, #t, #>, ‡g, or, h&&& R; s: h0ng đ5u kết tZ; trên b5 mDt v7t 8i6u& Eg4ài sự
khO b_ng đi6n tO, K i4n Wn b/ 4xi h<; b`i 8S tr:ng trên b5 mDt t34 4xit& Eh?ng h!t
kết tZ; h4D h!1 1h\ trên b5 mDt đ-9 tKh r; b_ng 1h-ơng 1hK1 ơ họ h4D h<; họ&
20
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 28/53
:,,2,\, @At s >ng dEng %h!c
'i]^ Wn đ-9 sO >\ng tr4ng nhi5u 8Anh vự khK nh-~ (7t 8i6u g:m, h!t t34
màu, h!t đMn, 8àm v7t 8i6u hế t34 1in mDt trời, 8àm sens4r đN nh7n biết K khí tr4ng
mFi tr-ờng F nhiUm nDng, tr4ng sBn xu!t b+n rO; tự 8àm s3h b5 mDt tr4ng n-" atự xO8I mà khFng ần h4K h!td, 8àm v7t 8i6u sơn trắng >4 khB n)ng tKn x3 Knh sKng ;4,
bB4 v6 b5 mDt khỏi tK đMng Z; Knh sKng& %O >\ng 'i]^ t34 màng 8ọ Ju;ng x0 tK
tr4ng mKy 8àm s3h khFng khí, mKy đi5u h4à, v&v&&&
21
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 29/53
C3Ong &F THC NGHIỆ#
("i m\ đíh nghiên @u !u tr0 tinh thN và tính h!t Ju;ng Z; v7t 8i6u 'i] ^
1h; t31 E, h0ng tFi tiến hành hế t34 mHu, thự hi6n mMt s: 1hY1 đ4 khB4 sKt !u tr0
tinh thN và tính h!t Ju;ng Z; mHu nghiên @u& Phi tiết nMi >ung trên sƒ đ-9 trGnh bày >-"i đây&
&F=F C3k 6^Y e56 7%Su ]2ng T%"&
211 'hế tạo m;u TiO2 dạng <o&
*6 v7t 8i6u 'i]^ >3ng s48 đ-9 hế đ-9 hế t34 b_ng 1h-ơng 1hK1 s48ge8 t34
1h@& #h-ơng 1hK1 này đơn giBn, 8inh h43t và r‘ ti5n& 'hiết b/ hế t34 và K h<; h!t
đ-9 sO >\ng nh- s;u~
Thi<t b? hGa h]c bao gm~ “ế1 khu!y tX, 4n tX, bGnh ầu h;i , sinh hàn h+i
8-u, : h/u nhi6t, K 843i 1i1et, nhi6t kế, tZ s!y, 8W nung, bơm hân khFng và h6
th:ng t34 hân khFng•
Po! ch0t'
¢ 'etr;is41r41y8 4rth4tit;n;te a'#]'d~ 'iai]P*d,‡8>rih
¢ ‡xety8;xet4ne a‡P'd~ P*]^,‡8>rih
¢ os41r41;n48 ao#‡d~ ^P*]*,Terk
¢ P4aE]d^&z*^]
¢ Eitri ;xit ~ *E] zf,Terk
¢ *^] khO i4n
("i thiết b/ 1hBn @ng, h<; h!t và 1hWng thí nghi6m h@; b4x s3h, K 1hBn
@ng h<; họ đ-9 tiến hành < đM 8D1 83i khK ;4&
2,:,:,:,^uy tr$nh thMc nghi3m
[ui trGnh hế t34 s48 Z; K mHu 'i]^ đ-9 trGnh bày tr4ng hGnh ^&q& 'r4ng
đ<, o#‡ đ-9 sO >\ng 8à >ung mFi đN tiến hành 1hBn @ng, *E] 8à h!t x0 tK và
‡P' 8à 8à h!t kGm h.m JuK trGnh thZy 1hânng-ng t\& PK h!t '#]', ‡P' đ-9
trMn và khu!y đ5u, tiế1 đ< 1h; o#‡ và4 và tiế1 t\ khu!y đ5u tr4ng c 1h0t& Ehỏ giọt
>ung >/h *E] ^E và4 hSn h91 trên h4 đến khi đ3t t= 86 m4ng mu:n& RN thu đ-9
s48, hSn h91 này đ-9 khu!y đ5u, t)ng nhi6t đM đến £P và >uy trG 1hBn @ng tr4ng
22
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 30/53
zc 1h0t& %48 đ-9 bB4 JuBn tr4ng tZ 83nh ` kh4Bng £P&
+,nh 21 ^ui tr$nh ch< t"o sol c&a c!c m8u TiO2,
2,:,:,2,!c ph=n >ng hGa h]c x=y ra trong 7uy tr$nh thMc nghi3m
Vhi '#]' đ-9 hW; t;n tr4ng o#‡ và n-" khO i4n K 1hBn @ng h<; họ s;u
sƒ xBy r;~
#hBn @ng thZy 1hân~
'iai]P*d *^] ⇔ *]'iai]P*d i]P*
#hBn @ng ng-ng t\~
L43i n-"~
L43i ;n48~
PK 1hBn @ng thZy 1hân ng-ng t\ Z; '#]' tr4ng >ung >/h < xu h-"ng >Hn
đến sự t34 thành kết tZ; Z; tit;n 4x4 148ymer& (G v7y, 1hBi đi5u khiNn t: đM K
23
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 31/53
1hBn @ng s;4 h4 K 148yme này t+n t3i >-"i >3ng >ung >/h h4D ge8& %ự đi5u
khiNn này < thN đ3t đ-9 >U >àng b_ng Kh thêm K h!t ;xit và 1h:i tO 1h@ nh_m
@ hế JuK trGnh ng-ng t\ t@ 8à ng)n Bn sự hGnh thành kết tZ; và sự 1hKt triNn Z;
kíh th-" h3t&
_nh h`ng c&a x1c t!c <n 7u! tr$nh th&y phn v9 ngng tE
'iai]P*d < t: đM thZy 1hân nh;nh nên ;xit *E] và ;xety8;xet4ne a‡P'd
đ<ng v;i trW 8à h!t kGm h.m tr4ng K 1hBn @ng thZy 1hân ng-ng t\& Eg4ài r; ‡P'
Wn < khB n)ng t34 1h@ v"i ti5n h!t Z; 'i& #hBn @ng xBy r; nh- s;u~
'iai]P*d x ;;* Ÿ 'iai]P*dxa;;dx x i P*]*
("i x c,q¤^, t!t B K 1h:i tO Z; ;xety8;xet4ne 8iên kết hết v"i K
nguyên tO 'i tr4ng ti5n h!t& Vết JuB này h= r; r_ng < sự huyNn đi tr4ng ầu 1h:iv/ Z; 'i& %ự huyNn đi này < thN đ-9 mF tB nh- s;u~
^'iai]P*da;;d Ÿ 'iai]P *d^a;;d^ 'iai]P*d
PK 1h:i tO 1h@ ;xety8;xet4ne < kíh th-" 1hân tO 8"n đ. 8àm giBm tính
h43t đMng Z; 'iai]P*dxa;;dx ax q và ^d& Eg4ài r; ;xety8;xet4ne Wn < tK
>\ng ng)n Bn sự ke4 t\ và 8ắng đọng Z; K h3t s48 hGnh thành tr4ng JuK trGnh 1hBn
@ng& PK 1h:i tO 1h@ ;xety8;xet4ne h4 và4 hSn h91 1hBn @ng < h;i tK >\ng~
8àm h4 JuK trGnh 1hBn @ng >iUn r; h7m hơn và trKnh hi6n t-9ng ke4 t\ Z; h6 ke4
khi hế t34 và bB4 JuBn&
_nh h`ng c&a t l3 nUc tin ch0t v9 )T tin ch0t <n 7u! tr$nh th&y phn
v9 ngng tE
PK 1hBn @ng thZy 1hân ng-ng t\ Z; K ti5n h!t 'i < h@; ‡P' đ-9
đi5u khiNn hZ yếu b`i h;i thFng s:~ t= s: thZy 1hân h *^]|'i và t= s: 1h@ x
;;|'i& ‡xety8;xet4ne 8àm giBm K 8iên kết đ-9 thZy 1hân h<; 'i;; >Hn đến
ng)n Bn JuK trGnh ng-ng t\ và t34 th;nh K đ43n m3h ngắn hơn& %ự thZy 1hân
Z; 'iai]P*dxa;;dx đ-9 thự hi6n tr4ng sự < mDt Z; K 8-9ng n-" khK
nh;u aq … h … qcd ng v"i t= s: 1h@ h43t đMng và n+ng đM 'i Juyết đ/nh vi6 t34
thành K đKm 1hân tO, s48, ge8 h4D kết tZ;&
("i t= s: thZy 1hân ;4 hq, và kh4Bng t34 1h@ x c¤q, sự thZy 1hân Z; ti5n
h!t 'i biến thN ;; h4 vng hính& %48 thu đ-9 khi c,^ › x › q& %48 này < thN
tr` nên tr4ng su:t h4D b/ ge8 v‚n 1h\ thuM và n+ng đM 'i& '; Ju;n sKt đ-9 kết tZ;
24
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 32/53
khi t= s: t34 1h@ x … c,^ và t= s: thZy 1hân h ^&
PK đi5u ki6n ;xit < thN 1hK v2 K ầu 4x4 tit;n và hy>4x4 tit;n, vG v7y t)ng
-ờng K 1hBn @ng đB4& R:i v"i t= s: thZy 1hân th!1 ah … q,d, sự thZy 1hân Z; ti5n
h!t 'i a€'i qTd t34 r; s48 tr4ng su:t&Ph0ng t; < thN mF tB t4àn bM JuK trGnh 1hBn @ng nh- s;u~
'iai]P*dxa;;dx a^x|^d*^] ¡ 'i]^x|^a;;dx axd i P*]
212 'hế tạo m;u màng mỏng TiO2
("i m\ đíh t34 đ-9 >ung >/h đ+ng nh!t ;4 và 1hZ đ-9 màng trên K 843i
đế v"i h!t 8-9ng Ju;ng họ ;4, h0ng tFi đ. họn >ung mFi is41r41;n48 8àm >ung
mFi tiến hành 1hBn @ng tng h91& jung >/h sBn 1h‚m < thN đ-; s;ng khâu 1hZmàng the4 k thu7t nh0ng 1hZ& 'uy nhiên, vi6 sO >\ng >ung >/h tr4ng mMt thời
gi;n >ài đN 1hZ màng 8à yếu t: r!t ần thiết tr4ng 1hKt triNn Fng ngh6& Phính vG v7y,
h0ng tFi đ. nghiên @u K bi6n 1hK1 b5n v?ng h<; >ung >/h s48 thu đ-9& P< mMt
s: kA thu7t 8àm b5n v?ng h<; >ung >/h s48 thu đ-9 nh-~ đi5u h=nh 1*, th;y thế
>ung mFi, h;y h3 nhi6t đM xu:ng th!1& TMt s: bi6n 1hK1 đ. đ-9 tiến hành,
tr4ng đ< K >/h s48 đ-9 bB4 JuBn ` nhi6t đM 4P, < thN sO >\ng đN 1hZ
màng h!t 8-9ng ;4 tr4ng thời gi;n tX đến z tuần&
R:i v"i K >ung >/h s48 s;u khi hế t34 < r!t nhi5u 1h-ơng 1hK1 đN t34
màng& 'r4ng đi5u ki6n hi6n < ` 1hWng thí nghi6m, h0ng tFi đ. sO >\ng 1h-ơng
1hK1 t34 màng nh0ng kY4&
¥u điNm Z; 1h-ơng 1hK1 nh0ng kY4 r!t đơn giBn, < thN 1hZ h4 >i6n tíh 8"n,
t34 đ-9 màng >ày nhi5u 8"1, đi5u h=nh đ-9 hính xK đM >ày màng tX c nm đến
vài h\ mir4 mYt, tính 8D1 83i ;4• Eh-9 điNm 8à ần 8-9ng >ung >/h 8"n đN t34
màng và màng < ng!n ng;ng >4 đM nh"t Z; >ung >/h gây nên& 'uy nhiên h0ng tFi
< thN đi5u h=nh đ-9 đM nh"t&
25
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 33/53
+,nh 22 L; mY t= ph;ng ph!p nh1ng ph& 4 t"o m9ng TiO2,
Phi5u >ày Z; màng hế t34 b_ng 1h-ơng 1hK1 nh0ng 1hZ đ-9 xK đ/nh b`i
Fng th@ € ~
h c, aE;dq|z
a¦|§ gdq|^
'r4ng đ<~
h ~Phi5u >ày màng
E; ¦|¨
¦~ RM nh"t
~ ': đM kY4
¨~ %@ )ng b5 mDt
§ ~ ' trọng
g ~ $i; t: trọng tr-ờng
Eh- v7y đ:i v"i mMt >ung >/h, t: đM kY4 t)ng, đM >ày h t)ng b_ng )n b7
^|&
PK màng đ-9 t34 trên đế thZy tinh& PK đế thZy tinh kíh th-" q,^x&
m đ-9 xO 8I b5 mDt b_ng Kh ngâm tr4ng ;xit nitri đD qccf và zf tr4ng
thời gi;n qc 1h0t, ngâm và4 ;xit l84hyđri qf tr4ng ^ 1h0t, trKng b_ng n-" khO
i4n và 8àm khF tr4ng 1hWng s3h& PK màng đ-9 hế t34 b_ng 1h-ơng 1hK1 nh0ng
kY4 sO >\ng thiết b/ nh0ng kY4 EVc Z; (i6n Vh4; họ (7t 8i6u, (i6n Vh4;
họ và PFng ngh6 (i6t E;m, v"i t: đM kY4 tX c, đến mm|s& *6 thiết b/ trBi màng
nh0ng kY4 EVc đ-9 8ắ1 rK1 t3i 1hWng thí nghi6m b;4 g+m K \m hi tiết ơ
khí huyNn đMng, mF tơ, h6 đi5u khiNn đi6n tO đN kh:ng hế t: đM nh0ng kY4 nh71 tX
26
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 34/53
T& Eg4ài r; mMt s: hi tiết khK đ-9 gi; Fng hế t34 t3i (i6t n;m g+m~ bM 1h7n ơ
khí gK 8ắ1, hân đế, giK D1 mHu, bGnh h@; >/h t34 màng& *6 thiết b/ trBi màng đ-9
8ắ1 rK1 hế t34 thành h;i bM < kết !u t-ơng tự, nh-ng khK nh;u hZ yếu ` K
thFng s: k thu7t nh_m th4B m.n yêu ầu nh0ng kY4 ` ^ >Bi t: đM khK nh;u& Ph0ng
tFi sO >\ng 1hần m5m đi5u khiNn~ oPL aonte88i P4mm;n> L;ngu;ged&
• Phi5u >ài mHu trBi màng t:i đ;~ c m
• ': đM trBi màng~ c,^ mm|s a#^zqd ^q^c mm|s a#qd&
'r4ng JuK trGnh t34 màng h0ng tFi đ. khB4 sKt K t: đM nh0ng kY4 và họn
đ-9 t: đM 1h h91 v"i v7t 8i6u 8à~ q, mm|s và ^, mm|s& Tàng đơn 8"1 và đ; 8"1
thu đ-9 đN ` nhi6t đM 1hWng v"i thời gi;n zc 1h0t, s;u đ< đ-; mHu và4 s!y tr4ng ^h
` c4
P& Tàng thu đ-9 đ-9 bB4 JuBn ` nhi6t đM 1hWng và hu‚n b/ đN 1h; t31 E&
21/ =ha tạ7 N $ào m;u màng mỏng TiO2
Phế t34 v7t 8i6u màng 'i]^ 1h; t31 E v"i m\ đíh khB4 sKt tính h!t Ju;ng Z;
v7t 8i6u này& Tàng 'i]^ s;u khi hế t34 đ-9 1h; t31 v"i E b_ng Kh Z tr4ng mFi
tr-ờng E^ t3i cc 4P tr4ng thời gi;n ^c 1h0t v"i K t 86 f Z; E ^ và f Z; ]^ khK
nh;u& THu đ-9 nung Z b_ng 8W qcc4P (i6n Vh4; họ (7t Li6u, (i6n Vh4; họ và
PFng ngh6 (i6t E;m& $iBn đ+ nung nh- s;u~
+,nh 2/ Ji=n thSi gian 7u! tr$nh nung m8u TiO2,
Ehi6t đM nung Z đ-9 8ự; họn 8à cc4P, t3i nhi6t đM này sự hGnh thành 1h;
;n;t;se 8à t:t nh!t& Rây 8à kết JuB đ. đ-9 khB4 sKt b_ng thự nghi6m Z; đ5 tài
27
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 35/53
Nghin c>u ch< t"o v9 t/nh ch0t c&a b!n d8n pha t long TiO2 anatase pha t"p o
bng ph;ng ph!p sol-gel v9 ph1n x" catot – Z; '%& EgF 'h/ *+ng Lê, (i6n Vh4;
họ (7t Li6u, (i6n Vh4; họ và PFng ngh6 (i6t E;m&
&F&F C> 9 63u56 dY 93vY >6 6in3 3l6 t e56 7%Su T%"& w3 6^w N
221 =h>7 ?o nhi@u xạ tia A BACDE
#h-ơng 1hK1 này h4 1hY1 xK đ/nh 1h; !u tr0, 1hân tíh đ/nh tính, đ/nh
8-9ng K 1h; tinh thN, tính h_ng s: m3ng, m@ đM biến >3ng m3ng, s4 sKnh xK đ/nh
t-ơng đ:i hàm 8-9ng 1h; t31, tX đ< h4 1hY1 đi5u h=nh Juy trGnh Fng ngh6 hế t34
v7t 8i6u và g<1 1hần 8I giBi K hi6n t-9ng v7t 8I&
PK 1hY1 đ4 đ-9 thự hi6n trên h6 nhiUu x3 kế %oCTCE% jcc aP*L“ R@d
'hiết b/ này đDt t3i 'r-ờng R3i họ Vh4; họ và 'ự nhiên, R3i *ọ [u: $i; *à EMi&
222 FG thu%t hiHn $i ?i#n tI qu>t BJKLE
Vính hiNn vi đi6n tO JuYt a%CTd 8à mMt 843i kính hiNn vi < khB n)ng thu nh7n
đ-9 K Bnh b5 mDt mHu v"i đM 1hân giBi ;4& ViNu Bnh hung nh!t đ-9 t34 b`i K
đi6n tO th@ !1 < n)ng 8-9ng th!1 aC … c e(d& PK đi6n tO th@ !1 này th4Kt r; tX 8"1
mỏng 2 vài nm tX b5 mDt mHu đ-9 thu nh7n b`i mMt đầu >W kiNu Cverh;rt'h4rn8ey,
thự h!t 8à :ng nhân Ju;ng đi6n nh!1 nhKy h4D >etet4r bKn >Hn %i aLid& *Gnh thKi,
kíh th-" h3t Z; K mHu nghiên @u tr4ng 8u7n Kn đ-9 khB4 sKt trên kính hiNn vi
đi6n tO JuYt 1hKt x3 tr-ờng *it;hi %cc t3i (i6n Vh4; họ (7t 8i6u,(i6n Vh4; họ
và PFng ngh6 (i6t E;m& *Gnh ^& trGnh bày t4àn Bnh h6 kính hiNn vi đi6n tO JuYt
1hKt x3 tr-ờng *it;hi %cc&
+,nh 20 P$nh =nh mAt %/nh hi4n vi i3n tD 7ut ph!t x" trSng Pitachi L-\jj
28
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 36/53
22/ Mo ? dà $à PQ mRt màng Pằng =)oSi&)
'hiết b/ #r4li8er, VL‡'eh4r a‡81h;%te1 o[d 8à thiết b/ đ4 hGnh thKi họ b5 mDt,
b5 >ày màng < đM nh3y ;4, nh‚y b7 trên b5 mDt mHu đ4 the4 nguyên tắ JuYt tG kim
trên b5 mDt& 'hiết b/ < khB n)ng đ4 đM vi nhKm đến 2 q ’, vng 1h3m vi r!t nhỏ Z; b5 mDt h4D trên kh4Bng Kh đến qc mm, thiết b/ đ-9 đi5u khiNn tự đMng b_ng mKy
tính&
'hiết b/ này đ-9 đDt t3i #hWng 'hí nghi6m 'rọng điNm, (i6n Vh4; họ (7t 8i6u,
(i6n Vh4; họ và Fng ngh6 (i6t n;m&
220 =hU h(7 thụ V6W6XJ
RN xK đ/nh 1h h!1 th\ Z; mHu a>ung >/h, kh:i, h;y màng mỏng•d t; tiến
hành the4 sơ đ+ s;u~
'i; sKng tX ngu+n sKng đơn sắ đ-9 tKh 8àm h;i ti; q và ^ < -ờng đM o c nh-
nh;u nhờ g-ơng bKn m3 Lq, ti; q truy5n th”ng t"i v7t n5n a tr4ng tr-ờng h91 mHu >ung>/h thG 8à 8ọ >ng đN đựng >ung >/h, v"i mHu màng mỏng đ-9 1hZ trên đế thZy tinh
thG 8à miếng thZy tinh >ng đN 1hZ màng•d, ti; th@ ^ s;u khi 1hBn x3 trên g-ơng L ^ sƒ
đ-; t"i mHu ần xK đ/nh đM h!1 th\& %;u đ< s4 sKnh -ờng đM sKng s;u khi truy5n Ju;
mHu o% và -ờng đM Knh sKng n5n o$, t; sƒ xK đ/nh đ-9 đM h!1 th\ Z; mHu& P-ờng
đM sKng b/ h!1 th\ b`i mHu đ-9 xK đ/nh~
IE x I< ; IG
RN thu đ-9 1h h!1 th\ Z; mHu, b-" s<ng Knh sKng t"i sƒ đ-9 JuYt tX vng
h+ng ng43i gần t"i vng tO ng43i gần a((o%Eod& “-" s<ng mà t3i đ< o% thu đ-9
8à nhỏ nh!t hính 8à b-" s<ng mà h!1 th\ Z; mHu 8à ự đ3i, b-" s<ng này 8à đD
tr-ng đ:i v"i tXng mHu&
29
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 37/53
+,nh 2 To9n c=nh m!y o ph6 h0p thE kV-VL,
C3Ong F ,!T QU VÀ TH" -U.N
*6 mHu đ-9 hế t34 b;4 g+m K mHu đ-9 trGnh bày tr4ng bBng &q&
-.ng /1, ThYng tin c&a c!c m8u ch< t"o,
N& "&
T\ d@ n3zng 9{Y
_]]a
T/T< VhFng khí q,
T/T= qcc c q,
T/T& qcc c ^,
T/T c qc q,
T/Tq q,
F=F C3k 6^Y ]Du
PK màng mỏng 'i]^ 1h; t31 E đ-9 hế t34 Ju; gi;i đ4;n~ gi;i đ43n đầu tiên
8à tng h91 >ung >/h 'i]^ b_ng 1h-ơng 1hK1 s48ge8 sO >\ng k thu7t h+i 8-u& %;u
đ<, K màng mỏng đ-9 hế t34 b_ng 1h-ơng 1hK1 nh0ng kY4 a>i1 4;tingd& Pu:i
ng, màng mỏng s;u khi hế t34 thành Fng đ-9 nung Z tr4ng mFi tr-ờng < t 86 f
E^ khK nh;u đN 1h; t31 E& %;u đây, h0ng tFi trGnh bày kết JuB hế t34 và thB4 8u7n
v5 sự Bnh h-`ng Z; K đi6u ki6n Fng ngh6 8ên vi !u tr0 và hGnh thKi họ Z;
màng&
30
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 38/53
PK mHu khB4 sKt đ5u đ-9 hế t34 v"i Juy trGnh nh- nh;u, tuy nhiên < khK
nh;u v5 t: đM trBi màng và t 86 f Z; E^ khi Z& Rầu tiên, mHu s48 'i]^ đ-9 đi5u hế
b`i JuK trGnh h+i 8-u s;u đây~ 'iai]P*d và P*]^ đ-9 trMn và khu!y đ5u tr4ng qc
1h0t, tiế1 đ< 1h; ^P*]* và4 và tiế1 t\ khu!y đ5u tr4ng c 1h0t& Ehỏ >ung >/h
*E] ^E và4 >ung >/h trên h4 đến khi đ3t t 86 m4ng mu:n& PK 1hBn @ng trên đ5u
xBy r; ` nhi6t đM 1hWng& RN thu đ-9 s48, nhi6t đM 1hBn @ng đ-9 nâng 8ên 4P và
>uy trG 1hBn @ng tr4ng thời gi;n ^ giờ& jung >/h s48 này đ-9 >O >\ng hế t34 t4àn
bM K mHu màng& 'iế1 đến, màng mỏng đ-9 1hZ 8ên đế thZy tinh b_ng 1h-ơng 1hK1
nh0ng kY4 a>i1 4;tingd& Tàng mỏng thu đ-9 đ-9 s!y sơ bM vài 8ần ` nhi6t đM zc4P
tr4ng thời gi;n r!t nh;nh& PK 8"1 màng và JuK trGnh xO 8I nhi6t đ-9 8D1 83i 8ần at34
màng 8"1d& Pu:i ng màng mỏng đ-9 1h; t31 E b_ng Kh Z tr4ng mFi tr-ờng <
t 86 f Z; E^ và f Z; ]^ khK nh;u ` nhi6t đM ccc
P tr4ng thời gi;n ^c 1h0t s;u khiđ. trBi Ju; mMt JuK trGnh gi; nhi6t& RN đBm bB4 t 86 f Z; E^ và f Z; ]^, mHu đ-9
đDt tr4ng :ng th3h ;nh kín khí, tr-" đ< :ng đ-9 h0t hân khFng sơ !1 đ3t qc ^
'4rr&
PK mHu hế t34 b;4 g+m~ '#'c, '#'q, '#'^, '#', '#'& 'hFng tin hi tiết
v5 K mHu đ-9 thN hi6n tr4ng bBng &q& THu s;u khi hế t34 đ-9 bB4 JuBn ` nhi6t
đM 1hWng, hu‚n b/ h4 vi6 khB4 sKt b_ng K 1hY1 đ4&
F&F ,k6 |uv n3%ễu }^ 6% X'X K giBn đ+ nhiUu x3 ti; thu đ-9 h0ng t; th!y tr4ng giBn đ+ nhiUu x3 ti;
khFng xu!t hi6n K v3h đD tr-ng Z; K 1h; ruti8e và br44kite& Ph0ng t; h=
Ju;n sKt th!y K v3h đD tr-ng h4 1h; ;n;t;se t3i K g< ^θ ^,4& [u;n sKt sơ
bM h0ng t; th!y đM rMng v3h t3i g< ^θ ^,4 Z; K mHu 8à khK nh;u, 1h\ thuM
và4 n+ng đM khí E^ tr4ng mFi tr-ờng Z nhi6t&
31
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 39/53
VNU-HN-SIEMENS D5005 - Mau TiO2 - TPT0
21-1272 (*) - Anatase, sn - TiO2 - !" 57#5$ % - & ' " 1#000 - " 1#5+05
i.e" Van-TiO2-TPT0#/a - Te" 2T a.3ne - Sta/t" 10#000 4 - En&" 70#000 4 - Ste" 0#0$0 4 - Ste tie" 1#0 s - Te#" 25#0 46 (33) - An3&e" 6u - 6/eati3n" 05819811 19"5+"+0
* i n ( 6 s )
0
10
20
$0
+0
50
,0
70
90
:0
100
110
120
1$0
1+0
150
1,0
170
190
1:0
200
2-Teta - S;a.e
10 20 $0 +0 50 ,0 7
& < $ # 5
$ 2
& < 1 # 9
: 2 $
+,nh /1 Ji=n nhiu x" tia [ c&a m8u T5Tj,
VNU-HN-SIEMENS D5005 - Mau TiO2 - TPT$
21-1272 (*) - Anatase, sn - TiO2 - !" +#02 % - & ' " 1#000 - " 1#5+05
i.e" Van-TiO2-TPT$#/a - Te" 2T a.3ne - Sta/t" 10#000 4 - En&" 70#000 4 - Ste" 0#0$0 4 - Ste tie" 1#0 s - Te#" 25#0 46 (33) - An3&e" 6u - 6/eati3n" 05819811 1:"20"05
* i n
( 6 s )
0
10
20
$0
+0
50
,0
70
90
:0
100
110
120
1$0
1+0
150
1,0
170
190
1:0
200
2-Teta - S;a.e
10 20 $0 +0 50 ,0 7
& < $ # 5
1 2
& < 1 # 9
: + ,
32
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 40/53
+,nh /2 Ji=n nhiu x" tia [ c&a m8u T5T,
VNU-HN-SIEMENS D5005 - Mau TiO2 - TPT5
21-1272 (*) - Anatase, sn - TiO2 - !" 5+#$: % - & ' " 1#000 - " 1#5+05
i.e" Van-TiO2-TPT5#/a - Te" 2T a.3ne - Sta/t" 10#000 4 - En&" 70#000 4 - Ste" 0#0$0 4 - Ste tie" 1#0 s - Te#" 25#0 46 (33) - An3&e" 6u - 6/eati3n" 05819811 1:"++"05
* i n ( 6 s )
0
10
20
$0
+0
50
,0
70
90
:0
100
110
120
1$0
1+0
150
1,0
170
190
1:0
200
2-Teta - S;a.e
10 20 $0 +0 50 ,0 7
& < $ # 5
2 0
& < 1 # 9
: 0 0
+,nh // Ji=n nhiu x" tia [ c&a m8u T5T,
Ph0ng t; < thN đKnh giK kíh th-" h3t tinh thN 'i] ^ ;n;t;se tX đM bKn rMng
v3h nhiUu x3 trên ơ s` K1 >\ng Fng th@ %herrer nh- s;u~
θ
λ β
4s
v,c
%/chthuoc
=
'r4ng đ< ~
• „ 8à đM >ài b-" s<ng nhiUu x3 ti; &
• ©kíh th-" 8à đM bKn rMng v3h 1h nhiUu x3&
• j 8à kíh th-" h3t tinh thN ần xK đ/nh&
'r4ng tr-ờng h91 Z; h0ng tFi ~
λ q, ’ c,q nm&
(3h nhiUu x3 ti; t3i θ|^θ ≈ q^,z4|^,4
'h;y s: 8i6u và4 Fng th@ trên t; tính đ-9 kíh th-" h3t~
THu '#'c và '#' v"i đM bKn rMng 8à ©kíh th-" c, r;>i;ns~ j ≈ ^c nm&
33
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 41/53
THu '#' v"i đM bKn rMng 8à ©kíh th-" c, r;>i;ns~ j ≈ ^ nm&
'X kết JuB tính đ-9 t; < đ+ th/ s;u~
+,nh /0 A b!n rAng ph6 c&a TiO2
pha t"p N nung & vUi c!c t l3 q %h/ N 2
%h!c nhau,
+,nh / K/ch thUc h"t c&a TiO2 pha
t"p N nung & vUi c!c t l3 q %h/ N 2 %h!c
nhau,
'X kết JuB tính h0ng t; th!y
mHu Z tr4ng mFi tr-ờng cf E^ và qcf ]^ < ng kíh th-" h3t ^ nm, b_ng kíhth-" h3t Z; mHu nung tr4ng mFi tr-ơng khFng khí& 'he4 h0ng tFi đi5u này < thN
giBi thíh đ-9 vG tr4ng khFng khí < kh4Bng qf ]^ Wn 83i hZ yếu 8à E^& PWn mHu
nung tr4ng mFi tr-ờng khí h@; f E^ và f ]^ < kíh th-" h3t nhỏ hơn ^ nm&
Ri5u này h@ng tỏ E đ. < Bnh h-`ng 8ên sự kết tinh hGnh thành h3t tinh thN v7t 8i6u
'i]^& %ự giBm kíh th-" h3t < thN >4 E th;y thế mMt 1hần nhỏ ] tr4ng !u tr0 Z;
'i]^ 8àm t)ng @ng su!t gây biến >3ng m3ng ng)n Bn sự 1hKt triNn Z; tinh thN& Eh7n
xYt này t-ơng đ+ng v"i kết JuB thu đ-9 trên v7t 8i6u 'i]^ 1h; t31 P4 đ. Fng b:
tr4ng 8u7n Kn tiến sA EgF 'h/ *+ng Lê& [uK trGnh 1h; t31 E và4 'i] ^ đ-9 thự hi6nthFng Ju; Z nhi6t tr4ng mFi tr-ờng < t)ng -ờng n+ng đM E^& P< thN 8-9ng th;y thế
Wn JuK nhỏ nên h-; Ju;n sKt th!y K Bnh h-`ng Z; sự thế E h4 ] 8ên !u tr0
tinh thN Z; v7t 8i6u& RN nâng ;4 khB n)ng th;y thế E h4 ] < thN 1hBi t34 v7t 8i6u
'i]^ < K n0t khuyết 4xy tr-" khi Z tr4ng mFi tr-ờng khí E^, h4D gi; t)ng thêm
nhi6t đM Z và kY4 >ài thêm thời gi;n Z nhi6t& RN kiNm h@ng 83i kết JuB tính kíh th-"
h3t tinh thN tX đM bKn rMng v3h nhiUu x3 ti; h0ng tFi tiến hành h\1 Knh kính hiNn
34
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 42/53
vi JuYt 1hKt x3 tr-ờng 83nh C%CT& Vết JuB trGnh bày trên K hGnh &z, hGnh &, hGnh
&&
FF ,k6 |uv 3sw ~•E•#
+,nh /3 _nh QLQ@ c&a m8u T5Tj,
35
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 43/53
+,nh /4 , _nh QLQ@ c&a m8u T5T,
+,nh /5, _nh QLQ@ c&a m8u T5T,
36
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 44/53
[u; Bnh %CT t; th!y kíh th-" h3t tinh thN Z; K mHu hế t34 khK đ+ng đ5u,
mHu '#'c và '#' < kíh th-" h3t 8à ^cc nm& VhFng 1hân bi6t đ-9 sự khK
nh;u kíh th-" h3t Z; K mHu& Vết JuB đKnh giK tX đM rMng v3h nhiUu x3 ti; <
sự khK nh;u khK nhỏ a nmd gi?; K mHu Z tr4ng khFng khí và mHu O tr4ng hSn h91
f E^ và f ]^& P< thN sự hênh 86h nhỏ này khFng đZ đN 1hân bi6t b_ng Bnh
C%CT >4 Bnh h-`ng Z; biên h3t& 'uy nhiên h0ng tFi h4 r_ng kết JuB thu đ-9 tX
giBn đ+ nhiUu x3 ti; 8à đKng Ju;n tâm và ần nghiên @u hi tiết hơn&
Víh th-" h3t t-ơng đ:i nhỏ, khi đ< s: nguyên tO 1hân b: trên b5 mDt tr` nên
r!t đKng kN s4 v"i s: nguyên tO n_m bên tr4ng h3t ah3t tinh thN < kíh th-" q nm h=
h@; Žc nguyên tO v"i hầu hết K nguyên tO n_m trên b5 mDt kíh th-" nm h@;
ccc nguyên tO v"i cf s: nguyên tO n_m trên b5 mDt kíh th-" qc nm h@;
kh4Bng cccc nguyên tO v"i ^cf n_m trên b5 mDtd& “ên 3nh đ<, !u tr0 tinh thN Z;h3t và hi6u @ng 8-9ng tO Z; K tr3ng thKi đi6n tO b/ Bnh h-`ng đKng kN b`i s:
nguyên tO trên b5 mDt&
Tàng 'i]^ ;n;t;se đ-9 hế t34 nh_m m\ tiêu @ng >\ng h4 K nghiên @u
Ju;ng x0 tK nên K khB4 sKt đM >ày màng, đM truy5n Ju; và bờ h!1 th\ 8à K thFng
tin ần Ju;n tâm& RM >ày Z; màng đ-9 xK đ/nh b_ng k thu7t đ4 #r4li8er ‡n1h;
%te1&
FpF ,k6 |uv dY d@ 2y e2 ?€ ]6 ]2ng ?[ng /Y‚%7
+,nh /9 A d9y c&a m9ng TiO2 Cc %o vUi vn tc :+ mms,
37
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 45/53
+,nh /1Y A d9y c&a m9ng TiO2 Cc %o vUi vn tc 2+ mms,
[u; kết JuB đ4 đM >ày màng b_ng #r4li8er t; th!y K mHu màng mỏng hế t34 <
đM >ày và4 kh4Bng cc nm&
'; Qng th!y 8à 1h khK b_ng 1h”ng, đi5u này h@ng tỏ màng đ-9 hế t34 < đM
nhªn ;4&
FqF ,k6 |uv dY w3ƒ 3lw 63s
("i m\ đíh kiNm tr; Bnh h-`ng Z; n+ng đM 1h; t31 E 8ên h43t tính Ju;ng Z;
v7t 8i6u 'i]^ h0ng tFi hế t34 màng mỏng Z tr4ng mFi tr-ờng khí < n+ng đM khí E^
khK nh;u& #h h!1 th\ Z; K màng đ-9 trGnh bày trên hGnh &qq&
Ph0ng t; >U >àng nh7n th!y bờ h!1 th\ Z; màng '#'c t3i b-" s<ng c nm
at-ơng @ng , e(d 8"n hơn bờ h!1 th\ Z; màng '#' a^ nm, ,z^ e(d và '#'
az nm, ,ze(d& Ph0ng t; nh7n th!y kết JuB thu đ-9 khFng 1h h91 v"i m\ tiêuđ5 r; Z; thí nghi6m 8à th;y thế mMt 1hần E h4 ] đN giBm giK tr/ khe n)ng 8-9ng
vng !m nh- kết JuB Z; K tK giB khK đ. Fng b: €q& 'X kết JuB thu đ-9 này
< thN đ-; r; nh7n đ/nh 8-9ng E th;y thế h4 ] Wn JuK nhỏ, h-; Bnh h-`ng nhi5u
8ên !u tr0 vng n)ng 8-9ng Z; v7t 8i6u& Eg-9 83i Z tr4ng mFi tr-ờng < n+ng đM
khí E^ 8"n hơn Bnh h-`ng trự tiế1 8ên kíh th-" h3t nh- đ. đ-9 đKnh giK tX đM bKn
rMng v3h 1h nhiUu x3 ti; ` 1hần trên&
38
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 46/53
+,nh /1Y 5h6 h0p thE c&a ba m8u T5Tj+ T5T+ T5T,
Ph0ng t; biết r_ng khi kíh th-" h3t giBm đến vng n;n4met , hi6u @ng kíh
th-" 8-9ng tO sƒ đ<ng v;i trW và đM rMng vng !m tính h4 v7t 8i6u < !u tr0 h3t
giB ầu sƒ đ-9 m` rMng r; the4 biNu th@ s;u~
'r4ng đ<~
• 8à bKn kính h3t tinh thN&
• ε 8à h_ng s: đi6n mFi Z; v7t 8i6u&
• µ 8à kh:i 8-9ng r0t gọn &
'X Fng th@ này h0ng t; th!y àng giBm thG giK tr/ n)ng 8-9ng vng !m C
àng t)ng, nghA; 8à bờ h!1 th\ sƒ àng >/h v5 1hí; n)ng 8-9ng ;4 hơn ab-" s<ng
39
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 47/53
ngắn hơnd& Ri5u này < v‘ Qng 1h h91 v"i kết JuB đKnh giK kíh th-" h3t tinh thN
xK đ/nh tX đM bKn rMng v3h nhiUu x3 ti; &
FrF ,k6 |uv dY d@ 6uy€n |u
+,nh /12 5h6 truyn 7ua c&a m8u T5T,
+,nh /1/ 5h6 truyn 7ua c&a m8u T5T,
#h truy5n Ju; đ-9 đ4 trên thiết b/ đ4 1h h!1 th\ ((o% ` nhi6t đM 1hWng&
Vết JuB thu đ-9 trGnh bày trên K hGnh &q^ và hGnh &q& 'X kết JuB đ4 h0ng t;
nh7n th!y mHu màng Z tr4ng mFi tr-ờng khí ]^|E^ h@; cf E^ < đM truy5n Ju;
kh4Bng cf tr4ng t4àn >Bi n)ng 8-9ng tX cc nm đến cc nm& Eg-9 83i khi Z tr4ng
40
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 48/53
mFi tr-ờng khí ]^|E^ h@; f E^ màng < đM truy5n Ju; tr4ng t4àn >Bi kh4Bng
cf& *;i màng < đM >ày t-ơng đ-ơng nh;u& (7y âu hỏi đDt r; 8à t3i s;4 đM truy5n
Ju; Z; màng Z tr4ng mFi tr-ờng khí ]^|E^ h@; n+ng đM khí E^ 8"n hơn 83i giBm«
'he4 h0ng tFi sự s\t giBm đM truy5n Ju; < thN khFng 8iên Ju;n t"i sự gi; t)ng đM
h!1 th\ Z; v7t 8i6u& Vết JuB thu đ-9 < thN < nhi5u nguyên nhân Bnh h-`ng 8ên sự
s\t giBm đM truy5n Ju; mà mMt vài tr4ng s: đ< 8à sự gi; t)ng Bnh h-`ng Z; biên h3t
khi kíh th-" Z; K h3t v7t 8i6u giBm và hi6u @ng t)ng -ờng tKn x3 b5 mDt h3t tinh
thN giB ầu khi bKn kính Z; JuB ầu tinh thN giBm&
41
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 49/53
,!T -U.N
'X K kết JuB nghiên @u đ. trGnh bày trên đây, nh?ng kết JuB hính Z; kh<;
8u7n < thN đ-9 tng kết nh- s;u~
q& R. hế t34 thành Fng màng 'i]^ kíh th-" n;n4 mYt đơn 1h;
;n;t;se b_ng 1h-ơng 1hK1 s48ge8&
^& R. Ju;n sKt th!y Bnh h-`ng Z; E^ 8ên sự hGnh thành tinh thN, \
thN 8à 8àm giBm kíh th-" h3t 'i]^& %ự giBm kíh th-" này < thN >4 E^ th;y
thế mMt 1hần nhỏ ]^ tr4ng !u tr0 Z; 'i]^ 8àm t)ng @ng su!t gây biến >3ng
m3ng ng)n Bn sự 1hKt triNn Z; tinh thN&
& R. Ju;n sKt th!y sự s\t giBm đM truy5n Ju; Z; màng 1h\ thuM
và4 n+ng đM E^ tr4ng mFi tr-ờng nung Z ` vng b-" s<ng tX cc nm đến cc
nm& %ự s\t giBm này < thN >4 sự gi; t)ng Bnh h-`ng Z; biên h3t khi kíh
th-" Z; K h3t v7t 8i6u giBm và sự t)ng -ờng Z; hi6u @ng tKn x3 b5 mDt h3t
tinh thN giB ầu khi bKn kính Z; JuB ầu tinh thN giBm&
42
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 50/53
TÀI -IỆU THA# ,H"
T%kng V%S6
€q EguyUn uân Eguyên, #h3m *+ng *Bi a^cc ̂*, KhD amoni trong nUc v9 nUc
th=i bng ph;ng ph!p 7uang hGa vUi x1c t!c TiO2& '31 hí Vh4; họ và PFngngh6, c ad, tr;ng ^c^&
€^ EguyUn uân Eguyên, Lê 'h/ *4ài E;m a^ccd& Nghin c>u xD lX nUc r!c
Nam L;n bng m9ng x1c t!c TiO2 v9 nHng lCng m.t trSi& '31 hí *<; họ và
@ng >\ng ad&
T%kng An3
€ ‡kir; u¬ishim;, V;uhit4 *;shim4t4, '4shiy; Š;t;n;be aqzd& TiO2
phtocatalysis undamentals and )pplications& '4ki4, {;1;n, E4vember ^c&
€ Phu;nyi Š;ng, {4se1h ;b;ni, jet8el Š& “;hnem;nn, {urgen V& j4hrm;nn
a^cc^d& 5hotonic efficiency and 7uantum yield of formaldehyde formation from
methanol in the presence of various TiO2 photocatalysts& {4urn;8 4l
#h4t4hemistry ;n> 1h4t4bi484gy ‡& Phemistry, (48 q, 11&qzqz&
€ Tike %hm4ter a$r;> %tu>entd, jr& ;rh;ng %h;>m;n a;u8ty ‡>vis4rd a^ccd&
5hotocatalytic egradation of Organics& je1;rtment 4l Phemi;8 ;n>
Cnvir4ment Cngineering, niversity 4l ‡ri4n;&
€z & ‡s;hi, '& T4rik;ˆ;, '& ]hˆ;ki, V& ‡4ki, ‰& ';g;& Visible-light photocatalysis
in nitrogen-doped titanium oxides& %iene ^ a^ccqd ^z^q&
€ '& T4rik;ˆ;, & ‡s;hi, '& ]hˆ;ki, V& ‡4ki, ‰& ';g;& Band-gap narrowing of
titanium dioxide by nitrogen doping & {1n& {& ‡118& #hys&c a^ccqd LzqLz&
€ *& orie, ‰& Š;t;n;be, V& *;shim4t4& Nitrogen-concentration dependence on
photocatalytic activity of TiO2 K x N x powders& {& #hys& Phem& “ qc a^ccd
z&
€ *& Lin;, ‡b>u8 V& um;ib, Tegh;n %hu8, jeminŠ;ng;, e; 4k>, P&#&
*u;ng;, ;n> %& osm;t %h;h& 5hotocatalytic activity of pulsed laser deposited TiO2
thin films, T;teri;8s %iene ;n> Cngineering “ qq a^ccd 1& q&
€qc Vh;8e>—&‰;hy;& haracteriation of 5ure and dopant TiO2 thin films for gas
sensors applications, Tinistry 4l *igher C>u;ti4n ;n> %ientili ese;rh,
niversity 4l 'ehn484gy ‡118ie> %ienes je1;rtment, {une ^cqc&
43
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 51/53
€qq &%& usu, $&o&usu, On the electrical of TiO2 thin film, {4urn;8 4l
41t4e8etr4nis ;n> ;>v;ne> m;teri;8s a ^ccd #^&
€q^ Teng Ei, Tih;e8 V&*& Leung , jennis ‰&P& Leung, V& %um;thy, ) review
and recent developments in photocatalytic water-splitting using TiO2 for hydrogen production, je1;rtment 4l Teh;ni;8 Cngineering, 'he niversity
4l *4ng V4ng,#4klu8;m 4;>, *4ng V4ng, eneˆ;b8e ;n> %ust;in;b8e Cnergy
evieˆs qq a^ccd cq^&
€q 'ryk j‡, u¬ishim; ‡, *4n>; V& ecent topics in photoelectrochemistry'
achievements and future prospects, C8etr4him ‡t; ^ccc~^zz&
€q meb;y;shi ', ‰;m;ki ', ot4h *, ‡s;i V& Band gap narrowing of titanium
dioxide by sulfur doping, ‡118 #hys Lett ^cc^qad~z&€q ]hn4 ', ‡kiy4shi T, meb;y;shi ', ‡s;i V, Titsui ', T;tsumur; T&
5reparation of L-doped TiO2 photocatalysts and their photocatalytic activities
under visible light & ‡118 P;t;8 ‡~ $en ^cc^z~qq^q&
€qz '4rres $, Lin>gren ', Lu {, $r;nJvist P$, Lin>Juist %C& 5hotoelectrochemical
study of nitrogen-doped titanium dioxide for water oxidation& { #hys Phem “
^ccqc~zcc&
€q Phen %—, —h;ng #‰, —hu;ng jT, —hu Š#& nvestigation of nitrogen doped TiO2 photocatalytic lms prepared by reactive magnetron sputtering & P;t;8 P4mmun
^cc~zc&
€q $48e {L, %t4ut {j, “ur>; P, L4u ‰“, Phen “& Pighly efcient formation of
visible light tunable TiO2-x N x photocatalysts and their transformation at the
nanoscale, { #hys Phem “ ^ccqc~q^cc&
€q #eng %[, Li ‰, {i;ng ‰, Lu $, Li %“& Qffect of Be2 doping TiO2 on its
photocatalytic activity, Phem #hys Lett ^ccaqd~^&€^c Ph4i Š‰, 'ermin ‡, *4llm;nn T& The role of metal ion dopants in 7uantum-
sied TiO2' correlation between photoreactivity and charge carrier
recombination dynamics& { #hys Phem q~qzz&
€^q Litter To& Peterogeneous photocatalysis transition metal ions in photocatalytic
systems& ‡118 P;t;8 “~Cnvir4n q^~qq&
€^ ̂ jv4r;n4v; j, “re4v; (, T;ur T, T;8;ti T& nvestigations of metal-doped
titanium dioxide photocatalysts, ‡118 P;t;8 “~ Cnvir4n ^cc^~qqc&
44
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 52/53
€^ *;mee> ‡, $4n>;8 T‡, ‰;m;ni —*& Qffect of transition metal doping on
photocatalytic activity of O for water splitting under laser illumination' role
of d-orbitals, P;t;8 P4mmun ^cc~q&
€^ u ‡Š, $;4 ‰, Liu *[& The preparation characteriation and their photocatalytic activities of rare- earthdoped TiO2 nanoparticles& { P;t;8
^cc^^c~qq&
€^ #;48; ‡j, T;ri $, #;8mis;n4 L, %hi;ve884 T, 4s;ki V, oke>; %, et ;8&
5reparation of polycrystalline TiO2 photocatalysts impregnated with various
transition metal ions' characteriation and photocatalytic activity for
degradation of \-nitrophenol & { #hys Phem “ ^cc^qcz~z&
€^z Šu %, T; —, [in ‰E, [i —, Li;ng —P& 5hotocatalytic redox activity of doped nanocrystalline TiO2& Šu8i *u;xue ueb;4 €in Phinese ^cc^ca^d~q&
€^ —4u *, [i %, *e *{, ‡n Lj, ju;n & 5reparation and photo-catalytic
activity of TiO2 lms doped with metal ions& { T48 P;t;8 €in Phinese
^ccqazd~zzc&
€^ ‰u;n Š*, “i *[, Šei P*& Qffect of n doping on the photocatalytic activity of
nano-sied TiO2& {% Phin; niv 'ehn48 aE;ture %iene C>iti4nd
^cc^ad~^^&€^ eng L, Lu %{, [iu L& nzuence of transition elements dopant on the
photocatalytic activities of nanometer TiO22& ‡t; Phimi; %ini; €in Phinese
^cc^zcad~z&
€c —h;4 jT, Š;ng j*, %hi *, ‰;n L& Ltudy on photocatalytic oxidation of p-
chlorophenol with transition metal-doped TiO2 nanoparticles& Cnvir4n #r4t
Phem on> €in Phinese ^cc^a^d~&
€q Ši8ke V, “reuer *j& The inzuence of transition metal doping on the physical and photocatalytic properties of titania& { #h4t4hem #h4t4bi48 ‡~ Phem
qq^qaqd~&
€^ Š;ng *, in {*—, ‰;ng ‰, Liu *, u LT, *u {*& The characteristics and
photocatalytic activities of silver doped nO nanocrystallites& ‡118 %url %i
^cc^^~q^&
€ u {P, %hi ‰L, *u;ng {C, Š;ng “, Li *L& oping metal ions only onto the
catalyst surface& { T48 P;t; ‡~ Phem ^cc^q~q&
45
7/23/2019 Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Mỏng Tio2 Nhằm Cho Mục Tiêu Ứng Dụng Quang Xúc Tác
http://slidepdf.com/reader/full/nghien-cuu-che-tao-mang-mong-tio2-nham-cho-muc-tieu-ung-dung 53/53
€ ]ht; '& On the theory of mechano-catalytic water-splitting system& on t {
*y>r4gen Cnergy ^ccc^~qq&
€ $4n>;8 T‡, *;mee> ‡, ‰;m;ni —*, %uˆ;iy;n ‡& 5roduction of hydrogen and
oxygen by water splitting using laser induced photo-catalysis over e2O& ‡118P;t;8 ‡~ $en ^cc^z~qz&
€z Pui T& L&, —hu {&, —h4ng& ‰&, —h;4‰& $&, ju;n & &, a^ccd& obalt valence
in epitaxial Tijoj,j{ O2 anatase& ‡118& #hys& Lett&, , 11&qzqcc&