MSQ Series
로터리 테이블/랙 피니언 타입
사이즈:1, 2, 3, 7, 10, 20, 30, 50, 70, 100, 200
261
테이블면의 높이를 낮춘 박형 타입의
대형 구름 베어링 3~4배의 축하중(CRQ시리즈와 비교)
워크의 설치가 용이●테이블 내경/외경 공차 기본형 :MSQB H9/h9 고정도형:MSQA H8/h8●위치결정 핀 구멍
●중공축 테이블에 설치한 기기의 배선, 배관을 수납
각도조정범위:0~190°
내부 업소버 부착
2~5배의 운동에너지(조정볼트 부착과 비교)
테이블의 레이디얼•스러스트 방향으로의
이동량 :0.01mm 이하
고정도 베어링을 채용테이블의 레이디얼•스러스트 방향으로의 이동량을 감소
기준지름(구멍) 핀 구멍
핀 구멍
본체의 설치가 용이●기준지름:보스, 구멍
●위치결정 핀 구멍
●2방향에서 설치
기준지름(보스)
고정도형
MSQA
단면•측면 방향에서 배관설치조건에 따라서 배관위치를 선택할 수 있습니다.
구름 베어링
고정도 베어링
고정도형
단면방향
A포트측면방향
B포트측면방향
B포트
A포트
262
기본형
MSQB중공축
테이블 내외경
회전중심과 워크의 중심 맞춤용
위치결정핀 구멍
회전방향의 위치 결정용
사이즈
중공지름
1ø3.5
2ø3.8
3ø5
7ø6
사이즈
중공지름
10ø6
20ø9
30ø12
50ø13
70ø16
200ø24
100ø19
로터리테이블 MSQ Series랙 & 피니언 타입
좌우 대칭형
외부 쇼크 업소버 부착외부 쇼크 업소버 부착
소형시리즈/사이즈 1,2,3,7
길이방향의 치수를 단축조정볼트, 내부 업소버의 돌출이 없어서 길이 방향의 설치 공간을 절감
4~10배의 허용 운동에너지(내부 업소버 부착과의 비교)
저에너지용과 고에너지용의 2종류의쇼크 업소버를 준비
0.2 0.3 0.4 0.60.5 1.00.90.80.7요동시간 (s/90°)
관성
모멘
트(k
g・m
2 )
1
0.1
0.01
0.001
0.0001
조정 볼트 부착
내부 업소버 부착
고에너지용
저에너지용
외부 업소버 부착
허용 운동에너지 비교(사이즈30의 경우)
테이블 높이는 조정볼트 부착, 내부 업소버 부착과 동일
표준형90°
180° 대칭형
뛰어난 설치성몸체의 소형화뿐 아니라 배선, 배관 처리도 변경하여 공간절약화를 실현. 소형 몸체의 장점을 최대한 살린 설치가 가능.
요동각도:90° , 180°
소형�경량
본체 설치 시의 중심 맞춤이 용이자유 설치
측면설치밑면설치윗면설치
기준지름(구멍)핀 구멍
소형시리즈/사이즈 1,2,3,7
사이즈
1237
형식
MSQB1AMSQB2AMSQB3AMSQB7A
mm
A50.556 60 73.5
B28 30 34.541
C25 28 30.534.5
D16 18 20.523
치수질량(g) 70105150250사진은 MSQB1A
기준지름(구경)
핀 구멍
설치조건에 맞추어 선택할 수 있는 배선, 배관방향오토스위치, 스피드 컨트롤러 부착예
CD
A
B
요동 테이블 유니트
A포트
B포트B포트
A포트
263
테이블 변위량(참고값)� 회전 중심에서 100mm 떨어진 점 A에 하중을 작용시켰을 때 점 A에서의 변위량입니다.
MSQ2A
MSQ1A
MSQ3A
MSQ7A
변위
100
하중A
0 5 10 15 20 25 30
10203040
400
0 10 20 30 40 50
10203040
190200
250
300
0 10 20 30 40 50 60 70
50130150
200
250
300
0 20 40 60 80 100 120
350변위량 μm
하중 N변위량 μm
하중 N
변위량 μm
하중 N
변위량 μm
하중 N
MSQ20
MSQ10
MSQ30
MSQ50
MSQB
10(기
본형)
MSQA10(고정도형)
MSQA30(고정도형)
MSQB30(기
본형)
MSQA20(고정도형)
MSQB
20(기
본형)
0
100
80
60
40
20
987654321
변위량 μm
하중 N
MSQB
1A(기본
형)
MSQA1A(
고정도형)
0
20
40
60
80
100
12108642
변위량 μm
하중 N
MSQB
2A(기본
형)
MSQA2A(고정도형)
0
20
40
60
80
100
18161412108642
변위량 μm
하중 N
MSQB3A(
기본형)
MSQA3A(고정도형)
0
20
40
60
80
100
24222018161412108642
변위량 μm
하중 N
MSQB7A(
기본형)
MSQA7A(
고정도형
)
MSQ Series
350
300
250
200
15012050
MSQA50(고정도형)
MSQB
50(기
본형)
264
265
테이블 변위량(참고값)회전 중심에서 100mm 떨어진 점 A에 하중을 작용시켰을 때 점 A에서의 변위량입니다.
MSQB70 MSQB100
MSQB200
변위
100Arm 하중
A
변위량 μm
하중 N806040 120100200
80
70
60
50
40
30
20
10
변위량 μm
하중 N
변위량 μm
하중 N
908070605040302010
300250200150100500
180160140120
80
70
60
50
40
30
20
10
806040 100200
흔들림 정도:180°요동시의 변위량(참고값)
테이블 외주면의 흔들림량
테이블 윗면의 흔들림량
측정장소
테이블 윗면의 흔들림량
테이블 외주면의 흔들림량
MSQA MSQB0.030.03
0.10.1
표중의 값은 실효값이며 보증값은 아닙니다.
mm
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
266
MSQB오토스위치 추가기호
무기호Sn
2개 부착1개 부착n개 부착
오토스위치
무기호 오토스위치 없음(자석내장)
사이즈
A
E
조정볼트 부착
1237
※구입후, 포트 위치는 변경할 수 없습니다.
형식표시방법
A M9BW1기본형
MSQA A M9BW1고정도형
사이즈:1, 2, 3, 7MSQ Series로터리 테이블/랙 피니언 타입
※오토스위치의 품번은 아래표를 참조하십시오.※오토스위치는 동봉되어 출하(미조립)됩니다.
접속포트 위치
무기호
단면포트
정면포트
※※내수성 향상타입의 오토스위치를 부착하는 것은 가능합니다만, 로터리 액추에이터는 내수성 향상 타입으로 되어 있지 않습니다.※리드선길이 표시기호 0.5m……………무기호 (예)M9NW 1m…………… M (예)M9NWM 3m…………… L (예)M9NWL 5m…………… Z (예)M9NWZ
주1) D-F8를 사용하는 경우는 철 등의 자성체에서 10mm 이상 떨어뜨려 설치해 주십시오.※오토스위치는 동봉 출하(미조립)됩니다.
※표시의 무접점 오토스위치는 주문 생산됩니다.
적용 오토스위치의 종류/오토스위치의 상세 사양은 별도 문의하십시오.
유
종류
무접점
오토스위치
특수기능리드선취출
그로메트
표시등
—
배선(출력)
3선(NPN)
3선(PNP)
2선
3선(NPN)3선(PNP)
2선
3선(NPN)3선(PNP)
2선
부하전압
DC
24V
AC
리드선 길이(m)※
0.5(무기호)
3(L)
1(M)
적용부하프리와이어
커넥터
IC회로
—
M9NVF8N
M9PVF8P
M9BVF8B
M9NWVM9PWVM9BWV※※M9NAV※※M9PAV※※M9BAV
오토스위치 품번
종취출
M9N—
M9P—
M9B—
M9NWM9PWM9BW
※※M9NA※※M9PA※※M9BA
횡취출
—
릴레이,PLC
5(Z)
5V,12V
12V
진단표시(2색표시)
내수성 향상품(2색표시)
12V
5V,12V
12V
5V,12V
—
IC회로
—
IC회로
※무접점 오토스위치 프리와이어 커넥터부착 상세 내용은 별도 문의하십시오.
소구경/단스트로크의 액추에이터는 고빈도로 작동시키면 조건에 따라 배관 내에 결로(물방울)가 발생하는 경우가 있습니다.액추에이터에 배관하는 것만으로도 결로의 발생을 방지합니다. 상세사항은 WEB 카탈로그 IDK Series를 참조하십시오.
모이스춰컨트롤 튜브IDK Series
267
표시기호
고정도형
기본형
BK
PA(진공포트)
클린 시리즈
외형치수도클린시리즈에는 회전 중심부에 중공 구멍이 없습니다.
기본형11-MSQB�A고정도형11-MSQA�A
사이즈
1237
BK PA5.37.59.57
M3×0.5M3×0.5M3×0.5M5×0.8
상기 이외의 치수는 기본형·고정도형과 동일합니다.
1 2 3 7
M3×0.5 M5×0.8
1237
0.001 0.00150.002 0.006
ø6 ø8 ø10 ø12
0.2~0.7
0.2~1.0
1 2 3 77580
105115
150165
250265
(g)
사양
사이즈
사용유체
최고사용압력
최저사용압력
주위온도 및 사용유체온도
쿠션
각도조정범위
최대요동각도
실린더 내경
포트사이즈
공기(무급유)
0.7MPa
0.1MPa
0~60℃(단, 동결 없어야 함)
0~190°
190°
허용 운동에너지와 요동시간 조정범위
사이즈 허용운동에너지(mJ) 작동상 안정된 요동시간 조정범위(s/90°)
질량
사이즈
기본형
고정도형
러버쿠션없음
주) 오토스위치의 질량을 제외한 값입니다.
주) 허용치를 넘는 운동 에너지로 동작시켰을 경우, 제품 내부에 파손이 생겨 사용이 불가능해질 우려가 있으므로, 운동 에너지가 허용치를 넘지 않도록 설계시·운동시에는 충분히 주의해 주십시오.
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
몸체 측면의 진공 포트에서 진공 흡인하므로 제품 내부의 발진을 클린룸 안으로 비산시키지 않습니다.
11 MSQ
A
AB
1237
1 M9BWB A E S형식표시방법
오토스위치추가기호
오토스위치
사이즈
클린시리즈진공타입
조정볼트 부착
고정도형
기본형접속포트 위치
무기호
E단면포트
정면포트
사양
주1)상세한 사항은「클린룸용 공기압 기기」 카탈로그를 참조하십시오.
상기 이외는 11-MSQA는 고정도형, 11-MSQB는 기본형과 동일합니다.
청정도 Class(ISO Class)ISO Class 3주1)
흡입유량(참고값)1L/min(ANR)
조정볼트B
조정볼트A
위치결정 핀구멍
22.5°
5°
시계 방향회전
반시계 방향회전
A포트B포트
B포트
최대요동범위 190°
시계방향 회전단
조정범위 95°
빈시계방향
회전단
조정범위
95°
시계방향
90° 요동
조정볼트B로조정하는 폭
조정볼트A로조정하는 폭
90° 요동
조정볼트B로조정하는 폭
조정볼트A로조정하는 폭
90° 요동
조정볼트B로조정하는 폭
조정볼트A로조정하는 폭
조정볼트A로
조정하는 폭
조정볼트B로조정하는 폭
핀 구멍의 요동범위
180° 요동
조정볼트A
조정볼트B
(반시계방향 회전단 조정용)
(시계방향 회전단 조정용)
위치결정용 핀 구멍
190°(최대)요동
사이즈
1237
각도조정나사 1회전당 조정각도
8.2° 10.0° 10.9° 10.2°
조정볼트 부착, 내부 업소버 부착
MSQ Series
요동방향 및 요동각도
•A포트에서 가압하면 테이블은 시계 방향으로 회전하고, B포트에서 가압하면, 반시계 방향으로 회전합니다.•조정볼트를 조정하여 그림의 범위에서 회전단을 설정할 수가 있습니다.
(시계방향 회전단 조정용)
(반시계방향 회전단 조정용)
주)· 그림은 위치결정 핀구멍의 요동범위를 나타냅니다. · 그림의 핀구멍 위치는 조정볼트 A,B를 동일하게 체결하여 요동각도 180°로 조정한 경우의 반시계방향 회전단을 나 타냅니다.
요동각도범위 설정예
•조정볼트 A,B의 조정으로 아래 그림과 같이 다양한 요동 범위를 설정할 수 있습니다. (그림은 위치 결정핀 구멍의 요동범위를 나타냅니다.)
268
!6!7!8
!8
!1
er
@1 !2
!9
u@0q
!7
o i t !0 y w@4!5!4 @3@2 !3
12345678910111213141516
17
18
192021222324
번호 부품명 재질
본체
커버
플레이트
패킹
엔드커버
피스톤
피니언
육각너트
조정볼트
쿠션패드
테이블
베어링 리테이너
자석
웨어링
피스톤 패킹
깊은홈 볼베어링
깊은홈 볼베어링
특수 베어링
십자구멍부착 0번 냄비머리작은나사
십자구멍부착 냄비머리작은나사
십자구멍부착 냄비머리작은나사
십자구멍부착 0번 냄비머리작은나사
육각구멍부착 볼트
평행 핀Seal와셔
육각구멍부착 고정나사
O-ring
알루미늄합금
알루미늄합금
알루미늄합금
NBR알루미늄합금
스테인리스
크롬 몰리브덴강
강선
강선
탄성재
알루미늄합금
알루미늄합금
—수지
NBR베어링강
베어링강
강선
강선
스테인리스
탄소강
NBR스테인리스
NBR
비고
알루마이트
알루마이트
크로메이트
알루마이트
알루마이트
알루마이트
사이즈:3, 7
기본형
고정도형
기본형
고정도형
사이즈:1~3사이즈:7
구조도
구성부품
※23 육각구멍부착 고정나사는 접속포트 위치에 따라 장착위치가 바뀝니다.※부품 단품으로의 출하 대응은 하지 않습니다.
MSQA�A(고정도형)
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
269
(mm)
사이즈
1237
DH27h829h833h839h8
DI27.5h829.5h834h840h8
DJ14H814H817H820H8
DL4.5H85 H86 H87 H8
FE8.29.79.79.5
HA13.515.515.516.5
UV29.533.536 39.5
(mm)
øDL
(U
V)H
AFE
øDIøDHøDJ
고정도형/MSQA�A
외형치수도/사이즈1, 2, 3, 7
기본형/MSQB�A
사이즈
1237
BC4.55.55.55.5
JJM3×0.5M3×0.5M3×0.5M4×0.7
JK3.53.53.54.5
JUM3×0.5M4×0.7M5×0.8
M6×1
PM3×0.5M3×0.5M3×0.5M5×0.8
WDM3×0.5M3×0.5M3×0.5M4×0.7
S50.556 60 73.5
Q16 18 20.523
SD10.813.415.215.4
SF24.426.231 37.4
SU 9.411.311.814.9
UU25 28 30.534.5
WA 9.510 12 14
WB2H92H92H93H9
WC2223
WE4.85.35.36.5
WF20212529
XA22.524.527 32.5
XB2H92H92H93H9
XC2223
YA11 11.513.515.5
YB2H92H92H93H9
YC2223
BD32343845
BE17 18.523 30
BG11 12.615.518.4
BH 8.2 9.210.512.2
BI30354050
BJ4.54.54.55
D27h929h933h939h9
DD27.5h929.5h934 h940 h9
DE14H914H917H920H9
DF3.53.85 6
DG4.5H95 H96 H97 H9
FA4.85.35.36.5
FB2 2.52.52.5
FD3.74.24.24.5
H9
10 10 11.5
J3.33.34.24.2
JB3.53.54.54.5
JCM4×0.7M4×0.7M5×0.8M5×0.8
JD2.22.22.52.5
JE5.35.36 6
JFM4×0.7M4×0.7M4×0.7M5×0.8
JG4445
JA6 6 7.57.5
(mm)
사이즈
1237
A28 30 34.541
AU2.83.64.44.8
AV11 12.615.518.4
AW 8.2 9.210.512.2
AX5.57 8
10
AY1.52 2.53
BA35374350
BB39.645.146.759.2
(mm)
사이즈
1237
(mm)
JD
BJ
BI
1WA
1XAW
B 유효
깊이 W
C
22.5゚
XB 유
효깊
이 X
CBE
WF
BABD
YB 유효깊이 YC
1YA
ASFAV
AXAY
SDA
W
BH
BG
( UU
)H
QFAFD
BC
유효
깊이
1.2
유효
깊이
FB
(Max.≒SU) SAU BB
øDGøDF(관통)
øDDøD
øDE
2×JF깊이JG
8×WD깊이WE(주8등분)4×JJ깊이JK
JA C.B.깊이 JB2×J 관통
2×P
2×P
2×JC
2×JU
MSQ Series
(정면포트 사용 시에는 육각 구멍부착 고정나사로 막음)
단면포트
(단면포트 사용시에는 육각구멍부착 고정나사로 막음)
정면포트
본체 밑면에서부터 나사 탭 깊이 JE(JD는 포함하지 않음)
270
271
형식표시방법
로터리 테이블/랙 피니언 타입
사이즈:10, 20, 30, 50, 70, 100, 200MSQ Series
MSQ B 10 A M9BW
10 20 30 50 70100200
AR
조정볼트 부착내부 업소버 부착
10203050
MSQ A 10 A M9BW
M5Rc1/8G1/8
NPT1/8
사이즈
사이즈
기본형
고정도형
오토스위치 추가기호무기호
Sn
2개 부착1개 부착n개 부착
오토스위치무기호 오토스위치 없음(자석내장)
※오토스위치의 품번은 아래표를 참조하십시오.
포트나사 종류
무기호
무기호
-XF-XN
단면포트의 종류 사이즈
10, 2030, 50,70, 100,
200※측면포트는 모두 M5입니다.
A96
A93A90
3선
(NPN 상당) —
24V그로메트
24V
2선
3선(NPN)3선(PNP)
2선
3선(NPN)3선(PNP)
2선
3선(NPN)3선(PNP)
2선
유
무
유
DC AC 5(Z)
오토스위치
유접점
무접점
오토스위치
그로메트
—
100V100V 이하
—
1(M)
IC회로
—IC회로
IC회로
—
IC회로
—
IC회로
—
—
릴레이,PLC
릴레이,PLC
—
—
진단표시(2색표시)
내수성 향상품(2색표시)
5V
12V
5V,12V
12V
5V,12V
12V
5V,12V
12V
3(L)
적용 오토스위치의 종류/오토스위치 개별의 상세 사양은 홈페이지 WEB 카탈로그를 참조해 주십시오.
종류 특수기능리드선취출
표시등
배선(출력)부하전압 리드선 길이(m)※
0.5(무기호)
적용부하프리와이어
커넥터
오토스위치 품번
종취출 횡취출
※1 내수성 향상 타입의 오토스위치를 부착하는 것은 가능합니다만, 로터리 액추에이터는 내수성 향상 타입으로 되어 있지 않습니다.※2 리드선 길이 1m 타입은 D-A93만 대응됩니다.※리드선길이 표시기호 0.5m……………무기호 (예)M9NW 1m…………… M (예)M9NWM 3m…………… L (예)M9NWL 5m…………… Z (예)M9NWZ
※오토스위치는 동봉 출하(미조립)됩니다.
※표시의 무접점 오토스위치는 주문 생산됩니다.
※무접점 오토스위치 프리와이어 커넥터부착 상세 홈페이지 상의 WEB 카탈로그를 참조해 주십시오.
A96V※2A93V
A90V
M9NVM9PVM9BVM9NWVM9PWVM9BWV
※1M9NAV※1M9PAV※1M9BAV
M9NM9PM9BM9NWM9PWM9BW
※1M9NA※1M9PA※1M9BA
―
●―
272
10500510530540
2094094010401040
301230123013501350
501990201021502170
7028802890
10040904100
―
20075807650
(g)
표시기호
기본형/MSQB
고정도형/MSQA
MSQ Series
단면포트 측면포트
공기(무급유)
1MPa
0.6MPa 주1)
0.1MPa
0~60℃(단, 동결 없어야 함)
러버 쿠션
쇼크 업소버
0~190゜190゜
조정볼트 부착
내부업소버 부착
조정볼트 부착
내부업소버 부착
기본형
고정도형
단면포트
측면포트
10 20 30 50 70 100 200
M5×0.8M5×0.8
Rc1/8, G1/8, NPT1/8
RBA0805-X692 RBA1006-X692 RBA1411
-X692
주1) 업소버의 최대허용추력에 따라 액추에이터의 최고사용압력이 제한됩니다.주2) 내부 업소버 부착의 요동각도를 아래 표의 값보다 작게 설정하면, 업소버의 유효 스트로크 보다도 피스톤의 스트로크가 작아져, 에너지 흡수능력이 저하되므로 주의하십시오.
업소버형식 RBA2015-X821 RBA2725
-X821
0.2MPa
ø15 ø18 ø21 ø25 ø28 ø32 ø40
0.1MPa —
사이즈
에너지 흡수능력이저하되지 않는 최소요동각도
52° 43° 40° 60° 71° 62° 82°
20 30 70 100 2005010
주2)
쇼크 업소버의 수명은 사용조건에 따라 로터리 테이블 본체와는 다릅니다.교환의 기준은 개별주의사항란을 참조해 주십시오.
사양
사이즈
사용유체
최고사용압력
최저사용압력
주위온도 및 사용유체온도
쿠션
각도조정범위
최대요동각도
실린더 내경
포트사이즈
허용 운동에너지와 요동시간 조정범위
사이즈
1020305070100200
조정 볼트 부착
0.0070.0250.0480.0810.2400.3200.560
내부 업소버 부착
0.0390.1160.1160.2941.1001.6002.900
허용운동에너지(J) 주1)
조정 볼트 부착
0.2~1.0 0.2~0.7
0.2~1.00.2~1.50.2~2.00.2~2.5
내부 업소버 부착 주2)작동상 안정된 요동시간 조정범위(s/90°)
주1) 허용치를 넘은 운동 에너지로 동작시켰을 경우, 제품 내부에 파손이 생겨 사용이 불가능해질 우려가 있으므로, 운동 에너지가 허용치를 넘지 않도록 설계시·운동 시에는 충분히 주의해 주십시오.
주2) 내부 업소버 부착의 요동시간을 표보다 길게 설정하고 싶은 경우, 쇼크 업소버의 에너지 흡수능력은 현저하게 저하되므로 주의해 주십시오.
주) 오토스위치의 질량을 제외한 값입니다.
질량
사이즈
기본형
고정도형
조정볼트 부착
내부업소버 부착
조정볼트 부착
내부업소버 부착
반시계방향회전
시계방향회전B포트
A포트
22.5°
5°위치결정 핀구멍
조정볼트A(반시계방향 회전단 조정용)
조정볼트B(시계방향 회전단 조정용)
시계방향
시계방향 회전단
반시
계방향
회전단
조정범위 95°
조정
범위
95°
최대요동범위 190°
조정볼트A로조정하는 폭
조정볼트A로조정하는 폭
조정볼트A로조정하는 폭
조정볼트B로조정하는 폭
조정볼트B로조정하는 폭
조정볼트B로조정하는 폭
90° 요동90° 요동90° 요동
180° 요동190°(최대) 요동핀 구멍의 요동범위
조정볼트B로조정하는 폭
조정볼트A로조정하는 폭위치결정 핀 구멍
조정볼트B(시계방향 회전단 조정용)
조정볼트A(반시계방향 회전단 조정용)
사이즈
10 20 30 50 70100200
각도조정나사 1회전당 조정각도
10.2° 7.2° 6.5° 8.2° 7.0° 6.1° 4.9°
조정볼트 부착, 내부 업소버 부착
요동방향 및 요동각도
•A포트에서 가압하면 테이블은 시계 방향으로 회전하고, B포트에서 가압하면, 반시계 방향으로 회전합니다.•조정볼트를 조정하여 그림의 범위에서 회전단을 설정할 수가 있습니다. •내부 업소버 부착의 경우도 동일하게 요동각도를 설정할 수 있습니다.
•조정볼트 A,B의 조정으로 아래 그림과 같이 다양한 요동 범위를 설정할 수 있습니다. (그림은 위치 결정핀 구멍의 요동범위를 나타냅니다.)
•내부 업소버 부착의 경우도 동일하게 요동각도를 설정할 수 있습니다.
요동각도범위 설정예
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
주) ·그림은 위치결정 핀구멍의 요동범위를 나타냅니다. ·그림의 핀구멍 위치는 조정볼트 A,B를 동일하게 체결하여 요동각도 180°로 조정한 경우의 반시계방향 회전단을 나 타냅니다.
273
274
외형치수도클린시리즈에는 회전 중심부에 중공 구멍이 없습니다.
형식표시방법 사양
11 MSQ
사이즈
클린시리즈진공타입
AB
고정도형
기본형
10203050
10B
주1)상세한 사항은「클린룸용 공기압 기기」 카탈로그를 참조하십시오.
상기 이외는 11-MSQA는 고정도형, 11-MSQB는 기본형과 동일합니다.
흡입유량(참고값)1L/min(ANR)
기본형11-MSQB□A11-MSQB□R
고정도형11-MSQA□A11-MSQA□R
사이즈
10203050
DC(H9)20283235
DA(h9)46616777
DB(h9)45606575
DD(h9)35404854
HB20222224
HC5667
HD59656877
(mm)
상기 이외의 치수는 기본형과 동일합니다.
사이즈
10203050
DA(h8)46616777
DB(h8)45606575
DC(H8)20283235
DD(h8)35404854
HA15.519.519.521.5
HB24303034
HC5667
HD63737687
HE 9.513.513.515.5
(mm)
상기 이외의 치수는 고정도형과 동일합니다.
오토스위치추가기호
AR
조정볼트 부착
쇼크 업소버 부착
M9BWA
포트종류
무기호
무기호
-XF-XN
M5Rc1/8G1/8
NPT1/8
단면포트의 종류 사이즈
10, 20
30, 50
※측면포트는 모두 M5입니다.
MSQ Series
오토스위치
무기호 오토스위치 없음(자석내장)※오토스위치의 품번에 대해서는 P.255를 참조해 주십시오.
M5×0.8 깊이5(진공 포트)
HE
øDD
øDAøDBøDC
M5×0.8 깊이5(진공 포트)
øDAøDBøDC
(H
D)
HC
HB
11.5
5.5
øDD
HB
(H
D)
HC
HA
클린 시리즈
몸체 측면의 진공 포트에서 진공 흡입하므로 제품 내부의 발진을 클린룸 안으로 비산시키지 않습니다.
청정도 Class(ISO Class)ISO Class 3주1)
@1!2!5!4!9@6u@3@0@2@9#0!3@0
q
#1 o i @7 @8 t !0 y !6 !7 !8 !1 @5 e r w@4
MSQA □□(고정도형)
MSQ □□ R(내부 업소버 부착)
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
구조도
교환부품
부품명사이즈
10P523010-5
번호 부품명 수량
41213171827
패킹
가스켓
가스켓
웨어링
피스톤 패킹
Seal 와셔
111442
20P523020-5
번호 부품명 수량
41213171827
패킹
가스켓
가스켓
웨어링
피스톤 패킹
Seal 와셔
111442
30P523030-5
번호 부품명 수량
41213171827
패킹
가스켓
가스켓
웨어링
피스톤 패킹
Seal 와셔
111442
50P523040-5
번호 부품명 수량
41213171827
패킹
가스켓
가스켓
웨어링
피스톤 패킹
Seal 와셔
111442
70P391050-5
번호 부품명 수량
41217182729
패킹
가스켓
웨어링
피스톤 패킹
Seal 와셔
O-ring
144424
100P391060-5
번호 부품명 수량
41217182729
패킹
가스켓
웨어링
피스톤 패킹
Seal 와셔
O-ring
144424
200P391070-5
번호 부품명 수량
41217182729
패킹
가스켓
웨어링
피스톤 패킹
Seal 와셔
O-ring
144424
패킹 세트
패킹 세트에
포함되는 부품
구성부품
1
2
34
5
67
8
910
11
12131415161718
번호 부품명 재질
본체
커버
플레이트
패킹
엔드커버
피스톤
피니언
소형 육각너트
육각너트
조정볼트
쿠션패드
ー패킹 리테이너
가스켓
가스켓
테이블
베어링 리테이너
자석
웨어링
피스톤 패킹
알루미늄 합금
알루미늄 합금
알루미늄 합금
NBR
알루미늄 합금
스테인리스
크롬 몰리브덴강
강선
크롬 몰리브덴강
탄성재
―알루미늄 합금
NBRNBR
알루미늄 합금
알루미늄 합금
―수지
NBR
비고
알루마이트
니켈도금
도장
크로메이트
니켈도금
도장
크로메이트
크로메이트
알루마이트
알루마이트
사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200
사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200
클린사양
클린사양 이외
클린사양
클린사양 이외
19
20
21
22
23
24
25
26
2728293031
번호 부품명 재질
베어링
니들 베어링
베어링
앵귤러 베어링
십자구멍부착 0번 냄비머리작은나사
십자구멍부착 냄비머리작은나사
낮은머리 육각구멍부착 볼트
육각구멍부착 볼트
육각구멍부착 볼트
육각구멍부착 볼트
푸시 너트
CS형 스냅링
평행 핀평행 KeySeal 와셔
플러그
O-ring강구
쇼크 업소버
베어링강
베어링강
강선
스테인리스
강선
강선
스테인리스
스테인리스
강선
스테인리스
탄소강
NBR강선
NBR스테인리스
−
비고
니켈 도금
사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200기본형
고정도형
사이즈: 20〜 50사이즈: 70〜200사이즈: 10 사이즈: 20〜 50사이즈: 70〜200
사이즈: 10〜 70사이즈: 100〜200사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200
사이즈: 70〜200만사이즈: 70〜200만
※부품단품으로는 주문 대응을 하고 있지 않습니다.
그리스 팩(10g)이 부속됩니다. 그리스 팩만 필요한 경우는 아래 품번으로 주문해 주십시오.그리스 팩 품번:GR-S-010(10g)
275
외형치수도/사이즈 10, 20, 30, 50
기본형/MSQB�A
내부 쇼크 업소버 부착MSQA□RMSQB□R
고정도형MSQA□A/조정 볼트 부착MSQA□R/내부 쇼크 업소버 부착
사이즈
10203050
AA55.470.875.485.4
JCM 8×1.25M10×1.5 M10×1.5 M12×1.75
JD12151518
JJM5×0.8 M6×1 M6×1 M8×1.25
JUM 8×1 M10×1 M10×1 M14×1.5
PM5×0.8M5×0.8Rc1/8※
Rc1/8※
WDM5×0.8 M6×1 M6×1 M8×1.25
S 92117127152
Q34374046
SD9
10 11.514.5
SE13121415
SF45606575
SU17.725 25 31.4
UU47545766
WA15 20.523 26.5
WB3H94H94H95H9
WC3.54.54.55.5
WE 8101012
WF32434855
XA27363945
XB3H94H94H95H9
XC3.54.54.55.5
YA19242833
YB3H94H94H95H9
YC3.54.54.55.5
A50657080
AU 6.6 7.6 7.610
AV20 27.529 38
AW15.516 18.522
AX12141419
AY4556
BA 9.512 12 15.5
BB34.546 50 63
BC27.830 32 37.5
BD 60 76 84100
BE27343750
CA4.56 6.5
10
CB28.530.533.537.5
D45h960h965h975h9
DD46h961h967h977h9
DE20H928H932H935H9
DF 6 91213
FA 8101012
FB4 6 4.55
FC3 2.53 3
FD4.56.56.57.5
H13171720
J 6.8 8.6 8.610.5
JA11141418
JB 6.5 8.5 8.510.5
DG15H917H922H926H9
(mm)
사이즈
10203050
DH45h860h865h875h8
DI46h861h867h877h8
DJ20H828H832H835H8
DK 6 91213
DL15H817H822H826H8
FE10 15.516.517.5
HA18.526 27 30
UV52.563 67 76
(mm)
사이즈
10203050
(mm)
※Rc1/8 이외에 G1/8, NPT1/8도 선택 가능합니다.
MSQ Series
사이즈
10203050
FU31.534.734.751.7
(mm)
(Max.≒FU)
øDK(관통)øDL
øDIøDHøDJ
(U
V)H
AFE
øDF(관통)AU
CA
XB유효깊이XC
WF
BE
유효깊이
FB
유효깊이
FC
(Max.≒ SU) SBA øDG
2×P포트
2×M5×0.8포트(플러그로 막음)
8×WD×깊이WE(주8등분)
4×JJ깊이8
2×J 관통JA C.B.깊이 JB
화살표시부
2×JU2×JC깊이JD
BB
SE BC
AW
AAASFAVAXAY
SD
WAXA
2
222.5°
45°
CB (
UU)
QH
FAFD
2YA
YB유효깊이
YC
BA
øDEøD
øDDBD
WB유효깊이W
C
WB유효깊이W
C
276
277
외형치수도/사이즈 70, 100, 200
기본형/MSQB�A
사이즈
70100200
AA 90101119
JCM12×1.75M12×1.75M16×2
JD181825
JK101013
JJ M 8×1.25 M 8×1.25 M12×1.75
JUM20×1.5M20×1.5M27×1.5
WD M 8×1.25
M10×1.5 M12×1.75
S170189240
Q535974
SD182229
SF 79 90108
SU34.234.340.2
UU 75 86106
WA32.537.544
WB5H96H98H9
WC5.56.58.5
WE12.514.516.5
WF677790
XA545969
XB5H96H98H9
XC3.54.54.5
YA394954
YB5H96H98H9
YC3.54.56.5
AB 92102120
A 84 95113
AV425060
AW25.529.536.5
AX272736
AY 8 810
BA171724
BB 75 85103
BC44.550.565.5
BD110130150
BE576680
CB364257
D88h998h9116h9
DD90h9100h9118h9
DE46H956H964H9
DF161924
FA12.514.516.5
FB569
FC3.53.55.5
FD 91215
H222732
J10.410.414.2
JA17.517.520
JB10.510.512.5
DG22H924H932H9
(mm)
사이즈
70100200
FU55.455.579.5
(mm)
사이즈
70100200
(mm)
쇼크 업소버 부착MSQB�R
※Rc1/8 이외에 G1/8, NPT1/8도 선택 가능합니다.
(UU)
WF
AX
(Max.≒SU)
AY
45°
AAYB
유효깊이
YC
2YA
9
øDG
XB유효깊이XC
2
XA
BB
15SD
30°
BC
CB
AW
AB
ASFAV
2WA
22.5°
BE
BD
유효깊이
FBFD
FAH
Q유효깊이
FC
øDDøD
øDE
8 BA BA
S
øDF(관통)
2×JU
2×M5×0.8(플러그)포트
2×Rc1/8포트
2×JC깊이JD
2×J 관통JA C.B.깊이 JB
4×JJ 깊이 JK
8×WD깊이WE(주8등분)
(Max.≒FU)
화살표시부
WB유효깊이W
C
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
278
MSQ
오토스위치의추가기호
무기호Sn
2개 부착1개 부착n개 부착
접속포트위치 및 요동각도
2345
표준형
대칭형
180° 90°180° 90°
AB
고정도형
기본형
오토스위치
무기호 오토스위치 없음(자석내장)
사이즈
LH
저 에너지용 쇼크 업소버고 에너지용 쇼크 업소버
요동각도
180° 90°2:표준형, 180°
4:대칭형, 180°
3:표준형, 90°
5:대칭형, 90°
10203050
우측 표를 참조하십시오.
형식표시방법
쇼크 업소버 종류
무기호X
표준품주문제작사양
B 10 L주문제작사양 또는 포트 종류
M9BW2
접속포트위치/요동각도
표준형
대칭형
접속포트위치
※오토스위치의 품번은 아래표를 참조하십시오.
무기호무기호
-XF-XN
M5Rc1/8G1/8
NPT1/8
단면 포트 종류 사이즈
10, 20
30, 50
※측면 포트는 모두 M5입니다.※주문제작사양과의 조합은 할 수 없습니다.
로터리 테이블/랙 피니언 타입
사이즈:10, 20, 30, 50MSQ Series 외부 업소버 부착
접속포트
접속포트
접속포트
접속포트
주문제작사양은 P.284를 참조해 주십시오.
A96
A93A90
3선
(NPN 상당) —
24V그로메트
24V
2선
3선(NPN)3선(PNP)
2선
3선(NPN)3선(PNP)
2선
3선(NPN)3선(PNP)
2선
유
무
유
DC AC 5(Z)
오토스위치
유접점
무접점
오토스위치
그로메트
—
100V100V 이하
—
1(M)
IC회로
—IC회로
IC회로
—
IC회로
—
IC회로
—
—
릴레이,PLC
릴레이,PLC
—
—
진단표시(2색표시)
내수성 향상품(2색표시)
5V
12V
5V,12V
12V
5V,12V
12V
5V,12V
12V
3(L)
적용 오토스위치의 종류/오토스위치 개별의 상세 사양은 홈페이지 WEB 카탈로그를 참조해 주십시오.
종류 특수기능리드선취출
표시등
배선(출력)부하전압 리드선 길이(m)※
0.5(무기호)
적용부하프리와이어
커넥터
오토스위치 품번
종취출 횡취출
※1 내수성 향상 타입의 오토스위치를 부착하는 것은 가능합니다만, 로터리 액추에이터는 내수성 향상 타입으로 되어 있지 않습니다.※2 리드선 길이 1m 타입은 D-A93만 대응됩니다.※리드선길이 표시기호 0.5m……………무기호 (예)M9NW 1m…………… M (예)M9NWM 3m…………… L (예)M9NWL 5m…………… Z (예)M9NWZ※오토스위치는 동봉 출하(미조립)됩니다.
※표시의 무접점 오토스위치는 주문 생산됩니다.
※무접점 오토스위치 프리와이어 커넥터부착 상세 홈페이지 상의 WEB 카탈로그를 참조해 주십시오.
A96V※2A93V
A90V
M9NVM9PVM9BVM9NWVM9PWVM9BWV
※1M9NAV※1M9PAV※1M9BAV
M9NM9PM9BM9NWM9PWM9BW
※1M9NA※1M9PA※1M9BA
―
●―
279
10203050
0.2~1.0
10600570670640
1150109013401290
1460139016901620
2390228027202600
20 30 50
주2)
(g)
10 7.1° 8.6°
20 6.9° 8.0°
30 6.2° 7.3°
50 9.6° 10.5°
주1) 허용치를 넘는 운동 에너지로 동작시켰을 경우, 제품 내부에 파손이 생겨 사용이 불가능해질 우려가 있으므로, 운동 에너지가 허용치를 넘지 않도록 설계시·운동시에는 충분히 주의해 주십시오.
주2) 표중의 값은 요동개시부터 쇼크 업소버가 작동하여 감속할 때까지의 시간을 나타냅니다. 감속후, 요동단에 도달하기까지 필요로 하는 시간은 사용조건(부하의 관성모멘트, 요동각도, 사용압력)에 따라 다르지만 약 0.2~2s 정도 필요합니다.
또한, 쇼크 업소버가 작용하는 각도는 요동단에서 아래표에 나타내는 범위까지입니다.
OrderMade 주문제작사양
(상세 내용은 P.284를 참조해 주십시오.)표시각도 사양/내용
외부 조정 볼트 부착-X232
단면포트 측면포트
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
공기(무급유)
1MPa0.2MPa
0~60℃(단, 동결 없어야 함)
쇼크 업소버
RB1006RB1007
90 ,゚ 180゜각 요동단 ±3゜
저에너지용
고에너지용
단면포트
측면포트
10 20 30 50
M5×0.8M5×0.8
Rc1/8, G1/8, NPT1/8
RB1411RB1412
RB0805RB0806
ø15 ø18 ø21 ø25
업소버 형식
쇼크 업소버의 수명은 사용조건에 따라 로터리 테이블 본체와는 다릅니다.교환의 기준은 개별주의사항란을 참조해 주십시오.
사양
사이즈
사용유체
최고사용압력
최저사용압력
주위온도 및 사용유체온도
쿠션
요동각도
각도조정범위
실린더 내경
포트사이즈
표시기호
저 에너지용 쇼크 업소버
0.1610.5740.8051.310
고 에너지용 쇼크 업소버
0.2311.0601.2101.820
허용 운동에너지와 요동시간 조정범위
사이즈허용운동에너지(J) 주1) 작동상 안정된
요동시간 조정범위(s/90°)
사이즈
저에너지용
고에너지용
질량
사이즈
90° 사양
180°사양
90°사양
180°사양
주) 오토스위치의 질량을 제외한 값입니다.
기본형
고정도형
280
밑면 위치결정 핀구멍 위치밑면 위치결정 핀구멍 위치
밑면 위치결정 핀구멍 위치
위치결정용 핀 구멍
밑면 위치결정 핀구멍 위치
위치결정용 핀 구멍
표준형
대칭형
MSQ Series
180°
3°3°
3°3°22.5°
90°
3°3°
3°3°22.5°
시계방향회전
B포트
반시계방향회전A포트
위치결정용 핀 구멍위치결정용 핀 구멍
180°용 90°용
°
°
범
681위
동요대최
범
471위동요소최
A포트
범
°6
9위
동요
대최
범
°4
8위
동요
소최
A포트
90°
3°3°
3°3°22.5°
180°
3°3°
3°3°
22.5°
A포트
B포트
시계방향회전
반시계방향회전
위치결정용 핀 구멍
90°용
범
°6
9위
동요
대최
범°
48
위동
요소
최
A포트
180°용
°
°
범
681위
동요대최
범
471위동요소최
위치결정용 핀 구멍
A포트
위치결정용 핀 구멍위치결정용 핀 구멍
요동방향 및 요동각도
•A포트에서 가압하면 테이블은 시계 방향으로 회전하고, B포트에서 가압하면, 반시계 방향으로 회전합니다.•쇼크 업소버를 조정하여 그림의 범위에서 회전단을 설정할 수가 있습니다.
사이즈
10203050
각도조정나사 1회전당 조정각도
1.4°1.2°1.1°1.3°
외부 업소버 부착주)·그림은 테이블 윗면 위치결정 핀구멍의 요동범위를 나타냅니다. ·그림의 핀구멍 위치는 쇼크 업소버를 동일하게 체결하여 요동각 180°, 90°로 조정한 경우의 반시계방향 회전단을 나타냅니다.
시계방향
시계방향
시계방향
시계방향
교환부품
부품명세트번호
10P523010-6패킹 세트
비고
부품내역은 P.259에 기재된 교환부품에서 @7Seal 와셔를 제외한 것입니다.20
P523020-630
P523030-650
P523040-6그리스 팩(10g)이 부속됩니다. 그리스 팩만 필요한 경우는 아래 품번으로 주문해 주십시오.그리스 팩 품번:GR-S-010(10g)
※부품 단품으로는 주문 대응은 하고 있지 않습니다.
각부 명칭
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
구성부품
엔드커버
테이블
Arm업소버 홀더
육각구멍부착 볼트
육각구멍부착 볼트
육각너트
쇼크 업소버
알루미늄 합금
알루미늄 합금
크롬 몰리브덴강
알루미늄 합금
스테인리스
스테인리스
강선
-
12345678
도장
알루마이트
니켈 도금
알루마이트
번호 부품명 재질 비고
y q ue trw i
281
282
기본형/MSQB� �
사이즈
10203050
AA55.470.875.485.4
JB 6.5 8.5 8.510.5
JA11141418
J 6.8 8.6 8.610.5
JD12151518
JC M 8×1.25
M10×1.5 M10×1.5 M12×1.75
KM 8×1 M10×1 M10×1 M14×1.5
PM5×0.8M5×0.8Rc1/8※
Rc1/8※
WDM5×0.8 M6×1 M6×1 M8×1.25
S 92117127152
Q34374046
ND4446
NC12.516.516.519.5
NB5.58 8 8.5
NA10141419
SD9
10 11.514.5
SE13121415
SF45606575
UU47545766
WA15 20.523 26.5
WB3H94H94H95H9
WC3.54.54.55.5
WE 8101012
WF32434855
YA19242833
YB3H94H94H95H9
YC3.54.54.55.5
A50657080
BA 9.512 12 15.5
BB34.546 50 63
BC27.830 32 37.5
BD 60 76 84100
CA4.56 6.5
10
CB28.530.533.537.5
D45606575
DD46616777
DE20H928H932H935H9
DF 6 91213
DG15H917H922H926H9
EA52.961.863.186.8
EB44.355.360.371.4
EC33.543 46 56
ED14 18 19.522
EE 97.2117.1123.4158.2
FA 8101012
FB4 6 4.55
FC3 2.53 3
FD4.56.56.57.5
GA20252732
GB15.619.521.528
GC11141418
GD 7.5 9.5 9.511.5
GE45.256.461.572.9
H13171720
EF 80100110130
(mm)
사이즈
10203050
DH45606575
DI46616777
DJ20H828H832H835H8
DK 6 91213
DL15H817H822H826H8
FE10 15.516.517.5
HA18.526 27 30
NE11 17 18 18.5
NF18 25.526.529.5
UV52.563 67 76
(mm)
사이즈
10203050
(mm)
LH
LH
고정도형MSQA� �
※Rc1/8 이외에 G1/8, NPT1/8도 선택 가능합니다.
MSQ Series
외형치수도/외부업소버 부착 사이즈10, 20, 30, 50
대칭형
밑면 위치 결정핀 구멍의 위치
화살표시부
주1)180° 사양의 경우, 이 부품은 없습니다.
øDK(관통)
øDIøDH
NF
NE
(U
V)
FE HA
øDJ
øDL
YB유효깊이
YC
2 YA
YB유효깊이
YC
2YA
øDF(관통)
BD
øDDøD
NA
ND
GD
0.5
GC
NB
NC
WF
유효깊이
FBFD
FA
øDE
H
GE(Arm
동작범위
)
GA
EDEC
EF
EB
(M
ax.≒
EE)
(M
ax.≒
EA)
EB
2WA
GB
AA
CB
CA
WB유효깊이W
C22.5゚
(U
U)
Q유효깊이
FCS
BA øDGSF
BCSE
SD
BB
A
주1)포트
주1)
주1)
2×JJA깊이 C.B.깊이 JB
2×M5×0.8포트(플러그로 막음)
2×K쇼크 업소버
8×WD×깊이 WE(주8등분)
2×P포트
BA2×JC깊이JD
Ⓑ
283
10 20 30 50 70100200
190°190°190°190°190°190°190°
A27353949546181
B 45 62 68 83 95108139
90°80°65°50°45°40°35°
동작각도θm10°10°10°10°10°10°10°
응차각도
유접점 오토스위치 무접점 오토스위치
A31394353586585
B 49 66 72 87 99112143
42°35°30°24°22°19°14°
동작각도θm10°10°10°10°10°10°10°
응차각도
D-M9□(V), D-M9□W(V)D-A9□, D-A9□V
1237
D-M9□(V), D-M9□W(V)
190°190°190°190°
A20.922.824.428.7
49°50°47°31°
동작각도θm10°10°10°10°
응차각도
D-F8□B
16.918.820.424.7
20°20°15°15°
동작각도θm10°10°10°10°
응차각도
무접점 오토스위치
동작각도 θm : 오토스위치 단품이 동작하는 범위 Lm을 축의 요동각도로 환산한 값응차각도 : 오토스위치 응차를 각도로 환산한 값 주) 위 표의 값은 기준이며, 보증하는 것은 아닙니다. 실제 설정시에는 오토스위치의 동작상태를 확인한 후 조정하시기 바랍니다.
동작각도 θm : 오토스위치 단품이 동작하는 범위 Lm을 축의 요동각도로 환산한 값응차각도 : 오토스위치 응차를 각도로 환산한 값 주) 위 표의 값은 기준이며, 보증하는 것은 아닙니다. 실제 설정시에는 오토스위치의 동작상태를 확인한 후 조정하시기 바랍니다.
BA
최고감도위치
마그넷
적정부착위치에서의동작범위(Lm/2)
오토스위치단품의 동작범위 Lm
BBAA
D-F8 사용의 경우D-M9 사용의 경우
·사이즈 : 10~200
오토스위치 적정부착위치(요동단 검출 시)
·사이즈 : 1~7
사이즈 요동각도
사이즈 요동각도
로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series
OrderMade
MSQ Series
주문제작사양상세 치수・사양 및 납기에 관해서는 당사에 확인해 주십시오.
표시기호
-X232외부 조정볼트 부착1 업소버의 유효 스트로크를 짧게함으로써 흡수시간을 단축하여 택트 타입 향상이 가능.
MSQ
접속포트 위치 및 요동각도
주문제작사양
2345
표준형
대칭형
180° 90°180° 90°
AB
고정도형
기본형오토스위치
사이즈
LH
저 에너지용 쇼크 업소버고 에너지용 쇼크 업소버
10203050
쇼크 업소버의 종류
B 10 L M9BW2 X
※오토스위치에 대해서는 P.278을 참조해 주십시오.
외부 조정볼트 부착
X232
사이즈
10203050
저 에너지 쇼크 업소버
0.1610.5740.8051.310
고 에너지 쇼크 업소버
0.2311.0601.2101.820
허용 운동 에너지(J)
형식표시방법
사양
주1)표중에 기재된 허용 운동 에너지는 쇼크 업소버의 전 스트로크를 사용했을 때의 값입니다. 조정볼트로 쇼크 업소버의 유효 스트로크를 짧게한 경우, 허용 에너지는 표중의 값보다 저하하므로 주의해 주십시오.
주2)택트 타임의 단축을 목적으로 쇼크 업소버의 스트로크를 조정하는 경우, 일단 쇼크 업소버의 전 스트로크를 사용하는 위치에 설정하고, 제품의 동작상태를 보면서 서서히 유효 스트로크를 짧게 조정해 주십시오.
주3)쇼크 업소버는 소모부품입니다. 동작 종단에서 바운드가 발생하는 등, 에너지 흡수능력의 저하가 확인된 경우, 쇼크 업소버의 유효 스트로크를 길게 위치를 재조정해 주십시오. 전 스트로크를 사용하더라도 바운드가 억제되지 않는 경우, 새로운 쇼크 업소버로 교환이 필요합니다.
유효 스트로크
조정 볼트
쇼크 업소버
◆EG
◆NG
조정 볼트
대칭형
주)
주)180° 사양의 경우, 이 부품은 없습니다.
외형치수도
사이즈
10203050
EG47.46267.680
NG4.54.54.87
(mm)
※상기 이외의 치수는 표준형과 동일합니다.
284
285
wMSQ시리즈는 러버쿠션 또는 쇼크 업소버가 내장되어 있어 각도조정
을 하는 경우에는 가압상태(최저사용압력 : 조정볼 트부착, 내부 업소
버 부착 0.1MP 이상, 외부 업소버 부착 0.2MPa 이상)로 하여 주십시
오.
q쇼크 업소버 고정 너트의 체결 토크는 다음 표에 따라 주십시오.사이즈
체결토크N・m 1.67
20 3010.8
70 10062.83.14 23.5
w쇼크 업소버의 밑면에 부착된 나사는 절대로 돌리지 마십시오.(조정용 나사가 아닙니다.) 기름 누설이 원인이 됩니다.
사이즈
에너지 흡수능력이 저하되지않는 최소 요동각도
52° 43° 40° 60° 71° 62° 82°
2005010
20 30 70 100 2005010
밑면부 나사회전 불가
q요동각도의 조정이 가능한 각도조정 나사(조정볼트 또는 쇼크 업소
버)가 표준 장착되어 있습니다. 각도조정나사 1회전당 조정각도를 표에 나타냅니다.요동방향 및 요동각도, 요동각도 범위의 설정예는 아래 페이지를 참조 하십시오. MSQ/사이즈 1~7 → P.268 MSQ/사이즈 10~200 → P.273 MSQ/외부 업소버 부착 → P.280
조정볼트 부착, 내부 업소버 부착
사이즈
10203050
각도조정나사 1회전당 조정각도
1.4°1.2°1.1°1.3°
사이즈
1 2 3 7 10 20 30 50 70100200
각도조정나사 1회전당 조정각도
8.2° 10.0° 10.9° 10.2° 10.2° 7.2°6.5°8.2°7.0°6.1°4.9°
외부 업소버 부착
요동 각도 조정
주의
요동각도 조정
쇼크 업소버
주의
t쇼크 업소버는 소모부품입니다.에너지 흡수능력의 저하가 인정되는 경우에는 교환이 필요합니다.
r쇼크 업소버 부착 제품은 원활한 동작을 얻기 위한 것이 아니라 부하
의 운동에너지를 흡수하고, 제품의 파손을 방지하는 것을 목적으로 합니다. 부하를 원활하게 정지시키는 경우에는 사용조건에 적절한 사이즈의 쇼크 업소버를 제품외부에 설치 할 필요가 있으므로 주의 하십시오.
사이즈
10 20 30 50 70100200
쇼크 업소버 형식
RBA0805-X692
RBA1006-X692
RBA1411-X692
RBA2725-X821
RBA2015-X821
내부 업소버 부착
사이즈
10
20
30
50
쇼크 업소버 형식
RB0805RB0806RB1006RB1007RB1006RB1007RB1411RB1412
타입
저에너지용
고에너지용
저에너지용
고에너지용
저에너지용
고에너지용
저에너지용
고에너지용
외부 업소버 부착
MSQ Series
①속도 조정은 저속측에서부터 서서히 실시해 주십시오.속도 조정은 고속측에서부터 하면 기기류의 파손을 초래하여 인체 및 기기, 장치에 손상을 주는 원인이 됩니다.
速度調整
①무급유 대응품이므로 급유는 하지 마십시오.출하시에는 그리스로 윤활되어 있으므로 급유하면 제품사양을 만족
하지 않는 원인이 됩니다.
①동작 속도가 빠르고 부하의 관성이 큰 경우에는 큰 에너지가 액추에이터에 가해져 파손의 원인이 됩니다. P.22 기종선정방
법에 따라 적정한 작동시간을 구할 수 있습니다.
②포트 입구에 있는 고정 오리피스를 재가공 등을 통해 크게 하
지 마십시오. 이 고정 오리피스를 지름을 크게하면 액추에이터
의 작동속도가 증가하고 충격력이 증대하여 액추에이터가 파
손되는 원인이 됩니다.
속도조정
경고
급유
주의
주의
로터리 테이블/제품개별 주의사항①사용하기 전에 반드시 숙지하십시오.
외부 업소버 부착이 요동각도 조정범위는 각 요동단 ±3°입니다. 이 범위를 넘어 조정한 경우 쇼크 업소버의 내구성이 저하될 우려가 있으므로 주의하십시오.
e내부 업소버 부착의 요동각도를 아래 표의 값보다 작게 설정하면,
업소버의 유효 스트로크 보다도 피스톤의 스트로크가 작아지며, 에
너지 흡수능력이 저하되므로 주의해 주십시오.
286
사이즈
1237
검출 가능한 최저 요동각도
25°25°20°20°
MSQ Series로터리 테이블/제품개별 주의사항②사용하기 전에 반드시 숙지하십시오.
쇼크 업소버의 수명 및 교환시기
q카탈로그 사양범위 내에서 사용 가능한 작동 횟수는 100만회
를 기준으로 해 주십시오.주)수명횟수(적절한 교환시기)는 상온(20〜25℃)시의 값입니다. 온도 조건 등에
따라 다른 경우가 있으므로, 상기 동작횟수 이내 일지라도 교환해야 하는 경우가 있습니다.
주의
쇼크업소버와 Arm의 충돌부에서 마모 가루가 발생합니다.
마모 가루가 악영향을 미치는 장소에서는 사용하지 마십시오.
외부 업소버 부착
주의
●스피드 컨트롤러
AS121F/엘보타입
AS131F/유니버셜 타입
●원터치 피팅
원터치・미니 K Q2시리즈
●미니어처 피팅 M3시리즈
사이즈 1, 2, 3의 관접속구는 M3×0.5를 사용하고 있으므로 직접 스피드 컨트롤러 및 피팅을 접속하는 경우, 아래 시리즈를 사용하십시오.
스피드 컨트롤러�피팅
주의
사이즈 1, 2, 3, 7에서 스위치 홈 1개에 2개의 오토스위치를 부착하는 경
우, 검출 가능한 최저 요동각도는 아래의 값입니다.
오토스위치
주의
사이즈 1, 2, 3, 7은 특수공구를 필요로 하므로 분해할 수 없습니다.사이즈 10, 20, 30, 50의 고정도형은 앵귤러형 베어링에 테이블을 압입
하고 있으므로 분해할 수 없습니다.
보수�점검
주의