XM XY Series - smckorea.co.kr · ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의 등록상표입니다

XM・XY Series

스테인리스제 고진공 L형／스트레이트형 밸브

XM SeriesL형

XM Series XY Series스트레이트형

XY Series

경량•콤팩트

A

BA

　A※mm

506570

90

40

컨덕턴스L/s

XMA-16XMA-25XMA-40XMA-50

88

Bmm

113158170

235

103

196

0.611.402.00

6.20

0.33

3.60

144580

200

5

160XMA-63XMA-80

●몸체재질：SCS13(SUS304 상당)

●가스 잔류가 없는 정밀주조 일체구조

●알루미늄제 고진공 L형 밸브 XL 시리즈와

호환성이 있는 설치(XM 시리즈)

형 식 질량kg

XMA시리즈 KF(NW) 플랜지의 경우

※：A치수는 전 XM 시리즈 동일치수

밸브조합에 따라

푸트 공간 확보

배관예

75

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

74

XMAXYA

① ② ③ ④ ⑤ ⑥

M9N16 AAM9N25

⑦

XMA•XYA Series

스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브상시닫힘 / 벨로스 Seal

스트레이트형

L형

형식표시방법

77

162540506380

XMA●●●●●●

XYA―●●●●●

H05〜60℃5〜150℃

ABC

ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

XMA

AFGJKLM

XYA

AFJKM

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※3310-75※

DC

KF(NW)K(DN)

CF

16•25•40•50•63•8063•80

16(034)•40(070)•63(114)

D K(DN)KF(NW) 25•40•50•63•80

63•80

XMA

XYA

무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMA-16-M9NA-XN1A

①플랜지 사이즈사이즈

②플랜지 종류

기호무기호

종류 적용 플랜지 사이즈

기호무기호

무기호

인디케이터인디케이터 없음

인디케이터 부착

인디케이터 없음

플랜지면 뒷쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지면 뒷쪽

조작포트방향

플랜지측

③인디케이터 및 조작포트방향

기호무기호


조작포트방향



플랜지측플랜지측

플랜지면 왼쪽 플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽

④온도사양기호

무기호온도범위

⑥오토스위치수/부착위치기호

무기호수량

오토스위치 없음2개 부착1개 부착1개 부착

검출위치-

밸브 열림•닫힘밸브 열림밸브 닫힘

⑦Seal재질 및 Seal 장소 변경

•Seal 재질 변경 장소와 누설량

기호

무기호

변경장소주2)

없음

②,③②③

누설량　Pa•m3/s 이하주1)

내부 외부기호

무기호

※미쓰비시 전선공업(주) 제

기호무기호

오토스위치 형식오토스위치 없음(내장자석 없음)

비고

무접점 오토스위치

오토스위치 없음(자석 내장)

유접점 오토스위치(플랜지 사이즈 16은 대응하지 않습니다.)

⑤오토스위치 종류

•Seal재질Seal 재질 배합 NO.

주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.78의 부품 No.를 참조하십시오.　　 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.

고온사양(온도사양 H0)의 경우에는 오토스위치 부착이 불가능합니다.리드선 길이는 0.5m(표준). 3m의 경우는 L, 1m의 경우는 M, 5m의 경우는 Z를 끝에 표시하여 주십시오.예)-M9NL

Barrel Perfluoro® 는 Matsumura Oil Co.,Ltd의 등록상표입니다.Kalrez® 은 DuPont Performance Elastomers의 등록 상표입니다.Chemraz® 은 Greene, Tweed & Co의 등록상표입니다.ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의 등록상표입니다.

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

M9N（M）（L）（Z）M9P（M）（L）（Z）M9B（M）（L）（Z）

A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

―D-M9N（M）（L）（Z）D-M9P（M）（L）（Z）D-M9B（M）（L）（Z）

D-A90（L）D-A93（M）（L）（Z）

―

Ⓐ

Pa 16 25 40 50 63 80

XMD XYD

XMH XYH

XMA XYA

XMC XYC

시리즈 구성

대기압〜10-6

주) 스트레이트형에 사이즈 16은 없습니다.

단동(NC)

대기압〜10-6수동

단동(NC)

복동

•벨로스식으로 더스트 제로, 클린 대응 •압력 밸런스 구조

•초기배기밸브와 주배기 밸브의 일체화(유량 2단 제어 밸브)•시스템의 콤팩트화 및 배관절약화를 실현 •배기시의 챔버내의 더스트 확산 방지 •펌프의 과부하 운전 방지 •초기배기 밸브의 유량조정 가능

•벨로스식으로 더스트 제로, 클린 대응 •압력 밸런스 구조로, 배기 방향 자유 •낮은 조작 토크(0.5 N•m 이하)•스프링에 의한 일정한 seal 하중 •밸브 개폐시의 핸들 높이가 일정 •개폐 확인용 인디케이터를 표준으로 장비

벨로스 Seal•단동／XMA•XYA벨로스 Seal•복동／XMC•XYC

벨로스 Seal•수동／XMH•XYH

2단 제어•단동／XMD•XYD

용도

더스트 제로 벨로스 Seal

축 Seal 방식형식

밸브형식L형 스트레이트형

벨로스 O-ring seal

에어 오퍼레이트

더스트 확산 방지 펌프 과부하 방지


사용압력 플랜지 사이즈 옵션

스위치 인디케이터 고온사양

주)

주)

수동타입

注）

표준

표준

표준

PAT. PAT.

76

XMAXYA

① ② ③ ④ ⑤ ⑥

M9N16 AAM9N25

⑦

XMA•XYA Series

스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브상시닫힘 / 벨로스 Seal

스트레이트형

L형

형식표시방법

77

162540506380

XMA●●●●●●

XYA―●●●●●

H05〜60℃

5〜150℃

ABC

ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

XMA

AFGJKLM

XYA

AFJKM

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※3310-75※

DC

KF(NW)K(DN)

CF

16•25•40•50•63•8063•80

16(034)•40(070)•63(114)

D K(DN)KF(NW) 25•40•50•63•80

63•80

XMA

XYA

무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMA-16-M9NA-XN1A


②플랜지 종류

기호무기호


기호무기호

무기호




플랜지면 뒷쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지면 뒷쪽

조작포트방향

플랜지측

③인디케이터 및 조작포트방향

기호무기호


조작포트방향



플랜지측플랜지측

플랜지면 왼쪽 플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽


무기호온도범위

⑥오토스위치수/부착위치기호

무기호수량


검출위치-




기호

무기호

변경장소주2)

없음

②,③②③


내부 외부기호

무기호


기호무기호


비고





•Seal재질Seal 재질 배합 NO.



Barrel Perfluoro® 는 Matsumura Oil Co.,Ltd의 등록상표입니다.Kalrez® 은 DuPont Performance Elastomers의 등록 상표입니다.Chemraz® 은 Greene, Tweed & Co의 등록상표입니다.ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의 등록상표입니다.

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//


D-A90（L）D-A93（M）（L）（Z）

―

Ⓐ

Pa 16 25 40 50 63 80

XMD XYD

XMH XYH

XMA XYA

XMC XYC

시리즈 구성

대기압〜10-6

주) 스트레이트형에 사이즈 16은 없습니다.

단동(NC)

대기압〜10-6수동

단동(NC)

복동

•벨로스식으로 더스트 제로, 클린 대응 •압력 밸런스 구조

•초기배기밸브와 주배기 밸브의 일체화(유량 2단 제어 밸브)•시스템의 콤팩트화 및 배관절약화를 실현 •배기시의 챔버내의 더스트 확산 방지 •펌프의 과부하 운전 방지 •초기배기 밸브의 유량조정 가능

•벨로스식으로 더스트 제로, 클린 대응 •압력 밸런스 구조로, 배기 방향 자유 •낮은 조작 토크(0.5 N•m 이하)•스프링에 의한 일정한 seal 하중 •밸브 개폐시의 핸들 높이가 일정 •개폐 확인용 인디케이터를 표준으로 장비

벨로스 Seal•단동／XMA•XYA벨로스 Seal•복동／XMC•XYC

벨로스 Seal•수동／XMH•XYH

2단 제어•단동／XMD•XYD

용도


축 Seal 방식형식

밸브형식L형 스트레이트형

벨로스 O-ring seal

에어 오퍼레이트

더스트 확산 방지 펌프 과부하 방지


사용압력 플랜지 사이즈 옵션

스위치 인디케이터 고온사양

주)

주)

수동타입

注）

표준

표준

표준

PAT. PAT.

76

A

BA

H

øG

C

CD

øG

øFn E

A

B

45°

H

øFnC

C DøL2

øFd

øFc

L1

（øFc）

øFd

100.2130 178 209 268

XYA-25XYA-40XYA-50XYA-63XYA-80

A79.5

106 119 149 178

B 48 66 79100117

C12233

D23.538 53 61 80

E 40 55 75 87114

Fn―――

95110

Fd2641527083

G 64 84 95118142

H（mm）

405065708890

XMA-16XMA-25XMA-40XMA-50XMA-63XMA-80

A103113158170196235

B 38 48 66 79100117

C112233

D 30 40 55 75 87114

Fn――――

95110

Fd 34―

70―

114―

Fc172641527083

G403963686996

HP.C.D 27

―P.C.D 58.7

―P.C.D 92.1

―

P.C.D L16×ø4.4

―6×ø6.6

―8×ø8.4

―

L2（mm）

XMA•XYA Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브

외형치수도

XMA／L형

XYA／스트레이트형

（K플랜지）（CF플랜지）

（K플랜지）

（KF플랜지）

형식

형식

（KF

플랜지）

79

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 " 분자류" 에서의 값으로 대표하고 있습니다. 주2)( ) 안 질량은 CF(conflate) 의 경우

XMAXYA

XMA-16 XMA-25XYA-25

XMA-40XYA-40

XMA-50XYA-50

XMA-63XYA-63

XMA-80XYA-80

16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80

M5 Rc 1/8

5

0.05

0.33(0.37)

―

KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), K(DN), CF

KF(NW), K(DN)

0.4〜0.7

14 45 80 160 200

0.1 0.21 0.24 0.26 0.28

0.61

0.66

1.40(1.76)

1.42

2.00

2.40

3.60(4.96)

4.30

6.20

7.70

※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.

XMA•XYA Series

사양

형식

플랜지(밸브)사이즈

밸브형식

사용유체

사용온도 ℃

사용압력 Pa

컨덕턴스 L/s주1)

누설량 Pa•m3/s

작동시간 s

플랜지 종류

주요재질

조작압력 MPa(G)

조작포트 접속구경

내부

외부

질량 kg 주2)

상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal)

비활성 가스계의 진공

5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)

1×10-6〜대기압

표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외


몸체：SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부：SUS304, FKM(표준 Seal재)

구조도

※①보닛 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)

XMA／L형 XYA／스트레이트형

⑥벨로스(재질 SUS316L)

⑤밸브(재질 SUS304)

※③외부 Seal (보수부품)

※②밸브 Seal (보수부품)

④몸체 (재질 SCS13)

⑦벨로스 홀더 (재질 SUS304)

밸브측 배기

밸브측 배기

벨로스측 배기

벨로스측 배기

오토스위치 (옵션)

자석(옵션)

조작포트

78

A

BA

H

øG

C

CD

øG

øFn E

A

B

45°

H

øFnC

C DøL2

øFd

øFc

L1

（øFc）

øFd

100.2130 178 209 268

XYA-25XYA-40XYA-50XYA-63XYA-80

A79.5

106 119 149 178

B 48 66 79100117

C12233

D23.538 53 61 80

E 40 55 75 87114

Fn―――

95110

Fd2641527083

G 64 84 95118142

H（mm）

405065708890

XMA-16XMA-25XMA-40XMA-50XMA-63XMA-80

A103113158170196235

B 38 48 66 79100117

C112233

D 30 40 55 75 87114

Fn――――

95110

Fd 34―

70―

114―

Fc172641527083

G403963686996

HP.C.D 27

―P.C.D 58.7

―P.C.D 92.1

―

P.C.D L16×ø4.4

―6×ø6.6

―8×ø8.4

―

L2（mm）

XMA•XYA Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브

외형치수도

XMA／L형

XYA／스트레이트형

（K플랜지）（CF플랜지）

（K플랜지）

（KF플랜지）

형식

형식

（KF

플랜지）

79

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ


XMAXYA

XMA-16 XMA-25XYA-25

XMA-40XYA-40

XMA-50XYA-50

XMA-63XYA-63

XMA-80XYA-80

16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80

M5 Rc 1/8

5

0.05

0.33(0.37)

―

KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), K(DN), CF

KF(NW), K(DN)

0.4〜0.7

14 45 80 160 200

0.1 0.21 0.24 0.26 0.28

0.61

0.66

1.40(1.76)

1.42

2.00

2.40

3.60(4.96)

4.30

6.20

7.70


XMA•XYA Series

사양

형식


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃

사용압력 Pa


누설량 Pa•m3/s

작동시간 s

플랜지 종류

주요재질

조작압력 MPa(G)


내부

외부

질량 kg 주2)

상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal)


5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)

1×10-6〜대기압




구조도


XMA／L형 XYA／스트레이트형







밸브측 배기

밸브측 배기

벨로스측 배기

벨로스측 배기


자석(옵션)

조작포트

78

구조도

XMCXYC

XMC-16 XMC-25XYC-25

XMC-40XYC-40

XMC-50XYC-50

XMC-63XYC-63

XMC-80XYC-80

16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80

M5 Rc 1/8

5

0.08

0.36(0.40)

―

KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), K(DN),CF

KF(NW),K(DN)

복동(양쪽 작동)•가압개폐


5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)

대기압〜1×10-6〜대기압



0.3〜0.6 0.4〜0.6

14 45 80 160 200

0.15 0.35 0.4 0.54 0.7

0.62

0.67

1.40(1.76)

1.42

2.10

2.50

3.80(5.16)

4.50

6.30

7.80

XMC ／L형 XYC ／스트레이트형


조작포트(가압 밸브 닫힘)

조작포트(가압 밸브 열림)


자석(옵션)







XMC•XYC Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브

사양

형식

내부

외부


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃

사용압력 Pa


누설량 Pa•m3/s

작동시간 s

플랜지 종류

주요재질

조작압력 MPa(G)


질량 kg 주2)



밸브측 배기

밸브측 배기

벨로스측 배기

벨로스측 배기


81

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

XMCXMC

M9N AA

1650 M9N

XYCXYC

① ⑤ ⑥

M9N A251

150② ③ ④

M9N⑦

162540506380

XMC●●●●●●

XYC―●●●●●

H05〜60℃

5〜150℃

ABC

ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※3310-75※

XMC

KLM

KM

XYC



무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMC-16-M9NA-XN1A

DC

KF(NW)K(DN)

CF

16•25•40•50•63・8063•80

16(034)•40(070)•63(114)

D K(DN)KF(NW) 25•40•50•63•80

63•80

XMC

XYC

XMC•XYC Series

스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브복동 / 벨로스 Seal

플랜지 사이즈 16, 25, 40

플랜지 사이즈 50, 63, 80

플랜지 사이즈 25, 40

플랜지 사이즈 50, 63, 80 A

형식표시방법

L형

스트레이트형



무기호

온도범위

⑥오토 스위치수/부착위치기호

무기호수량


검출위치—


③조작포트 방향

기호무기호

조작포트 방향플랜지측

플랜지면 왼쪽

플랜지면 뒷쪽

플랜지면 오른쪽

기호무기호

조작포트 방향플랜지면 뒷쪽

플랜지면 왼쪽


②플랜지 종류

기호무기호


기호무기호


비고




무기호


플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷

플랜지면

오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽



•Seal 재질 변경 장소와 누설량•Seal재질

기호

무기호

변경장소주2)

없음

②,③②③


내부 외부

기호무기호

Seal 재질 배합 NO.


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//


D-A90（L）D-A93（M）（L）（Z）

―

Ⓐ80

구조도

XMCXYC

XMC-16 XMC-25XYC-25

XMC-40XYC-40

XMC-50XYC-50

XMC-63XYC-63

XMC-80XYC-80

16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80

M5 Rc 1/8

5

0.08

0.36(0.40)

―

KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), K(DN),CF

KF(NW),K(DN)

복동(양쪽 작동)•가압개폐


5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)

대기압〜1×10-6〜대기압



0.3〜0.6 0.4〜0.6

14 45 80 160 200

0.15 0.35 0.4 0.54 0.7

0.62

0.67

1.40(1.76)

1.42

2.10

2.50

3.80(5.16)

4.50

6.30

7.80

XMC ／L형 XYC ／스트레이트형


조작포트(가압 밸브 닫힘)

조작포트(가압 밸브 열림)


자석(옵션)








사양

형식

내부

외부


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃

사용압력 Pa


누설량 Pa•m3/s

작동시간 s

플랜지 종류

주요재질

조작압력 MPa(G)


질량 kg 주2)



밸브측 배기

밸브측 배기

벨로스측 배기

벨로스측 배기


81

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

XMCXMC

M9N AA

1650 M9N

XYCXYC

① ⑤ ⑥

M9N A251

150② ③ ④

M9N⑦

162540506380

XMC●●●●●●

XYC―●●●●●

H05〜60℃5〜150℃

ABC

ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※3310-75※

XMC

KLM

KM

XYC



무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMC-16-M9NA-XN1A

DC

KF(NW)K(DN)

CF

16•25•40•50•63・8063•80

16(034)•40(070)•63(114)

D K(DN)KF(NW) 25•40•50•63•80

63•80

XMC

XYC

XMC•XYC Series

스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브복동 / 벨로스 Seal

플랜지 사이즈 16, 25, 40

플랜지 사이즈 50, 63, 80

플랜지 사이즈 25, 40

플랜지 사이즈 50, 63, 80 A

형식표시방법

L형

스트레이트형



무기호

온도범위


무기호수량


검출위치—



기호무기호


플랜지면 왼쪽

플랜지면 뒷쪽


기호무기호


플랜지면 왼쪽


②플랜지 종류

기호무기호


기호무기호


비고




무기호


플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷

플랜지면

오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽




기호

무기호

변경장소주2)

없음

②,③②③


내부 외부

기호무기호



A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//


D-A90（L）D-A93（M）（L）（Z）

―

Ⓐ80

XMC-50〜80 ／L형

405065

XMC-16XMC-25XMC-40

형식 A110120171

B384866

C112

D304055

Fn34―70

Fc172641

G403963

H J262836

P.C.D 27 ―

P.C.D 58.7

P.C.D L16×ø4.4

―6×ø6.6

L2(mm)

708890

XMC-50XMC-63XMC-80

형식 A183209250

B 80100117

C31　39　45.5

D 75 87114

Fn―

95110

Fd―

114―

―P.C.D 92.1

―

Fc527083

G　77

　　76.5105

293644

10.59 9

H J KP.C.D L1―

8×ø8.4―

L2(mm)

A

AB

øG

JH

øFnC

C D

(KF 플랜지

)

외형치수도

XMC-16〜40 ／L형

øFn

(KF 플랜지

)

C

C

B

K

HJ

A

D

(K 플랜지) (CF 플랜지)

øFd

øFc

L1

øL2

A

øG

øL2

øFc

(CF 플랜지)

L1

(øFc)

XMC•XYC Series

82

178209268

XYC-50XYC-63XYC-80

형식 A121148177

B 80100117

C31　39　45.5

D536180

E　75　87114

Fn―

95110

Fd527083

G104126150

293644

10.59 9

78 99116

H J K M(mm)

외형치수도

XYC-25, 40 ／스트레이트형

100.2130

XYC-25XYC-40

형식 A 85115

B4866

C12

D23.538

E4055

Fn2641

G6484

2836

H J(mm)

øFn EA

45°

B

J

C

CD

øG

H

(KF 플랜지)

C

C

D

(K 플랜지)

øFdøG

K

HJ

øM

øFn E

A

45°

B

(KF 플랜지)

XYC-50〜80 ／스트레이트형


83

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

XMC-50〜80 ／L형

405065

XMC-16XMC-25XMC-40

형식 A110120171

B384866

C112

D304055

Fn34―70

Fc172641

G403963

H J262836

P.C.D 27 ―

P.C.D 58.7

P.C.D L16×ø4.4

―6×ø6.6

L2(mm)

708890

XMC-50XMC-63XMC-80

형식 A183209250

B 80100117

C31　39　45.5

D 75 87114

Fn―

95110

Fd―

114―

―P.C.D 92.1

―

Fc527083

G　77

　　76.5105

293644

10.59 9

H J KP.C.D L1―

8×ø8.4―

L2(mm)

A

AB

øG

JH

øFnC

C D

(KF 플랜지

)

외형치수도

XMC-16〜40 ／L형

øFn

(KF 플랜지

)

C

C

B

K

HJ

A

D


øFd

øFc

L1

øL2

A

øG

øL2

øFc

(CF 플랜지)

L1

(øFc)

XMC•XYC Series

82

178209268

XYC-50XYC-63XYC-80

형식 A121148177

B 80100117

C31　39　45.5

D536180

E　75　87114

Fn―

95110

Fd527083

G104126150

293644

10.59 9

78 99116

H J K M(mm)

외형치수도

XYC-25, 40 ／스트레이트형

100.2130

XYC-25XYC-40

형식 A 85115

B4866

C12

D23.538

E4055

Fn2641

G6484

2836

H J(mm)

øFn EA

45°

B

J

C

CD

øG

H

(KF 플랜지)

C

C

D

(K 플랜지)

øFdøG

K

HJ

øM

øFn E

A

45°

B

(KF 플랜지)

XYC-50〜80 ／스트레이트형


83

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

주1)메인 배기 밸브의 컨덕턴스는 동일 치수의 엘보의 “분자류”에서의 값으로 대표하고 있습니다. 초기 배기 밸브의 컨덕턴스는 “점성류”의 값입니다.주2)( )안 질량은 CF(conflate)피팅의 경우주3)진공부 Seal재 접동부(초기 배기 밸브 접동부)에는 진공그리스[Y-VAC2]를 도포하고 있습니다.


누설량 Pa•m3/s

작동시간 s


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃

사용압력 Pa(abs)

플랜지 종류

주요재질주3)

조작압력 MPa(G)


메인배기밸브

초기배기밸브

내부

외부

메인배기밸브

초기배기밸브

XMDXYD

XMD-25XYD-25

25

M5 Rc 1/8

14

0.10

0.07

0.65

0.71

KF(NW)

상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal) [메인배기•초기배기밸브 공통]


5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)

1×10-6〜대기압


0.4〜0.7 [메인배기•초기배기밸브 공통]

XMD-40XYD-4040,CF070

45

0.21

0.08

1.50(1.86)

1.52

KF(NW), CF

XMD-50XYD-50

50

80

0.24

0.09

2.20

2.60

KF(NW)


160

0.26

0.23

4.10(5.46)

4.80

KF(NW), K(DN), CF

KF(NW), K(DN)

XMD-80XYD-80

80

200

0.5〜3 2〜8 2.5〜11 4〜18 4〜18

0.28

0.27

6.80

8.30질량 kg 주2)

XMD•XYD Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브

사양

형식



85

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

형식표시방법

스트레이트형

XMDXYD

L형

① ② ③ ④ ⑤ ⑥

M9N A25M9N A25

⑦

2540506380

XMD●●●●●

XYD●●●●●

H05〜60℃

5〜150℃

ABC

ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※3310-75※

S밸브의 접동부 재질은 FKM입니다.

DC

KF(NW)K(DN)

CF

25・40・50・63・8063・80

40(070)・63(114)

DKF(NW)

K(DN)25・40・50・63・80

63・80

XMD

XYD

XMD

KLM

KM

XYD

예) XMD-25-M9NA-XN1A

XMD•XYD Series

스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브2단제어•단동／벨로스 Seal・O-ring Seal

PAT.


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//


D-A90（L）D-A93（M）（L）（Z）

―

Ⓐ



무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.

①플랜지 사이즈

사이즈


무기호

온도범위


무기호수량


검출위치―



기호무기호


플랜지면 왼쪽

플랜지면 뒷쪽


기호무기호


플랜지면 왼쪽


②플랜지 종류

기호무기호


기호무기호

오토스위치 형식

오토스위치 없음(내장자석 없음)비고



유접점 오토스위치

무기호


플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽



기호

무기호

변경장소주2)

없음

②,③,④,⑤②,④,⑤

③


내부 외부

기호무기호



84

주1)메인 배기 밸브의 컨덕턴스는 동일 치수의 엘보의 “분자류”에서의 값으로 대표하고 있습니다. 초기 배기 밸브의 컨덕턴스는 “점성류”의 값입니다.주2)( )안 질량은 CF(conflate)피팅의 경우주3)진공부 Seal재 접동부(초기 배기 밸브 접동부)에는 진공그리스[Y-VAC2]를 도포하고 있습니다.


누설량 Pa•m3/s

작동시간 s


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃


플랜지 종류

주요재질주3)

조작압력 MPa(G)


메인배기밸브

초기배기밸브

내부

외부

메인배기밸브

초기배기밸브

XMDXYD

XMD-25XYD-25

25

M5 Rc 1/8

14

0.10

0.07

0.65

0.71

KF(NW)

상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal) [메인배기•초기배기밸브 공통]


5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)

1×10-6〜대기압


0.4〜0.7 [메인배기•초기배기밸브 공통]


45

0.21

0.08

1.50(1.86)

1.52

KF(NW), CF

XMD-50XYD-50

50

80

0.24

0.09

2.20

2.60

KF(NW)


160

0.26

0.23

4.10(5.46)

4.80

KF(NW), K(DN), CF

KF(NW), K(DN)

XMD-80XYD-80

80

200

0.5〜3 2〜8 2.5〜11 4〜18 4〜18

0.28

0.27

6.80

8.30질량 kg 주2)


사양

형식



85

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

형식표시방법

스트레이트형

XMDXYD

L형

① ② ③ ④ ⑤ ⑥

M9N A25M9N A25

⑦

2540506380

XMD●●●●●

XYD●●●●●

H05〜60℃5〜150℃

ABC

ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※3310-75※

S밸브의 접동부 재질은 FKM입니다.

DC

KF(NW)K(DN)

CF

25・40・50・63・8063・80

40(070)・63(114)

DKF(NW)

K(DN)25・40・50・63・80

63・80

XMD

XYD

XMD

KLM

KM

XYD

예) XMD-25-M9NA-XN1A

XMD•XYD Series

스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브2단제어•단동／벨로스 Seal・O-ring Seal

PAT.


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//


D-A90（L）D-A93（M）（L）（Z）

―

Ⓐ



무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.

①플랜지 사이즈

사이즈


무기호

온도범위


무기호수량


검출위치―



기호무기호


플랜지면 왼쪽

플랜지면 뒷쪽


기호무기호


플랜지면 왼쪽


②플랜지 종류

기호무기호


기호무기호

오토스위치 형식

오토스위치 없음(내장자석 없음)비고



유접점 오토스위치

무기호


플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽



기호

무기호

변경장소주2)

없음

②,③,④,⑤②,④,⑤

③


내부 외부

기호무기호



84

외형치수도

XMD ／L형

XYD ／스트레이트형

5065708890

XMD-25XMD-40XMD-50XMD-63XMD-80

형식 A123170183217256

B 48 66 79100117

C12233

D 40 55 75 87114

Fn―――

95110

Fd―

70―

114―

Fc2641527083

G4163687298

H J K1620202020

7.515 17.519.526.5

―P.C.D 58.7

―P.C.D 92.1

―

P.C.D L1―

6×ø6.6―

8×ø8.4―

L2(mm)

100.2130 178 209 268

XYD-25XYD-40XYD-50XYD-63XYD-80

형식 A 86.7114 128 163 193

B 48 66 79100117

C12233

D23.538 53 61 80

E 40 55 75 87114

Fn―――

95110

Fd2641527083

G 66 84 95121144

1620202020

H J 7.515 17.519.526.5

K(mm)

øL2

øFd

øFc


L1

(øFc)

øFd

(K 플랜지)

(KF 플랜지

)

(KF 플랜지)

M

S

A

AB

K

C

C

øFn

øG

JH

D

M

S

øFn EA

45°

B

C

CD

øG

JK

H


87

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

조작포트 S(초기배기 밸브용)

조작포트 M(메인배기 밸브용)

①보닛 Ass'y(보수부품)※ (②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)

조절너트(외주 롤렛 가공품)초기 배기용 밸브 개도 조정

S밸브 접동용 O-ring(재질 FKM)

오토스위치(옵션)

③외부 Seal (보수부품)※

②밸브 Seal (보수부품)※

④S밸브 Seal Ass'y(보수부품) (재질 SUS304＋ Seal재)S밸브⑧

(재질 SUS304)

몸체⑥(재질 SCS13)

M밸브⑦(재질 SUS304)

자석(옵션)

고정용 O-ring⑤

벨로스⑨(재질 SUS316L)

벨로스 홀더⑩(재질 SUS304)





※외부 Seal (보수부품)③

자석(옵션)

⑩벨로스 홀더(재질 SUS304)

⑨벨로스(재질 SUS316L)

보닛 Ass'y(보수부품)① (②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)

※밸브 Seal (보수부품)②

※S밸브 Seal Ass'y (보수부품)④ (재질 SUS304＋ Seal재)　　


⑤고정용 O-ring

⑦M밸브 (재질 SUS304)

⑥몸체 (재질 SCS13) ⑧S밸브 (재질 SUS304)

0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.4 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0

20

18

16

14

12

10

8

6

4

2

0

XMD/XYD-63XMD/XYD-80

XMD/XYD-50

XMD/XYD-40

XMD/XYD-25


구조도

밸브측 배기

벨로스측 배기

밸브측 배기

벨로스측 배기

XMD•XYD Series

《작동설명》 XMD•XYD Series❶초기 배기용 밸브 개도 조정

사용전에 (조작포트 S에 기압을 가하지 않은 상태) 초기 배기량을 조정합 니다.조절너트를 시계방향으로 돌려 가볍게 회전이 정지하면 초기 배기량은 제 로가 됩니다.(공구는 사용하지 마십시오.)반시계 방향으로 돌려 초기배기량을 설정합니다. 조절너트 회전수(피치 1mm)와 초기 배기 밸브 컨덕턴스의 관계는 오른쪽 그림을 참조하십시오.

❷초기 배기용 밸브(S 밸브)열림조작포트 S에 기압을 가하면, S밸브는 S밸브 Seal Ass'y에서 이탈하여 조정된 개도까지 열립니다.

❸메인 배기용 밸브(M 밸브)열림조작포트 M에 기압을 가하면, M밸브는 몸체 시트부에서 이탈하여 완전 히 열립니다.

❹초기 배기용 밸브 / 메인 배기용 밸브 닫힘조작포트 S 및 조작포트 M의 기압을 제거함으로서 S밸브 및 M밸브는 복귀하여 실링합니다.

조절너트 회전수 n

초기

배기

밸브

컨덕

턴스

L/s

(점성

류)

△P＝

0.1M

Pa일

때 유

량을

나타

냄

XYD／스트레이트형

XMD／L형

86

외형치수도

XMD ／L형

XYD ／스트레이트형

5065708890

XMD-25XMD-40XMD-50XMD-63XMD-80

형식 A123170183217256

B 48 66 79100117

C12233

D 40 55 75 87114

Fn―――

95110

Fd―

70―

114―

Fc2641527083

G4163687298

H J K1620202020

7.515 17.519.526.5

―P.C.D 58.7

―P.C.D 92.1

―

P.C.D L1―

6×ø6.6―

8×ø8.4―

L2(mm)

100.2130 178 209 268

XYD-25XYD-40XYD-50XYD-63XYD-80

형식 A 86.7114 128 163 193

B 48 66 79100117

C12233

D23.538 53 61 80

E 40 55 75 87114

Fn―――

95110

Fd2641527083

G 66 84 95121144

1620202020

H J 7.515 17.519.526.5

K(mm)

øL2

øFd

øFc


L1

(øFc)

øFd

(K 플랜지)

(KF 플랜지

)

(KF 플랜지)

M

S

A

AB

K

CC

øFn

øG

JH

D

M

S

øFn EA

45°

B

C

CD

øG

JK

H


87

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ



①보닛 Ass'y(보수부품)※ (②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)




③외부 Seal (보수부품)※

②밸브 Seal (보수부품)※

④S밸브 Seal Ass'y(보수부품) (재질 SUS304＋ Seal재)S밸브⑧

(재질 SUS304)

몸체⑥(재질 SCS13)

M밸브⑦(재질 SUS304)

자석(옵션)

고정용 O-ring⑤

벨로스⑨(재질 SUS316L)

벨로스 홀더⑩(재질 SUS304)





※외부 Seal (보수부품)③

자석(옵션)

⑩벨로스 홀더(재질 SUS304)

⑨벨로스(재질 SUS316L)

보닛 Ass'y(보수부품)① (②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)

※밸브 Seal (보수부품)②

※S밸브 Seal Ass'y (보수부품)④ (재질 SUS304＋ Seal재)　　


⑤고정용 O-ring

⑦M밸브 (재질 SUS304)

⑥몸체 (재질 SCS13) ⑧S밸브 (재질 SUS304)

0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.4 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0

20

18

16

14

12

10

8

6

4

2

0

XMD/XYD-63XMD/XYD-80

XMD/XYD-50

XMD/XYD-40

XMD/XYD-25


구조도

밸브측 배기

벨로스측 배기

밸브측 배기

벨로스측 배기

XMD•XYD Series

《작동설명》 XMD•XYD Series❶초기 배기용 밸브 개도 조정

사용전에 (조작포트 S에 기압을 가하지 않은 상태) 초기 배기량을 조정합 니다.조절너트를 시계방향으로 돌려 가볍게 회전이 정지하면 초기 배기량은 제 로가 됩니다.(공구는 사용하지 마십시오.)반시계 방향으로 돌려 초기배기량을 설정합니다. 조절너트 회전수(피치 1mm)와 초기 배기 밸브 컨덕턴스의 관계는 오른쪽 그림을 참조하십시오.

❷초기 배기용 밸브(S 밸브)열림조작포트 S에 기압을 가하면, S밸브는 S밸브 Seal Ass'y에서 이탈하여 조정된 개도까지 열립니다.

❸메인 배기용 밸브(M 밸브)열림조작포트 M에 기압을 가하면, M밸브는 몸체 시트부에서 이탈하여 완전 히 열립니다.

❹초기 배기용 밸브 / 메인 배기용 밸브 닫힘조작포트 S 및 조작포트 M의 기압을 제거함으로서 S밸브 및 M밸브는 복귀하여 실링합니다.

조절너트 회전수 n

초기

배기

밸브

컨덕

턴스

L/s

(점성

류)

△P＝

0.1M

Pa일

때 유

량을

나타

냄

XYD／스트레이트형

XMD／L형

86

주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 "분자류"에서의 값으로 대표하고 있습니다.주2)( )안 질량은 CF(conflate)의 경우


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃



누설량 Pa•m3/s

플랜지 종류

주요재질

조작 토크 N•m

핸들 회전수

XMHXYH

XMH-16

16,CF034

5

KF(NW), CF

0.1　≦

5

0.31(0.35)

―

수동


5〜150

1×10-6〜대기압




XMH-25XYH-25

25

14

KF(NW)

0.15　≦

7

0.57

0.62

XMH-40XYH-4040,CF070

45

KF(NW), CF

0.35　≦

10

1.35(1.71)

1.37

XMH-50XYH-50

50

80

KF(NW)

0.5　≦

13

2.02

2.42

XMH ／L형 XYH ／스트레이트형

※①핸들 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)





※②밸브Seal (보수부품)


인디케이터

질량 kg 주2)

※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.밸브측 배기

벨로스측 배기

XMH•XYH Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브

사양

형식

내부

외부

구조도

밸브측 배기

벨로스측 배기

89

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

형식표시방법

스트레이트형

XMHXYH

L형

① ② ③


16254050

XMH●●●●

XYH―●●●


ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

③Seal재질 및 Seal 장소 변경

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※3310-75※



②플랜지 종류

기호무기호

C

종류

KF(NW)CF

적용 플랜지 사이즈 16•25•40•50

16(034)•40(070)

무기호 KF(NW) 25•40•50

XMH

XYH

1625

무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMH-16-XN1A

XMH•XYH Series

스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브수동／벨로스 Seal

RoHS

기호

무기호

변경장소주2)

없음

②,③②③


내부 외부

•Seal재질기호

무기호


88

주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 "분자류"에서의 값으로 대표하고 있습니다.주2)( )안 질량은 CF(conflate)의 경우


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃



누설량 Pa•m3/s

플랜지 종류

주요재질

조작 토크 N•m

핸들 회전수

XMHXYH

XMH-16

16,CF034

5

KF(NW), CF

0.1　≦

5

0.31(0.35)

―

수동


5〜150

1×10-6〜대기압




XMH-25XYH-25

25

14

KF(NW)

0.15　≦

7

0.57

0.62

XMH-40XYH-4040,CF070

45

KF(NW), CF

0.35　≦

10

1.35(1.71)

1.37

XMH-50XYH-50

50

80

KF(NW)

0.5　≦

13

2.02

2.42

XMH ／L형 XYH ／스트레이트형

※①핸들 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)





※②밸브Seal (보수부품)


인디케이터

질량 kg 주2)

※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.밸브측 배기

벨로스측 배기

XMH•XYH Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브

사양

형식

내부

외부

구조도

밸브측 배기

벨로스측 배기

89

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

형식표시방법

스트레이트형

XMHXYH

L형

① ② ③


16254050

XMH●●●●

XYH―●●●


ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

1.3×10-11(FKM)1.3×10-9

③Seal재질 및 Seal 장소 변경

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※3310-75※



②플랜지 종류

기호무기호

C

종류

KF(NW)CF

적용 플랜지 사이즈 16•25•40•50

16(034)•40(070)

무기호 KF(NW) 25•40•50

XMH

XYH

1625

무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMH-16-XN1A

XMH•XYH Series

스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브수동／벨로스 Seal

RoHS

기호

무기호

변경장소주2)

없음

②,③②③


내부 외부

•Seal재질기호

무기호


88

XM□／L형

XY□／스트레이트형

추천 배기방향［벨로스측에 진공펌프 접속］

챔버

진공펌프

벨로스측

밸브측

챔버

진공펌프

벨로스측밸브측

XM•XY Series제품개별 주의사항①사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.

설계상 주의 배관

경고 주의● 전체 공통

①몸체재질은 A6063, 벨로스는 SUS316L, 기타 진공부의 금속 재질은 SUS304입니다.진공부의 Seal 재질은 표준이 FKM으로 되어 있으나, 기타 재질(형식 표시방법을 확인하십시오.)로의 변경이 가능합니다. 사용재질을 확인 한 후, 지장이 없는 유체를 사용하십시오.

②조작기압 배관재료 및 피팅의 내열은 사용온도에 적합한 것을 선정하 여 주십시오.

● 오토스위치 부착

①스위치부의 온도는 60℃ 이하로 하여 주십시오.

선정

주의 ● 전체공통

①밸브의 응답성을 관리하는 경우에는 배관사이즈와 길이 및 조작용 전 자밸브의 유량특성에 주의해 주십시오.

②조작 압력은 규정내에서 사용하여 주십시오. 0.4MPa〜0.5MPa을 추천합니다.

③사용압력 범위내에서 사용하여 주십시오.④작동용 피스톤실 및 벨로스실은 대기와 직접 접속하고 있습니다. 더스

트 배출에 대한 문제가 없는 환경하에서 사용하여 주십시오. ● 고온타입

①침전물이 많은 가스일 경우는 몸체를 가열하고 밸브로 들어가는 침전 물을 방지하여 주십시오.

설치

주의 ● 전체 공통

①고습도의 환경일 경우는 배관직전까지 포장상태를 유지하여 주십시오.

②스위치 부착의 경우는 리드선에 충분한 곡률을 주고, 무리한 힘이 가 해지지 않는 상태에서 고정하여 주십시오.

③플랜지부에 과대한 힘이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오. 중량물 이나 설치품이 진동하는 경우에는 플랜지부에 직접 토크가 가해지지 않도록 고정하여 주십시오.

④오작동하지 않는 내진동은 30m/s2(45〜250Hz)입니다만 진동이 계 속되는 경우에는 내구성저하의 우려가 있습니다. 과대한 진동이나 충격이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오.

● 고온타입(온도사양 H0, H2, H3)

①밸브를 보온하는 경우는 보닛부(핸들부)를 뺀 몸체부만 보온하여

주십시오.

①플랜지 Seal면 및 O-ring은 에탄올 등으로 세정하고나서 설치하여 주십시오.

②플랜지 Seal면 보호를 위해 0.1mm〜0.2mm로 오목하게되어 있지 만, Seal면에 상처가 나지 않도록 취급하여 주십시오.

③배기방향

동작상, 배기방향은 자유입니다만 배기에 의한 흐름이 발생할 경우에 는 내구성이 저하되는 경우가 있습니다.아래 그림과 같은 배기방향(벨로스측 배기)을 추천합니다. 사용조건에 따라 수명이 달라지므로 충분한 확인을 부탁드립니다.

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

91

외형치수도

XMH ／L형 밸브

XYH ／스트레이트형

40506570

XMH-16XMH-25XMH-40XMH-50

형식 A100.5114 162.5179.5

B38486679

C1122

D30405575

Fn34―70―

Fc17264152

G35 40.557 70

H18 21.530 35

JP.C.D 27

―P.C.D 58.7

―

P.C.D L16×ø4.4

―6×ø6.6

―

L2(mm)

100.2130 178

XYH-25XYH-40XYH-50

형식 A 75.8102.5119

B486679

C122

D23.538 53

E405575

Fn264152

G40.557 70

H21.530 35

J(mm)

A

AB

øHøF

nC

C D

øG

J

B

E

A

C

C

D

øG

øFn

J

øH

øL2

øFc

(CF 플랜지)

L1

(øFc)(KF 플랜지

)

(KF 플랜지)

XMH•XYH Series

90

XM□／L형

XY□／스트레이트형

추천 배기방향［벨로스측에 진공펌프 접속］

챔버

진공펌프

벨로스측

밸브측

챔버

진공펌프

벨로스측밸브측

XM•XY Series제품개별 주의사항①사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.

설계상 주의 배관

경고 주의● 전체 공통

①몸체재질은 A6063, 벨로스는 SUS316L, 기타 진공부의 금속 재질은 SUS304입니다.진공부의 Seal 재질은 표준이 FKM으로 되어 있으나, 기타 재질(형식 표시방법을 확인하십시오.)로의 변경이 가능합니다. 사용재질을 확인 한 후, 지장이 없는 유체를 사용하십시오.

②조작기압 배관재료 및 피팅의 내열은 사용온도에 적합한 것을 선정하 여 주십시오.

● 오토스위치 부착

①스위치부의 온도는 60℃ 이하로 하여 주십시오.

선정

주의 ● 전체공통

①밸브의 응답성을 관리하는 경우에는 배관사이즈와 길이 및 조작용 전 자밸브의 유량특성에 주의해 주십시오.

②조작 압력은 규정내에서 사용하여 주십시오. 0.4MPa〜0.5MPa을 추천합니다.

③사용압력 범위내에서 사용하여 주십시오.④작동용 피스톤실 및 벨로스실은 대기와 직접 접속하고 있습니다. 더스

트 배출에 대한 문제가 없는 환경하에서 사용하여 주십시오. ● 고온타입

①침전물이 많은 가스일 경우는 몸체를 가열하고 밸브로 들어가는 침전 물을 방지하여 주십시오.

설치

주의 ● 전체 공통

①고습도의 환경일 경우는 배관직전까지 포장상태를 유지하여 주십시오.

②스위치 부착의 경우는 리드선에 충분한 곡률을 주고, 무리한 힘이 가 해지지 않는 상태에서 고정하여 주십시오.

③플랜지부에 과대한 힘이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오. 중량물 이나 설치품이 진동하는 경우에는 플랜지부에 직접 토크가 가해지지 않도록 고정하여 주십시오.

④오작동하지 않는 내진동은 30m/s2(45〜250Hz)입니다만 진동이 계 속되는 경우에는 내구성저하의 우려가 있습니다. 과대한 진동이나 충격이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오.

● 고온타입(온도사양 H0, H2, H3)

①밸브를 보온하는 경우는 보닛부(핸들부)를 뺀 몸체부만 보온하여

주십시오.

①플랜지 Seal면 및 O-ring은 에탄올 등으로 세정하고나서 설치하여 주십시오.

②플랜지 Seal면 보호를 위해 0.1mm〜0.2mm로 오목하게되어 있지 만, Seal면에 상처가 나지 않도록 취급하여 주십시오.

③배기방향

동작상, 배기방향은 자유입니다만 배기에 의한 흐름이 발생할 경우에 는 내구성이 저하되는 경우가 있습니다.아래 그림과 같은 배기방향(벨로스측 배기)을 추천합니다. 사용조건에 따라 수명이 달라지므로 충분한 확인을 부탁드립니다.

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

91

외형치수도

XMH ／L형 밸브

XYH ／스트레이트형

40506570

XMH-16XMH-25XMH-40XMH-50

형식 A100.5114 162.5179.5

B38486679

C1122

D30405575

Fn34―70―

Fc17264152

G35 40.557 70

H18 21.530 35

JP.C.D 27

―P.C.D 58.7

―

P.C.D L16×ø4.4

―6×ø6.6

―

L2(mm)

100.2130 178

XYH-25XYH-40XYH-50

형식 A 75.8102.5119

B486679

C122

D23.538 53

E405575

Fn264152

G40.557 70

H21.530 35

J(mm)

A

AB

øH

øFnC

C D

øG

J

B

E

A

C

C

D

øG

øFn

J

øH

øL2

øFc

(CF 플랜지)

L1

(øFc)(KF 플랜지

)

(KF 플랜지)

XMH•XYH Series

90

보수점검

주의①침전물을 제거할 경우는 각 부품에 손상을 끼치지 않도록 하여 주십

시오.②내구횟수에 가까워진 경우는 보닛 Ass'y부와 O-ring을 교환하여

주십시오.③내구횟수 전이라도 손상이 예상되는 경우에는 신속히 보수와 점검을

하여 주십시오.

④보수부품은 당사 규정품을 사용하십시오. 구조도/보수 부품표를 참 조하십시오.

⑤Seal재(밸브 Seal•외부 Seal 등)를 빼낼 경우는, Seal면에 손상을 입히지 않도록 충분히 주의하여 주십시오. 밸브 Seal이나 외부 Seal 장착시는 O-ring의 뒤틀림이 없도록 조립하여 주십시오.

XMCXYCXMDXYDXMHXYH

XMAXYA

일반용

고온용

일반용

고온용

일반용

고온용

표준에서고온용

형식밸브 사이즈

온도사양

없음

있음

없음

있음

없음

없음

표준에서 있음

표준에서 있음

인디케이터

보닛 Ass'y／핸들 Ass'y　구조부품번호：②

16XLA16-30-1

XLA16A-30-1XLA16-30-1H

XLA16A-30-1HXLC16-30-1

XLC16-30-1H――

①Seal재의 재질변경을 하는 경우에는 보닛 Ass'y 또는 핸들 Ass'y로 교환하여 주십시오.사용되고 있는 제품의 Seal 재질과 다른 경우에는 Seal재질만의 변경으로는 적용할 수 없는 경우가 있습니다.

보수부품

표1

주의

XLH16-30-1

25XLA25-30-1

XLA25A-30-1XLA25-30-1H

XLA25A-30-1HXLC25-30-1

XLC25-30-1HXLD25-30-1

XLD25-30-1H

XLH25-30-1

40XLA40-30-1

XLA40A-30-1XLA40-30-1H

XLA40A-30-1HXLC40-30-1

XLC40-30-1HXLD40-30-1

XLD40-30-1H

XLH40-30-1

50XLA50-30-1

XLA50A-30-1XLA50-30-1H

XLA50A-30-1HXLC50-30-1

XLC50-30-1HXLD50-30-1

XLD50-30-1H

XLH50-30-1

63XLA63-30-1

XLA63A-30-1XLA63-30-1H

XLA63A-30-1HXLC63-30-1

XLC63-30-1HXLD63-30-1

XLD63-30-1H

―

80XLA80-30-1

XLA80A-30-1XLA80-30-1H

XLA80A-30-1HXLC80-30-1

XLC80-30-1HXLD80-30-1

XLD80-30-1H

―

주2)밸브 Seal 재질이 표준(FKM：배합 No.1349-80：미쓰비시전선 공업(주) 제품)이외의 경우는 Seal 재질 추가기호(아래표1 참조)를 품번 끝(□의 장소)에 붙여 주십시오.주3)구조도 번호는 각 시리즈의 구조도를 확인하십시오.

XMA XYAXMC XYCXMH XYHXMD XYD

외부 Seal③

밸브 Seal②

S밸브 SealAss'y④

형식밸브 사이즈품명

구조도 번호

표준

특수

표준

특수

표준

특수

재질

외부 Seal／(M)밸브 Seal／S밸브 Seal Ass'y

16AS568-025VAS568-025□

B2401-V15VB2401-V15□

―

―

25AS568-030VAS568-030□

B2401-V24VB2401-V24□

AS568-009V

AS568-009□

40AS568-035VAS568-035□

B2401-P42VB2401-P42□

XLD40-2-9-1AAS568-016V

XLD40-2-9-1A□

AS568-016□

50AS568-039VAS568-039□

AS568-227VAS568-227□

XLD50-2-9-1AAS568-016V

XLD50-2-9-1A□

AS568-016□

63AS568-043VAS568-043□

AS568-233VAS568-233□

XLD63-2-9-1A

XLD63-2-9-1A□

80AS568-045VAS568-045□

B2401-V85VB2401-V85□

XLD80-2-9-1A

XLD80-2-9-1A□

XMD XYD

주4) 사용되고 있는 제품의 Seal 재질과 다른 경우에는 Seal 재질만의 변경으로는 적용할 수 없는 경우가 있습니다.※미쓰비시전선 공업(주) 제품

Seal재질

배합No.

기호 -XN1 -XP1 -XQ1 -XR1 -XR2 -XR3 -XS1 XT1 -XU1

EPDM

2101-80 ※ 70W

Kalrez®

4079 SS592

Chemraz®

SS630 SSE38

VMQ

1232-70 ※

FKM forPlasma

3310-75 ※ UA4640

Seal 재질 추가기호

BarrelPerfluoro

® ULTICARMOR®

주1)밸브 Seal 재질이 표준(FKM：배합 No.1349-80：미쓰비시전선 공업(주) 제품) 이외의 경우는 Seal 재질 추가기호(아래표1참조)를 품번 끝에 붙여주십시오.주2)오토스위치용 자석은 장착되어 있지 않습니다. 오토스위치용 자석 부착의 경우, -M9//를 품번 끝에 붙여주십시오.(고온용에는 없습니다.)주3)오토스위치와 전자밸브는 부속되어 있지 않습니다. 오토스위치와 전자밸브 세트로 필요하신 경우에는 제품형식표시의 오토스위치 이후의 기호를 품번끝에 붙여주십시오.

XM•XY Series제품개별 주의사항②사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.

보닛 Ass'y 핸들 Ass'y

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XM XY Series - smckorea.co.kr · ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의 등록상표입니다