Upload
others
View
13
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
Á ti f lké íté h i ELI j ktt l ö fü ő ké é i é K F f l d t k "„Ágazati felkészítés a hazai ELI projekttel összefüggő képzési és K+F feladatokra"
Optikai mérési módszerek
Márton Zsuzsanna (1 2 3 4 5 7)Márton Zsuzsanna (1,2,3,4,5,7)Tóth György (8,9,10,11,12)
Pálf l i Lá ló (6)Pálfalvi László (6)
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 1
2. előadás A fény mérése
A fény detektálása a fény-anyag kölcsönhatás során fellépő különböző fizikai jelenségeken alapul. Ebben a fejezetben napjainkban használatos fénymérő
k k űk dé l é lk l á l ll ő l d áeszközök működési elvét, alkalmazási területeit, jellemző tulajdonságait ismertetjük.
• Termális detektorok, bolométerek• Fotodiódák, fotovoltaikus detektorok, • Fotokatód, fotocella, • Fotoelektron sokszorozók, képerősítők.• CCD ICCD kamera• CCD, ICCD kamera,• Fotonszámlálás, • Gyors tranziens jelek mérése
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 2
y j
Megjegyzések elöljáróban• A fény mérésével az optika különböző területein foglalkoznak
• Az egyik ilyen terület a radiometria. A radiometriában a fluxussűrűséget (azaz a f lül j ó lj í é é f lül á á k há d á ) i di iá kfelületre jutó teljesítmény és a felület nagyságának hányadosát) irradianciánaknevezzük. Az irradiancia mértékegysége W/m2.
• A fotometria egy másik szakterület ami a fény pszichofizikai hatásaival foglalkozik IttA fotometria egy másik szakterület, ami a fény pszichofizikai hatásaival foglalkozik. Itt a fluxussűrűséget megvilágításnak (illuminancia) hívják és lux-ban mérik. 1 lux=1 lumen/m2.
• A radiometria és a fotometria egyaránt olyan elektromágneses terekkel foglalkozik, amelyeknek a frekvenciája egy viszonylag széles tartományba esik és fázisa véletlenszerűen változik.
• Nanoszekundumnál nem rövidebb lézerimpulzusok esetén általában egy szűk tartományba esik a frekvencia, és konstansnak tekinthető a fázis. Ezen a területen a fluxussűrűséget intenzitásnak nevezzük Intenzitás alatt a Poynting vektor nagyságátfluxussűrűséget intenzitásnak nevezzük. Intenzitás alatt a Poynting vektor nagyságát értjük, azaz az egységnyi felületen időegység alatt merőlegesen átáramló energia nagyságát. (A fs-os és az alatti tartományban az impulzusok a határozatlansági reláció miatt is jelentős kiszélesedést mutatnak a frekvencia tartományban )miatt is jelentős kiszélesedést mutatnak a frekvencia tartományban.)
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 3
Mit mérünk amikor fényt mérünk?• A fényteljesítménynek egy bizonyos időtartamra vett átlagát. Az időtartam a
detektorra jellemző érték.
f y
• Poynting megmutatta, hogy ha a tér egy pontjában egyszerre van jelen elektromos és mágneses tér, akkor ott energia áramlik. Az egységnyi felületen átáramló teljesítményt a Poynting-vektor adjaátáramló teljesítményt a Poynting vektor adja.
ahol , mert 00 rrEkBHBEHES εεεμμμμε
==×==×=×= ,,1 rrr
rrrrrrr
• Tekintsünk most egy monokromatikus síkhullámot! (Mivel a Poynting-vektorban a térerősség négyzete szerepel, valós alakban kell felírni.)
μμμ
)cos(
222
0
εμ
φω +−=
kn
rktEEr
rrrrrr
rrrr
• ahol ̅k a hullámszám vektor
)(cos)(cos)( 220
200 φω
μφω
μεμ
+−=+−××= rktkkE
cnrktEkE
kS rr
ahol k a hullámszám vektor
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 4
Az intenzitás a Poyting-vektor időátlaga
∫+
+−==Tt
t
dtrktT
Ec
nSI0
0
)(cos1 220 φω
μrrr
t0
• Az integrálás a detektorra jellemző T időtartamra vonatkozik.
• Térjünk át ωt szerinti integrálásra és használjuk ki hogy )2cos1(1cos2 θθ +=Térjünk át ωt szerinti integrálásra, és használjuk ki, hogy )2cos1(2
cos θθ +
)()(cos1 )(22
0
0
ωφωωμ
ω
=+−== ∫+
tdrktT
Ec
nSITt
rrr
[ ])(2sin)(2sin142
100
20
20
0
φωφωωωμμ
ωμ ω
+−−+−++= rktrkTtT
Ec
nEc
n
Tc t
rrrr
• A [ ] –ben lévő kifejezés maximuma 2 és 1/ωT <<1. Ha nagyon gyors a detektor, tfh T=10-9s és látható fényt mérünk ω=1012-1015Hz akkor is az összeg második
42 ωμμ Tcc
tfh. T=10 s, és látható fényt mérünk, ω=10 -10 Hz, akkor is az összeg második tagja 3-6 nagyságrenddel kisebb az elsőnél, ezért elhanyagoljuk.
21 EnSI ==r
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 5
02E
cSI
μ==
FotodetektorokAlapvető elvárások:
• Érzékenység a kívánt hullámhosszon• Jó hatásfokú (foton elektron konverzió)( )• Rövid válaszidő (T) = széles spektrális tartomány• Kis zaj• Megfelelő méretű felület (pl. illeszkedjen a lézer nyalábméretéhez,
fényvezető szálhoz) • MegbízhatóságMegbízhatóság• Alacsony ár
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 6
Fototermális detektorok • Fototermális effektus: az elnyelt foton energiája az elnyelő anyag termális
gerjesztésére fordítódik• A detektor hőmérsékletváltozásával lehet kimutatni a foton beérkezését• A detektor hőmérsékletváltozásával lehet kimutatni a foton beérkezését.
Bolométerek, infra- és szubmilliméteres érzékelők, röntgen spektrométerek, gammasugár kaloriméterek működnek ezen az elven.
Bolométerek• A bolométereket főleg az infravörös és terahertzes spektrum 10-5000 mm
(30 THz – 60 GHz) tartományában használják.( ) y j• Az érzékelő elem egy érzékeny termisztor, amit legalább 4,2 K-re hűtenek a
zajcsökkentés érdekében. • A sugárzás hatására megváltozó ellenállás jelét gyors, kis zajú elektromos
áramkörökkel erősítik.
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 7
A bolométer működési elveTs
Modulált
Hővezető (G)
V
PTHzeiωt
Hőtartály
Modulált beeső sugárzás
Dopolt Si termisztor
TsÚgy változtatjuk a feszültséget, hogy a kör árama konstans legyen
Gyémánt ablak
Abszorbens réteg (Bi)
RTB
ogy a ö á a a o sta s egye
tiSB
MeTTT ω1+=
T i t k kt i tikák
• A termisztor ellenállásának hőmérséklet-függése:
( ) TBAeTR /−=
10
C)
B=2000K B=3000KB=4000K
Termisztor karakterisztikák
( ) AeTR =
0 1
1
R(T
)/R(2
0°C B 4000K
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 8
-20 0 20 40 60 80 100
0.1
T [°C]
BolométerElőnyök:
• Könnyű használat. Csak egy fix áramforrást és gondos kalibrálást igényel.• Gyakorlatilag hullámhossztól független érzékenység. Olyan tartományokon is használható, ahol
más eszköz nem (pl. szub-milliméteres, azaz THz-es tartomány).• Jól kidolgozott technológiája van a félvezető gyártásnak.
Hátrányok:Hátrányok:• Hullámhossztól független érzékenység. Keskeny sávszélességű sugárzásoknál az adott
tartományon kívül csak a zajt érzékeli. Így romlik a jel-zaj viszony.• Lassú. Tipikusan 10Hz-es frekvenciával használható, mivel a hőtartály és a termisztor közti
csatolás gyenge. Erősebb csatolás esetén nő a sebesség de nő a zaj is. • Hűteni kell. A legérzékenyebb bolométerek mK-es hőmérsékleten működnek. Ezért drága az
üzemeltetésük.
Megmutatható, hogy a bolométer úgynevezett zaj-ekvivalens teljesítménye (NEP Noise Equivalent Power):
,4 5 1/2Watt/HzNEP BkTAσ=
ahol A a detektor felülete, σs a Stefan konstans k a Boltzmann állandó.NEP az a sugárzási teljesítmény, aminél a jel/zaj viszony 1. T5 miatt hűteni kell.
,4 Watt/Hz NEP BkTA sσ
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 9
Golay-cella• A Golay-cella egy gázkamrába helyezett abszorbens filmet tartalmaz. A beérkező sugárzás
hatására a filmréteg és ennek következtében a kamrában levő gáz is fölmelegszik, és így megnő
yg g g , gy g
a cella nyomása. A cella egyik falát egy fémmel bevont táguló membrán képezi, aminek alakváltozását pl. egy róla visszaverődő lézernyaláb segítségével, vagy kapacitásváltozásként érzékelhetjük.
b b
belépő ablak
lézernyaláb
rugalmas fal
abszorbensrugalmas fal
fémlemez
detektor
beeső sugárzás
kapacitás változás
Előnyei: • Az abszorbensre érkező összes sugárzást érzékeli. A spektrális érzékenységet a belépő ablak
anyagának megválasztásával változtathatjuk.y g g j• Nem igényel hűtést, ezért olcsó. Hátrányai:• Az ezüstözött membrán nagyon érzékeny. • Lassú. Maximum ~20 Hz-ig használható.
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 10
Fotodiódák• A fotodiódák „szennyezett” félvezető eszközök, melyek fotovoltaikus vagy
fotokonduktív eszközként használhatók.
+U
V A
Fotovoltaikus működési mód Fotokonduktív működési mód
p ni+
PIN dióda
Foton hν
p + -
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 11
A PIN fotodióda működésef
FotonV té i áVezetési sáv
Fotonhν≥ Εg
Vezetési sáv
p i
-Εg
p
i
Εg
+++
-Valencia sáv
n+
Valencia sáv
n---VD VD- ΔV
• A megvilágítatlan és külső előfeszítés nélküli fotodiódában az elektronok diffúziója miatt az intrinsic félvezető réteg p és n réteg felőli oldala rendre + illetve – töltésűvé válik,
• Ha hν≥ Eg energiájú fotonokkal megvilágítjuk a fotodiódát, akkor az intrinsic félvezetőben elektron-lyuk párok keletkeznek, és ezek is diffundálnak a potenciálnak megfelelőenfelőli oldala rendre illetve töltésűvé válik,
emiatt VD feszültség esik rajta
• Ezt a feszültséget a diódához vezető kontaktusoknál fellépő kontaktpotenciál
diffundálnak a potenciálnak megfelelően
• A diffundáló elektron-lyuk párok csökkentik a VD feszültséget.
p péppen kiegyenlíti, ezért nem mérhető. • A megvilágítás által keltett fotoáram:
hatásfokkvantum a
ahol
η
φη−= ,Aei ph
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 12 I/hfelülete aktív dióda a A
νφ
η
= a foton fluxussűrűség
A PIN fotodióda működése II.f• Ha külső U feszültséget kapcsolunk a diódára, akkor a megvilágítás nélkül a diódán átfolyó áram:
H ilá í á i kk á kódik f á
)1()( //2 −= − kTeUkTeVD eeCTUi D
UU )()(• Ha megvilágítás is van, akkor erre rárakódik a fotoáram:
• Ha nyitott körben van a dióda, akkor i=0, és ebből a fotofeszültség:
phDill iUiUi −= )()(
,1ln)0( ⎥⎦
⎤⎢⎣
⎡+⎟⎟
⎠
⎞⎜⎜⎝
⎛==
s
phph i
ie
kTiU
ahol a telítési sötétáram U nagy negatív értékeinél.⎥⎦⎤
⎢⎣⎡−=
kTeVCTi D
s exp2
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 13
Fotodiódák jellemzői• Kvantumhatásfok (QE): a fotodiódák érzékenységét meghatározó elsődleges paraméter.
Megmutatja, hogy a beeső fotonok hány %-a generál elektron-lyuk párt. Szilícium diódára a 800-900 nm es tartományon ~80%
j
900 nm – es tartományon ~80%.
• A fotodiódák érzékenységét praktikusan egységekben a generált fotoáram (A) és a beérkező fényteljesítmény (W) hányadosaként adják meg. Ez a hullámhossztól függő jellemző a válaszfüggvény (responsivity).Pl. szilícium diódára: [ ] [ ]
124[%] mR μλ
λ×
=QEA/W
νη
hPqI P
//
0
==QE
másképp
• Levágás (cut off): Az előzőkből látható, hogy csak az a foton kelt töltéshordozókat, amelynek
[A/W] ν
ηλ h
qPIR P ==
0
energiája nagyobb, mint a valencia és a vezetési sáv közti tiltott sáv energiája Szilícium diódáknál a levágás 1.1μm környékén következik be.
• Sebesség: a töltéshordozó diffúziójához idő kell Külső feszültség nélkül 0 5 s nagyságrendjébe
gEh ≥ν
• Sebesség: a töltéshordozó diffúziójához idő kell. Külső feszültség nélkül ~0.5 μs nagyságrendjébe esik a szintén hullámhossz függő válaszidő.
http://www.osioptoelectronics.com/technology-corner/frequently-asked-q estions/basic pin photodiode characteristics asp
Dióda sorok TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 14
questions/basic-pin-photodiode-characteristics.aspx
Gyors fotodiódák• A gyors fotodiódákat mindig negatív előfeszítéssel használjuk. Ekkor a dióda telítési sötétárama
kicsi.
y f
Ilyenkor és a dióda összes árama
ami már független a külső feszültségtől.
,1/ <<kTeUe phkTeV
D ieCTi D −−= − /2
• Az fotoáram feszültségjelet generál az RL terhelő ellenálláson. phi phLphs iRUV ==
RP Cs
• A fotodióda ekvivalens áramköre• Rs, Rp soros és párhuzamos belső ellenállás, Cs
párhuzamos kapacitás.
Rs
• Megmutatható, hogy LsRC
fπ2
1max =
RLerősítendő jel
• Ha RL elég kicsi, akkor a dióda nagyfrekvenciás válasza , amit a töltéshordozó k p-n átmeneten való átjutási ideje limitál, elég nagy lesz. Nagy előfeszítés és 50 Ohmos terhelés esetén szub-
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 15
nanoszekundumos válaszidő is elérhető.
Lavina diódák, diódasorok• A lavina diódákra olyan nagy záróirányú feszültséget kapcsolnak, hogy az eléri a letörési tartományt
(Zener-effektus). Ilyenkor a kiürített rétegben a nagy térerősség miatt annyira fel tudnak gyorsulni a
,( ) y g gy g y gytöltéshordozók, hogy újabb elektron-lyuk párokat keltenek, és ezáltal az eszközön belül erősítés jön létre (106) . A lavina diódák nagyon gyorsak, akár 1012Hz-en is működhetnek.
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 16
http://www.hamamatsu.com/jp/en/search/index.html?spkey=avalanche&searchBtn.x=-1019&searchBtn.y=-24
Diódasorok, dióda mátrixok kiolvasása
Shift regiszterIndító jel
g
CMOS kapcsoló
Szinkron jelKiolvasott jel
Cs Cs
p
s shν
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 17
CCD: Charge Coupled Device
Fotoelektromos emisszió vákuumbanAz elektronok a szilárd testekben kötött állapotban vannak, energiájuk negatív. Azonban a potenciálgát kristályszerkezettől és felülettől függő energiájánál nagyobb energiával beérkező p g y gg g j gy gfotonok képesek elektronokat kiszakítani a kötött állapotból, és így fotoáramot kelteni.Ezen az elven működnek például a fotoelektronsokszorozó csövek (PMT) és a mikrocsatornáslemezek (MCP) is.
Einstein:
munka kilépési a ahol φφ,+= kinEhv
fotonok
V
μA
fotoelektronok
μA
+
-
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 18
Fotoelektron sokszorozó cső (PMT)( )
htt // h t / / /t h l /i ti / h t th d /i d ht l
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 19
http://www.hamamatsu.com/eu/en/technology/innovation/photocathode/index.html
Mikrocsatornás lemez MCPhttp://www.tectra.de/MCP.htm• Sokmillió független csatorna
• Mindegyik elektronsokszorozóként viselkedik• Mindegyik elektronsokszorozóként viselkedik
• Nagy erősítés, 108-109
• Nagy térbeli felbontás, csatorna átmérő 5-15 μm
• Jó időbeli felbontás , az elektronlavina áthaladási ideje ~100ps
• Alacsony „sötétáram” <0.5pA/cm2 1 kV feszültségnél.
5μme-
+-
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 20
Képerősítő, ICCD kamerap ,
CCD
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 21
Forrás: Andor MANUAL_iStar Version 5.1.pdf
Fotonszámlálás• Nagyon alacsony fényintenzitásoknál a fotoáram Δt időre vett átlagának mérésénél pontosabb
eredményt ad, ha közvetlenül a beérkező fotonok számát mérjük, mert így a zaj nagy részétől megszabadulunk.g
• Ehhez egy fotoelektron sokszorozóval (PM) erősítjük az egyetlen foton által kiváltott jelet, majd az erősített impulzust egy digitális áramkör dolgozza fel.
PM Di i i t C t C tPM
Gain Gain
Discriminator Counter Computer
• A diszkriminátor áramkör a beérkező erősített impulzust egy küszöbértékkel hasonlítja össze, és TTL jelet állít elő amit egy számláló vagy egy beütésszám mérő bemenetére küldhetünk
106-107 ~100 Rate meterDAC
TTL jelet állít elő, amit egy számláló vagy egy beütésszám mérő bemenetére küldhetünk.• Előnyök: a PM erősítésének (Gain) zaja nem befolyásolja a mérést, a diszkriminátor küszöbének
beállításával a sötétáramból származó zajtól is megszabadulunk. A PM ablakának megválasztásával kiszűrhető a kozmikus sugárzásból, radioaktív háttérsugárzásból származó zaj.
• Az újabb típusok a PM analóg jelének szélességéből meg tudják állapítani, hogy egy vagy több foton érkezett egy időben.
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 22
Tranziens jelek mérése• A boxcar integrator fő eleme egy kapuzható integráló kör. Ismétlődő jelek mérésére használhatjuk.• Statikus kapuzással a jelnek mindig ugyanabból a részéből veszünk mintát és azt átlagoljuk. • Ha a jelalakot akarjuk vizsgálni, akkor változtatjuk a kapu késleltetését.
T0 T0 T0 T0 T0+Δt1 T0+Δt3T0+Δt2
Kapu é lé R
Cvezérlés
Vin Vout
• Ha a jelalak nem ismétlődik, akkor tranziens rekordert használhatunkDig. out
Memory
Ti i
ADC DAC
G t
input
trigger
Analog out
TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt 23
TimingGatet gge