Univerzitet u Beogradu Tehnoloko-metalurki fakultet

Seminarski radPredmet: Fiziko-mehanika ispitivanja materijala (vii kurs) Tema: Ispitivanje materijala metodom AFM

Profesor: dr Vesna Radojevid Student: Zorka urid Br.indeksa: 4014/2011 Smer: Inenjerstvo materijala

Beograd, jun 2012

SadrajUVOD .............................................................................................................. Error! Bookmark not defined. Mikroskop atomskih sila................................................................................................................................3 Skenirajudi tunelski mikroskop ......................................................................................................................6 Prednosti AFM nad STM ................................................................................................................................8 Princip rada AFM ...........................................................................................................................................9 Naini merenja ............................................................................................................................................11 Primena AFM .................................................................................................. Error! Bookmark not defined. Nedostaci AFM............................................................................................................................................14 Zakljuak ......................................................................................................................................................15 Literatura....................................................................................................................................................16

UVODNanotehnologija je interdisciplinarna nauka koja ukljuuje fiziku, hemiju, biologiju, nauku o materijalama kao i irok spektar inenjerskih disciplina. Re nanotehnologija se koristi kao sinonim za nauku i tehnologiju. Kao nauka, ona proava fizike, hemijske i bioloke osobine molekula I atomskih estica. Kao tehnologija primenjuje istraivanja iz navedenih nauka i razliite inenjerske discipline za proizvodnju materijala i funkcionalnih sistema sa posebnim i jedinstvenim osobinama (slika 1). Prefiks nano potie od grke rei nannos to oznaava neto siuno, patuljak, kepec, a pod nanotehnologijom se podrazumeva istraivanje i manipulacija materijom u sferi ispod 100 nanometra (nm), to znai da je re o redu veliine molekula i virusa. Deset spojenih atoma vodonika imaju duinu jednog nanometra,a jedan milion nanometra ini jedan milimetar. U poreenju s ljudskom dlakom, to je pedesetohiljaditi deli.

Slika 1. Nanotehnologija i nanonauka

1

Nanotehnologija je vrlo vana nauka u 21. veku iji se veliki rezultati tek oekuju u budunosti u svetu medicine, vojne industrije, raunarskim tehnologijama, mainstvu i dr. Organizovanjem atoma u strukture razliitih oblika i veliina na nano nivou, mogue je upravljati razliitim osobinama, ukljuujui elektrina, optika i fizika. Tehnologije koje se koriste u nanotehnologiji su vrlo razliite, brzo se mijenjaju, a esto nisu meusobno povezane. Tipini proizvodi nanotehnologije su nanoestice, vlakna i filmovi razliitih materijala i struktura (slika 2). Tu su takoe litografske nanostrukture za elektronska integralna kola, strukture nastale spontanim dodavanjem molekula, odnosno autosklapanjem, kao i vrsti hrapavi, ili porozni nanomaterijali. Jedan od problema koji je nepoznat na makroskali, a uoava se na nanometarskom nivou proistie iz porasta broja povrinskih atoma u ukupnom broju atoma nanostruktura, to s jedne strane dovodi do velikih promena fizikih I hemijskih svojstava materijala koje se mogu povoljno iskoristiti, ali na drugoj strani poveanje povrinske energije usled smanjivanja dimenzija dovodi do toga da je veina nano struktuiranih materijala termodinamiki nestabilna i metastabilna. Prevazilaenje problema velike povrinske energije i spreavanje rasta gradivnih estica nanomaterijala usled stalne tendencije da smanje veliku povrinsku energiju jedan je od glavnih izazova u proizvodnji, karakterizaciji i obradi nanomaterijala.

(a)

(b)

Slika 2. (a) nanoestice osvetljene belom svetlou (b) polimerna nanovlakna

2

Mogunost prikaza pojedinanih atoma predstavlja jedan od najveih proboja na polju nanotehnologije. Mikroskopijom sa skenirajuom sondom (SPM, eng. scanning probe microscopy) se mogu posmatrati i ispitivati nanoskopske osobine materijala i to samo njena povrina. Postoji vie tipova sondi koje se koriste za snimanje povrine materijala. Princip njihovog rada se zasniva na razliitim efektima, koji omoguavaju posmatranje razliitih osobina materijala. Sve tehnike skeniranja sondom se znaajno razlikuju u odnosu na princip funkcionisanja optikog ili elektronskog mikroskopa, a zasnivaju su na razliitim vidovima interakcije izmeu vrha sonde i povrine uzorka. Na primer, mikroskopi zasnovani na tunelskom efektu (STMs, eng. scanning tunneling microscopes) mere struju koja prolazi izmeu vrha sonde i povrine materijala, dok mikroskopi koji koriste atomske sile za snimanje povrine materijala (AFMs, eng. atomic force microscopes) mere mehaniku silu izmeu vrha sonde i povrine materijala.

Mikroskop Atomskih Sila (engl. Atomic Force Microscope, AFM)Prvi AFM su konstruisali 1986.god. Binning, Quate i Gerber. Iste godine Gerd Binning je zajedno sa svojim saradnikom Heinrich Rohrerom dobio nobelovu nagradu za konstruisanje prvog skenirajueg tunelnog mikroskopa-STM, kojeg su razvili ranih 80-tih u istraivakom centru IBM-a u Zurichu, a koji je ujedno prethodio razvoju mikroskopa atomske sile. Prvi komercijalno dostupan mikroskop atomske sile predstavljen je 1989.god.

Slika 3. Prvi AFM koji su konstruisali Binning, Quate i Gerber i prva AFM slika 3

Mikroskop atomskih sila (AFM) ili skenirajui mikroskop sila (SFM) (slika 4) je metoda karakterizacije materijala u hemijskoj, prehrambenoj i farmaceutskoj industriji, industriji plastike i poluprovodnika, koji pripada porodici mikroskopa sa skenirajuom sondom (SPM) iji se rad zasniva na merenju meumolekularnih sila koje deluju izmeu atoma merne sonde i atoma ispitivanog uzorka. Lokalno (sondirajue) merenje se ostvaruje sprovodi od take do take pomou nanokonzolnog senzora izraenog iz konzolnog dela duine oko 50-500 nm i konusnog ili piramidalnog dela koji se nalazi na kraju konzolnog dela i koji je usmeren u vertikalnom pravcu ka uzorku, nakon ega se podaci svih ispitanih taaka prikupljaju u snimak ispitivane povrine. Radijus vrha konusnog (piramidalnog) zavretka se kree od 7-90 nm i zavisi od namene senzora. Rezolucija skenirajuih sondirajuih mikroskopa se danas kree oko 1.0 pm, ili 10-12 m, to trenutno zadovoljava najstroije zahteve nauke o materijalima, a time i nano-nauke. Rezolucija snimanja je u veoj meri ograniena uslovima kvaliteta pripreme uzorka (povrine uzorka) koji u naunoj literaturi ne dobija adekvatnu panju iako bi se moglo rei da je, posmatrajui pojedinani doprinos svake od faza, priprema uzorka najznaajnija komponenta u procesu dobijanja snimka materijala u atomskoj rezoluciji.

Slika 4. AFM instrument

4

Primena ove metode ukljuuje ispitivanje termikih i mehanikih svojstava kao i morfologije i sastava modernih polimernih materijala. Koristi se i u proizvodnji boja i lakova za odreivanje topografije i hrapavosti povrine premaza. Kvalitet povrine (hrapavost i morfologija) bilo koje legure koja se koristi u stomatologiji takoe se odreuje ovom metodom. Koristi se i u elektronici, kristalografiji kao i u prirodnim i medicinskim naukama. Tehnologija koja je prethodila mikroskopiji atomskih sila je Skenirajua Tunelska Mikroskopija (STM) iji se rad zasniva na kvantno-mehanikom efektu tunelovanja elektrona kroz dielektrik. Brojni su razlozi velikog uspeha i opte prihvaenosti metode AFM u nauci od kojih je veina povezana sa tehnikim reenjima primenjenim u metodi. Ono to AFM izdvaja u odnosu na druge metode jeste neinvazivnost metode koja omoguava karakterizaciju uzoraka i u atomskoj rezoluciji bez unoenja poremeaja u strukturi. Iz ove osobine proistie i druga prednost AFM koja je mogunost karakterizacije u uslovima kontrolisane atmosfere i karakterizacija u tenostima, to su uslovi koji mogu blisko odgovarati prirodnom okruenju. Imajui u vidu pomenutu malu invazivnost dobijamo mogunosti primene ove metode ne samo u tehnici nego i u biolokim i biomedicinskim istraivanjima koja pokazuju veliku osetljivost prema promeni uslova pod kojima se eksperiment odvija. Upravo se od primene AFM u biomedicini oekuje veliki pomak u razumevanju veze izmeu strukture i funkcije sistema na molekularnom nivou. Metoda AFM omoguava i snimanje u irokom opsegu uslova sredine. Tako je mogue podeavati temperaturu u irokom opsegu: od uslova hlaenja tenim helijumom sve do nekoliko stotina stepeni na celzijusovoj skali. Mogue je izvriti I prilagoenje atmosfere uvoenjem odgovarajuih gasova ali i snimanje u uslovima veoma visokog vakuuma (Ultra High Vacuum UHV). Trenutno najnaprednija primena AFM (ali i tehniki najzahtevnija) se odnosi na mogunosti snimanja u tenoj sredini u kojoj je mogue u velikoj meri oponaati uslove realnih procesa, pogotovo u biolokim i biomedicinskim istraivanjima. Na slici 5. je prikazan AFM mikrografija zrnaste strukture PbTe.

5

Slika 5. Zrnasta struktura PbTe

Skenirajui tunelski mikroskop (engl. Scanning Tuneling Microscope, STM)Ideja skenirajuih mikroskopa je vrlo slina ideji itanja knjige na Brajevoj azbuci. Mikroskop ima sondu, odnosno vrlo tanku iglu, koja se vue malo iznad povrine koja se posmatra (slika 6). Ako je povrina provodna onda se moe napraviti takav napon izmeu igle i povrine, da elektroni preskoe sa igle na povrinu. Ovo preskakanje elektrona, ili tuneliranje kroz sredinu u kojoj se nalaze igla i povrina, zapravo predstavlja struju koja moe da se meri (slika 7). Ono to je korisno je u tome to struja tunelirajuih elektrona eksponencijalno opada sa rastojanjem izmeu igle i povrine. Eksponencijalna funkcija vrlo brzo opada, tako da vrlo mala promena rastojanja daje veliku promenu u struji! Prelaskom igle preko i najmanje neravnine menja se rastojanje koje treba da preskoe elektroni a promenom rastojanja menja se i struja, a promena struje moe da se meri

Slika 6. Shematski prikaz STM

6

Ovo je krajnje pojednostavljen princip na kome radi prvi skenirajui mikroskop skenirajui tunelni mikroskop (Scanning Tunneling Microscope-STM). Jednostavna ideja je ipak bila praena velikim tekoama. Osnovni problem je bio kako neverovatno male promene u jaini struje registrovati i iz njih izvui informaciju o izgledu povrine. Informacije o povrini dobijene merenjem vrlo malih struja daju izuzetno komplikovani raunarski sistem i odgovarajui programi. Ispostavilo se da je upravo izvlaenje informacija o povrini iz merenih vrednosti bio najtei zadatak za konstruktore. Drugi, i mnogo ei, nain na koji radi sonda STM-a je da se tokom laganog prelaska sonde preko uzorka rastojanje dri nepromenjenim. Svaka neravnina se onda ogleda u kretanju sonde gore-dole. Ovo kretanje se registruje i kao rezultat se dobija trodimenzionalna slika povrine (princip rada je slian principu po kome radi gramofonska igla). Metalni vrh STM mikroskopa (jedna elektroda od tunela struje) mora biti na rastojanju od 0,3 do 1 nm u odnosu na povrinu koja se istrauje, a druga elektroda mora imati operativni napon koji iznosi od 10 mV do 1V. Vrh igle elektode STM mikroskopa mora biti otar, esto se izrauje integrisano sa konzolom za merenje. Materijal od kojeg je napravljena igla moe biti volframova ica ili platinumiridijum (kompozit) ili zlato. Veliina igle je takva da se na njenom vrhu nalazi samo jedan atom. Kretanjem ovako tanke igle tano iznad povrine omoguava da se primete i najmanje neravnine. Impresivno je da se na dobrim slikama dobijenim STM-om mogu videti atomi. Strogo gledano STM od atoma vidi samo njegov elektronski oblak. Vide se vrlo otri elektronski oblaci koji odgovaraju upravo preseenim vezama.

Slika 7. Princip rada skenirajueg tunelskog mikroskopa

7

injenica da se STM-om mogu videti i najmanje neravnine otvorila je nove mogunosti. Naime, ako se na vrlo ravnu povr nanese neki molekul, ili estica koja se sastoji od malog broja atoma, on se moe videti STM-om kao neravnina! Dakle, ne samo da mogu da se vide neravnine malih dimenzija nego mogu da se vide i neto vei atome koji su se vezali na poznatu povrinu. Za ovakva merenja potrebno je da povrina bude izuzetno ravna i dobro pripremljena. Nesluene mogunosti ovakvih mikroskopa su se pojavile na videlu kada je shvaeno da igla, ili igle koje se koriste kao sonde za ispitivanje povrine mogu da se koriste i za manipulaciju, ili pokretanje atoma koje se vezuju za povrinu. Na ovaj nain mogu da se dobijaju eljene strukture reanjem pojedinanih atoma. Na slici 8. je prikazan shematski prikaz STM mikrografije: cik-cak lanac atoma Cs (crveno) na povrini Ga As (plavo).

Slika 8. STM slika cik-cak lanca atoma Cs (crveno) na povrini Ga As (plavo).

Prednosti AFM nad STMI pored nesumnjivih mogunosti STM-a ipak postoje i nedostaci. Problem sa STM-ovima je u tome to se njima daju ispitivati samo provodne povrine. Ovaj nedostatak je prevazien konstrukcijom mikroskopa atomske sile (Atomic Force Microscope-AFM), koji bukvalno radi na principu itanja Brajevog pisma. Tanka sonda, ali ne vie tako tanka kao kod STM-a, se povlai po povrini koja se skenira. Sonda je zalepljena za ploicu koja odbija svetlost. Laserom se osvetljava ploica i svako pomeranje ploice gore-dole ili levo-desno se registruje promenom putanje odbijenog laserskog zraka. Sonde moraju biti deblje nego za STM zbog toga to moraju biti tvre, kako se ne bi polomile tokom merenja. Deblje sonde smanjuju rezoluciju merenja, ali je zato AFM primenljiv za merenje bilo kakve povrine.8

Princip rada AFMMikroskop atomskih sila (AFM) se koristi za topografska merenja povrina na atomskom nivou, za merenje adhezije, elektrostatikih sila, neravnina, utiskivanja, ali i za, nanoobradu. Za razliku od STM-a, AFM ne meri struju izmeu vrha mikroskopa i uzorka, nego silu koja deluje meu njima. Sile koje su vane u ovom sluaju su jako odbojna sila koja se pojavljuje na malim udaljenostima kao rezultat preklopa elektronskih gustina vrha sonde mikroskopa i uzorka i Van der Waals-ova sila. Uzorak koji se ispituje nalazi se na postolju koje pokree piezoelektrini izvrni element koji ostvaruje kretanje uzorka u tri dimenzije: dve dimenzije ostvaruju ravansko skenirajue kretanje liniju po liniju, dok je tree, visinsko kretanje, diktirano informacijom koju generie nanokonzola koja se nalazi u stalnoj interakciji sa uzorkom i pod uticajem je privlano-odbojnih sila koje potiu od njihove interakcije (Slika 9). Poznavajui dinamike osobine nanokonzolnog senzora i stepeni zakon promene meumolekularnih sila (Lenard-Dounsov potencijal) iz dobijene interakcije se dobijaju karakteristike ispitivanog materijala. Intenzitet privlano-odbojnih sila zavisi od rastojanja izmeu nanokonzole i uzorka koje odreuje promenljiva kontura povrine uzorka. Promene rastojanja generiu promene intenziteta sila koje savijaju nanokonzolu.

Slika 9. Princip rada AFM

9

Ugib nanokonzole se registruje pomou ugla pod kojim se laserski zrak, usmeren na vrh nanokonzole, odbija ka fotodetektorskom senzoru ija je svaka taka opremljena diodom osetljivom na svetlost, koja lasersku odbijenu svetlost pretvara u elektrini signal. Poloaj odbijenog zraka, odnosno poznavanje pozicije diode koja prima odbijeni laserski zrak, omoguava stalno praenje vertikalne pozicije (ugiba) nanokonzole. Informacija o ugibu se prenosi u korekcioni element koji greku, nastalu promenom visine profila u odnosu na poetnu ravnotenu vrednost (odreenu na poetku snimanja) ponitava tako to pomera uzorak u vertikalnom pravcu pomou piezoelektrinog izvrnog elementa, kako bi se ugib nanokonzole stalno odravao na konstantnoj vrednosti (poetna vrednost). Poetna vrednost ugiba jeste ravnoteno stanje privlanih meumolekularnih sila i sila otpora usled krutosti nanokonzolnog nosaa senzora. Sva pomeranja piezoelektrinog organa uzrokovana su promenama na konturi povrine uzorka tako da zapis vertikalnog pomeranja uzorka (piezoelektrinog izvrnog elementa) zapravo predstavlja zapis izgleda konture povrine uzorka. Podaci za svaku liniju-presek uzorka se belee u raunaru, koji je nosilac funkcija upravljanja i obrade podataka, i na kraju se sve linije spajaju, ime se dobija 3D rekonstrukcija topografskog izgleda povrine uzorka. Kako sila interakcije na zavisi od elektrine provodnosti uzorka to se mogu ispitivati i neprovodni materijali. Ugraivanjem senzora za merenje poprene sile, dobije se FFM (ponekad zvan i lateral force microscope LFM). Kod FFM-a se vertikalnim pomakom iglom odreuje normalna sila na uzorak (slika 10). Dobijena sila prilikom merenja se odrava konstantnom i na neravnim povrinama stavljajui pomak igle u feedback (povratnu) petlju gde funkciju senzora pomaka ima laserski zrak koji je u sprezi sa kvadrantnim fotodetektorom koji slui i za merenja torzije konzole. Alternativa laserskom zraku su kapacitivni senzori, interferometrija, i piezo elektrini senzori. Mehanike karakteristike konzole i igla kljuni su faktori za dobijanje tanih rezultata merenja, ukoliko nisu dobijeni oekivani rezulatai ili je topografska slika loa, onda je to siguran znak da se igla mora menjati. One se odreuju elektronskim mikroskopima ili merenjem sopstvene frekvencije.

10

Slika 10. AFM mikrografija levo i LFM mikrografija desno

Naini merenjaPostoje dva naina merenja: 1. kontaktni AFM vrh je u laganom fizikom dodiru s uzorkom. Kako se vrh pribliava povrini uzorka, meuatomske sile postaju sve jae i odbijanje je sve vee, a s obzirom da konzola ima malu konstantu opruge, sile e prouzrokovati savijanje konzole i praenje povrine uzorka (slika 11). Prema tome, detekcija poloaja konzole stvara topografiju povrine uzorka.

Slika 11. Kontaktni nain merenja

11

2. beskontaktni vrh konzole ne dodiruje povrinu. Umesto toga konzola oscilira na frekvenciji malo iznad rezonantne frekvence gde je amplituda oscilovanja obino nekoliko nanometara (do 10 nm). Van der Waals-ove sile, koje su najjae u podruju od 1-10 nm isto kao i bilo koje druge sile koje postoje u tom podruju, deluju na smanjenje rezonantne frekvencije konzole. Smanjenje rezonantne frekvencije u kombinaciji sa sistemom povratne sprege odrava konstantnu amplitudu oscilacija. Merenje udaljenosti od vrha do uzorka u svakoj taki koordinatnog sustava (x,y), omoguava da se pomou odgovarajueg softwera izradi topografska slika povrine uzorka. U ovom nainu merenja ne postoji opasnost od oteenja vrha ili merenog uzorka (slika 12).

Slika 12. Bezkontaktni nain merenja

3. tapkajua (vibrirajua) metoda- Ova metoda podrazumijeva kombinaciju spomenutih dveju metoda merenja, kontaktne i bezkontaktne metode. Kod ovoga naina merenja vrh ili konzola vibrira na vrlo maloj udaljenosti od merenog uzorka. Amplituda oscilovanja je vea od 10 nm, izmeu 100 do 200 nm. Usred uzajamnog delovanja sila koje se nalaze u podruju konzole i uzorka dolazi do smanjenja amplitude oscilacija kako se vrh pribliava uzorku. Van der Waalsove, dipolne, elektrostatike sile uzrokuju poveanje i smanjenje oscilacija amplitude (udaljenosti ) svojim poveanjem odnosno smanjenjem jaine delovanja usled pribliavanja, odnosno udaljavanja vrha konzole od uzorka. Kako se sile poveavaju i smanjuju tako se i vrh pibliava i udaljava od uzorka i mijenja ugao dodira sa uzorkom. Beenjem tih promena pomou reflektirajueg laserskog snopa softver bei promjene te izrauje prikaz povrine uzorka. Ova metoda omoguava izradu topografskih prikaza uzoraka u visokoj rezuluciji povrina koje se inae vrlo lako otete. Ovaj nain merenja je ujedno i jedna od najveih prednosti AFM-a naspram drugih metoda merenja. Izbegavaju se problemi adhezije, trenja te elektrostatikih sila koje pri drugim metodama merenja stvaraju potekoe pri mjerenju (slika 13).12

Slika 13. Tapping metoda

Primena AFMAFM je ukljuen u mnogim poljima nanonauke i nanotehnologije. Izuzetna karakteristika STM i AFM instrumenata je njihova mogunost da ispita uzorke ne samo u ultravakuumu ve i u ambijentalnim uslovima i ak u tenostima. Jedna od prednosti AFM je ta to moe da snima neprovodne povrine, to znai da je veoma podesan za bioloke sisteme. AFM je sposoban da meri slike izolacionih povrina sa ili bez pripreme uzorka kao i merenje 3-D slika povrina i ispitivanje topografije. Predstavlja mnogo jeftinije reenje od elektronskog mikroskopa i ima vee uveanje od optikog. Ovi mikroskopi mogu da gledaju i kroz vodu i predstavljaju idealnu napravu za bioloka istraivanja, koja inae ne bi mogla da se izvedu.

Mogue primene: Analiza hrapavosti podloge Korak formiranja u epitaksijalnom taloenju tankih filmova Formiranje igliastih upljina ili drugih defekata pri rastu oksida Analiza veliine zrna Fazni mod je veoma osetljiv na promene materijala, ukljuujui krutost materijala, elastinost i adheziju Dobijanje informacija o tome ta se deava ispod ispupenja u veoma malim optereenjima. AFM analizom in situ, sa promenama u temperaturi mogu se ispitivati promene strukture.

13

Primeri:

Slika 14. AFM mikrografije PbTe dopiranog sa 0,4% at I (a) 3-D (b) 2-D

Nedostaci AFMU poreenju sa SEM- om, AFM moe da skenira samo jednu veliinu slike. U jednom koraku, SEM moe da skenira podruja povrine mm2 i dubine do 1 mm. AFM je u tom pogledu ogranien na skeniranje podruja povrine 150x150 m i visine 10-20 m. Brzina skeniranja je takoe jedno od ogranienja. AFM ne moe tako brzo kao i SEM da skenira sliku iako SEM daje relativno slab kvalitet slike. Relativno male brzine tokom AFM skeniranja esto vode ka toplotnom otklonu na slici, inei na takav nain AFM manje podesnim za merenje preciznih rastojanja izmeu topografskih karakteristika na slici. Na AFM mogu da utiu i nelinearnost, histerezis i puzanje piezoelektrinih materijala to zahteva poboljanje softvera i filtriranje. Takvo filtriranje moe da izazove peglanje realnih topografskih karakteristika. Meutim, noviji AFM- ovi koriste korekciju softvera u realnom vremenu (na primer feature-orianted scanning) ili zatvorene petlje skenera koje paktino eliminiu ove probleme. Zbog prirode AFM sondi, oni ne mogu normalno meriti strme zidove ili izboine. Posebno napravljene konzole i AFM- ovi mogu da se koriste za modulaciju bonih sondi, kao i da gore i dole (kao i sa dinamikim kontaktnim i bez kontaktnim modom) meri bone strane, po ceni od mnogo skupljih konzola i slabijom bonom rezolucijom.

14

ZakljuakKonstruisanje skenirajuh mikroskopa razliitih vrsta zaista je omoguilo da se vide stvari koje se do tada nisu mogli. Da bi se napravili ureaji vrlo malih dimenzija potrebno je dobro videti sastavne delove. Skenirajui mikroskopi su omoguili i manipulaciju vrlo malim delovima, to je omoguilo spajanje izuzetno sitnih ureaja. Zbog svega ovoga konstruktori prvih skenirajuih mikroskopa, Binig i Rorer su bili nagraeni Nobelovom nagradom za fiziku 1986. godine. Pored toga, skenirajui mikroskopi su otkrili jedan sasvim novi svet, svet izmeu sveta elementarnih estica i malih atoma sa jedne strane, i mikrosveta koji moe da se posmatra pod mikroskopom, sa druge. Instrumenti za ispitivanje koji se razvijaju postaju sve sloeniji i bolji. Takoe je otkriveno izobilje novih efekata kao i novih osobina poznatih materijala.

15

LiteraturaPrinciples of Atomic rinciples Force Microscopy

1. A. Vilalta-Clemente, K. Gloystein: Principles of Atomic Force Microscopy (AFM), Physics of Advanced Materials Winter School 2008 2. V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning probe microscopy, The Russian Academy of Sciences, Institute of Physics and Microstructures, Nizhniy Novgorod 2004. 3. L. Matija, R. Mitrovid, . Koruga NANOTECHNOLOGIES: APPLICATION OF AFM/MFM IN MATERIAL CHARACTERIZATION, 12th International Conference on Tribology, pp 17-24, (2011) 4. D.Filipovic Nanomerenja mehanickih osobina 5. S.Mahovic Mikroskop atomskih sila (AFM) 6. W.Richard Bowen, D.Johnson, N.Hilal Basic Principles of Atomic Force Microscopy, Elsevier Ltd, (2009) 7. P. C. Braga, D. Ricci, Methods in Molecular Biology 736: Atomic Force Microscopy in Biomedical Research, Methods and Protocols Human Press 8. http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_force_microscopy

16