製品紹介書 - GSI A Leading Company with Integrity & Trust 製品紹介書 2008.04.01 품질경영팀 경기도화성시팔탄면율암리432-1 T 0 3 1 -3 5 9 -8 6 0 1 F 0 3 1

A Leading Company with Integrity & Trust

製品紹介書製2008.04.01 품질 경영팀

경기도 화성시 팔탄면 율암리 432-1 T 0 3 1 - 3 5 9 - 8 6 0 1 F 0 3 1 - 3 5 9 - 8 6 0 3 www.gsi.kr


業 의 槪念

당사는 반도체 제조설비용 부대설비와 부대장치 개발 전문업체이며,

특히 Part 세정설비와 Oven 제작과 이에 필요한 핵심 부품기술 등

Fi ld S i 에 역점을 두고 고품질 제공을 통한 국내 반도체 산업의Field Service에 역점을 두고 고품질 제공을 통한 국내 반도체 산업의

생산성 향상에 기여하는 환경친화기업이 되는데 노력하는 회사입니다.

• 선택이 가능한 설비

• 요소 기능별 차별화된 설비

• 미래 환경에 대응하는 설비• 미래 환경에 대응하는 설비

Giga Supporting을 할 수 있는 반도체 / LCD설비 / 공정 전문업체를 추구합니다.

경기도 화성시 팔탄면 율암리 432-1 T 0 3 1 - 3 5 9 - 8 6 0 1 F 0 3 1 - 3 5 9 - 8 6 0 3 www.gsi.kr Page 1


會會社社沿沿革革

2000 082000 08 지에스인더스트리지에스인더스트리㈜㈜ 설립설립((자본금자본금 11억억))2000.08 2000.08 지에스인더스트리지에스인더스트리㈜㈜ 설립설립((자본금자본금 11억억))

09 NCT 사업 개시

12 삼성전자 협력업체 등록

2001.02 EIS2001.02 EIS--300 (SEC JDP) 300 (SEC JDP) 개발개발( )( ) 개발개발

2002.04 2002.04 유기세정기유기세정기 생산생산

11 Hand Shower 개발

2003.11 2003.11 제제 11공장공장 준공준공Integrity & Trust

05 Ultra Sonic CLN,유기세정기 S-MARK 취득

2004.03 2004.03 제제 22공장공장 준공준공((자본금자본금 7.17.1억억))

02 ISO9001:2000 인증 취득

회 사 명 : 지에스인더스트리㈜

대 표 자 : 김 희덕

10 ISO14001:1996 인증 취득

2005.01 2005.01 생산정보화시스템생산정보화시스템 (SMURF) (SMURF) 실현실현

07 Clean Room 완공(160평) & Clean업체 인증

사업분야 : 반도체장비 제조

사 업 장 : 경기도 화성시 팔탄면 율암리 432-1

전화번호 : (031) 359-8601 ~ 2

2006.05 New Design H/S 2006.05 New Design H/S 및및 VTC VTC 개발개발

2007.01 ’072007.01 ’07년년 리빙디자인페어리빙디자인페어 참가참가 ((민생사업민생사업))

04 초순수 제조장치 Set-up (Wet 장비사업)

자 본 금 : 7.1억 (’04.3 )

종업원수 : 37명

설립연도 : 2000년 8월


Laser 가공사업


經營理念

참 ( 眞 ) 會社삶의 질 영위 : 참 된 회 사

社會貢獻사 회 공 헌

人材第一인 재 제 일

人本主義正直信賴를 바탕으로 하는 의 기업과



Created for CustomerCreated for Customer

GSI 제품은 항상 고객사의 가치창조를 목적으로 제작되며 [ 참된 회사, 사회공헌,인재제일 ]은 고객을 최우선으로 하는 경영이념입니다.

선택이가능한 설비

GSICLEANERC

기능차별화 설비

미래지향적 설비차별화 설비 지향적 설비



자동화/측정장비 자동화/측정장비

LCM Measurement System Brightness Measurement Sys.(GSI-BLU70)

Measurement Target : LCD Module OLED PDP Measurement Target : LCD Back LightMeasurement Target : LCD Module, OLED, PDP

DUT Size Range : ~ Max 70inch

Number of Axis : 2~8Axis or Manipulator

Detector : PR650/705/880, SR-3, BM-5A/7, CS1000 etc.

Measurement Standard: VESA TCO ISO User Sequence

Measurement Target : LCD Back Light

Number of Axis : 4 Axis

Detector : PR650, BM-5A/7

Measurement Standard : VESA, TCO, ISO, User

SequenceMeasurement Standard: VESA, TCO, ISO, User Sequence

Various Power & Pattern Generator Control

Sequence

Various Power & Pattern Generator Control



자동화/측정장비 자동화/측정장비

Monitor用 LCD Module Characteristic Measurement System

Mobile用 Display Measurement System

Measurement Target : LCD Module Measurement Target : Mobile DisplayMeasurement Target : LCD Module


Detector : SR-3 A-L2, RD80S

Number of Axis : 5Axis

Measurement Standard :

Measurement Target : Mobile Display


Number of Axis : 9Axis

Detector : CS-1000 (Minolta)

Measurement Standard :Measurement Standard :

Constant Temperature Chamber :

Measurement Standard :

Dark Box : below 1Lux (VESA standard)



자동화/측정장비 세정설비

Edge Inspection System ORGANIC CLEANER – 1BATH

Measurement Target: Wafer Size : 1810(L)x1750(W)x2200(H)Measurement Target: Wafer

Size Range : ~ Max 8inch Wafer

Measurement : Chipping, Defact, User Sequence

5-Axis Control(Micro Step)

Micro Scope & Digital CCD Camera

Size : 1810(L)x1750(W)x2200(H)

Controller : PLC & Touch Based Control

Power : Single-Phase 220V(±10%) 60Hz

Remark : Manual Door & Locking. Auto Damper

N2 DI Gun & 자동소화기 방폭등Micro Scope & Digital CCD Camera

Touch Panel & Joy-stick Control

Motion Capture Program

Vacuum Chucking

N2, DI Gun & 자동소화기, 방폭등,

자바라 UP/Down Unit



세정설비세정설비

ORGANIC CLEANER – 2BATH AUTO WET STATION

Size : 2200(L)x1300(W)x2500(H) Size : 2770(L)x1250(W)x2800(H)Size : 2200(L)x1300(W)x2500(H)

Material : SUS304x1.5t & SUS316x2t

Bath Size : 700(L)x700(W)x500(H) - 2Bath



Size : 2770(L)x1250(W)x2800(H)

Material : Main Body(Ivory PVC) & Frame(SUS 304)

Bath(PVDF, PTFE)

Process Bath : Chemical, Pre Rinse, Rinse, Dryer

Controller : PLC & PC Based ControlPower : Single Phase 220V(±10%) 60Hz

Remark : Auto UP/Down Bath Cover Unit , Manual

Slide Door(Temp Glass),N2, DI Gun 자동소화기(UV Sensor)

방폭형 형광등 Auto Exhaust Unit

Controller : PLC & PC Based Control

Power : 3-Phase 220V(±10%) 60Hz

Remark : Moving Robot System(200,300mm Dual Chucking),

Circulation System,

Auto Cover, L. C. S. S, Chemical Mixing Tank,


, , g ,



MANUAL WET STATION META GRADE WET STATION


Material : Main Body(Ivory PVC) & Frame(SUS 304)

Bath(PVDF, SUS304, C-PVC)

Process Bath : Chemical(5), Rinse, QDR


Size : 4550(L)x3250(W)x2100(H)

Material : Main Body(Ivory PVC),Frame(SUS 304)

BATH(Quartz, PVDF)

Process Bath : SPM, APM, Solvent, QDR(3), IPA Dryer

Controller : PLC & PC Based ControlController : PLC & Touch Based Control


Remark : Circulation System, Heater(PVDF, SUS 304),

N2, DI Gun

Controller : PLC & PC Based Control

Power : 3-Phase 220V(±10%) 60Hz

Remark : Circulation System, In Line Heater,

Hot DIW Supply System, L.C.S.S,

Buffer Tank, IPA Dryer(Spray Type), 자동소화기(UV Sensor),


, y ( p y yp ), 자동 화기( ),

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PART CLEANER TUBE CLEANER


Material : SUS304 & 투명 PVC

Controller : Manual Type

Remark : 2Bath(SUS316x2t) & N2 DI Gun

Size : 2250(L)x1200(W)x2300(H)

Material : SUS304 & 투명 PVC

Controller : Manual Type

Remark : 2Bath(SUS316x2t) & N2 DI GunRemark : 2Bath(SUS316x2t) & N2, DI Gun

- Manual Damper Unit

Remark : 2Bath(SUS316x2t) & N2, DI Gun

- Manual Damper Unit




ULTRASONIC CLEANER ULTRASONIC CLEANER


Material : SUS304x1.5t & SUS316x2t

Bath Size : 1285(L)x825(W)x670(H)


(Heater & Ultrasonic Control)

Size : 1550(L)x1670(W)x1250(H)

Bath Size : 1285(L)x825(W)x670(H)


(Heater & Ultrasonic Control)

Power : Single-Phase 220V(±10%) 60Hz(Heater & Ultrasonic Control)


Remark : Heater Unit & U/S Unit & Basket

Horizontal Slide Door(Temp Glass) N2, DI Gun

Power : Single Phase 220V(±10%) 60Hz



LIQUID HORNING HF MIXING SYSTEM




Remark : Manual Door & Locking. Auto Damper

N2 DI Gun 자동소화기 방폭등

Size : 2000(L)x1200(W)x2200(H)

Material : HT PVC & Ivory PVC & SUS304



Remark : Manual Door & Punching PlateN2, DI Gun 자동소화기, 방폭등,

자바라 UP/Down Unit

Remark : Manual Door & Punching Plate

N2, DI Gun & Manual Damper Unit



TUBE CLEANER WET STATION





Remark : UP/Down Unit & Rolling Unit

Size : 3790(L)x1300(W)x2650(H)




Remark : UP/Down Unit & Rolling UnitRemark : UP/Down Unit & Rolling Unit

Manual Damper Unit

Remark : UP/Down Unit & Rolling Unit

Manual Damper Unit



CMP SLURRY SUPPLY SYSTEM CHEMICAL SUPPLY SYSTEM


Material : PE / PTFE




Size : 2000(L)x1200(W)x2200(H)

Material : HT PVC / Ivory PVC / SUS304




N2, DI Gun & Manual Damper Unit



VACUUM OVEN PART DRY OVEN

Moving type Vacuum Oven Electrical Part Blower : 1 0 HP 3E 208VMoving type Vacuum Oven

Size range : ~ Max D500mm(Size 조정)

Cover up/down unit

Hot plate rotate system

Part lot 관리용이

Electrical Part - Blower : 1.0 HP , 3E , 208V

- Heater : sheath Heater 5kw * 2EA

Mechanical Part - Chamber Capa. 4단 Shelf 구성

Temp Control 200도C ~ +- 3도C

Material - Sus 304Part lot 관리용이

Vacuum : 10-3Torr

Temp : 150 ~ 180도(+- 2도)

PC control & touch panel

Material Sus 304

특징 - Over Temp Interlock , Motor & Belt 검출 회로

Door Open / Close Interlock



IR LAMP TUBE DRYER LCD IR/UV OVEN

Size : 2455(L)x1210(W)x1625(H) IR Lamp SystemSize : 2455(L)x1210(W)x1625(H)

Material : SUS304

Temp Control : Auto-Tuning Controller

(Ambient + 50℃~80℃)

Circulation Motor : 2 HP = 2EA(다익형 인펠라)

IR Lamp System

LCD, PDP, OLED등의 Glass 세정후 건조

Circulation Motor : 2 HP = 2EA(다익형 인펠라)

Heater : IR LAMP 250W x 30EA = 7.5KW

Filter : ULPA FILTER

Safety Device : Over heat limit / Over load breaker

Time & Alarm, Fuse / Door Inter Lock


, /

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HANDSHOWER : (GSH-01) HANDSHOWER : (GSH-02)

Size : 500(L)x500(W)x1000(H) : Open type Size : 450(L)x270(W)x1400(H) : Mailbox typeSize : 500(L)x500(W)x1000(H) : Open type

전력 : 220V, 세정 200W / 건조 1400W

저소음 Motor 적용 (자체개발)

Unit별 교체가능으로 A/S 신속대응

Blower / Water Time Control

Size : 450(L)x270(W)x1400(H) : Mailbox type

전력 : 220V, 세정 200W / 건조 1400W

Compact Design ( Size 국내 최소형 )

저소음 Motor 적용 (자체개발)

Unit별 교체가능으로 A/S 신속대응Blower / Water Time Control

수압조절 가능 (실용신안 등록)

과열방지 바이메탈 장착

Unit별 교체가능으로 A/S 신속대응

Blower / Water Time Control

수압조절 가능 (실용신안 등록)

세팅 시 높낮이 조절가능



TOOL STOCKER PROBE FRAME STOCKER

Shelf(Window) : Universal Tool Stock Stock Type : Column Moving StockShelf(Window) : Universal Tool Stock

Cassette : Small Tool Parts Stock

Shelf(door) : 중대형 Tool Stock

Size : 1600 * 1600 * 600

Stock Type : Column Moving Stock

Shelf Material : SUS304x1.5t

Stock Parts : LCD PROBE FRAME　

Size : 2400 * 1800 * 900



PR BOTTLE STOCKER PARTS STOCKER

Stock Type : Column Moving Stock Stock Type : Column Moving StockStock Type : Column Moving Stock

Shelf Material : SUS304x1.5t

Door Type : Up-slide Moving Type　

Size : 2200 * 1900 * 700

Stock Type : Column Moving Stock

Shelf Material : PVC

Stock Volume : 120 EA

Size : 2200 * 1900 * 700



MCC BOARD STOCKER 시약보관함

Stock Type : Column Moving Stock Shelf(Window) : Universal Tool StockStock Type : Column Moving Stock

Shelf Material: MC Nyron

Stock Volume : 96 Boards

Size : 1800 * 1800 * 600

Shelf(Window) : Universal Tool Stock

Shelf Material : PVC

Shelf(Door) : Tool Stock

Size : 1000 * 2020 * 740



PARTS STOCKER CLEAN BENCH

Material : SUS304 1 5T Ivory PVC 10T Material : STS304Material : SUS304 1.5T , Ivory PVC 10T

Size : 1200 * 700 * 1800

Material : STS304

Size : 2000 * 800 * 2000



LOCKER TOOL STOCKER 신발장



SEMIGATE SAFETY PROTECTION BOX CHEMICAL STOCKER BOAT STOCKER



PM CART 방진속바지 보관함 장갑적치대CART

방진속바지 수거함 O.I PC TABLE GENERAL CART CLEAN-THING RECOVERY CART(A)



FOUP CARRY CART FOUP CARRY CART WORK TABLE CHIEF TABLE

5MINUTE CLN-THING

STOCKER

GENERAL CART PM CART PM CART



WORK STATION CART CLEAN-THING RECOVERY CART(B)

WAFER DISUSE BOX PIX STOCKER



特許認證現況特許 및 認證現況

QMS (ISO9001) 인증 !

EMS (ISO14001) 인증 !

특허 3건 (1건 등록)

실용신안 7건 [7건 등록]

의장/상표 3건 [2건 등록]

디자인 2건디자인 건

S-MARK /SEMI-S2 인증제품

030519-안전인증-[GSI-M001] : ORGANIC CLEANER

030519-안전인증-[GSI-M002] : ULTRASONIC CLEANER

050324-안전인증-[GSI-BLU70] : 70인치 광휘도 측정설비

051107-안전인증-[GSI-ORC002] : ORGANIC CLEANER

051124-안전인증-[GSI-GUC-20] : ULTRASONIC CLEANER


051124-안전인증-[GSI-USC001] : ULTRASONIC CLEANER

061121-안전인증-[GSI-LH001] : LIQUID HORNING


- Organic Cleaner

- Ultrasonic Cleaner

- Liquid Horning

- Brightness Measurement Sys.



去來處現況 및 營業實績

동 부 일 렉 트 릭 ( 주 )

2000 11 KDNS 유기EL UV/IR Oven

Project 제품개발

2001.02. EIS-300 개발 (SEC. JDP)칩 팩( 주 )

삼 성 전 자 ( 주 )

2000.11. KDNS 유기EL UV/IR Oven

2002.11. SEC. T-Project Phase1

2003.11. SEC. G-Project

2004.06. SEC. T7-Project (LCD)

2001.02. EIS 300 개발 (SEC. JDP)

2001.05. PR-920(LCD) 측정장비

2002.11. 반도체 Hand Shower

2003.08. 무동력 용품 미세수납장치

매 그 나 칩 / 나 노 팹

j ( )

2004.11. SEC. S1/F1 Project

2005.12. SEC. NRD-Project

2006.02. SDI 전실 Project

2003.10. 비접촉 도어 클램프 장치

2005.03. BLU-70 Measurement sys

2006.03. New Hand Shower

2006.06. SEC. A1-Project

2007.12. SAS 12”-Project

2006.05. FPM(LCD) 잔상측정장치

2006.09. Gvtc-300 [Belljar]

2007.01. 민생용 Hand Shower, Dryer

S E M E S ( 주 )

반 도 체 파 운 드 리

LB세미콘,솔믹스,광전자



감 사 합 니 다.


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