คู่มือการใช้เคร่ือง Evaporation Operation

เครื่อง Evaporation Operation เป็นเครื่องมือที่ใช้ส ำหรับกำรปลูกฟิล์มบำงหรือเคลือบผิวชิ้นงำน โดยอำศัยหลักกำรระเหยในกำรเคลือบฟิล์มบำงหรือเคลือบผิวชิ้นงำน

1.อุปกรณ์ที่ต้องเตรียมก่อนใช้งานเครื่อง Evaporation Operation

1.1.วัสดุหรือชิ้นงำนที่ต้องกำรเคลือบผิวหรือปลูกฟิล์มบำง

1.2.ลวดโลหะที่ต้องกำรใช้เคลือบ เช่น Ti, Ag, Cr, Cu เป็นต้น สำมำรถเบิกได้กับเจ้ำหน้ำที่สโตร์

1.3.แผ่นรองชิ้นงำน แผ่นรองชิ้นงำนควรเลือกแบบของแผ่นรองชิ้นงำนให้เหมำะสมกับชิ้นงำนโดยแผ่นรองชิ้นงำนมีทั้งหมด 3 ลักษณะดังภำพ (แผ่นรองชิ้นงำนจะวำงอยู่ที่ชั้นเก็บของชั้นที่ 3 ในห้อง Class 10,000) บริเวณรูตรงกลำงของแผ่นรองชิ้นงำนแต่ละชนิดนั้นจะใช้ส ำหรับเพื่อวำงตัววัดควำมหนำ

- ลักษณะที่ 1 ใช้กับขนำดของกระจกสไลด์

- ลักษณะที่ 2 ใช้กับลักษณะงำนที่เป็นทรงกลม

- ลักษณะที่ 3 ใช้ได้กับงำนทุกขนำด

1.4. PI เทป เพ่ือใช้ส ำหรับติดชิ้นงำน

1.5.Boat ส ำหรับใส่ลวดโลหะที่ต้องกำรใช้เคลือบ สำมำรถเบิกได้กับเจ้ำหน้ำที่ที่ดูแลสโตร์หรือหยิบได้จำกกล่องใส่ Boat ที่อยู่ตรงชั้นวำงของชั้นที่ ในห้อง Class 10,000 Boat แต่ละชนิดจะมีถุงซิบใส่อยู่และมีชื่อติดที่หน้ำถุง

1.6.แผ่นใสเพ่ือใช้เปลี่ยนเอำแผ่นเดิมที่อยู่ในเครื่องออกแล้วติดแผ่นใหม่เพ่ือท ำให้เรำสำมำรถมองเห็นลวดโลหะได้ในขณะเกิดกำรหลอมเหลว

1.7.แว่นตำ เพ่ือส่วมใส่ป้องกันแสงที่เกิดระหว่ำงที่โลหะเกิดกำรหลอมเหลวแสงที่เกิดขึ้นถ้ำมองด้วยตำเปล่ำอำจจะเกิดอันตรำยได้

2.ขั้นตอนการท าความสะอาดวัสดุหรือชิ้นงานที่ต้องการเคลือบผิวหรือปลูกฟิล์มบาง ในกรณีนี้จะยกตัวอย่างวัสดุที่เป็นกระจก โดยมีมีขั้นตอนดังต่อไปนี้

2.1อุปกรณ์ที่ต้องเตรียม

2.1.บีกเกอร์จ ำนวน 4 ใบ เลือกขนำดที่เหมำะสมกับชิ้นงำน

2.2.แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ 25 % (NH4OH)

2.3.ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 30 % (H2O2)

2.4.น้ ำ DI

2.5.เทปลอน ใช้ส ำหรับวำงกระจก

2.6.เทอร์โมมิเตอร์ ใช้ส ำหรับวัดระดับอุณหภูมิในขณะมีกำรต้มสำรเคมี

2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพ่ือป้องกันกำรระเหย

วิธีการท า

1.ผสม(น้ ำ DI + แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ 25 % (NH4OH) + ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 30 % (H2O2)) ในอัตรำส่วน (5 : 1 : 1) แล้วน ำไปต้มที่อุณหภูมิ 70-80 องศำเซลเซียส

2.แล้วใส่เทปลอนที่ใช้วำงกระจกและแผ่นกระจกท่ีต้องกำรท ำควำมสะอำดลงไปนำน 10 นำที

3.จำกนั้นน ำขึ้นมำล้ำงในน้ ำ DI ที่ใส่บีกเกอร์เตรียมไว้ 3 บีกเกอร์ จุ่มในน้ ำ DI ทั้ง 3 น้ ำ จุ่มประมำณ 20 ถึง 30 ครั้ง โดยประมำณ

4.จำกนั้นน ำไปเป่ำด้วยแก๊สไนโตรเจนแล้วน ำไปอบที่อุณหภูมิ 90 องศำเซลเซียส นำน 30 นำที

3.อุปกรณ์ที่ต้องเตรียมเพื่อท าความสะอาดลวดโลหะท่ีต้องการใช้

3.1.บีกเกอร์แก้วหรือพลำสติกขนำดเล็กประมำณ 25 ml หรือ 50 ml

3.2.สำรเคมี Ethanol 95%

3.3.ฟรอยด์

3.4.น้ ำ RO

3.1ขั้นตอนการท าความสะอาดลวดโลหะที่ต้องการใช้เคลือบ

3.1. เลือกลวดโลหะทีต่้องกำรใช้เคลือบ เช่น Ti, Ag, Cr, Cu เป็นต้น

3.2.ตัดลวดโลหะที่ต้องกำรใช้ให้เพียงพอกับขนำดควำมหนำของลวดโลหะที่ต้องกำรใช้เคลือบ แล้วน ำมำตัดเป็นท่อนเล็กๆให้มีขนำด 1-2 มิลลิเมตร

3.3.น ำลวดโลหะที่ตัดเสร็จเรียบร้อยแล้วใส่ในบีกเกอร์ที่เตรียมไว้โดยใช้บีกเกร์ที่มีขนำด 25 ml หรือ 50 ml น ำสำรเคมี Ethanol เทลงในบีกเกอร์ในปริมำณที่พอท่วมชิ้นของลวดโลหะ แล้วน ำใส่ลงไปตรงกลำงของเครื่อง อัลตรำโซนิก และใช้ตัวหนีบหนีบบีกเกอร์ไว้เพื่อไม่ให้บีกเกอร์ล้ม (เครื่องอัลตรำโซนิกจะอยู่ในห้อง wet lab )

3.4. เปิดเครื่องอัลตรำโซนิกจำกสวิตซ์ด้ำนหน้ำเครื่อง

3.5. ตั้งค่ำเวลำที่ต้องกำรใช้ท ำควำมสะอำดโดยกดลูกศรขึ้นลงเลือกเวลำตำมที่ต้องกำร เวลำที่ใช้ในกำรท ำควำมสะอำดลวดโลหะด้วย Ethanol จะใช้เวลำ 15 นำที

3.6. ตั้งค่ำระดับพลังงำนที่ต้องกำรท ำควำมสะอำดโดยกดปุ่มข้ึนลงเลือกระดับพลังงำนตำมที่ต้องกำร ระดับพลังงำนที่ต้องกำรใช้คือระดับพลังงำนที่ 9

ปุ่มเปิดเครื่องอัลตราโซนิก

3.7.กดปุ่ม SONICS เครื่องจะท ำกำรอัลตรำโซนิกแล้วรอจนครบเวลำที่ตั้งไว้

3.8.เมื่อท ำควำมสะอำดลวดโลหะครบตำมจ ำนวนเวลำที่ตั้งไว้แล้วให้เท Ethanol ออกโดยเทใส่ขวดทิ้งสำร Ethanol จะอยู่ด้ำนหน้ำห้อง wet lab หลังจำกท่ีเท Ethanol ทิ้งแล้วให้ใส่น้ ำ Ro ลงไปในบีกเกอร์ แล้วน ำใส่ลงไปในเครื่องอัลตรำโซนิก ตั้งเวลำ 15 นำที ท ำเช่นเดิมเป็นจ ำนวน 2 ครั้ง หลังจำกนั้นเมื่อครบแล้วให้เทน้ ำ Ro ทิ้ง โดยทิ้งที่อ่ำงล้ำงภำชนะได้เลยระวังอย่ำให้ลวดโลหะร่วงลงไปในอ้ำงล้ำงภำชนะ

3.9.น ำฟรอยด์มำพับเป็นรูปถ้วยแล้วใส่ลวดโลหะท่ีท ำควำมสะอำดเสร็จแล้วลงไปในถ้วยฟรอยด์ที่พับไว้

3.10.น ำฟรอยด์ที่มีลวดโลหะอยู่ด้ำนในไปอบในเตำอบ (เตำอบจะอยู่ในห้อง wet lab) ตั้งอุณหภูมิของเตำอบที่ 95 องศำเซลเซียส เวลำที่ใช้อบ 30 นำที

ปุ่มหมุนปรับเพื่อเพิ่มอุณหภูมิในเตาอบ

ปุ่มหมุนปรับเพื่อเพิ่มตั้งเวลาในการอบ

ปุ่มหมุนปรับเพื่อเพิ่มอุณหภูมิในเตาอบ

4.วิธีการใช้เครื่อง Evaporation Operation

1. เลือกแผ่นรองชิ้นงำนให้เหมำะสมกับชิ้นงำน โดยแผ่นลองชิ้นงำนมีทั้งหมด 3 ชนิดดังภำพ (แผ่นรองชิ้นงำนจะวำงอยู่ที่ชั้นเก็บของชั้นที่ 3 ในห้อง Class 10,000) บริเวณรูตรงกลำงของแผ่นรองชิ้นงำนแต่ละชนิดนั้นจะใช้ส ำหรับเพื่อวำงตัววัดควำมหนำ

- ชนิดที่ 1 ใช้กับขนำดของกระจกสไลด์

- ชนิดที่ 2 ใช้กับลักษณะงำนที่เป็นทรงกลม

- ชนิดที่ 3 ใช้ได้กับงำนทุกขนำด

2. น ำชิ้นงำนมำติดด้วย PI เทป เพื่อยึดชิ้นงำนให้ติดกับฐำนของแผ่นรองชิ้นงำน (ในภำพจะยกตัวอย่ำงลักษณะของแผ่นลองชิ้นงำนชนิดที่ 3)

3.เปิดวำล์ว vent อำกำศปล่อยเพ่ืออำกำศออก (ก่อนเปิดวำล์ว vent อำกำศ ควรเช็คดูก่อนว่ำวำล์ว Dry scroll pump เปิดอยู่หรือไม่โดยลักษณะของวำล์ว Dry scroll pump จะคว้ ำลงอยู่ข้ำงวำล์ว vent ) เมื่อเปิดวำล์วรอจนอำกำศออกจนหมดโดยจะมีเสียงลมดังขึ้นรอฟังจนเสียงลมเงียบ วำล์วจะอยู่ด้ำนหลังของเครื่อง ลักษณะของวำล์วจะหงำยขึ้น

4.หลังจำกปล่อยอำกำศออกจำกเครื่องจนหมดแล้วให้เปิดฝำเครื่องออก โดยโยกคันโยกท่ีอยู่ด้ำนซ้ำยมือหรือไปทำงด้ำนUp ที่ตัวคันโยกจะมีป้ำยติดบอกทิศทำงคันโยก

5.เมื่อเปิดฝำเครื่องขึ้นมำแล้วก่อนจะใช้งำนเครื่องควรท ำควำมสะอำดบริเวณด้ำนในเครื่องเสียก่อน เพ่ือก ำจัดฝุ่นละอองที่อยู่ด้ำนในเครื่องหรือครำบสกปรกต่ำงๆ โดยใช้ลมไนโตรเจนเป่ำที่ด้ำนในเครื่อง (สำยลมไนโตรเจนจะอยู่ข้ำงหลังตู้เย็นสีด ำในห้อง Class 10,000) และใช้ผ้ำบลูเซอร์ชุบกับ IPA เช็คท ำควำมสะอำดด้ำนในซ้ ำอีกรอบ

6.สั่งเกตุที่ช่องของเครื่องทั้งด้ำนล่ำงและด้ำนบนว่ำแผ่นใสที่ติดไว้มีกำรเปลี่ยนหรือยังถ้ำยังไม่ถูกเปลี่ยนให้เรำน ำแผ่นใสที่อยู่บนชั้นของกล่องใส่อุปกรณ์กรรไกร , PI เทป , อุปกรณ์ซ่อม (กล่องดังกล่ำวจะอยู่ที่ชั้นวำงของชั้นที่ 2 ในห้อง Class 10,000) จุดประสงค์ที่เรำต้องเปลี่ยนแผ่นใสที่ช่องของเครื่องนั้นเพ่ือท ำให้เรำสำมำรถมองเห็นลักษณะกำรหลอมละลำยของโลหะได้

7.จำกนั้นน ำแผ่นรองติดชิ้นงำนที่ถูกติดชิ้นงำนเรียบร้อยแล้วมำใส่ลงในเครื่องโดยใส่ให้ตรงรูของเสำที่ตั้งข้ึนภำยในเครื่องระยะห่ำงของแผ่นรองชิ้นงำนกับด้ำนล่ำงของเครื่อง ควรจะห่ำงอย่ำงน้อย 1 ไม้บรรทัด โดยวัดจำกฐำนของเสำที่อยู่ภำยในเครื่อง ลักษณะของแผ่นรองชิ้นงำนควรเสมอกันไม่เอียงด้ำนใดด้ำนหนึ่ง และใส่ตัววัดควำมหนำลงไปยังช่องตรงกลำงของแผ่นรองชิ้นงำน

8.ตรวจสอบสำยไฟที่อยู่ด้ำนล่ำงว่ำเชื่อกับหมำยเลขใดอยู่แล้วใส Boat ที่จะใช้งำนให้ตรงกับหมำยเลขของสำยไฟ(Boat ด้ำนหน้ำสุดใช้สำยไฟหมำยเลข1,Boat กลำง.ใช้สำยไฟหมำยเลข2และ Boat หลังสุดใช้สำยไฟหมำยเลข 3) จำกนั้นให้ใส่ Boat ให้ตรงกับหมำยเลขสำยไฟ กำรใส่ Boat จะต้องใส่ให้มีลักษณะดังภำพ โดยเริ่มหมุนน็อตของตัวยึด Boat ทั้ง 2 ด้ำนออกน็อตจะข้ำงละ 4 ตัว จำกนั้นใส่ Boat เข้ำไปยังตัวยึดโดยจะสอดลงด้ำนล่ำงดังภำพ เมื่อใส่ Boat เรียบร้อยแล้วให้หมุนน็อตเพ่ือทับ Boat ให้แน่น หำกหมุนไม่แน่นเมื่อมีกำรหลอมละลำยอำจจะเกิดควำมร้อนสูงท ำให้ชิ้นงำนอำจจะเกิดกำรเสียหำยได้ เมื่อใส่ Boat เรียบร้อยแล้วก็ใส่ลวดโลหะที่ถูกตัดและท ำควำมสะอำดเรียบร้อยแล้วมำใส่ลงบริเวณตรงกลำงของ Boat

ใส่ลวดโลหะที่ต้องการใช้งานลงช่องตรงกลางของ Boat

ลักษณะตัววัดความหนาและบริเวณช่องตรงกลางของแผ่นรองช้ินงานที่ต้องใส่ตัววัดความหนา

9. หลังจำกนั้นท ำกำรปิดฝำเครื่องโดยโยกคันโยกไปทำงด้ำนขวำมือหรือทำงด้ำน Down โดยดูจำกที่คันโยกจะมีป้ำยบอก

10. ปิดวำล์ว Vent อำกำศที่อยู่ด้ำนหลังเครื่อง ปิดเพ่ือไม่ให้อำกำศออกในขณะที่เรำมีกำรปั้มระบบ

11. เปิดสวิทช์ที่อยู่ด้ำนล่ำงเครื่อง (สวิตซ์สีด ำปุ่มเปิดจะอยู่ด้ำนข้ำง)

12.เปิดวำล์ว Dry scroll pump เพ่ือท ำกำรปั้มระบบ

13.เปิดเครื่อง Pressure Gauge ของ Dry scroll pump กดปุ่มเปิดจะอยู่ด้ำนหลังเครื่อง หลังจำกนั้นรอสักครู่แล้วที่หน้ำจอของเครื่อง Pressure Gauge ของ Dry scroll pump จะแสดงตัวเลขเพื่อบอกควำมดันภำยในระบบที่มีกำรปั้มระบบเป็นสุญญำกำศ มีหน่วยเป็น ทอร์ (Torr) รอจนควำมดันอยู่ที่ 5 x 10-2 Torr โดยประมำณ

14.เปิดเครื่อง Pressure Gauge ของเทอร์โบปั้ม โดยปุ่มเปิดเครื่องจะอยู่ด้ำนหลังเครื่อง และหน้ำจอของ Pressure Gauge จะแสดงตัวเลขให้เรำกดที่ลูกศรด้ำนซ้ำยไปจนถึงช่องหมำยเลข 309 เพ่ือดูควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้ม (ควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้มจะอยู่ที่ 1000 HZ แต่จะค่อยๆเพ่ิมข้ึน เมื่อเรำเปิดเทอร์โบปั้ม)

15. .เมื่อควำมดันในระบบปั้มสุญญำกำศได้ตำมที่ต้องกำรแล้วคือ 5 x 10-2 Torr (ดูจำกหน้ำจอ Pressure Gauge ของ Dry scroll pump) กดเปิดเทอร์โบปั้มที่หน้ำเครื่อง และด้ำนบนปุ่มเปิดจะมีไฟสีเขียวกระพริบยุเมื่อเรำกดเปิดแล้วไฟสีเขียวจะหยุดกระพริบแล้วขึ้นเป็นสีเขียวโชว์ที่เครื่อง เรำจะสังเกตเห็นว่ำควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้มจะค่อยๆเพิ่มข้ึนจนถึง 1000 Hz

ปุ่มเปิดเครื่อง Pressure Gauge ของเทอร์โบปั้ม

16.เมื่อเปิดเทอร์โบปั้มแล้วรอให้ควำมดันของระบบสุญญำกำศอยู่ที่ 10-6 - 10-7 (ดูจำกหน้ำจอ Pressure Gauge ของ Dry scroll pump) โดยจะใช้เวลำประมำณ 2 – 3 ชั่วโมง ในกำรรอ

17. เมื่อได้ควำมดันในระบบปั้มสุญญำกำศตำมที่ต้องกำรแล้ว เปิดเครื่องวัดควำมหนำของชั้นฟิล์มเพ่ือก ำหนดตำมหมำยเลขชนิดของลวดโลหะที่เรำใช้ โดยมีวิธีกำรดังต่อไปนี้

- เปิดสวิทซ์ด้ำนหลังเครื่องวัดควำมหนำ

- กดท่ีปุ่ม Program

- ดูหมำยเลข Film ชนิดของลวดโลหะจำกป้ำยที่ติดอยู่ด้ำนหน้ำเครื่องวัดควำมหนำ จำกนั้นหมุนไปทำงด้ำนขวำให้ฟิล์มตรงกับหมำยเลขชนิดลวดโลหะที่เรำต้องกำรใช้ แต่ในกรณีที่หมำยเลขฟิล์มตรงแล้วก้ไม่ต้องหมุนเปลี่ยน

- จำกนั้นกดปุ่มตรงกลำงของตัวปรับหมำยเลข Film เพ่ือดูค่ำ Densi และกดตรงกลำงอีกครั้งเพ่ือดูค่ำ Z-Ratio ตรงกับตัวเลขในตำรำงหรือไม่โดยดูเทียบกับตำรำงด้ำนหน้ำเครื่อง แล้วกดตรงกลำงอีกครั้งจนหน้ำจอแสดงดังภำพ

ด้ำนขวำ (หน้ำจอด้ำนขวำจะแสดงตัวเลขที่อ่ำนค่ำควำมหนำที่วัดได้) แต่ถ้ำหน้ำจอด้ำนขวำไม่แสดงค่ำเป็นศูนย์ให้กดท่ีปุ่ม Zero เพ่ือปรับค่ำให้เป็นศูนย์

18.หลังจำกนั้นให้เรำสังเกตดูอีกครั้งว่ำควำมดันของระบบปั้มสุญญำญำกำศไดต้ำมที่เรำต้องกำรหรือไม่โดยควำมดันจะอยู่ที่ 10-6 หรือ 10-7 ถ้ำได้ควำมดันตำมที่ต้องกำรให้เปิดเบรกเกอร์ที่ผนังห้องด้ำนหลังเครื่อง Evaporation Operation ด้ำนขวำมือจะอยู่ห่ำงจำกเครื่องโดยประมำณ แล้วเปิดเบรกเกอร์เครื่องพำวเวอร์ซัพพลำยของเครื่อง variac เพ่ือเพ่ิมแรงดันไฟฟ้ำ ที่อยู่ด้ำนข้ำงเครื่อง Evaporation Operation (เครื่องสีขำว) จำกนั้นไฟสีแดงจะขึ้นโชว์ที่ด้ำนบนปุ่มไฟสีแดง ถ้ำหำกไฟสีแดงไม่ข้ึนให้เรำตรวจสอบที่แผงควบคุมวงจร LP ด้ำนหลังห้อง Clean room ดูที่หมำยเลข 9 ว่ำสวิตซ์ ON หรือ OFF สวิตซ์จะต้อง ON เสมอ

15.สวมแว่นตำเพื่อป้องกันแสงในขณะที่โลหะเกิดกำรหลอมละลำย

16.ค่อยๆหมุนเพ่ิมแรงดันไฟฟ้ำที่เครื่อง Variac โดยค่อยๆหมุนเริ่มจำก 0 แล้วเพ่ิมไปเรื่อยๆจนโลหะเกิดกำรหลอมละลำย ในขณะที่ก ำลังเพ่ิมแรงดันไฟฟ้ำไปเรื่อยๆเมื่อเพ่ิมไปจนถึง 90-100 โวลต์ ให้เรำเปิดชัตเตอร์ ทีตั่วเปิดชัตเตอร์ ซ่ึงจะอยู่ด้ำนล่ำงเครื่อง Evaporation Operation ดังภำพด้ำนขวำ โดยทิศทำงกำรหมุนจะมีรำยละเอียดติดอยู่

18.จำกนั้นส่องดูที่ช่องของเครื่อง Evaporation Operation ว่ำโลหะเกิดกำรหลอมละลำยแล้วหรือยัง โดยสวมแว่น

19.ถ้ำโลหะเกิดกำรหลอมละลำยแล้วให้เรำดูที่เครื่อง Variac ว่ำแรงดันไฟฟ้ำอยู่ที่เท่ำไหรแล้วรอจนกว่ำควำมหนำจะได้ตำมทีต่้องกำรโดยดูจำกเครื่องอ่ำนค่ำควำมหนำ (ค่ำของควำมหนำมีหน่วยเป็น kA) และไม่ต้องหมุนเพ่ิมแรงดันไฟฟ้ำ

20.เมื่อได้ควำมหนำตำมท่ีต้องกำรแล้วให้หมุนวำล์วของเครื่อง Variac กลับลงมำที่ 0 แล้วปิดชัตเตอร์

21.กดปิดเทอร์โบปั้มที่ปุ่มหน้ำจอดังภำพแล้วจำกไฟสีเขียวที่ติดอยู่จะกระพริบนั่นแสดงว่ำเทอร์โบปั้มถูกปิดเรียบร้อยแล้ว จำกนั้นรอให้ควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้มลดลงจนถึง 0 Hz ใช้เวลำในกำรรอ 30-40 นำที โดยประมำณ

ลักษณะตัวเปิดชัตเตอร์และป้ายบอกทิศทางการเปิด-ปิดของชัตเตอร์

21.เมื่อควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้มลดลงจนเหลือ 0 Hz แล้วให้ปิดวำวล์ Dry scroll pump ด้ำนหลังเครื่องปิดจนสนิทและเปิดวำล์ว Vent อำกำศเพ่ือปล่อยอำกำศออก รอจนเสียงลมที่ออกจำกตัวเครื่องเงียบสนิท แล้วท ำกำรเปิดฝำเครื่องเพ่ือน ำงำนออก

22.กำรน ำชิ้นงำนออกนั้น ควรเอำตัววัดควำมหนำที่อยู่ตรงกลำงของแผ่นรองชิ้นงำนออกมำก่อนที่จะยกแผ่นรองชิ้นงำนออกเพ่ือป้องกันตัววัดควำมหนำตกลงมำอำจจ ำให้เกิดควำมเสียหำยได้

23.หลังจำกนั้นเรำก็น ำแผ่นรองชิ้นงำนออกมำจำกตัวเครื่อง ในภำพจะเป็นกำรยกตัวอย่ำงลักษณะงำนที่ได้จำกกำรเคลือบ Ti ลงบนกระจก โดยมีควำมหนำประมำณ 400 kA

24.ท ำกำรหมุนน็อตตรงที่ใส่ Boat ออกท้ัง 2 ด้ำนและน ำ Boat ใส่ลงในถุงให้ตรงกับชื่อที่เขียนไว้หน้ำถุงและเก็บเข้ำท่ีเดิม (Boat ที่ใช้ใส่ลวดโลหะในกำรหลอมละลำยนั้นไม่สำมำรถใช้ร่วมกัน ยกตัวอย่ำงเช่น Boat ที่ใช้กับลวดโลหะ Ti ก็ต้องใช้กับ Ti เพียงอย่ำงเดียวเท่ำนั้น)

25.ท ำควำมสะอำดเครื่องอีกครั้งโดยกำรเป่ำฝุ่นบริเวณด้ำนในเครื่อง

26.ปิดฝำเครื่องลงและปิดวำล์ว Vent จำกนั้นเปิดวำล์ว

22.เปิดวำวล์ vent อำกำศเพ่ือปล่อยให้อำกำศออก จำกนั้นเปิดฝำเครื่องเพ่ือเอำชิ้นงำนออก

23.เมื่อน ำชิ้นงำนออกแล้วก็ให้ท ำควำมสะอำดเครื่องด้วยผ้ำบลูเซอร์ชุบ IPA แล้วปิดฝำเครื่องลง ปิดวำล์ว vent อำกำศ เปิด Dry scroll pump ปั้มระบบให้เป็นสุญญำกำศจนถึง 10-1 จำกนั้นปิด Dry scroll pump และปิดสวิทซ์ท่ีด้ำนล่ำงเครื่อง Evaporation Operation