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1

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2015 6 6000 33

2015 ITO 94 4

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3

2011

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4

PEDOT/PSS

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5

PEDOTPSS

SO3

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S

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S

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S

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S

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S

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S

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S

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S

O O

PEDOT/PSSpoly(3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT)

suggested colloidal nanoparticle

1) PEDOT/PSS

2)

3)

4)

5) poly(4-styrenesulfonate) (PSS)

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6

Particle size [nm]

Con

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[%]

PEDOT/PSS

DLS TEM

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7

Si wafer

PEDOT/PSS film

Protecting layerP, 1000rpm P, 1500rpm P, 3000rpm

132nm 107nm 44nm

PH,3000rpm

16nm

PH

PEDOT/PSS

Particle size: 41 nm 16 nm

H. Yan, S. Arima, Y. Mori, T. Kagata, H. Sato, H. Okuzaki, Thin Solid Films, 517, 3299-3303 (2009).

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8

PEDOT/PSS

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9

A possible mechanism

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10

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11H. Yan, T. Jo, H. Okuzaki, Polym. J., in press.

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12

STEM

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14

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15

AFM

PEDOT/PSS PEDOT/PSS

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1

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PEDOT/PSS/PC PEDOT/PSS/quartz ITO

(PC) PEDOT/PSS

331 /69%

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