21

52911955 Vacuum Sci Notes

  • Upload
    fortune

  • View
    14

  • Download
    1

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: 52911955 Vacuum Sci Notes

ccc

��������������

�������c�c����c�����c� ��c������c�������c�����c������ �c��� �c���c���c

����c�c������c����c����c��c���� ��c��� �c�c��c������c��������c������c�c���c�c

�� �����c����c�����c��� �c���c��c���c�� c���c���� c���c����c����c ������c� ��c�c

��c����������c�������c

� c� �� �c���� c����c������� ���c��c��c�������c� ���c

� c����c��c�����c���c� �� �c�c�����������c���� c����c

������� ��c� �� ��c

� c���������c��c�����c���c!������c��c������� ��c��c� ����c�c ������c��c���c��� ��c

�����c�� c���c� ���c��������c��c������c���c��c������ ��c�����������c

c

"��� ����c����� c��c������ c�����c��������c���c��������c�c������c

#���c�������$c

c

%�c&��c �!�� ��c���c��� �����c� �� �c���c���c�����c���� ����c����c���c��c

�������'c

(�c&��c� �!����c����c�����c���c���c���c��c������c��c���c������� ��c���c���c

�!�� ��c �������c����'c

)�c&��c*���c��c����c��c���c������c���c������c�� c���c��� ����c� c ������c��c

�����c

c

����������

�"�c��������c����� c����c���c���� ���c�������c������c���c� �c���c��c���c

� ����c� ������c����c+������c���c�������c���c� ����c�c����� ����c����� �����c

�����c����������c���c����c�������������c���c����� ��c����c������ ���c�����c��c

���������c

c����c������c�c �!�� ��c��c�� �����c������ ��� �c� ��c���c����� ��c���c��c� ����c

����c�������c��c�������c��c��c���c��������c����,��� �c����c������� c���c�c���c

��-�c

c

�c ������c� ������c.� c/��c�� c����0c����c��c����c����c���c�� c

1c���������c��� ���c����������'c�����c��!������c�� c

�c �����c����c���� �����c���c���c ��c��c�����������c�� c�� �����c

1c���������c��������c

�c#�������c�� ���c�������c���� �����c���c���c��c��/���c��c�� c

1c����������c�����c� ���c����c� �c� �����c

�c#� ����2���� ���c����c���c��� ���c��c�� �c���� ������c

1c �����c���� ��c���������c��c������c�����c���c��� c��c�c����cc

� ���� �������� ���� �

Page 2: 52911955 Vacuum Sci Notes

�c&��c3� ��� 4c����c��c���� �c�� c� �� �c�c5����c

.5�0�c� c67�,,(c

�c8��c������c���c��c&� c������c

1c����c��c��c��c��c

�c ������ ��c� �� �c�$c

c�9:;c&� c

�c%;%)(<c5�c

�%;%)c��� c

�%=�9c��c

�c#�c%c&� c�c%))c5��c%�))c��� 'cO����������c������������ �c

c

&��c�� �c3����c������4�c3��� �����c������4�c3���c������4c���c���c��*�c� �c�����c���c

��c������c�������*c���c���� ��� c��������c&��c�� �� c�������c���c �����c� �c

�������c� ��� � �c���c�c���� ��c���������c�c�����c��c&�����c

c

c

������c ����c

������ �cc c 9:;c��c��c��c�c9:;c&� c

>����c������c c?c����c��c%;@,)c&c

����c������cc c ?c%;@,)c1c%;@,Ac&c

B�� �c����c������c c?%;@,Cc1c%;@,%(c&c

c

8�� ��c����c�c5�����cc %c5����c�c%c62�(c

%c&� c�c%))c5����c

c

c

���������������� ����� ������� �������� ���� ���� �

�&��c� �� �c���c��c����������c� ��c

5c�D2#c

c

��� �c5c�c���c� �� �c��c�� �cDc�c���c�����c�����c� c�� �������c��c���c��c�� ,�2�c���c#c

�c���c�������c����c��c�2�c

&��c������c��c���cD�c���c��c�c�����������c��c�c������ ���c������c��c� ���c��c� ��c��cc

���� �� c�� ��c���c��c� ���������c��c���c���c������c&��c���c���� ����c���� ���c

�� ��c��c��c� �c2���������c� ��c���c����c���c�� �������c� ��c���c������� ��c���c

� �!�����c�� ����c������� cE, ����c&�� �c��c���c��c���*�c���c����c���c �����c��c

������c��c����������c�����c�c� ��� c���c�����c���c���� �������c

F��G�c������c�� �������c���c�������c�����cDc������c��c�c�����c#c���c����c

#c�c�������c�c���c������c��c��2����c����c�����c���c����c �����c� ��c���c

#���c����c� �� �c�c��c���c�����c��c���c����c

c

�� ������ ���������������

�E ����c��c��������c��c��c���c��$c

Page 3: 52911955 Vacuum Sci Notes

%�c&��c��������� �c��c���c���� ���c���c��c���� �������c

(�c"�c��������c�� ���c���� �������c

)�c ��c��c����� �c��c���c���c��c���c������� �c

&��c��������c����c�c������c����c�c���c���c�c���c����c� �����cH�� c����c�c

���c�c������c��c�� �c���c����c� �c������c��c����� �c���c���c� c�� �c��� c��c���� c

����c��� �c�� �����c�������������c

E��c��c��c������ �����c���c ������c��c��� ���c���� c�c�c�� ����c��c�c� �� �c��c���c

�����c����c ������c����c�c� c��c���c�c��� ����c� c� ����cB��� c�����c����c

����������c���c��� ���c���� c��������c � ��c ����c���c���c�����c���c ���� �����c

�c� ����c �������c c�����c������c�c��c����c���c���c�����c��c�� ���c��� �����c

����� ��� ��c

c

_������ �����������������

5���c���c��c� ����c������ �I��c���� ����c��c�� ��c������!��$c

Ôc -2������c������ ���c����c��c�c��������c��c ��������c������c�c������c

�����c���c��c����c��c� ��c���c������ �c���c���c���c������c���c������c��c��c���c

������� ��c

Ôc è2 ���� c��������c�����c���c������c 2�������c� ��c��c����c����c/��c

��c����c�����c� c����c����c �������c�����c��c*���*c��c��������c���c��c���c

������ �c

Ôc ����� ����������c����c����� �c���c��c�c����c� c��� ���c�����c&��c

�������c���2� ��c��������c���c�2�c� ��c

c

c

��� ����������

�ð��c�2���� ��� c����� c

c

��0c5����c����c.���c���c����c���c��c�� �����c� �����0c

��0c>��� c����c����c.��/� ��c��c�����c�����������0c

��0cF c����c.��c���c���*c� ������0c

c

h��c����c��c���������c����� c

c

��0cF�������c����c.���c���c����c���c��c���c�������������0c

��0c&� ������c.����c� ���c���c���c� ��c��� �������c��c��� ���0c

��0c- �����c.���c��c����� ��c��c�� ����c� ����0c

��0c"��c����c.�� c�����c���c���c�������c����c���c�������0c

��0c&�������c#����������c5���c.����� ���c&�������0c

c

���������������������������

Page 4: 52911955 Vacuum Sci Notes

&��c����c��c �������c����c� �c��c���cc

%�c &��c���,�����c����������c����c(�c JJ� GGc����c

c

ð�ð������ ! �� �������

c

&��c���,�����c����c�c�c�������c�����������c�����c��c����� c���c����c� c�����c����c

�����c���� ����c ����c��c���c� �� c��c%;@<$%c

c

����������$c&��c����c� �c�����c���c�c�c���*���c����c�� c����c��������c���c

�� ���������� c����'c��c���c�����������c���c���*� ������c��c����������c����c���c�c

���� ������c�c���c����c������c�����c���c�c�� �����c� ��c�c���c �!�� ���c

c

ð�ð�ð�c�2����c����c� c

c

K� c���c��c������c������c������������c�c����������c����c��c��c���������c���c

����������c����c��c�� ���c�� �c� �c���c�c �������c���c���*���c����c��c���c

����c�� c������c�� �c������,���c���� ��c������c�����c

c

c������2���c

-�����c��c��c����c����c�������c����c� �� �c��������c� �c���c����������c

��c����������c�������������c2���c��������c���c���2 ����c����� ����2�c�����c

c

��������c-���������c

&��c������c����c����c�c�c�� ���� c ��� c �������c�����c��c�c�� �� c�� ���� c������c&��c

����� c��c����c���c�� ���c� �c������c������c������ �����c&��c ��� c��c���c� ���,

������c����c�������c�������c����c���� c�����c��� ���c���c���� c����c���c������c

�������cL�c�c�����c�c �������c�����c c�����c����c�����c���c����c��c�c������ �c

������c�� c� ��c���c�����c��c���c������c&��c����c��c���c��c��������c�������c���c��c

Page 5: 52911955 Vacuum Sci Notes

� �����c��� �������c���c����c� ���� �c�� ������ �c��c���c�������c�������c���c������c����c

���c���c����c�����c

c

K� c3 ��������4c� c�������c���c���*c��c���c�� c����c���c��c����������c����c1c�����c

��� c���,�����c����c����c����c���c��c?c%1%;c@,)&� �c

c

����������c

����c�������c� ��c?%;@,(c�� �c

c

�������������c

5��������c���*� ������c��c���c����c������c������ �c

c

��"����#���������_���������������������� ! �� ��� �������������

c

B���c�� �����c� ��$c

%�c �c�����c����2�����22��c���c�c����c��c�����c�������c�c�� �����c���c���c������c������ �c���������c�c�� ���cM��c���c��� �����c�� �c�cJJ�����GGc"�c

���c� ��c�� �c��c�������c����� ��� ��c���c� ��c���c� ��c����c��� ���c��� ����c

���c���c�c����c�� �c� ���c��c��c���� c�����c���c����c�c����������c

(cccc¢��c�����c��c��2�����c�2�c2���c&�������� ����c� �c���������c��������c

�������� c����c.�c�������cI������0�c�c� �� ���� c���c�����c����c

c c

������ �� �$%%&��''��������

c

c

ð�h�ð��c������� c-� �c

c

&��c����� ���c����c�c�������c��c���������c���c����c�� c������c����c�����c��*�c�� c�c

������ c������c����c

c

�������2���cF���� ���c����c� �c��� ������c���c��� �c���c������c��c���c�c��c���� ������c�� c

��������c�c���c�� �����c�� c��������c�� ���������� c����c����c

���� �� ���c�c�������� c� ��c�����c&��c� �c���!����c����c���c���c� �� �c �����c

���c��� �����c ����c��c�c�� ���������� c����'c�����c����c�����c%;@(c�� �c���c���c�� c

�����c �������c����c�c�� ��c�������c

c

��������c-���������c

K�� c����� ���c������c� �c�����c� �����c��c�� ��c��� ���c�������c�����c����c���c

�����,� �� �c����c� ���c�c���c������c��c������c��c����c���c��������c#�����c

������c� �c���!����c�� c���!����c�����c����c���c��c��c�� ���c����c���� ���c��c

�c����� c�������cH���c������c��c�c��������c����� ���c��c�����c� c���� c������� �c�c

����c�c�����c���c������c������c&��c��/� c �!�� ��c�����������c��c���c����c�c

����������c��c���c����� ���c���� c%;�;;;c��c%<�;;;c� c��c��� ������c

c

Page 6: 52911955 Vacuum Sci Notes

����������cc

%�cE��c� ��c

(�c>��������c���c�����������c

c

�������������cc

%�c���c�������c

c

ð�h�h��c���2��c� �c

c

�������2���cc

#� ���c����c� �c���c��c�2 �c�����������2�c����� ��c���c�2����2����c���� ����c�c

��c���2 2����c�����������c��c��c�c����� c� �c-��� ���c��c������c�����c

���� �c����� c�������c#����c��c���c� �� c��c%;c�2c���c���c� �� �c�����c%;@(c�� c

��*�c���c��c���������c������������c#����c�������c �����c��c� �� �c�����%;@(c�� �c

c

c��������c-���������c

#� ���c����c��c���c�������c�� ��c����������cE�����c���c��c���c� ���c�c������c

�����c���c���� c� ���c������ �����c�������c ��������c��� ��c� ������c���c�������c� c

���� ����c���*��c��c�����c�������c���c� ����c ����� c������c�� c� �������c���c

���� ����c������c�c��, �������c���c� ����c��c��� ����c�������c���c����c�����c

����� c��c ��������c&��c �������c������c�c���c���c�c��c���c�� �c� �������c

#�������c������c��c��c� �c� �����c�������c���c���c� ���c���c���� ���c� ��c���c

�����c.������c���0c���� �c���c�����c��� �c���c� �c������c��c���c������� ��c&��c����c��c

���c���c�c ��� ���c��c��c��c���c���c ����c�c����c��c���c����� ���c��c�c����� ���c

�����cc

c

���������c

%�cE��c� ��c

(�c>��������c���c�����������c

c

�������������c

%�c���c��c������c�������c

c

ð�h����c�����c 2 ����2�c

c

Page 7: 52911955 Vacuum Sci Notes

c ��� c� ��c���� �� c�c�c��c���� �� c�����c��c�c ��� c���c�������c

�����������c��������c

c

c

�������2���c

&�������c���c� �c���c��c����c���� ���c�� c�� c���� ��c����� ���c������������c

& ���� c�������c�����c���� ��c����c� �c�����c���c��c���� ������c����c���c� �c���c��c

���� c�� c��� ����c���� ������c������� �c5���c����c��c���c� �������c��c���c� ��c

���� �� �c���c�c����c���c��c��� ��� ����c���c����,�� �� �����c�� �c

c

������2���c

c ��� c� ��c���� �� c��c���c�������c� ���c*����c�c ��� �c��c���� �c���c���c

&��c������c��� c��� �c����c���c����c���c������c ��� c��������c� ����c����������c

c

����������c

%�c 5������c����c��c����c��c%;c�2�c(�c F� ���c����� ��c��c���c������� ��c���c)�c B�������c� �� �c��c���c%;@,)c�� c �����c=�c ����c ���������c��c���� �c�����������c<�c ���c�����c���� �������c��c�c�����c����JJ� GGc�����c��c���c���,�����c����������c

�����c

c

����� ����(����������c

c

h�ð��cè2�������c����c-� �c

c

Page 8: 52911955 Vacuum Sci Notes

c������c����c��c�����c�������c�c�����������c�c���� ����c�c����c��������c��c

���c��c��������c�c�����������c��c�c���c �������c��c�� c����c�����c�c����c�c

%:�;;;c ���������c�� c������c

8������� c� ��c����c� �c���c�������c%;@N9c�� c�����c������c���c� �����c� ��c

� �����c��������������ccc

��������c-���������c8������� c� ��c����c�� *c�c���� ����c��������c��c���c��c��������c�� ����c

��������c����c�c!���*�c�������c ��� �c&��c����c�c�������c�c���c��������c� ���� c

����c��c���c���c��������c���� �c���c�������c&��c����c��c���c� c�� �c� ��c

�������c��c����c�c����c�cC;�;;;c ��c�����c������� �c�������c�������c&��c

���� ����c�������c� ��c���c������c�c��c���c� �� c��c;�)c���cL�c�c� �����c��c���c

�� ������c��c �������c�c��������c� ���� c��c���c����c����c�����c�������c� ����c

��������c��c���c�������c"�c���c��c���� ���c�c�c���*���c�����c�����c��c���c

����� ���c����c����c���c��������c���c�� �� �� �c�����c�c� ������c������c�������c%;c��c

);c�� �cc

c

c

���������$c

%�0c ��c���*����c(�0c����c���� ����c ����c���c� �� ��c�����c���c��c��������c����c���� c

�������� c����c� c �������c������� c������c����c�c��������c��c�c

������c���c��c�� �c�c� ���c��c��������c������c����c����c����c

�� �� ������c

c

�������������c

%�0c&��c����c���� c���� ����c ����c�� c�� �����c

c

h�h��c�2���2�c-� �c

#� �����c ��� c��c���c������c��c��� �����c� c��� �����$c

Ôc �� �����c�c���c���� �� �����c��c�c�������c��c���c����c����c������ c��c�c

����� ���c����c.����c��!���c�����c��� ���c�c�c����c� c���c�����c��� ���c�c�c

��!���0�c

Ôc �� �����c�c���c������c���� ����c� c�������c��c���c���c��������c����c���c

� ����c��c������ c����c.����c ������c��� ���c��c����c������c� ����0�c

&��c�2���2�c� c�c�c������c����c����c� ����c�c������c�c��� ����c��������c��c

�c�� c�� ��c���� ���c��*�c�������� c����c�����c�c������c�c�c� �����c�������c��!���c

��� �����c&��c��������c� �� �c�c�����c%;,(c��� �c+���c������c������!��c���c���c��c

���� ��c����c%;,9c��� �c

�������2���c

#� �����c����c�� �c��� ������c�� c �������c����c��� �����c������c���c� �� c��c

�� ����c��c�c����� ,���c�����c

Page 9: 52911955 Vacuum Sci Notes

��������c-���������c

c������c� �����c����c�c�c������� c����������c�����c)c��c��c�c�������� c����c���� ���c

����c�c������c��c��!���c��� ����c����� ��� ��cB��� c����c���������c���c�������� c����c

���c��� �c9�:cc�c%;@=c�� c���� c��c���c������� ��c���'c���������c� �c������c���c

�� �����c�����c� �c���c�����������c��� ����c���c�����c�����c�c��� ���c��c�c�������c

�������c

&��c� �����c����c�c�c�����c����c���c��c����c��c)c����$cc

%�0c#� ������c(�0cF�� �����c���c)�0c>����� �����c

%�0c"�c���c�2���2�c����c���c����c�c�������c���c��c� ����c�c�������c&��c�c��������c

�c�������c���c����c���c��c���c����� ��� ��c�������c�c���� ���c��c��c�cF��� c

���*c������c����c��!���c��� �����cL��c����c���c����� c�������c� c��c��� ���c�c���c

�� ��c� ����c��c���c�������� c�����c

(�0c"�c���c��2���2�c����c���c����c�c�������c�� �c��c��c ���c����� ��� �c���c���c

���c�����c�� ����c���c� �� �c �����c�����c� c���� c�������c��c���c������� ��c"�c���c

����c��c����c���c��c����c������c���������c� c���� c����� ��c���c���c��c��c��c

�� ����c��c����c����c����c���c������� �c�c���c���c������c�� ���c���c� �����c����c

����c��c ������c�� ���c���c��� �����c�����c

)�0c"�c���c����������2�c����c���c����c���c�c������c��c);;cO-c��c� ���c���c���� c

���� c����c���c���c��� �c��c ���c����� ��� �c���c����������c��c���c�������� c�����c"�c

��*�c�������c(c��� c��c����c ����� ���c�c�����cc

&��c����c���c��c���c��c�c����c��c� �����c���c��� �����c�����c��c���c���c����c

����������c���c�c ����� ����c� c��c�c����c��� �c� �����c���c��� �����c� �c����c

��������c�c ����� ������c

��� c�������c�c� �����c����c����c���c�������� c����c��c�����c����c��c ����� ����c�c

���c���c�������� c����c�c� �����c��� ����c����c���� c���� �c ��c����c�c����c�c���c

��c��c��c�����c��c�����c���c� ��c���c������� �c��c� �����c���� c���� c��� ������c

����������c

ð��c&��c������c��c���c� c���� c������������ch��c���c���c���c���c��� �����c� ��c��� �����c������c��� �c� �c��c������c�� ��c

�������������c

%�0c "�c������c��� ���c����������c���c

Page 10: 52911955 Vacuum Sci Notes

(�0c-�����c����������c����c�� �����c������c���c�����c���c���c����c���� c�����������c����� ��� �c����c��!���c��� �����c

�������������������

K�� c���c��c����,������c����c� �c��c���� ��c��$c

%�0cF��������c(�0c&� ���������� �c)�0c- ������c���c=�0c#����� ,���c

��ð��c�������2�c� �c

&��c� �������c��������c����c��c��������c�c������� c��c%C%:�c� �c���c��c���c�����c

���c���c �������c��c��c� ������c�c������c����c��c%;@,%;c&� �c� c����c���� �c��c(<Oc

-�c c������c��������c����c������c�����c��c�� *c����c����c������� ��c� �� �c�����c

���c������ �c"������c��c������� c����������c �������c����c.� c�� �����0�c�������c��c�c

�����c�����c��c��������c�� �c� ���c���c� �� �c�����c���c������c��������c������ c

����c��c�����c%;@,)c&� �c �c���c������c���c������c��������c����c��*�c��� c��c� ����c

�c������c ������c� ��c%;@,)c��c%;@,%;c&� �c#����c���c��������c����c������c������c

�� ����c��c������� ��c� �� ��c���c�� �����c�c���c��c��������c� ��� c����� ��c

� �� �c����������c

c

cc

Page 11: 52911955 Vacuum Sci Notes

�������2���c

c��������c����c���c����c�������� c� ����c��c�c����� c��c���������cE��c���c���c�c

��c�c�� ��c���c��c�����c���������c�c���c� �������c&��c��������c����c�c�����c���c

��c����c����� ���c���c ��� ��c������������c8��c���� �c��������c����c��c�������c

���c�c���c�� *���c������c

c

��������c-���������c

c������c��������c����c�c�������c�c������c����c������ c����������c�� ��c� c�� �c

���c/��c��� �����c�� ������c��c� ���c&������c��� �c� �c�� ��c/��c�������c��c

����������c�I��c����c���c�� ���c��c���c�������c �c���c���c��c���c������ c�c�c����c��c�c

�������I��c���c��c���c������c�c���c���� c� �� ��c&��c���c�c������c��c�������c�c��c

����� ��c����� c�������c���c���� c��c���c������ �c&��c����c�������c/��c�������c����c��c

��������c����c������c��c���� c��c���c��c���� c��� ���c�������c&��c�������c���� �c�c

������ �c������c��c���c��������c���c� ���� �c����c���� �c���c����c�������� ������c

����� c�������c �c���c���c��c���c������ �c���c��������c��������c��c������� ��c

���c� �c ������c�c���c�� ������c�����c���c��������c���c�����c������ c�����c&��c���� �I��c���c����c���� �c���c�c��������c�� ����c���c/��c��c���c�� ���c��������c

+��� c�� �������c�� ����c����c��c���c������c��c���c������ c����c���c������ c��c� �����c

��� ���c �����c���c�� ���c��� �����c��� c����c�� ���c��c�����c&�� �c� �c��� ��c���c

��c����c����c�� ����c��c��������c�� ��� ����c��� �c�� ���� ���c���c��������c

���� c����c���c��c����c&��c��������c���� c.#�������Pc<0c�����c� c���c��c����c�c

�� ������c����� �c�� c�� �c����c(<c�� c���c�������c����c�������� c�������c���c

��������c���c�����������c���� c� �� ��c

&�c� �����c� c������I�c���*� ������c���c��������c��c���c���c���c�c���� �����c"�c

�������c���*� ������c�c��������c���c���c�����c��c���c����c��c�c�� c���c���� c

� �� �c��c ���c����� ��� ��c c��������c���� �c���c�c#�������c<�c� c�c�������c����c

���c�cF-9;<�c�����c��c��� �� �����c������ �c�� c���c���c���,�������c������������c��c

�c���c��c��c�c��!���c��� ����c.�6(0c����� ��� �c� ��c�������c����c���c������c

������ �c

c

Q�����������c�� c�������c����c��������c����c�c���c��� ������c����c���c��������c��c���c

������c��c����� ���c���c�������c����c���c���� c/��c��c�c����� c ��������c��������c

��c���c��c����c������ �c

����������c

ð��c#�����c����c�������c������c�� �c���c&��c� �c �������c���c� �c�����c��c������c���c ��c�������c����c� c��� ������c���c

���c� �c ��������c

���c"���������c��c��� ���c���c��������cc

�������������c

%�0c��/� c�����������c��c��������c����c�c���c�������c��c���*� ���c���c����c���c������c������ �c

(�0c6���c������c������c��c �����c���c�������������c��c������c������ cc

Page 12: 52911955 Vacuum Sci Notes

��h�c¢���2 2�������c� �c

c����2 2�������c� c�c�c���c��c������c�����c��� �������c����� c��c�c

�� �������c���c��c������c���c��������c����c�������c&���c����c�� *c��c���c

� �������c����c��c��������c���c��c�����c��������c��c�c��� ��c�� ������c�c �������c

��������c����c�c������c����c� �����c"�c�c�� �������c�c �����c�������c�� ����c ��� c

R���Rc��c��������c� ��c���c�����c��c���c����c���� �c���c������c��c� �� c��c� ����c� c

��������c�c�������c

c

������2���c

&� ���������� c����c�� �c��� ������c��c%C<Ac.M��*� �c%C<C0c���c�� �c����������c

������c�c���c�������c��c���c��c���c� �����c��c���c��������c�����c

c

cc

��������c-���������c&��c����c�c�c���������c�����c���� �� �c��� �����c��c ���������c

����c� ��c� ����c(;�;;;c��cC;�;;;c ���cL�c����� ��c�c���c���� c����c�c�����c

����c���c���� c����c���c��������c���� ���c��c���c�����c��c���c�� �,������c

.���*���c����0c� �� ��c c���c��c��������c���� c�� ����c���c������c���c ��� �c�����c

��c�c����� c��c������c������c���c���c���������c&��c���c����������c��� �c��c���c

�����c�c� ���� ��c��c���c��c���������c+���c���c����c��!�� ��c���������c���c��c

��������c���� c����c���c��c� ���� c����c��c���c���� �cM�����c��c���c �������c������c��c

��� c���c���� �c��������c� ��� ���c���c���c���� c���c��c���c������cM�����c���c�����c

� ����c���*c�����c���c��c���c����� ��c��������c����c�����c��c������ ��c

&��c����c����c��c���c����c����c��� �c���c�����c�������c����c���c ��� c� �����c���c���c

� ���c�c����������c������c�������c����c����� �c�� ����c���c�������c

�c����c�����c���c��������c� �����c�c�����������c��c���c ���������c��� ����c-� ����c

���������c��c���c ��� c�c�������'c��c���c�����c��� ���c���c��c �������c��c���c������c��c

��� ��c���������c�c�� ���c� ��� ���c��c�c�����c���� ������c���c�c�c������ ,����c

�����c

Page 13: 52911955 Vacuum Sci Notes

"�c���c����� �c���� �������c��c������c������c��c������� ��c� �� ��c���c���c��c

���*��c��c���c����c�c�c�� ������c&��c� ������c���*���c� �� �c�c���� ���c��c���c%;@,%c

�� �c� c���� �c ������c���c��c���,�����c����������c����c�c���c���c������c�������c

c

c

���������c����c2�c��������c���c�2 2�c��c����2 2�������c� ��c

ð��c���c!��������2��c ��c�� �,���� �����c����c���c���,��� ������c��� ���c����c�����c�����c��� ��c�� c��c���������c��� ������cB���c�c���*c�c���c���c

�� ��� c����c������I�c���c��!���c���c�����c�� �c��������c����c� ����������c

h��c������c!��������2�$c c���,���� ,� �� �c� ���c��� �����c��c��� ������c��c �����c� ���� �c��c���c����c���c������c������ c���c��c�� ���c� ���������c��c���c

����c��c��c�� �������cL ���c��c���� c� ��������c��c���c�����c�c���� c���� c

� ���c���� �c����c����!����c� ��c��c��� �����c����� ��� ��c

���c ��� ��c"���c"��������c8��c��� ���c���c��c�c�� ����,����2����, ���c�����������'c���c������ c����c �����c���� ������c�� ��c���c���c�� ����,��c����c

���� ����c������I�c��������c&�� �c����� c��c��c�c����������c��� �������c��c

��� ���c����c�� c����c���c���c� ���c��� �������c����c

��c������c"��������c8�������c�������c���c����c���c���������$c�c���,�������c��� ���c����c�c����������c���������c�����c���c�� c���c��� ������cK� �,

���� �����c����c���c����� ���������c�������c����c�c����� c���*���c c

�����c���� �����c����c�� ������c������c��c�� �c �������c���c��c���� c����c

#���c����c���c���� c��c��� ����c����� ���������c�������c����c����� c

������c���������c��c���c ��� c��c���c����c"�c���c������c���c���� c�c���c�c�c

���� ��� c����c���� c�c���� ������c��c�� �c���c�������c��c���c��������c

�������c����c8�������c��� ���c����c��c�c�����c��c��cJJ�����,����GGc

��� ���c�� c���� �c����c���c����c�c������� �c&��c��� ���c��c�c�����c���,

���� ,� �� �c��� �����c.EG�������c%CAC0c���c�� ��� c� �����c���c����c��c��c

��� �����c&��c����c��c���c�����,����c��� ���c�c��������c

·��c 2 ������2�c"�������c����� ��c#���c�����c��c�����������c��c����� ���c���c��c��� ����cE��c�������c��c�c�� ������,������c��� ���c��c���c����,

������c���c���c��c���,��� ������c��� ���c��c���c�� �������c����c c��������c

��� ���c���c���c�����������c���c���c���c�c���c����� ����c��c������c�c

��� ����c���c�c�c�c��� ������c��� ����c&�� ��� �c��c���c��c�������c��c���c�� c

���c��c���c ��� c�����c�����c���c���,���c��� ���c�c��c���c�������c�� �������c����c

&��c������ c��c���c���������c��c������I���c��� ������c

c

-�2��� �c����c-� ���c��������c������c�� c �������c����c������c��c���c

#����������� c����� �c���c ����c��c ����c��� ���c����� ��c c�� ��c����c���c �������c

���c��c���c�����c����c ������c���c� �����c���c������c���c� ��c����������c���c

��� ����c

c

������2�c2�c�c¢���2 2�������c-� c����� �c"�c���c����� �c���� �������c��c������c

������c��c������� ��c� �� ��c���c���c��c���*��c��c���c����c�c�c�� ������c&��c

� ������c���*���c� �� �c�c���� ���c��c���c%;@,%c�� �c� c���� �c ������c���c��c���,�����c

����������c����c�c���c���c������c�������cc

Page 14: 52911955 Vacuum Sci Notes

ð��c �������cM����c �������c����c���c�� �c��c���c����c�c���c�c�c������c�������c��� �������c���c� ���c���� �c c ����c�� ���c��� �c����c���c

�� ���������� c����c �����c��c����c<;Sc��c���c��� �����c����c�����c���c

� �� �c��c���c�� �����c�c����c��c���c�����c����c ������c�c����c��c���c

���*� ������c���c���� c���c���c�� ����c���c�� ���������� c�����cM��� �c

�������c��c���c�� ���������� c�����c���c������c������ c�����c��c ������c

����c����c�c� ����� �c��c�����c���c��������������c

h��c��������c+���c���c���� �c���c�c��c��c������c��c������� ��c� �� ��c��c�c�������c����c���c�������c��c���� c���c�� ���������� c����c��c�c�����c��c���c

���c���c��c��c��� ������c��� ���c��c���c�����c&��c��� �c����c���c��!���c

� c���� c�c����c���c� ��c���c���c���� �c���c���*���c����c6��� c

����c���c���c� ��c�c�����c��c���c�� �����c��c���c�� ���������� c����'c����c

���c����c����c����������c����c���c���c�� ���������� c����c���c����c���c

�� ����c ��� cc���c���� c�����c���c���c������c������ �c��������c���c

�� ���c����������c���� c�� ����c���c���cc���� c��c���c�� ���������� c����c

���c��/�����c�c���c������ c� �� �c ��c����c���c�����c����c �����c

������c�c������c� c����c&��, ����c�������c�����c���c�� ����c�����c��c

�������c� �� �c��c���c�����c����c ������c����c������� ��c����c

���� �c�� ��c��c���c��� ���c�����c.�����c������c���cJJ��������� GGc������0�c

c

����������c%�0c����c�������c(�0c���c������������c

c

�������������c

%�0c#�����c�� ��c��c����c��c����c��� ��c��������c�������c

c

�����c ��2� �c

c� �����c�c�c������c����c����c� ��c���c���c����� c�c���������c����c��c�c

����c� �����c

c

Page 15: 52911955 Vacuum Sci Notes

c

�������2���c

- ��������c��c�� �c���������c���c��c���c����c� �� ���c��� �c���c������ c

�������c���c���������c�������� ��c��c���� c�����c&���c� �c����� �c�����c����c����c

��� ������c� �c������c�������c� ��c���c������� ��c ��c������c��c�c�� ��c��c���c

���c��c���c�����c&��c���c��c ����� ����c��c�c ����� c����c���c���c!������c��c��c

������c���� �c ����� �����c�c�� c�� ��c�� c���c���c����c� �c����� ��c�c������������c

E��c�������c�� �����c���c����c� �c���c����������c���������c"�c���c �� ��� �����c����c

���c��c�c���� c���� ������c� c�c����������c����� ��c���c������c��c����c��c ������c

������c�������c ��c����c� �c������c����c�c� �� �c �����c�����c��c�����c���������c���c

� ������c���c��c����c�� c���c���c������c��c��c��I� ���c���c �������c

c

��������c-��������$c c� �����c��c�c�����,����c �� ��� �����c���c����c������c

�c���c�� *���c���c-��� ���c������c �� ��� ��� c��*�c���������c��c���c�������c������c

��c���������c���c��c� �����c��� ����c����c� ����c����c�����c��c��������c��c��c

����� ���c&��c������c�c������c�c�����c�� ����c�c��� c��c ����� �����c����c�������� c

��c���c����c�����c���c����c�������c��c�������c�c� ���c�����c����c���c��������c���c

���c��c�� ��c����c���c����c�������� c�c���c���,� �� �c��c ��� �c��c���c���� �� �c

E�� c�c�� ���c��c��� ��c��� �c���c���c�������c���c����cI����c��������cA;c���c%<c

T�c&��cA;cTcI���c�c���c��c����c�c� ���c�� ����c�����c��c��������c��c����c��c

���� �� 'c���� c�c������c�c���c� ����c���c��c���c������I�c���c����c����c��c���c

�����,c����c� �c� ��c�������c����� ��� �c ���������c"����c���c� ���c�c��c� �c��c

%<cT�c��c�����c���c���� c���c� �c���������c&��c��� �c���������c��c��������c���c%<c

Tc����� ��� �c�c/��c�c���c�����c

c

"�c�����c�c� �����c�c ����c�� ��c����c��c����c&��c�����c� �c��c���c����c��� ���c��c

:;c��c%;;cTc��c�������c���� c���� c���c����c�� ��� ���c��c�����c� �����cM�����c

���c�����c� ��c�c���������c� �c��� ���c��c%;c��ch��Tc��c����� �c� ����c��� �����c

�����c���c���c���� c����c �c����c����� ��� ��c��� �c���c���c�� �c�����c���,��*�c

����c����c���c���� c� �� ��c�� �����c����c���c������c��c���c�� �c����c��c����c

����� ��� �c���c���c��c����c�c��� �����c����c���������c�� ���c��c%;c��c%h�T�c

c

��������c-�2������c

M��� �c�� ����c�c� �����c���c�� �c��c ������c����c��c���c ����������c� �� ��c

�����c��c���c� �� c��c%c�c%;@,%c�� �c

E���c���c �!�� ��c� �� �c�c �������c���c� �����c�c�������c� ��c���c �������c

����c���c���c �� ��� �����c���c�c�� ���c���c+���c���c����� ��� �c��c���c�����,����c

� �c �����c(;cT�c���c����c�c ���c�� c��� ������c���c���c��c������c��c���c������c

������ �c�����c��c� ������c����c ������c����c��c�c�������c� �,��� c� �� ��c

+���c���c!������c��c��c����c��c����c������c�c����c��c���c��������c��������c���c����c

���c��c ����� �����c&��c� ����� �c�������c��������c� ��c���c����c�� ����c���c���c

�� ��� �����c�����c���c�� ����c���c�� �,c���c�����,����c� �c�����c���c��������c���c

��� ���c��c��c����c �������c&��c���c������c������c�c��c�� ��c����c���c����c

�c�� �c.�����c:;AcO-0c� c���c���c�c��� �����c��c������� ��c� �� ��c

&�� �c�c���c��������c��c��� �����c��������c �������c�� ���c ����� ������cK� c

��������c�I����c�����c�c���� ����c��c���c� �����c��c ����c����c����������c

Page 16: 52911955 Vacuum Sci Notes

���� ����c&��c��c��c�c���c �������c�� ��c��c����c������I�c��I� ���c���������c��c���c

����c�c���������c��c������c���c���c ������c�� ���c ����� ������c&��c����c��c�c����c

�������c���c���c��� �c����c ������c���c�� c���� c���c��������c

c

����������c

ð��c�� c����c��������c���c6�c�������������c

cccccc)�0c&�� �c� �c��c������c�� �c��c���c����c���c��c��� �����c

c

�������������c

%�0c5���c��� ���c��c������c��c����c� �� �c� c���������c��c�����c(�0c6���c�� �����c ����� �����c��c����c�����c

c

����c������c�2�c� �c

&��c�� �� �����c��c����� c����c�c�� c���������c��c���c��������c�������c��c���c���c

��c���c�������c�c���c����c��c�� *c��� ����c����c�� c���������c������c���c���c�c

�� �����c������c���c��� �����c���c ���� c��� �c�� c�����c����c#����� c"��c����c

��������c����c��*�c����� c�����c���c���c��c����������c����� �c���������c

c

c

Page 17: 52911955 Vacuum Sci Notes

c

c

�������2���c

"�c�c�������c���c��c��� �c����c������c.B��0c����c�c���c���c������c��������c

� �� �c��c����c%;N%;cc�� �c#����� c���c����c����c��c������c�� �c���c��c��c����c

���c� �c��� ��� �c�����c���c���,������������c���c� �����c��c��� ������c�����c�c��c

���� ����c����� c����c�� *���c�������c� ���c��� �����cc

c

c��������c-���������c

&��c��� �����c��������c��c����� ,���c����c� �c�� c�������c�������c"��c����c

� �����c����c��c����� ��c�������c�c�������c���c������c�����c� �c���� �����c�c�c

��������c�����c��c����c��c�������c� ����c��� �����c���� c����c������c���c���c������c��c

����I���c�c��������c��c���c���c&��c����I��c��c��������c� �c������ ����c��c���c��������c

L��� ���c���c������c��c���c��c��������c��c���c�������c����c�/���c�������c����c�����c

����� c����c���c� ����c��c�c������ c�������c���c�� c��c���������c� ������c����c

��� ��&��c�������c��������c�������c���c����������c

c %�0c-����� �����c��c���c����� ��c�������c���� ����c�����c�c���c� ���������c

c �������c��������c�� c �������c����c

c (�0cM� ���c��c���c��������c�����c�c�����c�c� ������c���� ����� c��c��������c

c +���c���c���������c��c�� �����c���c����c �����c����c��c���c� ����c���c� �c

c ������c�c�������2����� ���c���������c

Page 18: 52911955 Vacuum Sci Notes

c )�0cM� ���c��c���c���*,����� ��c�c���� ���c��c���c� ����c������c����,��c����c��c

c ���c������c� ���c&��c�c�c� �����c��������c��c���c�������c��c� ���c���c���� c

c �����c����c

c =�0cF���������c��c��������c�c����� ��c�������c&��c�c���c��������c�� c

c �������c�������c���c���� c� �����c��������c

c

c����������c

c %�0c����c������������c������c��c��c������c�� �c���c���c� ���c

c (�0c¢��c�������c�2c��#�c���c� c�c�2cÎ��c$ �c������������c��������c���c ����c

c ����������c��cB��c����������c

c )�0c%���&����c2�����2�c��c��c�c���*,�����cB��c����c"�c���c���� c�c���� ������c

c �c���� ���c� �� �c ��c����c���� 'c���c����c �����c���c�������c�������c

c �c����� ����c+���c���� c�c ��� ���c���c���c� �� �c�c�� ����c ����������c

c ������c

c =�0c&��c����c���c�������c��������c���c�������c��c���c� c�������c�����c�c

�����cc�c�c������ c��c�� �� ������c

c

�������������c

������&�2�c� �c���c�2�c��������c�2�c���c�2��2����c�����c

c %�0cE�c���c����c�c�����c�������c��c����c� c� �!����c�������c��c������� ��c

c (�0c+�� �c�c����,�������c�������c����c�� c���c���c�c �!�� ���c&��c����������c

c ���c��c�� ���������c����c�c��� ��c�����������,�������c�����c�c���c����c�c

c �������c�c�����������c ���� c����c�c���c��� ���� ����c��c���c����c������c

c>� �c���c� �c���c������ ����c���c� �c������c�c�� ����c&��c �����c��c� ����c�� ���c

�c����c��c���c��������c�������c����c�c�����c��� ���c��c� �� �c��c�c

����c�c�� ��c�������c��������c�c ������c��������c���c�c�����������c� ��c��c

� �� ��c&��c�������c������� cc�c �������c��c ����� c���� ����c����c����������c&��c

� �����c���c��c�������c��c���c��$c

c

%�cMc��c��c���cJJ����� ������c���GGc� cF"c�����c�����c�c�c����� �c�����c����c��c

Page 19: 52911955 Vacuum Sci Notes

�����c�c��������c�������c ������c���c��������c��������c

(�cMc��c��c���c� ����c����� ,���c�����c��c�����c�c��� �c����� ���c�c���� ����c�������c

���c���c��c���c����� ����c�����c���c���c����c�����c&��c����������c����� ���c�c

����������c��c�c����c��������c����������c� ����c�c�c����� c��������c�����c���c

�����c���c����c� �c����������c��c� ����c����������c&��c����c��c���c����������c

���������c����c���cJJ���� GGc������c��c���c�����c����c�c�����c���������c

��� ����c

c

c

��·��c������c� �c

L���� c����c� �c����� c��c� ������c���c��c��������c������c��c����� �c���c��c

���������cL���� c����c������c����c���c �������c��c���c����c �������c�����c�c�c

�������c���������cc

c

�������2���c

L���� c� �c���c��c�������������� c����c���c���� c�����c���c��c �����c���c�����c

����� ���c���c���c� c��� �c� ��c���c� ����c���� c���c������c�c�����������c� ��c

������c�����c"�c���c�� �c������c���c3���,����� �����c����� 4c� c6HL�c����� c� �c���c��c

�� �����c������ ��� c��� �c�� c�� ��c���c��� ����c�� ��c.���c����c ���0c

������c� �c����������c

c

��������c-���������c

B����c����� c� �c���������c�c��������c�����c����c���c��c� ��c���c� ����c����c���c

���*c��c���c����� �c&��c� �����c���c����� c� ��c�����c��� ����c�����c��c�� ���c� c�� ���c

�������c���������c#���c� �������c����� c���c�cJJ����c����� �GGc�c�����c��������c��c

�� ���c���c��������c����c�����c��c�������c����c��c>Kc�����c����c���c����c���c����c

������c��c����� ���c�c�� � ,��*�c�� ���c������c��c���c����c�����c#���c����c��������c

���� c ����c��������c���c����c���c� ����c�c���� ���c�c����c���� c ���c��c�������c�c

�������c�c��������c����c���c���*c��c���c�����c&���c����� c� �c���c�� � ���� c��c���c

���� �c����������c�����c

c

c�����c���c��c����� c���c�c �������c������c���c�c��������c� cI� ������c�� ��cc

��� ����c��c��������c����� ��� �'c���c ����c��c���c�����c� ����c��c� �����c������c

���,���� ,� �� �c��������c����c����c������c����c���c���� �� �c��������c�c�������c

�������c��c���c� �����&���c����� c� �c���c�� � ���� c� c���c���� �c�������� ����c

����� c.6HL0�cc

c

��������$c

%�0c�� ��c�������c�����c(�0c�� ��c�������c��������cc)�0cB��������c��������c� �� ��c=�0c-�������c����������c���c����c��� �����c

c

�������������cc %�0c6�c�������c�� c��� �c����c���ccc (�0�c�������c�������c.���c�� c�������c�� c�����������,�������c������c����c�c

c ����c��c�� �����c������ ��� 0�cc

Page 20: 52911955 Vacuum Sci Notes

�����c����� ���2�c� �c

&��c��������c����������c����c�c�c� ��cB��c�����c"�c�c���c��c���������c���c

�������c������c��c���� cB��c����c.�� ����c���c����0c�c��c���c��c�� �c���������c��c

�������c�� ����c����c#����������c����c� �c� �!�����c���c��c�����������c����c�c

����� ,���c�����c��c� �����c��������c�������c�� c �������c����c&���c����c����c

����c���c��c�����������c����c�� ���������� c����c��c���������c�� c���c�������c

�� ����,�������c�� �� �����c��c���� c������c&��c���� �c��������c�� ���������� c

����c�����c���c�����cc

c

��������c-���������c

8��c����������c����c��c�c������c��������c� ����c��c������c�c��� c��c���������c

�����c�����c����c�c� �����c�������c���c����c��c�c������c������ �c

&��c��������c����������c����c.&#50c�����c��c�� ��c ��������c��� ���,�����c

���������c&��c� �c����c� ��c��c����c��c��������c���c���������c���c� �c�������c��c

�c�����c�� �� c�������c��c����c���c����� ����c ��������c c����c�� ����c� ��c��c

���� ���c���� c�����c�c����c�� ����c���c���������c �����c��c����� ��� �c�c����c

��������c�c�������c�� ����c� ��c���c��������c.��������c����� c�c� ������c

� ��c����c�������c���c���� ���c�����c�� ����c���c��!���c����0�c&��c�������c��������c

����c����c���c��� �c����c��c���c������ �c&��c �������c�����c��������c����c ����c����c

���c������c��c��������c��c�� �c���c����� c� �� �c��������c.����c���c���c

� �c����������c ������0�cE���c���c����c��c����c ������c��c���c��c �������c�c�� �c

�������c���������c&��c����c�������c���c ����� �����c����� �����c������c��c���c

� �� �c��c���c���c���c���c��c���c�����c������c

E��c���c������c�� ��c�������c����c�� c �������c���c���c�c�����c���c��� �����cc

&�c�������c���c�������c����c��c���c��������c����c���c���������c����c���c��c������c��c

��!���c��� ����c����� ��� ��c"�c�����c��c�����c����c���c �� ��� c���c��c�� �����c

�������c��c����c�c�������c� ����c� ��c��c���c �����c��c���c��������c����c�c�c��c

������I�c�������c�����c

c

����������ccc

%�0c"�c�c������c���c����c���cc

(�0c-��c����c�c����c�������c�����cc

�������������c

%�0c&��c����c����c� ���������c�c���c� ����c�c���� ��c�c����c���c������� �cc �������c���c����������c� ���c���c��c �������c�� ��������c��c���������c�� c

c ��� ������c��c��c��� �����c������c���c���c����c�������c����������c����c

c ���c��c���c��� �c

(�0c c�������� c���c���c����c �������c���c���c���c����c��c���c��c�����������c����c�c����c�� c ��������c����c���c�c���c � �c���c���c

��������c

c

c

�����c'2����2�����c������c-� �c('����c

'2�&���2�����c������c�c�c����� c��c��c �,U c����c����c �����c�� �c�����c

��������c����c������c����c#���� ��c��c���c���� c� ����c��c����c������c����c��c���c

�c�c����� c����c����c�c����c��c ����c���c� �� �c��c��c����c%;,Cc&� �c&��c6HLc�������c

Page 21: 52911955 Vacuum Sci Notes

���c��c�������c����c��c����c����c� �c�� ��c���c�� �c��c����c����c�����c��*�c��c�� c

������ c��c�� �����c������ ��� c��� �c���c�c��c���c

c

�������2���cc

"�c������c����c6HLc���c� �����c���������� c�������c��c �������c����c�����c

�� ������ �c���������c�� c�� �����c����c��c�������c����� ��� ��c&��c� �c���c�������c

�� c�����������c���c� �� ��c c�����c�����������c�c���c ������c��c �������c���� ����c

� ��c � �c���c���c�c� ����c6HLc����c����c�����������c��c�����������c���c� �� �c

��c�����,���c�������c

c

��������c-���������c

"�c���c�� �c��c6HL�c���c �������c�����c�c�� ���c�c�c����c� ����c��� c��c�c���� ����c

��� ����c �c�������c�c��c����c��cU 2%:S �c���� ���c��c����� c�c���c� ��c� c

���� ���c��� ����c&��c����� c�c����������c��c�c����� ��� �c��c� ����cV=;;A-�c����� c

�c���� ���c� c�����c��������cL��c� �c������ ���c��c���c� ����c���c������c����c���c

���� �� �c+���c�c����� c��c����c������c��c���c������� ��c�� c��������c����c��������c

��������c��c�c����c��c���c��c���������c�c�������c���� c������c��c�c����c����� ��� ��c

:;;c��cA;;cO-�c&��c�� ���c��� ���c���c���c�c��� ����c���c�����c��c������c����c

���c���*�c�� ����c�c�������c�� ���c �����������'c����!�����c �����������c�c���c

���������c����c�� ����c���c��c������c����c"�c�c�����c�������c������ �c���c�� ����c

�c ���� ���c��c��������c

c�����c���c��c����� �c�����c��c�c�� ��c� ���� �c����c�� c����� c��������c� ����c

� ���c����������c����c �������c���c��c����� ��� �c�c���c�c��������c"�c���c����c

��c����� ��c����� c�c��������c��c���c����� �c

c

&��c�� �� �����c��c�c�����c6HLc�c��� ���� ���c�c����������c����� ��� ��c���*���c

� ���������c� ����c��������c�����c�������c�������c.�� c�(c���c�� c������ c���0c���c

�� ��������c

���c

����������c

%�0c����� c�������c���c�����c�����������c"�c���c����������c����� ��� �c�c����������c����c���c��*���c����� ��� �c��c���c������ c��� �c���c6HLc�c��� ����c���c����� c

��c��c���������c�� ���c��*�����c&��c����� �c�c�� ������ �c��� ������c������c��c

�����c���c����c��c����� ��c������ ����c���c���� ���2���� ��c���c���c

�����c��� �����c���c6HLc� ����c���c����!�����c��c�������c�����c

c

�������������c

%�0c����� ��c��c&�c����������c��������c6HLc�������c� ����c���c �*c��c����� c����,

���c.�������c�������c� c�(c��� ���������0c���c�c���� c�������c��������c