半導体産業用製品

For SemiconductorCATALOGUE No.EC06

２０１８．２ 改訂

http://www.valqua.co.jp

CATALOGUE No.EC06 -- SEN

カタログ記載内容：2018年2月現在

2018.2Nippon Valqua reserves the right to change technical specifications inthis catalogue without notice. The data contained with in this catalogue can only be taken as a guide.All Rights Reserved.

このカタログの内容は製品の機能向上またはその他の理由により、予告なく変更することがありますのでご了承ください。このカタログの記載数値は参考値であり、あらゆる条件に機能を保証するものではありません。また許可なく転載、複製することを禁じます。

●ご用命は

Ⓒ2000 FULLERTON TECHNOLOGY CO.,LTD.

4650-6345）30（.xaF　4737-4345）30（.leT4650-6345）30（.xaF　4737-4345）30（.leT4650-6345）30（.xaF　4737-4345）30（.leT1265-637）110（.xaF　0265-637）110（.leT6620-562）220（.xaF　4155-462）220（.leT9156-42）4920（.xaF　7132-22）4920（.leT8220-144）540（.xaF　5171-444）540（.leT7176-143）720（.xaF　9648-143）720（.leT3551-104）640（.xaF　4551-104）640（.leT3122-78）5450（.xaF　7572-78）5450（.leT4746-118）250（.xaF　1546-118）250（.leT2007-77）6650（.xaF　1107-77）6650（.leT0596-353）950（.xaF　2596-353）950（.leT3057-62）9470（.xaF　1913-62）9470（.leT3250-244）670（.xaF　2250-244）670（.leT0405-5626）60（.xaF　1305-5626）60（.leT1405-5626）60（.xaF　2305-5626）60（.leT1861-722）270（.xaF　0861-722）270（.leT1758-142）970（.xaF　7289-142）970（.leT2159-534）680（.xaF　1159-534）680（.leT7653-279）980（.xaF　1333-479）980（.leT6642-45）7280（.xaF　2642-45）7280（.leT3268-652）280（.xaF　1557-052）280（.leT6615-22）4380（.xaF　2105-72）4380（.leT

■営業本部　●営業１課（東京）　●営業２課（東京）　●カスタマーサービス課（東京）　●札幌営業所　●仙台営業所　●日立営業所　●京浜営業所　●高崎駐在所　●厚木駐在所　●富士駐在所　●名古屋営業所　●豊田営業所　●四日市駐在　●彦根営業所　●北陸営業所　●営業課（大阪）　●カスタマーサービス課（大阪）　●堺駐在所　●姫路営業所　●岡山営業所　●松山営業所　●中国営業所　●広島駐在所　●周南営業所

■本　　社　〒141-6024 東京都品川区大崎2-1-1（ThinkPark Tower 24Ｆ）

　●宇部駐在所　●北九州営業所　●長崎営業所　●熊本駐在所　●延岡駐在所　●大分駐在

1770-23）6380（.xaF　7272-13）6380（.leT5574-135）390（.xaF　1814-125）390（.leT6210-268）590（.xaF　5452-168）590（.leT0753-463）690（.xaF　1153-463）690（.leT2910-29）2890（.xaF　3910-29）2890（.leT

Tel.（090）2502-6125 0439-555）790（.xaF　

6737-4345）30（.leT 　 2650-6345）30（.xaF

1158-02）6340（.leT 　 5158-02）6340（.xaF1101-64）9740（.leT 　 9522-64）9740（.xaF

0257-4345）30（.leT 　 4620-5345）30（.xaF6859-1084）60（.leT 　 8859-1084）60（.xaF4441-149）480（.leT 　 3465-349）480（.xaF

7712-0155）30（.leT 　 7735-1953-）30（.xaF

■海外統括本部　●貿易チーム

■株式会社バルカーエスイーエス

　●本　社（千葉）　●鹿島営業所

■株式会社バルカーテクノ　●本　社（東京営業所）　●大阪営業所　●福山営業所

■バルカー・ガーロック・ジャパン株式会社　●本　　　社

2837-4345）30（.leT 　 2650-6345）30（.xaF6305-5626）60（.leT 　 2405-5626）60（.xaF

■高機能エラストマー事業部

　●営業部（東京）　●営業部（大阪）

分　類Categories

製　品Products

工　程Process

名　称Name

成型品・加工品Molded and Machined Products

素材・テープMaterials and Tapes

チューブTubes

頁Page

ウエーハ製　造Wafer

Manufacturing

デバイス製造Device Manufacturing

前工程ウエットWet WaferProcess

前工程ドライDry WaferProcess

工場建設建屋・プラントPlant Building

and Utility後工程

AssemblyProcess

No.

加工品Molded

and MachinedProducts,

Tapes, and Tubes

配管材料VALFLON

LinedProducts

バルフロン　切削加工品・溶接加工品VALFLON PTFE Machined Products and Welded Products

素材・テープMaterials and Tapes

アーマーシリーズARMOR Series

フローリッツシリーズFLUORITZ Series

バルカーボンデッドゲートシールVALQUA Bonded Gate Seal

シリコーンゴム（VMQ）Silicone Rubbers

ふっ素ゴム（FKM）Fluoro-Rubbers

HUVc ラバーHUVc Rubber

メタル中空OリングMetal Hollow O-ring

クリーンボルトClean Bolt

スライドシャフトSliding Shaft

高純度無酸素銅ガスケットHigh Purity Oxygen-Free Copper Gasket

各種エンジニアリングプラスチックの特性比較表Engineering Plastics Comparison Table

ふっ素樹脂の特性比較表Fluorocarbon Plastics Comparison Table

ベローズ・その他製品Bellows and other products

エラストマーElastomers

ガスケットGaskets

成型品・加工品Molded and Machined Products

配管部品Pipes and Fittings

バルフロン PTFE角槽VALFLON PTFE Tanks

バルフロン コードシール （ソフト）VALFLON Cord Seal <Soft>

バルフロン ソフトシートVALFLON Soft Sheet

トライパックTRYPACK

ダイナミックベローズ MシリーズDYNAMICBELLOWSTM M Series

ダイナミックベローズ VシリーズDYNAMICBELLOWSTM V Series

バルフロン ジャケットガスケットVALFLON Envelope Gasket

PTFEチューブPTFE Tubes

PTFE EXチューブPTFE EX Tubes

バルフロン ベンダロンチューブVALFLON Corrugated Tubes

バルフロン ライニング製品VALFLON Lined Products

分　類Categories

製　品Products

工　程Process

名　称Name

頁Page

ウエーハ製　造Wafer

Manufacturing

デバイス製造Device Manufacturing

前工程ウエットWet WaferProcess

前工程ドライDry WaferProcess

工場建設建屋・プラントPlant Building

and Utility後工程

AssemblyProcess

No.

シール製品Seal Related

Products

シール製品Seal Related

Products

その他Others

資料Data

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1-1 3

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6

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9

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12

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ビクトラ-ERVICTRA-ER5-4 10

目　次 Contents

●本製品は、人体に移植したり、体液や生体組織に接触する医療器具への使用を目的として特別に設計製造したものではありません。当該用途に使用される場合は、事前に弊社にご相談ください。

●200℃を越えて加熱されるところでは、排気や換気を十分に行い、分解ガスを吸わないようにしてください。●廃棄する場合は「廃棄物の処理及び清掃に関する法律」に従って処理を行い、絶対に焼却をしないでください。※労働安全衛生上の注意については SDS（製品安全データシート）をご確認ください。

バルフロン（ふっ素樹脂製品）の取扱いに関してのご注意

登録商標一覧当カタログ中には、商標に関する表示を省略しておりますが、以下は弊社の日本における登録商標です。● アーマー 　　　　　● アーマークリスタル ● アルティックアーマー　　● コードシール　　● スプレーボール● スポックアーマー　　● ダイナミックベローズ　　● トライパック ● バルフロン ● フリッドアーマー　　 ● フローリッツ　　

●Products in this catalog are not designed for usage on medical equipment that may come in contact with body fluids or any organic tissues. Please consult us for any application that may result in the situation described above.

●Please take necessary precautions when applying heat above 200℃. Ventilate appropriately and ensure that decomposed gas is not inhaled.

●Please dispose the items in compliance to local regulations. DO NOT INCINERATE.※Please refer to the Material Safety Data Sheets (SDS) for environmental health and safety information.

Safety precautions regarding VALFLON （VALQUA PTFE product）

List of registered trademarks.Registered trademarks are abbreviated within descriptions for the purpose of this catalog. Below is the list of Valqua’s registered trademarks within Japan.● ARMOR　● ARMOR CRYSTAL　● FLID ARMOR　● FLUORITZ　● SPOQ ARMOR　● ULTIC ARMOR　● VALFLON　● VICTRA-ER　

❶ ❷

1 成型品・加工品

高度な切削加工技術を駆使したバルフロン 切削加工品です。

Our PTFE shapes are processed using advanced machining techniques.

1-1 バルフロン 切削加工品・溶接加工品 VALFLON PTFE Machined Products and Welded Products

1-3 成型品・加工品 Molded and Machined Products

1-2 バルフロン PTFE角槽VALFLON PTFE Tanks

バルフロン PTFEを成型加工して製作した角槽です。比較的厚肉なため高温用途にもご使用いただけます。ご要望により継手など部品類の溶接加工も可能です。丸形槽の製作も可能です。

VALFLON tanks are molded and machined. Thicker tank thicknesses make it suitable for use at higher temperatures. Joints and fittings may be welded upon request. Cylindrical tanks are also available.

Molded and Machined Products

PTFE Machined ProductsPTFE 切削加工品

Rectangular Tank Rectangular Tank with Flange Overflow Tank単体角槽 オーバーフロー槽

バルフロン PFAを中心とした成型品はご要望に応じて様々な形に射出成型加工、切削加工が可能です。PFAに限らず、他のふっ素樹脂やPEEK、PEIなどの超エンプラ類についても、ご相談ください。

VALFLON PFA and other molded products can be made in various forms through extrusion and machining. Other fluorocarbon resins and engineering plastics such as PEEK and PEI are also available upon request.

M4、M5、M6：平小ねじ、さら小ねじ、首下30mmM8：六角ボルト 首下40mmPFA bolts and nuts for size M4, M5, M6 : cylinder head and flat headbolt with 30mm nominal length for size M8 : hexagonal head bolt with40mm nominal length

PFA ボルト・ナット

M4M5M6M4M5M6

M4M5M6

M8

M8

0.70.810.70.81

0.70.81

1.25

1.25

2.63.44.02.63.03.4

3.44.25.2

6.0

6.8

79.210.37.89.911.8

8.19.311.5

16.1

15.1

HM0430HM0530HM0630SM0430SM0530SM0630

NM0434NM0542NM0652

RM0840

NM0868

ねじの呼びNominal Diameter

呼び番号PartNumber

種類Kind

平小ねじcylinder head bolts

さら小ねじflat head bolts

六角ボルトhexagon head bolts

六角ナットhexagon nuts

ねじの寸法（mm） SizeピッチPitch H C

■寸法表 Size Table

PTFE切削加工品（スプレーボール）PTFE Machined Products （Spray Ball）

エンプラ切削加工品（PTFE, PEEK）Machined Engineering Plastics（PTFE, PEEK）

ポリイミドフィルムヒーターPolyimide Film Heaters

ポリイミド加工品Polyimide Machined Products New VALFLON

Bottles

ニューバルフロン 中空容器フランジ付角槽

バルフロン PFA・PTFEはご要望に応じた様々な形状に溶接加工が可能です。特殊形状品、試作検討、薬品シール等様々な用途に対応できます。

VALFLON PFA and PTFE parts can be welded into various shapes upon request. Examples include customized designs, prototyping,chemical seals, and other applications.

溶接加工品（PTFE-PFA）PTFE-PFA Welded Products

❸ ❹

備考 Hはボルト頭、ナットの高さ　Cはボルト頭、ナットの径Remark H:height of head for bolts or thickness of nut. C:width across corners of bolts head or nut.

2 素材・テープ Materials and Tapes

2-1 素材・テープMaterials and Tapes

バルフロン 素材、テープはご要望の色々な形状に切削加工 またはカットしてご使用いただけます。特にテープには特殊な 表面処理による接着性テープや粘着材を塗布した接着テープもございます。また、素材はPTFEをはじめPFA・PCTFEなどにも対応出来ますので、ご相談ください。

Our VALFLON Materials and tapes are available in various designs via machining or cutting. Tape products are also available in surface treated cementable and adhesive coated forms.We support other materials including, PFA, and PCTFE. Please contact us for details.

バルフロン シートVALFLON Sheets

バルフロン ロッドVALFLON Rods

バルフロン スリーブVALFLON Sleeves

バルフロン テープVALFLON Tapes

バルフロン 接着性テープVALFLON Cementable Tapes

3 チューブ Tubes

PTFEチューブは純粋性、化学的安定性、透明性、不燃性に優れており、高純度薬品の移送用として適しています。

PTFE tubes have excellent purity, chemical stability, transparency, and non-combustibility, making it suitable for transfer of high purity chemicals.

3-1 PTFEチューブ PTFE Tubes

EXチューブは屈曲疲労性、透明性、熱融着性、2次加工性に優れたPFAと同等の特性を有するPTFEチューブです。

EX tubes are special PTFE tubes with similar flex life, transparency, thermal fusibility, and machining properties as PFA tubes.

3-2 PTFE EXチューブ PTFE EX Tubes

EXチューブを同心円状にコイル加工したチューブで最小曲げ半径、曲げ荷重が小さくコンパクトな配管設計が可能です。

Corrugated tubes are EX tubes with bellows-like shapes. The bellows portion reduces the tube's bending radius and load, allowing for smaller, more compact piping designs.

3-3 バルフロン ベンダロンチューブ VALFLON Corrugated Tubes

6

■寸法表 Size Table

68101212.7

4681010.7

11111

8101212.7

ミリサイズ（mm Sizes）

3.186.359.5312.7019.05

1/81/43/81/23/4

1.653.966.359.5315.87

0.761.19

1.59

呼びnominal size

外径outer diameter

内径inner diameter

肉厚wall thickness

インチサイズ（Inch Sizes）呼び

nominal size外径

outer diameter内径

inner diameter肉厚

wall thickness

■寸法表 Size Table

0.50.51.01.01.0

1.01.0

1.01.01.5

23468

1210

141516

346810

1412

161719

346810

1412

161719

ミリサイズ（mm Size）

3.186.359.5312.7019.06

1/81/43/81/23/4

1.653.966.359.53

0.761.19

1.5915.87

呼びnominal size

外径outer diameter

内径inner diameter

肉厚wall thickness

インチサイズ（Inch Sizes）

811131018

68101/43/8

呼び径nominal diameter

最小曲げ半径minimum bending radius

呼びnominal size

外径outer diameter

内径inner diameter

肉厚wall thickness

備考１　標準在庫品　色：自然色　長さ：１０m巻、５０m巻　　２　標準寸法以外のものも製作いたします。Remarks１ Standard stocks / color : natural, length : 10m, 50m　　　　 2 Non-standard items are available by custom orders.

備考 その他のサイズについてはご相談ください。Remark Please contact us for custom sizes.

■最小曲げ半径Minimum Bending Radius Unit

単位 ： mm1

200100 101.191.59

7.810.413.08.312.4

84991028298

68106.359.53

68101/43/8

呼び径

nominaldiameter

ミリサイズMillisizeインチサイズInchsize

肉厚

tube wallthickness

全長

totallength

チューブ外径

tube outerdiameter

ベローズ部長さbellowslength

ベローズ外径bellowsouterdiameter

端部直管長さlength ofstraightportion atboth ends

中間部直管長さlength ofstraightportionbetweenbellows

■寸法表 Size Table 単位 ： mm unit

C L(m)d t D A B

注（1）　中間部直管を切断して継手接続の場合は、ベローズ部端部より50mmは避けてください。（＊ 印部分）

備考 上記以外の寸法については別途ご相談ください。 Note（１） When cutting the tube for joint connections, leave at least 50mm of the

straight segment （＊ marked portion）.Remark Please contact us for custom sizes.

❺ ❻

（1）

4 バルフロン ライニング製品 VALFLON Lined Products

バルフロン配管部品は接液部を全てふっ素樹脂（PTFEまたはPFA）でライニングしたクリーンな耐薬品性配管ラインを実現します。弊社標準で様々なアセンブリー部品がご用意出来ますので、ご相談ください。

VALFLON PTFE or PFA Lined pipes and fittings offer a high level of chemical resistance for clean handling. Various assemblies and parts are available.

4-1 配管部品Pipes and Fittings

バルフロン 配管部品VALFLON Lined Pipe

バルフロン フレキシブルホースVALFLON Flexible Hose（with Wire Braid）

バルフロン PFAライニングボールバルブVALFLON PFA Lined Ball Valve

バルフロン PTFEベローズVALFLON Expansion Joint

5 エラストマー Elastomers

アーマーシリーズは弊社独自のゴム変性改質技術により、純粋性、非粘着性、及び耐プラズマ性などの機能を付与した製品です。

ARMOR series provides high purity, low adhesion, and high plasma resistance through our original rubber modification method.

5-1 アーマーシリーズARMOR Series

アーマークリスタルARMOR CRYSTAL

FLID ARMOR（フリッドアーマー）（真空装置ゲート向け標準普及グレード）

SPOQ ARMOR（スポックアーマー）（石英非粘着グレード）

HYREC ARMORTM（ハイレックアーマーTM）（パーティクル対策耐熱グレード）

LABE ARMORTM（レイブアーマーTM）（アッシング装置向け耐O2プラズマグレード）

アルティックアーマーFULTIC ARMOR F

製品名PRODUCTS

製品名PRODUCTS

フリッドFLID

フリッドアーマーFLID ARMOR

スポックアーマーSPOQ ARMOR

ハイレックアーマーTM

HYREC ARMORTMレイブアーマーTM

LABE ARMORTM

グレード、色Description & Color

パーティクル対策グレードParticle Contamination Prevention （琥珀透明）Transparent Amber

卓越した純粋性Excellent Purity耐プラズマ性Resistance to Plasma

CVD装置CVD Equipmentドライエッチング装置Dry Etcher

パーティクル対策グレードParticle Contamination Prevention（濃紺）Deep Blue

卓越した純粋性Excellent Purity耐クリーニングガス性Resistance to Cleaning Gas非粘着性（対金属及び石英）Less-adhesive to Metal snd Quartz耐プラズマ性Resistance to Plasma

CVD装置CVD Equipmentドライエッチング装置Dry Etcher

パーティクルの発生が特に問題となるプラズマ処理装置のシール材Seal for plasma equipment with extensive need for preventing particle contamination.

パーティクルの発生が特に問題となるプラズマ処理装置のシール材Seal for plasma equipment with extensive need for preventing particle contamination.耐クリーニングガス性が必要なシール箇所Seal for chemical resistance

特長Features

主用途Main Applications

推奨使用部位（例）Location

最高連続使用温度（1）（℃）Max Continuous Operating Temperature

150 200

アーマークリスタルARMOR CRYSTAL

アルティックアーマーFULTIC ARMOR F

グレード、色Description & Color

標準普及グレードStandard Grade（黒）Black

純粋性Purity耐摩耗性Resistance to Abrasion

・搬送用ベルト Carrier Belt・真空装置ゲート部 Vacuum Equipment Gate

・真空装置ゲート部 Vacuum Equipment Gate

特殊低摩擦グレードLow Friction（黒）Black

純粋性Purity耐摩耗性Resistance to Abrasion非粘着性（対金属）Less-adhesive to metal

・CVD装置 CVD Equipment・ドライエッチング装置 Dry Etcher

石英非粘着グレードLess Adhesion to Quartz（白）White

純粋性Purity非粘着性（対石英）Less-adhesive to Quartz耐プラズマ性Resistance to plasma

・アッシング装置 Asher

石英非粘着・耐酸素プラズマグレードLess Adhesion to Quartz, Oxygen Plasma Resistant（青）Blue

非粘着性（対石英）Less-adhesive to Quartz耐酸素プラズマ性Resistance to plasma

・CVD装置 CVD Equipment・ドライエッチング装置 Dry Etcher

・ウェハへの汚染（接触　痕、摩耗粉等）を嫌う　搬送用ベルト Transfer belt requiring minimal wafer contamination (contact marks, abrasion particles, etc.)

・特に摩耗によるパーティ　クル発生が問題となる　真空装置ゲート部 Vacuum equipment gates where abrasion causes particles

・石英との固着が問題となるシール部 Sealing area to eliminate quartz adhesion・プラズマ処理装置のシール材（2） Seal for plasma Equipment・腐食性ガスを用いるCVD装置のシール材 Seal for CVD Equipment using corrosive gas

・石英との固着が問題となるシール部 Sealing area to eliminate quartz adhesion・耐酸素プラズマ性が必要となる　シール箇所（2） Seal for Oxygen plasma resistance

・パーティクルの発生が特に問題となる　プラズマ処理装置のシール材（2） Seal for plasma equipment with extensive need for particle contamination prevention・耐熱性が必要なシール箇所 Heat resistant seal locations

パーティクル対策耐熱グレードHeat and Plasma Resistant（濃琥珀透明）Deep Transparent Amber

卓越した純粋性Excellent Purity耐プラズマ性Resistance to plasma耐熱性Resistance to Heat

特長Features

主用途Main Application

推奨使用部位（例）Location Example

最高連続使用温度（1）（℃）Max Continuous Operating Temperature 200 200 200 200200

注（1）　最高連続使用温度は、あくまで目安であり、使用される装置環境により変化します。　（2）　エッチング・プラズマガスが原因で装置が使用できない場合は、弊社にご相談ください。

Notes（1）　Max temperatures are for reference only, and actual performance will depend on the equipment environment. 　　 （2）　Please contact us for any issues with seal use in certain etching or plasma gas environments.

❼ ❽

Standard Grade for Vacuum Gate Less Adhesion to Quartz Particle and Heat Resistance O2 Plasma Resistance for Ashing Equipment

5 エラストマー Elastomers

パーフロロエラストマー（FFKM）であるフローリッツは化学的安定性に優れていることから、広範囲の極めて優れた耐薬品性を有し、更に高温下の使用においても優れたシール性を発揮いたします。

Our FLUORITZ Perfluoroelastomer（FFKM）series has excellent chemical stability. It is resistant to a wide range of chemicals and can seal at elevated temperatures.

VICTRA-ERはふっ素ゴムなどのエラストマーとPTFEを組み合わせることで、高いシール性と卓越した耐ラジカル性を兼ね備えた製品です。

VICTRA-ER combines an elastomer such as FKM with PTFE to achieve both high sealing performance and excellent radical resistance.

バルカーボンデッドゲートシールは、究極のゲートバルブシール材としての専用設計により、メタルタッチ防止・固着による脱落防止・転動を防止し、耐久性とメンテナンス性の向上を実現しました。また、充填材などを極力使用しない配合により高い純粋性を有しております。

VALQUA Bonded Gate Seals provide excellent performance through its original design. The design prevents metal to metal contact, dropout from adhesion, and rolling, improving durability and ease of maintenance. High purity is also maintained due to minimal use of filler materials.

5-3

5-2 フローリッツシリーズFLUORITZ Series

5-4 ビクトラ-ERVICTRA-ER

バルカーボンデッドゲートシール～高機能トランスファーゲートバルブVALQUA Bonded Gate Seal-High Performance Transfer Gate Valve

フローリッツ-SB FLUORITZ-SB

フローリッツ-TR FLUORITZ-TR

260

72

3.1

11.1

5

160

フローリッツの物理特性FLUORITZ Series

シール材質Seal Material

フローリッツ-T20FLUORITZ-T20

シール材色Seal Color

黒Black

黒Black

特長Features

動的シールに適したFFKM材料FFKM Material Selection for Dynamic Seal純粋性High Purity耐ラジカル性High Radical Property耐熱性Heat Resistance

主用途Main Usage

PE-CVD・LP-CVDプロセスチャンバーProcess Chamber

フリッドFLID

耐摩耗性Abrasion Resistanceゲートプレート金属とチャンバー金属の接触防止No Metal to Metal Contact金属への非粘着性Less-adhesive to Metal

PVD搬送系PVD TransferロードロックLoad Lock

フローリッツ-TRFLUORITZ-TR

耐クラック性Crack Resistance

純粋性Purity

耐クラックCrack Resistance

200

77

8.1

17.9

160

44

フローリッツ-SBFLUORITZ-SB

標準Standard

極めて優れた耐薬品性

Excellent Chemical Resistance

黒Black

300

77

9.3

20.0

160

10

フローリッツHSFLUORITZ-HS

耐熱Heat Resistance

極めて優れた耐熱性Excellent Heat Resistance低圧縮ひずみ性Low Compression Set

黒Black

製品名ProductグレードGrade色Color

最高連続使用温度（℃）Max Continuous Operating Temperature

硬度（ショアA）Hardness (Shore A)

100％モジュラス（MPa）100% Modulus引張強度（MPa）Tensile Strength伸び（%）Elongation

特長Features

200℃×72hrs圧縮永久ひずみ率（%）Compression Set

濃褐色Deep Brown

■特長及び用途 Feature and Application

❾ 10

シール材質Seal Material

D2570＋PTFE

特長Features

耐ラジカル性Radical Resistance耐熱性Heat Resistance

主用途Main Usage

NW継ぎ手NW Joints

ドライエッチング装置Dry EtcherCVD装置

CVD Equipment

J27＋PTFE耐ラジカル性Radical Resistance純粋性Purity

NW継ぎ手NW Joints

ドライエッチング装置Dry EtcherCVD装置

CVD Equipment

耐プラズマ性Plasma Resistance

FFKM

良Good

FKM

劣Poor

PTFE

優Excellent

VICTRA-ER

優Excellent

シール性Seal Capability

良Good

優Excellent

劣Poor

優Excellent

【コンセプト】 Concept

引張強度Tensile Strength

（MPa）

伸びElongation（%）

100%モジュラス100％ Modulus（MPa）

圧縮永久ひずみ（1）Compression Set

（％）

【一般特性】　右記断面例のうち、FKM部に関してのデータProperty Data for FKM Portion

注（1） 試験条件：200℃、圧縮率=25％、試験時間=72hNote（1） Temperature: 200 deg C, Compression Ratio: 25%, Test Time: 72h備考 表中の数値はすべて実測値であり、規格値ではありません。Remark All values on the table are measured values and not standard values.

PTFE（耐ラジカル機能）PTFE（Radical Resistance）

断面図Cross Section Example

硬さHardness（Shore A）

シール材質Seal Material

72 13.6 230 3.2 12

64 13.9 240 2.5 25

FKM（シール機能）FKM （Sealing）

D2570＋PTFE

J27＋PTFE

備考 表中数値は測定値であり、規格値ではありません。Remark Values are measurements and not specifications.

5 エラストマー

ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形し、真空脱ガス処理したものです。炭化水素系など放出ガスを著しく減少させた超真空用です。断面形状は角型、甲丸などがあります。

A fluoro-rubber O-Ring is treated in a vacuum chamber for degassing. This greatly reduces hydrocarbon outgassing, suitable for ultra high vacuum applications. Round and square shaped cross sections are available.

弊社のゴム配合技術により、例えば以下の種類があります。

The following Silicone materials are examples of VALQUA's compounding techniques for characteristics useful for semiconductor manufacturing.

弊社のゴム配合技術により、例えば以下の種類があります。

The following Fluoro-Rubber materials are examples of VALQUA's compounding techniques for characteristics useful for semiconductor manufacturing.

5-5 シリコーンゴム（VMQ）Silicone Rubbers

5-6 ふっ素ゴム（FKM）Fluoro-Rubbers

5-7 HUVc ラバーHUVc Rubber

Elastomers

E0170

E0870

用　　途Applications

耐熱耐寒用Heat and Cold Resistant

白　色White Colored

白　色White Colored

静電防止・帯電防止Static Protective

耐酸用for Acid

材 料 記 号Compound No.

D0675 （D0970）

D0270、D2770

D9270

D2270

D2470

用　　途Applications

耐熱水用for Hot Water

真空用、一般用for Common and Vaccum

材 料 記 号Compound No.

FKMHUVcラバーHUVc Rubber

01×10－7

1×10－6

1×10－5

1×10－4

1×10－3

1×10－2

10 20 30 40 50時　間　（h）time　 （h）

HUVcラバーOリングの放出ガス量経時変化Outgassing Over Time for HUVc Rubber O-Ring

放出ガス量　（Pa・m

3/s・m

2）

Outgassing Amount

6 ガスケット

バルフロンコードシール〈ソフト〉は、マシュマロ状のPTFEシール材です。ソフトで強靱なためシール面によくなじみ、低締付力で使用出来ます。

The VALFLON Cord Seal is a uniquely soft and tough PTFE sealing material. It conforms nicely to the sealing face and can be used under low tightening forces.

バルフロンソフトシートは、未焼成のPTFEフィルムを重ね合わせた柔軟なシート状のシール材料です。

VALFLON Soft Sheet layers unsintered PTFE films into a laminated sheet material for a flexible sealing material.

6-1 バルフロン コードシール 〈ソフト〉 VALFLON Cord Seal <Soft>

6-2 バルフロン ソフトシート VALFLON Soft Sheet

バルフロンPTFEジャケットで、中芯を完全に被覆し、外周を融着したガスケットです。

Inner core sheet is completely enveloped with PTFE envelope and its outer edge is sealed with welding.

6-3 バルフロン ジャケットガスケット － 外周融着形 － （ODSタイプ）VALFLON Envelope Gasket-Outer Edge Welded Type

Gaskets

標準寸法Standard Size

幅（mm）Width

厚さ（mm）Thickness（目安）

長さ（m）Length

2030502030502030

1

2

3

15

5

550

標準寸法Standard Size

太さ（mm）Thickness

長さ（m）Length

2468

4020107

51012

標準寸法Standard Size

幅（mm）Width

厚さ（mm）Thickness（目安）

長さ（m）Length

1.53.04.05.06.06.0

369121620

30158555

バルカーProduct

VALQUA Part Number区　分Shapes

シートSheet

ガスケットGasket

呼び厚さThickness

大きさSize

7GP61 1500×1500

打抜品最大外径：1450Maximum Diameter

0.5 1.0 1.52.0 3.07GP66

■断面図　Cross Section

■寸法　Size

■断面図　Cross Section ■断面図　Cross Section

〔特長〕

〔特長〕

Characteristics,

Characteristics,

①耐薬品性に優れクリーン度の高い要求にも安心して使用出来る。②ソフトで柔軟性に富み、低締付力でシール出来る。③現場での加工がハサミ、ナイフなどで簡単に行える。

1 : High chemical resistance and purity.2 : Soft and flexible for sealing at low tightening force.3 : On-site cutting is easy with scissors or knives.

①中芯が外部に露出していないため、環境、流体　を汚染しない。②外部から純水などがかかっても中芯材が濡れることが無いため、洗浄が容易に行えガスケット自体へのダメージもない。

1 : Core is not exposed to the environment or media, reducing risk of contamination.

2 : PTFE envelope protects the core from liquids, for easier cleaning without damaging the gasket.

ご注文の際は製品番号の末尾に-ODSをつけてください。In case order, please put "-ODS" at the end of part number .Example VALQUA No.(N)7030FLSS-ODS

融接着

11 12

6 ガスケット

メタル中空Oリングは金属管を円形や所定の形状に曲げ加工し、両端を接合仕上げしたガスケットです。表面被覆処理も出来ます。

Metal tubes are bent into the required shape, then both ends are welded together and polished. Various surface coatings are available.

トライパックはコイルスプリングを弾性要素とし、これにアルミニウムや被覆したOリング状金属ガスケットです。特に、ゴムや、メタル中空Oリングでは問題を生じる超高真空領域でも幅広い温度領域で使用で出来ます。

TRYPACK metal gaskets use a coil spring for elasticity, covered in one or two metal layers. It can be used in ultra high vacuum across a wide range of temperatures where rubber and metal hollow O-rings might not be suitable.

6-5 トライパック TRYPACK

6-6 高純度無酸素銅ガスケット（ベーカブルフランジ用）High Purity Oxygen-Free Copper Gasket ( for Bakeable Flange )

6-4 メタル中空Oリング Metal Hollow O-ring

Gaskets

■材料　Materials

■材料　Performance and Manufacturing Limitations

StructureThe gasket is a flat, simple shape. The flange structure is characteristic and is shown with the gasket below.

VALQUA’s Oxygen Free Copper material satisfies ASTM F68 Class 1 requirements. The figure below compares outgassing characteristics of conventional Oxygen Free Copper to that of a Class 1 material.

材　料Materials

管材質O-ring Material

ステンレス鋼Stainless Steel-

バルフロン コーティングVALFLON Coating金メッキAu Plating

ニッケルメッキNi Plating

被覆Coating材質Material

サービス温度（℃）Service Temperature Range

－250～540－250～820－250～820－250～870

－200～260－250～850－250～760

基本形、肉厚 0.5tBase Design 0.5mm Thickness

管　径Thickness of O-Ring

内　径Inner Diameter of O-Ring

超高真空～6.86MPaUltra High Vacuum～6.86MPa

φ0.9、φ1.6、φ2.4、φ3.2、φ4.8、φ6.4

φ6.35～φ2,500

（締付前）before tightening

（締付後）after tightening

外被 （アルミニウム A1050P）

内被（ステンレス鋼 SUS304）

コイルスプリング （ステンレス鋼 SUS304-WPB）

外被 （アルミニウム A1050P）

内被（ステンレス鋼 SUS304）

コイルスプリング （ステンレス鋼 SUS304-WPB）

No. 3645 二重被覆品Double Layer TRYPACK

Double LayerTRYPACK

外被 （アルミニウム A1050P）

コイルスプリング （ステンレス鋼 SUS304-WPB）

Single LayerTRYPACK

No. 3645 一重被覆品

No. 3645LS 二重被覆品

■構成金属材料　Materials and Structure

■性能及び製作範囲　Performance and Manufacturing Limitations

圧　力Pressure温　度

Temperature管径（φd）

Thickness of O-ring内径（φd）

Inner diameter of O-ringφ5～φ3,000

外被　Outer Layer Stainless Steel, Nickel

InconelInconel

内被　Inner Layerコイルスプリング　Coil Spring インコネル

インコネルステンレス鋼、ニッケル

標準外材料としては、下表のものも製作いたします。Non-standard materials that are available are as shown below.

φ1.7、φ2.6、φ3.8、φ5.6、φ8.0、φ10.0

－270～250℃

超高真空～6.86MPaUltra High Vacuum～6.86MPa

■構造

■ベーカブルフランジ使用状態図　Gasket Set Between Bakeable Flanges

ガスケットは平形の単純な形状であり、フランジ形状にその特長がある。図に使用状態の構造を示す。

弊社の無酸素銅はASTM F ６８ のCLASS1をクリアーする素材である。図に従来の無酸素銅とCLASS１の放出ガス分析例を示す。

ガスケット ベーカブルフランジGasket Bakeable Flange ３００加熱温度（℃）

Heating Temperature（℃）

ガス放出率

Outgassing Ratio

１

５

１０

５０

１００

４００ ５００

CLASS1

従来品Conventional Material

全ガスAll Gases

7 ベローズ・その他製品

構造解析技術を駆使して開発した、長寿命対応の金属溶接ベローズです。従来のタイプと比較して、山数を約40％減らすことが出来るため、低コストでの対応が可能です。

The metal welded bellows are developed using our structural analysis technology for long-term use. To lower cost, the number of crests can be reduced by 40% compared to the conventional bellows.

7-1 ダイナミックベローズ MシリーズDYNAMICBELLOWSTM M Series

各種金属の薄板を断面がS型・Y型などのリング状に成形後、内径及び外径を溶接加工した金属溶接ベローズです。

Thin, metal plates are formed into rings with S-type or Y-type cross sections, then welded at the inner and outer diameter to form a bellows.

7-2 ダイナミックベローズ VシリーズDYNAMICBELLOWSTM V Series

Bellows and Other Products

ステンレス鋼製六角穴ボルトに特殊化学研磨処理を施し、表面をクリーンに仕上げたボルトです。

Stainless steel bolts with a special chemical polishing treatment for a clean surface finish.

7-3 クリーンボルトClean Bolt

〈特長〉● 油脂・塵埃などが付着していない● 放出ガスが少ない● 表面粗さが小さい● 摩耗粉が発生しにくい● カジリにくい

Characteristics-No oil, particles on surface-Low out-gassing-Smooth surface-Less particle generation from abrasion-Discourages thread biting

13 14

例えば真空槽内の試料室に槽外から移動及び回転の運動を伝達します。

Sliding and rotational movement is transferred to a sample in the vacuum chamber from outside.

7-4 スライドシャフト（磁気結合型移動回転用移送機器）Sliding Shaft ( magnetically connected sliding and rotational movement transfer unit )

〈特長〉● 作動がスムース（シャフト部にリニアベアリング使用）● メンテナンスフリー（強力マグネット駆動）● 溶接接続構造● ストロークが長い（２００、４００、６００、８００）

Characteristics-Smooth motion （linear bearings for shaft）-Maintenance free （strong magnetic drive）-Welded assembly-Long stroke （200, 400, 600, 800）

注（1） その他の材質もあります。＊ 管径φ0.9のみ対応、その他はご相談ください。Note（1） other materials are available.

備考 詳細は、カタログをご覧ください。Remark Please refer to the catalogue for details.

備考 詳細は、カタログをご覧ください。Remark Please refer to the catalogue for details.

Outer Layer（Aluminum A1050P）

Inner Layer（Stainless Steel SUS304）

Coil Spring（Stainless Steel SUS304-WPB）

Outer Layer（Aluminum A1050P）

Coil Spring（Stainless Steel SUS304-WPB）

Outer Layer（Aluminum A1050P）

Inner Layer（Stainless Steel SUS304）

Coil Spring（Stainless Steel SUS304-WPB）

（SUS304）（SUS316） （1）（SUS316L）＊（SUS321）

8 ふっ素樹脂の特性比較表Characteristics Data of Fluorocarbon Plastics

比　重

融　点

線膨張係数

熱伝導度

屈折率

吸水率

耐熱温度

Specific Gravity

Melting Temperature

Linear Coefficient of Thermal Expansion

Thermal Conductivity

Index of Refraction

Coefficient of Water Absorption

Maximum Temperature (Continuous)

引張強さ

伸　び

圧縮強さ

曲げ強さ

曲げ弾性率

衝撃強さ

かたさ

Tensile Strength

Elongation

Compressive Strength

Bending Strength

Flexural Modulus

動摩擦係数 Kinetic Coefficient of Friction

Impact Strength

体積抵抗率

表面抵抗率

絶縁破壊強さ

誘電率

誘電正接

耐アーク性

耐薬品性ChemicalResistance

性　質Properties

単　位Unit

℃

ND

％（24h）

10－5/ ℃

－

－

D542

C177

D570

－ 0.10

D1706

D257 ＞1018

D257 ＞1016

D149 19.2

D150

D150

D495

－

－

19.6

－

－

－＞300 ＞300

D785

D256

D790

D790

D695

D638

D638

D50-55

－

16.3

0.55

－

12

200-400

14-35

0.2

D64

－

破壊せずno break

0.82

－

－

300

28-30

0.3

D60-65

－

破壊せずno break

0.55-0.65

－

16

250-330

19-22

0.4

D75

R50

破壊せずno break

1.37

39

50

100-400

46

0.37

－

R75-95

13.6-14.7

－

52-65

32-52

80-250

32-42

－

－

R95

破壊せずno break

1.65

49

－

200-300

49

0.39

D80

－

19.6-21.8

1.37

61-77

61-70

25-500

39-52

kgf・cm/cm

ロックウェルRockwell

Ω

Ω-cm

S

（1/8in厚さ）（1/8 inch thickness）

kV/mm

（60Hz）（106Hz）

（60Hz）（106Hz）

＜2.1＜2.1

＜0.0002＜0.0002

＞1018

＞1016

20

＜2.1＜2.1

＜0.0002＜0.0003

＞300

＞1018

＞1016

20-24

2.12.1

＜0.0002＜0.0005

＞360

1.2×1018

－

20-24

2.24～2.82.3 ～ 2.5

0.00120.009～0.017

50～70

2.0×1014

－

10.4

8.46.43

0.0490.17

75

＞1016

5×1014

16

2.62.6

0.00060.005

デュロメーターDurometer

（7kgf/cm2）（3m/min）

GPa

MPa

MPa

%

MPa

D696

D792

327

260

1.35

6.0

＜0.01

9.9（23～66℃）

2.14-2.20

310

260

1.35

6.0

0.03

12（21～100℃）

2.12-2.17

270

180

1.40

5.7

0.03

9～9.3（20～90℃）

1.7

220

180

－

4.7-5.3

－

4.5～7.0 － 8.5

2.1-2.2

245

150

－

3.8

0.01

1.68-1.69

166

135

1.42

4.5-5.8

0.04-0.06

1.75-1.78

275

205

1.34

6.0

＜0.01

8.3～10.5（－73～71℃）

2.12-2.17

10－4cal/cm・s℃

AS.T.M.試験法

Test MethodPTFE PFA FEP ETFE CTFE ECTFE PVDF

電気的性質

Electrical P

roperties

機械的性質

Mechanical P

roperties

物理的・熱的性質

Physical P

roperties

Specific Volume Resistivity

Suface Resistivity

Dielectric Breakdown Strength

Dielectric Constant

Dielectric Loss Tangent

Arc Resistance

Hardness

溶融アルカリ金属、アルカリ金属の液体、アンモニア溶液、アルカリ金属の特殊な有機化合物、及び高温、高圧下のふっ酸以外はすべての薬品に対し不活性Inert to all chemicals except molten alkali metals, liquid alkali metals, ammonia complexes, certain alkali metal - organic compounds, and high temperature, high pressure hydrofluoric acid.

ハロゲン化炭化水素にやや膨潤Slight swell- ing with halo- g e n a t e d h y d r o c a r -bons.

芳香族・エステル・ハロゲン化炭化水素に膨潤Swelling with a r oma t i c s , esters, and halogenated h y d r o c a r -bons.

芳香族・エステル・ハロゲン化炭化水素にやや膨潤S l i g h t swelling with a romat ics , e s t e r s , halogenated h y d r o c a r -bons.

極性溶媒に溶解発煙硫酸高温のアルカリに崩壊Decomposes w i t h po l a r s o l v e n t s , oleum, and high tempera-t u re a l ka l i solutions.

15 16

9 各種エンジニアリングプラスティックスの特性比較表Engineering Plastics Property Comparison

比　重

融　点

線膨張係数

熱伝導度

屈折率

吸水率

熱変形温度

Specific Gravity

Melting Temperature

Linear Coefficient of Thermal Expansion

Thermal Conductivity

Index of Refraction

Coefficient of Water Absorption

Heat Deflection Temperature

引張強さ

伸　び

圧縮強さ

曲げ強さ

曲げ弾性率

衝撃強さ

かたさ

Tensile Strength

Elongation

Compressive Strength

Bending Strength

Flexural Modulus

Impact Strength

体積抵抗率

絶縁破壊強さ

誘電率

誘電正接

耐アーク性

性　質Properties

単　位Unit

℃

℃（1.8Mpa負荷）

ND

％（24h）

10－5/ ℃

－

D648

D542

C177

D570

D1706

D257 1015

D149 24～30

D150

D150

D495

1016

15

3.8～5.5

1.2～3.0

34～200

－

－

－

－10～135 10～120

D785

D256 65.3～87.1 5.4～6.5

D790

D790

D695

D638

D638

－

R80～102

1.2～1.7

－

－

300～750

31～41

－

R120

破壊せずno break

2.3

93

69～86

110～120

64～66

－

R118

38-5.4

2.3～2.7

82-115

59-100

50-300

57

－

M109～110

3.3

152

140

60

96

－

M98～108

8.7 2.7

3.7

110

124

30～150

71～103

－

R123

3.8

96

110

1.0～3.0

66～80

kgf・cm/cm

ロックウェルRockwell

Ω-cm

S

106Hz

106Hz

2.6～3.2

0.35～0.38

1016

15～16

2.9

0.4～9.0 2～26 1.3～2.0

75～192

1015～1016

17～22

3.1～3.3

1016

85～128

1017

19

3.5

デュロメーターDurometer

GPa（22.8℃）

MPa

MPa

%

MPa

D696

D792

167～170

64

1.49

2.8

＜0.01

8～10

0.92～0.94

225

121～132

1.59

4.7

0.15

6.8

1.2

350～370

197～200

－

1.6

0.25

4.7～5.6

1.27

335

160

－

6.0

0.1～0.14

4～4.7（＜150℃） 4.9

1.3

285

105～135

－

6.9

0.01～0.1

1.35

225

50～85

－

4.2～6.9

0.08～0.09

6.0～9.5

1.30～1.38

10－4cal/cm・s℃

AS.T.M.試験法

Test MethodPP PC PBT PEI PEEK PPS

電気的性質

Electrical P

roperties

機械的性質

Mechanical P

roperties

物理的・熱的性質

Physical P

roperties

Specific Volume Resistivity

Dielectric Breakdown Strength

Dielectric Constant

Dielectric Loss Tangent

Arc Resistance

Hardness

メチレンクロライド、トリクロロエチレン等の極性溶媒に侵されるCorrosive re-actions to me- thylene chlo-ride, trichloro-ethylene, and o t h e r p o l a r solvents.

濃硫酸に溶解するS o l u b l e i n concentrated sulfuric acid.

熱硝酸に侵されるAttacked by hot nitric acid.

酸化性酸に侵されるAt tacked by oxidizing acid.

酸、アルカリに侵される。芳香族及び塩素炭化水素に溶解C o r r o s i v e reactions with acids and alkali solutions.Soluble t o a r o m a t i ccompounds and c h l o r i n a t e d hydrocarbons.

酸、アルカリに侵される。極性溶剤に膨潤Corrosive to a c i d s a n d alkali solutions. Swe l l s w i t h exposu re t o polar solvent.

備考 参考文献　Modern Plastics Encyclopedia 1981/1982　 三井フロロケミカル（株） 技術資料その他Remark Above table is based on Modern Plastics Encyclopedia 1981/1982, Dupon't-Mitsui Fluoro chemicals Co.,Ltd.

備考 参考文献　Modern Plastics Encyclopedia 1981/1982　 その他Remark Reference: Modern Plastics Encyclopedia 1981/1982

（1/8in厚さ）（1/8 inch thickness）

kV/mm

耐薬品性ChemicalResistance

MEMOMEMO

17 18

半導体産業用製品

For SemiconductorCATALOGUE No.EC06

２０１８．２ 改訂

http://www.valqua.co.jp

2018.2カタログ記載内容：2018年2月現在

CATALOGUE No.EC06 SEN

このカタログの内容は製品の機能向上またはその他の理由により、予告なく変更することがありますのでご了承ください。このカタログの記載数値は参考値であり、あらゆる条件に機能を保証するものではありません。また許可なく転載、複製することを禁じます。

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●ご用命は

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■営業本部●営業１課（東京）●営業２課（東京）●カスタマーサービス課（東京）●札幌営業所●仙台営業所●日立営業所●京浜営業所●高崎駐在所●厚木駐在所●富士駐在所●名古屋営業所●豊田営業所●四日市駐在●彦根営業所●北陸営業所●営業課（大阪）●カスタマーサービス課（大阪）●堺駐在所●姫路営業所●岡山営業所●松山営業所●中国営業所●広島駐在所●周南営業所

■本　　社　〒141-6024 東京都品川区大崎2-1-1（ThinkPark Tower 24Ｆ）

●宇部駐在所●北九州営業所●長崎営業所●熊本駐在所●延岡駐在所●大分駐在

1770-23）6380（.xaF　7272-13）6380（.leT5574-135）390（.xaF　1814-125）390（.leT6210-268）590（.xaF　5452-168）590（.leT0753-463）690（.xaF　1153-463）690（.leT2910-29）2890（.xaF　3910-29）2890（.leT

Tel.（090）2502-6125 0439-555）790（.xaF　

6737-4345）30（.leT 　 2650-6345）30（.xaF

1158-02）6340（.leT 　 5158-02）6340（.xaF1101-64）9740（.leT 　 9522-64）9740（.xaF

0257-4345）30（.leT 　 4620-5345）30（.xaF6859-1084）60（.leT 　 8859-1084）60（.xaF4441-149）480（.leT 　 3465-349）480（.xaF

7712-0155）30（.leT 　 7735-1953-）30（.xaF

■海外統括本部●貿易チーム

■株式会社バルカーエスイーエス

●本　社（千葉）●鹿島営業所

■株式会社バルカーテクノ●本　社（東京営業所）●大阪営業所●福山営業所

■バルカー・ガーロック・ジャパン株式会社●本　　　社

2837-4345）30（.leT 　 2650-6345）30（.xaF6305-5626）60（.leT 　 2405-5626）60（.xaF

■高機能エラストマー事業部

●営業部（東京）●営業部（大阪）