マスフローメーター

及び

コントローラー

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Leister 会社概要

Leister社 は、60 年に亘る工業製品の開発・製造、および世界規模での

販売経験が豊富な会社です。

Axetris 事業部は、マイクロ技術(MEMS) ベースのコンポーネントおよび

モジュールの設計・製造部門であり、マイクロオプティックス、ガス検知

用赤外線光源およびマスフローセンサ/コントローラをその製品分野と

しています。

Axetris は、広範囲で高品質な標準製品の提供はもとより、OEM のカス

タムソリューションも提供しています。弊社のエンジニアリング・製造チ

ームは、チップレベルから複雑な集積電子モジュールにいたるまでの、

設計・シミュレーション・製造および特性評価に於いて幅広い経験を持

ち合わせています。スイス本社の製造施設には、最先端技術であるマ

イクロ技術処理機能を有する世界一流の「クラス100」のクリーンルーム

があります。弊社のOEM のお客様のパートナーとして、設計段階から

大量生産にいたるまでサポートいたします。

ISO 9001:2008 認証取得企業及びISO TS 16949 適合企業としての弊社

は、製造プロセス、専用の製造設備および専門的な特性評価ツールを

有する、信頼度の高いメーカーです。

Leister Process Technologies, Switzerland

広範囲な製品群

単一ガス対応の超小型マスフローメータ・マスフローコントローラからマ

ルチガスの測定/制御用として高度統合型のカスタム設計されたマニホ

ールドユニットに至るまで、Axetrisの 新型MFM/MFC 2000シリーズは広

範囲の用途に適しています。

モジュール設計と幅広い製品群により、最新のフローセンシング・制御

技術をお客様の製品にシームレスに提供することが可能です。

高精度且つ高速応答

高精度且つ高速応答により、これまで不可能であった速度と精度でガ

スを制御することが可能となりました。この機能により、プロセスパラメ

ータのより厳格な管理、システム処理能力の向上、およびキャリアガス

消費量の低減が可能になります。

マスフローメータ―/マスフローコントローラーコントローラモジュール

コンパクトサイズ

コンパクト化により、お客様のシステムのサイズと重量の低減を可能と

すると共に、新機能の追加が可能となります。

マルチガス/マルチレンジ対応機能

一台で複数の流量レンジ或いは複数のガス種に設定することが可能で

あり、部品点数を削減します。

完全な校正と補正

AxetrisのMFM/MFC 2000シリーズは、全数校正・温度補正の上納入さ

れます。校正はNIST (米国商務省標準技術局) 基準です。

幅広いガスおよび流量レンジ

MFM/MFC 2000 シリーズは、広範囲の（不活性）ガスに対応しており、

流量レンジはFS20sccm～FS3000sccm (sccm: Standard Cubic Centimeter

per Minutes) です。又、外部バイパスを使用することでさらに広範囲の流

量レンジの実現が可能となります。

特徴

● MEMS ベースの技術

● コンパクトサイズ

● 高精度

● 高速応答

● マルチガス/マルチレンジ対応

● モジュール方式

● 優れた長期安定性

用途

● 分析機器

● ガスクロマトグラフ

● リーク検出

● 単一ガス・マルチガスの流量測定と制御

● 校正と品質管理

● 薄膜プロセス制御

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OEMアプリケーション用高性能・超小型マスフローメータ及びコントローラ

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マスフローメータ及びコントローラ

メーター

注意: 掲載画像は表示のみを目的としています。実際の設計機種についてはAxetris にお問い合わせください。

カスタム設計ガス混合システム

複数のマスフローメータ、圧力センサ、およびコントローラモジュール

を、共通マニホールドに統合することにより、お客様のニーズに最適

且つコンパクトな固有のシステムの構築を可能とします。標準的なマ

スフローコントローラを使用する従来型のマニホールドとは大きく異

なり、統合型マニホールドは、よりコンパクト且つ高コスト効率なシス

テムの構築が可能となります。

コントローラ カスタムシステム

MFM 2020

MFM 2021 MFC 2022

MFY 20000

シリーズ

MFM 2100

シリーズ

MFC 2100

シリーズ

MFY 21000

シリーズ

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標準製品群

システム組込み用モジュール群

MFM 2020: デジタルインターフェイスおよび0～5 V アナログ出力付きコンパクトマスフローメータ。スペースに制約がある場合に最適な選択です。さらに、カスタムメードのマルチチャンネルガス用流量計測ユニットの構築に最適な製品です。MFM 2020 は、測定状況、個体識別情報と共に、ガス温度情報も提供します。デジタルインターフェイスは、ガス種、流量レンジの設定の他、メーター出力応答時間の設定もサポートします。

MFM 2021: 高性能マスフローメーターMFM 2021 には、アナログ出力付き高精度PID コントローラが内蔵されており、ダイレクト、高速、且つ正確なガス流量の制御が可能です。又バルブオーバーライド機能を追加することにより、バルブの全開、全閉、或いは任意の値に即時に設定することも可能です。

MFC 2022: MFM 2021 に高速応答バルブとドライバ電子機器を組み込んだコンパクトマスフローコントローラです。きわめてコンパクトなガス制御システムを構築するための最適の選択です。

スタンドアローン型製品群

MFM 21x0: MFM2020に外部影響或いは電気的影響から保護するハウジング付スタンドアローン型マスフローメータのシリーズです。特に、従来型のマスフローメータ或いは体積式流量計からの置換に適しています。MFM 2020と同様、デジタルインターフェイス経由フルスケール流量とガス種の変更が可能です。以下のデジタル/アナログインターフェイスに対応します。MFM 2120: RS232/0～5 V、MFM 2130: RS232/4～20 mA、MFM 2140: RS485

MFC 21x2: スタンドアローン型マスフローコントローラMFC 21x2には、高速応答ソレノイドバルブが内蔵されています。従来型マスフローコントローラと比較し、小型、高精度、且つ設定流量到達時間が短くしかもマルチレンジ・マルチガス機能を備えています。以下のデジタル/アナログインターフェイスに対応します。MFC 2122: RS232/0～5 V、MFC 2132: RS 232/4～20 mA、MFC 2142: RS485

MFM 2100 ・MFC 2100 シリーズには、D-SUB 9 またはM12コネクタ、及び下部ポートまたは側面ポートのガスコネクタよりお選びいただけます。

タイプ

MFM 2020 ●

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MFM 2120

MFM 2130

MFM 2140

MFC 2022

MFC 2122

MFC 2132

MFC 2142

MFM 2021

12 Vコンパクトデジタルメーターモジュール- システム統合用- RS232 TTL、0～5V

スタンドアローンデジタルメータ- RS232、0～5V

スタンドアローンデジタルメータ- RS232、4～20mA

スタンドアローンデジタルメータ- RS485

スタンドアローン型デジタルコントローラ- RS232、0～5V

スタンドアローン型デジタルコントローラ- RS232、4～20mA

スタンドアローン型デジタルコントローラ- RS485

コンパクトデジタルコントローラーモジュール- システム統合用- RS232 TTL、0～5V

下記追加機能付きコンパクトデジタルメーターモジュール- PID 制御出力- 設定点入力- バルブオーバーライド

24 V

24 V

24 V

24 V

24 V

24 V

24 V

12 V

流量

0

～5 V

4

～20 m

A

デジ

タル

メー

ター

PID

出力

付メ

ータ

ーコ

ント

ロー

ラ

デジ

タル

デジ

タル

デジ

タル

バル

ブ

コン

パク

トモ

ジュ

ール

スタ

ンド

アロ

ーン

マル

チガ

ス/

マル

チレ

ンジ

DC

アナ

ログ

バル

ブド

ライ

バ

0

～5 V

0

～5 V

4

～20 m

A

設定点 電圧温度

PID制御信号

バルブオーバー

ライド

出力 入力 機能 供給 主な用途/注記

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仕様

ここに記載されている技術データおよび仕様は、事前の通知なしに変更される場合があります。

1) その他のオプションと機種については、Axetris にお問い合わせください。

2) フルスケール流量250 sccm 及び3000 sccm の場合。その他バージョンについては、Axetris にお問い合わせください。

F.S.: フルスケール流量値、O.R.: 読み取り値

ガス

仕様 仕様規格1)

校正条件

流量レンジ

流量レンジ

非腐食性

ガス種

sccm

20、50、250、3000 sccm (N2換算)

単一レンジ、マルチレンジ

例）N2、O2、Air、CO2、Ar、He、H2

単一ガス、マルチガス

基準条件:

t = 0°C、P = 1013 mbar 絶対圧力

オプションとして、UCCM（ユーザー定義標準条件）の対応可

能。

ガス

標準体積/分

性能

動作条件

電子インターフェイス

N2、25°C、1 bar:

N2、0～50°C、1 bar:

センサ

≤ ± 0.2 % F.S. (0～10% F.S. )

≤ ± 1 % O.R. (10～100% F.S. )

≤ ± 0.5 % F.S. (0～10% F.S. )

≤ ± 2 % O.R. (10～100% F.S.）

精度2)

圧力係数 ± 0.2 % O.R./bar N2

長期安定性 ± 0.25 % F.S./年

応答時間 4 ms

コントローラ

動作

結露なし

範囲動作

耐圧

プロトコル入力出力

コネクタ

設定時間

温度

湿度

圧力

150 ms

0～50°C

5～95 % R.H.

0～10 bar

ガス適合性

デジタルインターフェイス

不活性ガス

RS232 (TTL レベル)、RS232、RS485セットポイント、ガス種および流量レンジ、バルブオーバーライド

接ガス部 材質コネクタ

アルミニウムまたはステンレス

電源 MFM 202x、電圧 12 V ± 10 %MFC 2022、 24 V ± 10 %MFM 21x0、MFC 21x2 24 V ± 10 %

寸法 MFM 2020、MFM 2021L x H x W 34 x 48.5 x 16.4 mm

MFC 2022 50.5 x 48.5 x 25 mm

MFM 21x0、MFC 21x2 59.5 x 96.6 x 28.8 mm、側面ポート（継手・電気接続無）79.5 x 84.6 x 28.8 mm、下部ポート（電気接続無）

重量 MFM 2020、MFM 2021 34 g

MFC 2022 106 g

MFM 21x0

MFC 21x2

274 g

336 g、側面ポート、継手無、3000 sccm F.S

メーターリークレート 1x10-9 mbar l/s He

下部ポート/側面ポート

セットポイントバルブオーバーライド

アナログ入力 0～5 V または4～20 mAバルブの強制開/閉/任意の位置

流量PID

アナログ出力 0～5 V または4～20 mA0～5 V

流量、PID 制御、温度D-SUB9、M12

30 bar

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特徴

● MEMS 技術• マルチガス/マルチレンジ機能

全てのMFM/MFC 製品は、スイス本社のClass100 クリーンルームに

て設計・製造されたAxetris マスフローチップセンサ（特許取得済）を

ベースとしています。

● プラチナ技術による高精度・長期安定性

Axetris の超微細機械加工されたチップには、きわめて安定性の高

い白金ヒーターと白金抵抗が使用されています。これにより、業界ト

ップクラスの精度と長期安定性が保証されます。多くのお客様から

認知されているとおり、これらの品質によりシステム全体の性能向

上を実現いたします。

● コンパクトサイズ

Axetris マスフローメータ/マスフローコントローラは、MEMS 技術に

基づいており、非常にコンパクトなセンサとコントローラの構築を可

能にしています。これにより、お客様のシステムサイズと重量を低減

しつつ、より多くの機能を組み込むことが可能となります。

● 高速反応速度

最近の用途では、圧力変動および温度変化の条件下であっても、

正確なガス流量設定、ガスの混合が要求されることが多く見受けら

れます。応答時間（T９０）4 ms 未満の高速度マスフローチップにより

、高精度を維持しつつ、高速で変化するプロセスパラメータの測定

及び制御が可能となりました。

● 流量レンジ

20～3000 sccm の幅広い流量範囲に対応します。外部バイパスを

使用することで、さらに高い流量レンジにも対応可能です。マルチレ

ンジ機能により、MFM/MFC 2000 シリーズは複数の流量レンジに設

定することが可能です。

● マルチガス/マルチレンジ機能

マルチガス・マルチレンジ機能内蔵により、さまざまなガス種・流量レ

ンジに切り替えることが可能です。

● モデュール化

システムに組み込まれる製品が、単一のマスフローメーターであれ、

スタンドアローン型であれ、または複数のマスフローコントローラを

組み合わせた複合的なガスシステムであれ、信頼性の高い、実証

済み且つ検証済みのMFC/MFM2000 製品群によりお客様のニーズ

に正確に応えるカスタム製品を提供いたします。

● 電子インターフェイス

MFM/MFC は、お客様が選択できる様々なデジタル及びアナログイ

ンターフェイスに対応しております。

標準のデジタルインターフェイスとしてRS232-TTL レベル、RS232 ま

たはRS485 を用意しています。

● 品質管理

Axetris のMFM/MFC 製品は、最高の品質基準の下、全てスイスで

製造されています。MFM/MFC にはそれぞれ固有の識別コードが付

され、製造データ及び校正データは弊社工場にて保管、完全なトレ

ーサビリティを保証しています。

● Axetris の技術力

AXETRISは、経験豊富な流体力学専門技術者、最先端技術のシミ

ュレーション設備、および高度なテストと計測の研究施設を擁してお

り、MFM/MFC をお客様の要求される最適なシステムに組み込むた

めのお手伝いをいたします。

流量

[sccm

]

従来型製品と比べて、Axetris マスフローコントローラは設定流量ま

での到達時間がはるかに速く且つ制御精度に優れています。

整定時間

時間[s]

Axetris マスフローセンサチップ

Mas

s Flo

w F

50/11.2

008/ 0

5.2

010/A

rt. N

r. 6

02.2

85

ISO 9001:2008 certified問い合わせ先

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〒222-0033横浜市港北区新横浜3-20-12　新望星ビル１F

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