SOD-20X-VI15 高倍マシンマイクロレンズ SOD-20X-VI •...

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高倍マシンマイクロレンズSOD-20X-VI

• 対物レンズクラスの高分解能　NA0.35

• 驚異のロングWD　WD=37.5mm

• 長深度設計　可変絞りモデル

• ディストーションレス

• 同軸落射照明機構付き

• コンバータレンズ(別売)で30x、40xの認識が可能

SODシリーズの倍率 20×モデル。顕微鏡対物レンズクラスの高分解能を持ち、長作動WD=37.5mmを実現したことで、照明や搬送系のスペースを確保可能となります。同軸落射照明機能を内蔵したコンパクト設計により、省スペース化を実現。FA用装置搭載に最適な高倍率レンズです。

43 コンパクト小型設計のため、周辺部品や装置のダウンサイジング化が可能。

ロングWD使いやすさ高解像でありながら、ロングWD(ワーキング・ディスタンス)化することで使いやすさがさらにアップしました。

作業スペースの確保作業状況・位置を目視で確認可能

斜光照明が可能 熱源から離せる 水、油などが飛び散る環境

同軸落射光だけではなく、リング照明など多彩な射光照明が可能です。照明の選択肢が増えることで今まで見えづらかったワークが、さらに見やすくなります。

熱源から離れた場所で認識が可能。熱圧着時のアライメントや検査もできます。

水や油、または加工する際に出るごみの影響を受けることなく観察できます。

作業ツールやピッキングのスペースを十分確保できるので従来では不可能と思われた作業を行えます。作業位置やワークの状態を目視確認できるので作業ミスを軽減できます。

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同軸照明でウェハーパターンを、リング照明でキズ、ゴミを認識できます。 大きな段差のあるワークも広いピント幅でカバーできます。

SOD-2XSOD-1.5Xリアコンバータレンズ（オプション）

Application Sample

30 20

32 1810

5.5

1-M3×4六角穴付止めねじライトガイド固定用

ライトガイド挿入口

φ14.2

φ8

φ16 3-M3×4六角穴付止めねじ

カメラ回転調整用

35

Cマウント

φ30 0/-0.1

□45

22.5

φ40 0/-0.1

20304075WD 55.2±0.6 66 17.526

（Ｏ／Ｉ＝ 253.7）

カメラ三脚ネジ

4-M3ヘリサート2D

305102.849.492.7

20

17.526（Ｏ／Ｉ＝ 300）

W.D. 37.5 ±0.517 カメラ三脚ネジ

4-M3ヘリサート2D

（16）

∅16

32 24.910

∅14

.2∅

8

1-M3�4六角穴付止めねじライトガイド固定用

ライトガイド挿入口

5.5

∅30

0/

-0.1

Ｃマウント

31

∅50

0/

-0.1

20

17.4

∅56

.5

58

OC

O

30

1258

FFFFFFFF

SOD

-20X-VI

3-M3�4六角穴付止めねじカメラ回転調整用（推奨トルク30cN・m）

SOD-10X SOD-20X-VI

■ 同軸照明 ■ リング照明

同軸照明

斜光照明

ウェハー（パターン） ウェハー（キズ）

同軸照明

■ 同軸照明

先端部の配線パターン

シリコンウェハー ハードディスク読み取りヘッド

φ22

45(0.8)

φ30

φ29.4

Cマウント

Cマウント

16.46.8

(12.8)

φ22

4 2

φ30

Cマウント

Cマウント

型式 倍率 O/I WD 分解能 被写界深度 NA有効FNo

TV ディストーション

最大適合カメラ 質量 価格

SOD-10X ×10 253.7mm 55.2mm 1.5μm 0.017mm 0.23 22 0.01％以下 2/3型 500g ¥240,000

　SOD-1.5X ×15 260.5mm 55.2mm 1.5μm 0.012mm 0.23 33 0.05％以下 2/3型 20g ¥37,000

　SOD-2X ×20 266.1mm 55.2mm 1.5μm 0.009mm 0.23 44 0.04％以下 2/3型 30g ¥37,000

SOD-20X ×20 300mm 37.5mm1μm ~3μm

0.0057mm ~0.026mm

0.35 ~0.113

28.3 ~88

0.02％以下 2/3型 930g オープンプライス

　SOD-1.5X ×30 306.8mm 37.5mm1μm ~3μm

0.0038mm ~0.012mm

0.35 ~0.113

42.5 ~132

0.04％以下 2/3型 20g ¥37,000

　SOD-2X ×40 312.4mm 37.5mm1μm ~ 3μm

0.0029mm ~0.009mm

0.35 ~ 0.113

56.6 ~176

-0.07％以下 2/3型 30g ¥37,000