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Breve introducción a la tecnología del VACÍO, y su medida. Joaquín Sevilla Moróder Departamento Ingeniería Eléctrica y Electrónica Marzo, 2013

Vacio 2012-13

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Breve historia y descripción de la tecnología de vacío

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Breve introducción a la tecnología del VACÍO, y su medida.

Joaquín Sevilla MoróderDepartamento Ingeniería

Eléctrica y Electrónica

Marzo, 2013

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Vacío

Presión Atmosférica (barométrica)

Presión manométrica

Vacío (presión manométrica negativa)

Cero absoluto

Presión absoluta

Pre

sión

Presión absoluta

Presiones inferiores a la atmosférica, pero especialmente las mucho menores

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Niveles de vacío

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Historia del vacío

Evangelista Torricelli (1608-1647)

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Hemisferios de Magdeburgo 1654

http://chem.ch.huji.ac.il/~eugeniik/history/guericke.html

Otto van Guericke b. Nov. 20, 1602, Magdeburg, Prussian Saxony [now in Germany] d. May 11, 1686, Hamburg, Germany

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Historia del Vacío II

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Características físicas vs. presion

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Elementos fundamentales de un sistema de vacío

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¿Qué limita el vacío último?

Bajar la presión aproxima a la zona gaseosa en cualquier material.

En último extremo, el material de la cámara de vacío se evapora hacia el interior. ¿Porqué no hay televisiones

con el tubo (CRT) de plástico?

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Sistemas de medida de presión

Total

Parcial

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Rangos de uso

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Vacuómetros clásicos

Pirani

Vacuómetro de conductividad térmica: un hilo metálico en régimen de autocalentamiento, alcanza el equilibrio a mayor temparatura si la presión es más baja.

Entre 1 y 10-3 Torr.

De termopar

Análogo al Pirani, más barato y con menos problemas de contaminación. También hay que corregir por tipo de gas. Algo menos preciso.

Entre 50 y 10-3 Torr.

Penning

Por debajo de 10-3 Torr se automantiene una descarga (por alta tensión) en presencia de un campo B (aumenta la probabilidad de ionización las trayectorias helicoidales). La corriente de descarga es proporcional a la presión

Entre 10-2 y 10-6 Torr.

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Bombas de Vacío (mecánicas)

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Bombas de Vacío (mecánicas)

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Bombas de vacío (Difusora)

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Bombas de Vacío (turbomolecular)