XRay Fluorescence Coating Thickness Gauge XRF-2000 …micropioneer.com/catalogue/6_XRF-2000.pdfXRay Fluorescence Coating Thickness Gauge XRF-2000 측정기 사용법 Micro Pioneer

XRay Fluorescence

Coating Thickness Gauge

XRF-2000 측정기 사용법

Micro Pioneer (02)2163-8650

마이크로 파이오니아

차례

차례 1

제1.장 개요 ····································································· 1-1

1.1 도금두께 측정기에 하여 ······························································· 1-1

1.2 Technical Data ·················································································· 1-3

1.2.1 챔버 ···························································································· 1-3

1.2.2 다중채널분석기 ········································································ 1-3

1.2.3 X-Ray Source ········································································ 1-4

1.2.4 X-Ray collimation ································································ 1-4

1.2.5 Detection System ································································· 1-4

1.2.6 XYZ Stage ··············································································· 1-5

1.2.7 카메라 System ········································································ 1-5

1.2.8 컴퓨터 System (필요 최소 사양) ······································· 1-6

1.2.9 기타 권장사항 ·········································································· 1-6

1.2.10 적용 사례의 예 ····································································· 1-6

제2.장 사용하기 ······························································· 2-1

2.1 설치조건 및 사용환경 ······································································· 2-1

2.1.1 필요 공간 및 Table Size ····················································· 2-1

2.1.2 Cable 연결도 ··········································································· 2-1

2.1.3 Front 패널 ··············································································· 2-2

2.1.4 XRay 안전에 하여 ······························································ 2-2

2.2 시작하기 전에 ····················································································· 2-4

2.3 측정기를 ON하는 방법 ····································································· 2-5

2.4 측정기를 OFF 하는 방법 ································································· 2-8

2.5 측정 시작하기 ··················································································· 2-10

2.6 Focus 맞추기 ··················································································· 2-12

2.7 고장의 진단과 책 ········································································· 2-13

2.8 Beam 위치조정 ················································································ 2-15

2.9 측정시 주의사항 ··············································································· 2-19

2.9.1 측정제품의 각도 및 위치 ··················································· 2-19

2.9.2 측정제품의 두께 및 소재 ··················································· 2-20

2.9.3 원 모양의 제품 측정 ··························································· 2-21

2.9.4 검량선 작성된 Base와 다른 Base 소재 측정 ··············· 2-22

2.10 Error 발생시 동작제어 ································································ 2-23

차례

차례 2

제3.장 프로그램의 기능 ················································· 3-1

3.1 Main Tool Bar ·················································································· 3-1

3.2 Main 측정 윈도 ·················································································· 3-2

3.2.1 File 메뉴 ··················································································· 3-5

3.2.2 Display 메뉴 ············································································ 3-6

3.2.3 Cal 메뉴 ················································································· 3-11

3.2.4 기타 메뉴 ··············································································· 3-14

3.3 카메라 보기 윈도 ············································································· 3-17

3.3.1 카메라 화면에서 마우스로 클릭 이동 ····························· 3-17

3.3.2 File 메뉴 ················································································ 3-18

3.3.3 SetUp ······················································································ 3-20

3.4 통계표시 윈도 ··················································································· 3-22

3.4.1 File 메뉴 ················································································ 3-23

3.4.2 Print 메뉴 ·············································································· 3-25

3.4.3 SetUp ······················································································ 3-26

3.4.4 Clear ······················································································· 3-30

3.4.5 통계값 표시와 공식 ····························································· 3-30

3.4.6 측정값 표시 윈도 ································································· 3-31

3.4.7 측정값 Bar 그래프 표시 윈도 ··········································· 3-31

3.5 수치표시 윈도 ··················································································· 3-32

3.5.1 File ·························································································· 3-33

3.5.2 Print ························································································ 3-35

3.5.3 Block Data ············································································ 3-38

3.5.4 SetUp(환경설정) ··································································· 3-39

3.5.5 Clear ······················································································· 3-46

3.5.6 프린트할 범위 선택하기 ····················································· 3-47

3.5.7 지정된 측정값만 지우기 ····················································· 3-47

3.5.8 측정값이 표시될 부분 선택하기 ······································· 3-48

3.5.9 XBar-Rs 차트 ······································································· 3-49

차례

차례 3

3.6 Spectrum(정성분석) 윈도 ······························································ 3-50

3.6.1 File ·························································································· 3-51

3.6.2 Setup ······················································································· 3-51

3.6.3 Status 표시 윈도 ································································· 3-52

3.6.4 확 기능 ················································································· 3-53

3.6.5 미지의 원소 분석하기 ························································· 3-54

3.7 Stage Control 윈도 ········································································ 3-56

3.8 원소 List 윈도 ·················································································· 3-57

3.9 CalFile(검량선 파일)선택 윈도 ···················································· 3-59

3.10 System Adjust 윈도 ·································································· 3-60

3.11 2D3D 측정 윈도 ·········································································· 3-61

3.11.1 2D(Step) ············································································ 3-61

3.11.2 2D(Point) ··········································································· 3-62

3.11.3 3D ························································································ 3-63

3.11.4 기타 표시 및 설정 ··························································· 3-64

3.11.5 2D 측정의 예 ···································································· 3-66

3.11.6 3D 측정의 예 ···································································· 3-67

3.12 임의위치 측정(Random Stage) 윈도 ······································ 3-68

3.12.1 Open ··················································································· 3-68

3.12.2 Save ···················································································· 3-68

3.12.3 Home ·················································································· 3-68

3.12.4 Set ······················································································· 3-69

3.12.5 Run ······················································································ 3-69

3.12.6 Clear ··················································································· 3-69

3.12.7 선택된 좌표로 이동 ························································· 3-69

3.12.8 등록된 좌표의 수정 ························································· 3-69

3.13 Limit 설정 윈도 ··········································································· 3-70

3.14 ReCalibration(검량선 보정) 윈도 ············································ 3-72

3.14.1 표준시편 보정하기 ··························································· 3-72

3.14.2 측정값 지우기 ··································································· 3-73

3.14.3 측정값 프린트하기 ··························································· 3-73

3.14.4 저장하기 ············································································· 3-73

3.14.5 취소하기 ············································································· 3-73

차례

차례 4

3.15 New Calibration(검량선 작성) 윈도 ······································ 3-74

3.15.1 검량선 작성하기 ······························································· 3-75

3.15.2 검량선 작성시 주의 사항 ··············································· 3-81

3.16 기타 환경 설정 ············································································· 3-82

3.16.1 Sleep Mode 설정 ···························································· 3-82

3.16.2 Lamp Sleep Time 설정 ················································ 3-82

3.16.3 측정값 Excel로 전송 ······················································ 3-83

3.16.4 암호 변경 ··········································································· 3-83

1. 개요

1-1

제1.장 개요

1.1 도금두께 측정기에 하여

XRF-2000 도금 두께 측정기는 X선을 도금된 물질에 조사하여 그로부

터 발생된 형광X선을 검출기를 통하여 각각의 원소별로 분류를 한 후에

발생량에 따라서 도금 층의 두께를 측정하는 방식을 채용한 측정기입니

다.

따라서 측정하고자 하는 제품에 아무런 손상을 주지 않고 측정이 가능하

며, 단층(Au/Ni등)은 물론 복층(Au/Ni/Cu등) 및 원소별 복합비율

(Sn-Pb/Cu등)도 측정할 수 있습니다.

본제품은 Proportional Counter라는 비례계수관을 사용하여 형광X선을

검출하므로 측정 하고자하는 원소는 원자번호 21번 이상의 원소를 측정

할 수 있습니다.

XRay 방식의 도금두께 측정기는 기본적으로 표준시편(Calibration

Standard)이라는 이미 알고 있는 두께의 시편을 기준으로, 정해진 두께

에 따른 형광X선의 양을 측정한후 검량선 (Calibration)을 구하여 미지의

제품을 측정하는 방식입니다. 따라서 표준시편은 도금두께 측정기의 기

본성능을 위해서 매우 중요한 것입니다.

검량선은 측정하고자 하는 제품의 도금형태에 맞추어서 작성해야 합니

다. 즉 Au/Ni로 작성한 검량선은 Ag/Ni에는 사용할 수 없고,Au/Ni/Cu등

에도 사용할 수 없습니다.

따라서 각제품마다의 구조에 맞추어서 검량선을 작성해야 합니다. 특히

Base의 경우에는 실제로 사용하는 제품을 사용하여야만 정확한 측정이

가능합니다.

예를 들어 Sn/Cu로 검량선을 작성하였는데 실제 제품은

Sn/CuSn(Bronze)를 사용한다면 Base에 포함되어 있는 Sn 성분이 도금

되어 있는 Sn성분과 더하여져서 실제로 도금된 두께와는 차이가 나게 됩

니다.

1. 개요

1-2

그러므로 Base의 선택에는 세심한 주의가 요망됩니다.

실제로 제품에 쓰이는 Base에 어떤 성분이 있는지 XRF-2000의 성분 분

석기능(Spectrum)을 이용하여 확인한후 사용함이 바람직 할 것입니다.

작성된 검량선은 시간이 지나감에 따라 각종 부품의 변화에 따라서 변하

게 됩니다.

특히 주위 온도가 변하면 검량선에 많은 변화가 있습니다.

XRF-2000은 중요 부픔 Unit에 자동온도조절 기능을 갖춘 오븐을 채택

하고, 챔버의 통풍 팬도 내부 온도를 일정하게 맞추도록 이중으로 온도

조절을 하므로 한번 작성한 검량선이 오래갈 수 있도록 했습니다.

1. 개요

1-3

1.2 Technical Data

1.2.1 챔버

가. Size

(1) Type H : 610W x 670D x 600H

측정가능 Sample Size : 550W x 550D x 100H

(2) Type L : 610W x 670D x 490H

측정가능 Sample Size : 550W x 550D x 40H

(3) Type PCB : 610W x 670D x 490H

측정가능 Sample Size : 가로 세로는 제한 없음 높이 40H

나. 입력전원 : AC 220V/60Hz, 200W이하

다. 통신방식 : RS-232C

라. PreAmp 자동 온도 조절 기능

마. 챔버 자동 온도 조절 기능

바. 초점 지시방식 : Laser방식 채용

사. 샘플위치 지시방식 : Laser방식 채용

아. Motor 제어 XYZ Stage

자. 표면 선량률 : 기기 표면의 1cm에서 측정하여 1μSv/h이

하(실측치 0.5μSv/h이하, 자연상태 실측 : 0.5μSv/h이하)

차. XRay 안전 Interlock : Door Open시 0.5초 이내 XRay 차

단

1.2.2 다중채널분석기

가. 채널수 : 1024

나. 자동온도 제어되는 PreAmp

다. 일체화된 저 잡음 방식의 PreAmp와 2Kv 전원

라. Micro computer에 의한 고속 펄스 처리장치

1. 개요

1-4

1.2.3 X-Ray Source

가. Oil Cooling Compact Point X-Ray Tube

나. 고압전압 : 0~50Kv(프로그램 제어)

다. 관 전류 : 0~1mA(프로그램 제어)

라. Target : W ( Mo, Be Window Option)

1.2.4 X-Ray collimation

가. 방식

(1) 고정방식 : 일정한 크기의 제품을 측정하는 경우 (표준)

(2) 자동방식 : 큰 제품에서 작은 제품(0.5mm이하)까지 다양하게 측

정 하는 경우 (Option)

나. Size

(1) 고정방식 : 0.1, 0.2, 0.3, 0.1x0.4 중 선택(다른 Size는 Option)

(2) 자동방식 : 0.1, 0.2, 0.3, 0.4, 0.05x0.4

1.2.5 Detection System

가. 검출기 : Proportional Counter

나. Detecter Filter : Co, Ni(Option)

다. Numeric Filter : 기본 System

1. 개요

1-5

1.2.6 XYZ Stage

가. 측정가능 Sample Size

(1) Type H : 550W x 550D x 100H

(2) Type L : 550W x 550D x 40H

(3) Type PCB : 가로세로 제한 없음 높이 40 mm

나. Motor 구동 범위

(1) Type H : 200W x 150D x 100H

(2) Type L : 200W x 150D x 30H

(3) Type PCB : 200W x 150D x 30H

다. 모타 구동 방법

(1) Stage Control 윈도에 의한 위치 제어

(2) 카메라 화면의 클릭에 의한 위치제어

(3) 2D/3D, 임의 위치 측정 화면에 의한 Program 제어

(4) 문을 열면 Y축이 앞으로 나오고, 샘플을 넣고 문을 닫으면

중심위치까지 자동 이동.

(5) 가감속 방식을 채택한 고속/고정밀 위치제어

라. 최 사용 가능 중량 : 10Kg 이하

1.2.7 카메라 System

가. Color Digital CCD 카메라

나. Grabber System에 의한 컴퓨터 모니터에 제품 표시

다. 컴퓨터에 의해 생성된 눈금자 및 Beam 표시

라. 적절한 조명상태를 유지하기위한 Lamp 밝기 제어

마. XRay Beam축과 Camera광축을 맞추기 위한 자동

Beam 위치 찾기 기능

1. 개요

1-6

1.2.8 컴퓨터 System (필요 최소 사양)

가. CPU : Pentium Processor 이상

나. RAM : 64MB 이상

다. HDD : 1GB 이상

라. CDROM : 2배속 이상

마. 모니터 : 15인치 이상

바. 프린터 : 컬러 프린터

1.2.9 기타 권장사항

가. UPS(무정전 전원장치) : 전원의 변동률이 심하거나

정전이 심한경우에 장비의 보호를 위하여 필요합니다.

1.2.10적용 사례의 예

가. 단층 도금 : Au/Ni, Ni/Cu, Sn/Cu, Pb/Cu, Cr/Fe,

Cu/Zn, Au/Ag, Ni/Fe, Cu/Cu,Zn, Ni/Cu,Zn, Ti/Fe 등

나. 복층도금 : Au/Ni/Cu, Ag/Ni/Cu, Pd/Ni/Cu, Au/Ni/Ag,

Rh/Ni/Ag, Ti/Al/Fe 등

다. 합금도금 및 성분 : Sn-Pb/Cu, Pd-Ni/Cu, Zn-Sn/Fe 등

라. 무전해 니켈 도금 등

2.1 설치 조건 및 사용 환경

2-1

제2.장 사용하기

2.1 설치조건 및 사용환경

2.1.1 필요 공간 및 Table Size

Table은 200Kg 이상의 하중에 견딜 것

2.1.2 Cable 연결도

챔버모니터

컴

퓨

터

프린터 800mm 이상

1800mm 이상

670

610

챔버 뒷면

Video Out

RS-232C

Fuse250V/2A

AC Power

컴퓨터 뒷면

Com1

2.1 설치조건 및 사용환경

2-2

2.1.3 Front 패널

POWER : 측정기 본체(챔버)의 전원을 ON/OFF 합니다.

H.VOLT : 측정기의 고압전원이 ON 되었음을 표시 합니다.

X-Ray ON : 측정기 Collimator의 셔터가 Open되어 XRay가 측정할 샘

플로 조사됨을 표시 합니다.

LAMP : 카메라 화면의 조명용 Lamp의 밝기를 조절 합니다.

2.1.4 XRay 안전에 하여

2.1.4.1 표면 선량율

※ 주 의

본 측정기는 원자력법 제72조 및 제73조, 원자력법

시행령 제8조, 과학 기술부 고시 제 2001-4호 3항에

의거하여 표면 선량율이 1μSv 이하가 되도록 설계하

였습니다. 만약 본사가 설계한 이외의 방법이나 개조,

수리 등을 통하여 원형이 바뀐 상태에서 사용된다면

사용자의 안전에 책임을 질수 없습니다.

2.1 설치 조건 및 사용 환경

2-3

2.1.4.2 Door Interlock Test

Main 측정 윈도의 측정 버튼을 눌러서 Xray가 발생되도록 합니다.

측정 중에 Door를 엽니다.

측정이 0.5초 이내에 중단되고 셔터는 닫혀야 합니다.

※ 상기 작동에 문제가 있을 경우 장비 사용을 중지하고 본사에 A/S 요청을

합니다.

※ 참 고

본 측정기는 측정 버튼을 눌러서 측정중 일 때가

아니면 Xray를 발생시키지 않으므로 측정중이

아닐 때에는 안전합니다.

※ 주 의

본 측정기는 인체에 치명적인 영향을 줄 수 있는

고압과 XRay 발생장치를 내장하고 있으므로 본사의

A/S 요원 이외의 사람은 절 로 측정기를 열어 보지

마십시오.

2.2 시작하기 전에

2-4

2.2 시작하기 전에

XRF-2000 측정기는 AC 220V, 60Hz에서 동작하며, 소모 전력은 약

200W정도입니다.

주전원의 전압변동률은 AC220V±5%에서 동작가능하며 전압 변동률이 심

하여 ±5%이상을 넘을 경우에는 자동전압 조절장치(AVR),또는 무정전 전

원장치(UPS)를 사용하셔야 합니다.

사용온도는 약 5～35℃이며 너무 춥거나 더우면 동작하는데 지장을 줍니

다. 사용온도가 변하면 XRay 검출기의 성능이 변하여 측정값에 변화를 주

므로 여름에는 에어컨, 겨울에는 난방기 등의 책으로 항상 일정한 온도를

유지하도록 하여야 정확한 측정이 가능합니다.

정전이 자주 되는 경우에는 컴퓨터 및 측정기에 심각한 손상을 줄 수 있으

므로 정전이 심한 경우에는 반드시 무정전 전원장치(UPS)를 설치하여 사

용하십시오. 그리고 장비를 ON/OFF 할 때는 반드시 동작 순서를 지켜 주

십시오.

또한 습기가 심한 곳은 측정기의 중요한 부품을 손상시킬 수 있으므로, 설

치를 삼가 주시고 습기가 심할 경우에는 가동을 중단하여 주십시오.

진동은 측정기를 변형시키므로 진동방지 책을 세우거나, 진동이 없는 곳

으로 이동하여 주십시오.

측정기의 본체상단 우측에 있는 필터가 막힐 경우에는 내부 장치의 온도상

승으로 측정기가 고장 나거나 측정값의 변화와 같은 결과를 초래하므로

일주일에 한번은 반드시 필터의 먼지를 청소하여 주시고, 먼지가 심한 경우

에는 필터의 상태를 자주 확인하여 자주 먼지를 청소하여야 합니다.

2.3 측정기를 ON하는 방법

2-5


1. 측정기의 전원 스위치를 ON 한다.

2. 컴퓨터를 전원 스위치를 누른다.

3. 모니터의 전원을 ON 한다.

4. 프린터의 전원 스위치를 누른다.

5. 컴퓨터의 부팅이 끝나면 컴퓨터의 바탕화면에 있는 아이콘에

마우스를 위치시키고 마우스의 왼쪽 버튼을 더블클릭 한다.

6. 프로그램이 시작되면 다음과 같이 허가되지 않은 사용자의 접근을 막는

암호의 입력을 요구 합니다. 초기암호는 "t" 입니다.

암호는 Main 측정 윈도의 File의 환경설정 윈도에서 변경 가능합니다.

7. 측정 프로그램이 시작되면 아래와 같은 로고 윈도가 보입니다.

로고 윈도가 보이면 OK 버튼을 누르거나 몇 초 후 자동으로 진행합니다.

8. 로고 윈도가 없어지면 측정윈도가 보이고‘ HV 설정중..’이 라는 패널이

나오면서 고압을 설정 합니다.


2-6

고압 설정이 완료되면 ‘Tube 전류 설정중...’ 이라는 패널이 나오면서

Tube 전류를 설정합니다. 이때 설정과 읽기가 비정상적이면 메시지를

출력 하면서 프로그램의 종료를 문의 합니다.

9. 고압 및 전류설정이 끝나면 측정 Window와 Tool Bar, 카메라보기 및

Stage Control window가 나타납니다.

Spectrum, 수치표시 및 통계표시는 종료 직전의 상태를 표시 합니다.


2-7

Stage Control 윈도

※ 주의

측정기를 처음으로 ON한 경우에는 측정기 내부의 각종 부품들이

제 성능을 발휘하기 위해서는 약 40분 이상의 예열 시간을 필요로

하므로 예열 시간을 충분히 주시기 바랍니다. 만약 예열시간이

부족한 경우에는 측정값이 다르게 나타날 수 있습니다.

2.4 측정기를 OFF 하는 방법

2-8

2.4 측정기를 OFF 하는 방법

1.측정 윈도의 File메뉴의 Exit 항목을 선택 합니다.

2. 측정 부속 윈도(카메라, 통계 등)들이 닫히고 고압이 내려간 후

프로그램이 종료됩니다.

3. 모니터의 왼쪽 아래에 있는 시작버튼의 컴퓨터끄기를 선택 합니다.

4. 끄기를 버튼을 누릅니다.

2.4 측정기를 OFF하는 방법

2-9

5. 컴퓨터가 종료되며 자동으로 전원이 OFF 됩니다.

6. 모니터의 전원을 OFF 합니다.

7. 프린터의 전원을 OFF 합니다..

8. 측정기의 전원을 OFF 합니다.

2.5 측정 시작하기

2-10

Tool Bar의 CalFile 선택


1. Tool Bar의 아이콘을 눌러서 측정할 CalFile을 선택합니다.

2. 성적서를 출력하고자 할 때에는 Tool Bar의 아이콘을

눌러 수치표시, 또는 통계표시를 선택한 후 측정을 해야 합니다.

2. 측정기의 문을 열면 Y축이 자동으로 앞으로 이동 합니다.

3. 측정할 Sample의 측정할 점을 레이저의 포인트에 맞춘 후 문을 닫으면

측정위치까지 이동합니다.

4. Stage Control 화면의 전후좌우 버튼을 이용하여 측정 점과 카메라 보기

화면의 십자 선을 맞춥니다. (다음장 Stage Control 설명 참조)

5. Stage Control 화면의 Focus 버튼으로 Focus 레이저를 십자선의 중심

에 맞춥니다. (다음장 Stage Control 설명 참조)

※ 이때 측정할 Sample의 높이가 너무 높으면 측정기의 XRay 검출기 및

반사경이 손상될 수 있으므로 Focus 맞추기를 참조 하십시오


2-11

왼쪽 버튼을 눌렀을 때의 이동방향과 속도

6. 마우스를 측정화면의 측정 버튼에 위치한 후 마우스의 왼쪽 버튼을 누르

면 측정이 시작됩니다.

Stage Control 설명

※ 마우스를 해당 버튼에 위치하고 마우스의 왼쪽버튼을 누르면 느린

속도로 움직이고, 마우스의 오른쪽 버튼을 누르면 빠른 속도로

움직입니다. 또한 Stage Control 버튼의 중심부분을 누르면 천천히

움직이고, 바깥쪽을 누르면 빠르게 움직입니다.

다음은 마우스의 위치에 따른 이동 속도입니다.

Focus가 낮은 경우 Focus가 맞은 경우 Focus가 높은 경우

2.6 Focus 맞추기

2-12

2.6 Focus 맞추기

Stage에 Sample을 넣었을 때 Focus 레이저가 보이면 Stage를 위아래로

움직여서 Focus 레이저를 십자선의 수직선에 맞춥니다.

만약에 Focus 레이저가 보이지 않으면 아래의 방법으로 맞춥니다.

1. 측정기의 창을 통하여 Sample의 높이를 확인하면서 Stage의 높이를

위아래로 움직여서 Focus 레이저가 Camera 화면에 보이도록 합니다.

Stage를 위로 움직일 경우 Sample이 반사경에 닿지 않도록 조심 하면

서 올립니다. 만약 Sample이 너무 높아질 경우에는 고가의 XRay 검출

기가 파손될 수 있으므로 주의하시기 바랍니다.

2. Camera 화면에 Focus 레이저가 보이면 Stage를 위아래로 움직여서

Camera 화면의 수직선에 일치시킵니다.

3. Focus 레이저가 수직선에 일치했을 때가 화면이 가장 또렷이 보이므로

높이를 맞출 때 화면이 또렷이 보이는 방향으로 맞추면 됩니다.

그러나 Focus 레이저가 수직선에 일치했을 때를 기준으로 모든 측정이

이루어지므로 최종적으로는 수직선에 일치하도록 하여 주십시오.

2.7 고장의 진단과 대책

2-13

2.7 고장의 진단과 책

증상 : System에서 응답이 없습니다.

책 :

1. Program을 종료한다.

2. 측정기의 전원을 OFF 한다.

3. 약 5초후 측정기의 전원을 ON 한다.

4. 전원 스위치의 Lamp가 들어오는지 확인한다.

Lamp가 들어오지 않으면 측정기 뒷면의 Main Fuse를 확인한다.

5. Main Fuse가 절단되었으면 새로운 Fuse로 교체한다.

6. Main Fuse가 계속 절단되면 A/S를 요청한다.

7. 전원 Lamp가 이상 없으면 측정 프로그램을 다시 시작 한다.

증상 : 기타 측정기가 정상동작하지 않을 경우.

책 :

1. Program을 종료한다.

2. 측정기의 전원을 OFF 한다.

3. 약 5초후 측정기의 전원을 ON 한다.

4. 측정 프로그램을 다시 시작 한다.

5. 같은 증상이 반복되면 정확한 에러 메시지를 기록한 후 A/S 요청

할 때에 메시지 내용을 전달한다.

증상 : 측정값이 맞지 않을 경우

책 :

1. 시편을 넣고 측정한다.

2. 시편과 측정값이 일치하는지 확인한다.

3. 일치하지 않을 경우

1) 측정화면의 Cal 메뉴에서 System Adjust를 선택한다.

2) 측정기의 Stage에 Reference Standard를 넣고 위치를

맞춘 후 System Adjust 화면의 시작 단추를 누른다.

3) System 조정이 시작되면 저절로 끝날 때까지 놔둔다.

조정이 완료되면 System Adjust 화면이 사라진다.

4) 표준시편을 넣고 다시 측정해 본다.

2.7 고장의 진단과 대책

2-14

5) 측정값이 맞을 경우에는 다시 사용하면 되고, 맞지 않으면

ReCalibration 한다.

4. 일치할 경우

두께를 알고 있는 크기가 3mm이상인 Sample을 넣고 측정하여

같은 두께가 나오면 XRay Beam 위치가 변경된 것이므로

Beam 위치조정을 실행한다.

2.8 Beam 위치조정

2-15


※ 장비의 상태에 따라서 XRay Beam축과 카메라의 눈금선이 맞지 않으면

측정 샘플이 작은 경우에는 측정값이 맞지 않을 경우가 있습니다.

이때에 Beam 위치 조정 기능을 사용하여 XRay Beam축과 카메라의 눈금

선을 맞추면 정밀한 측정이 가능합니다.

1. 카메라보기의 SetUp 메뉴의 Beam 위치 찾기를 선택합니다.

2. 아래와 같은 윈도가 표시됩니다.

3. Beam 위치 조정용 시편의 Cu부분을 넣고 시작을 누릅니다.

측정이 끝나면 Sn을 넣으라는 표시로 변하는데 이때 Sn을

넣고 시작을 누릅니다.


2-16

4. 측정이 끝나면 다음과 같은 윈도로 표시 됩니다.

5. 위의 화면의 방향 항목에서 ‘좌(Cu)-우(Sn)’를 선택합니다.

6. Beam 위치 조정용 시편을 아래와 같이 넣고, Cu-Sn의 접합부를

카메라 화면의수직선과 일치 시킵니다.

7. Beam 위치 찾기 윈도의 시작 버튼을 누릅니다.

8. 측정기가 자동으로 위치를 찾습니다. 위치를 찾으면 다음과 같은 윈도를

표시합니다. 눈금을 자동으로 맞출 경우에는 예를 선택하고 아래와 같이

수동으로 조정할 경우에는 아니오를 선택합니다.

9. 카메라 보기의 Beam 위치 조정을 선택합니다.


2-17

10. 암호(t)를 입력하고 엔터를 누릅니다.

11. 위치 조정 화면이 나오면 좌우 버튼을 이용하여 카메라 보기윈도의 수

직 눈금을 Cu와 Sn의 접합부분에 맞춥니다.

12. Beam 위치 조정용 시편을 아래와 같이 넣고, Cu-Sn의 접합부를

카메라 화면의수평선과 일치 시킵니다.

13. 위의 화면의 방향 항목에서 ‘앞(Cu)-뒤(Sn)’를 선택합니다.

14. 시작 버튼을 누릅니다. 조정이 완료되면 조정 완료 윈도가 나오는데 자

동으로 수정할 경우에는 예를 선택하고, 수동으로 수정하는 경우에는 위치

조정 윈도의 상하 버튼을 이용하여 카메라 보기 윈도의 수평눈금을 Cu와

Sn의 접합부분에 맞춥니다.


2-18

15. 위치조정 윈도의 설정 버튼을 누릅니다.

16. 위치 조정이 완료되면 Spectrum 윈도의 상태는 다음과 같은 모양이

됩니다.

2.9 측정시 주의사항

2-19


2.9.1 측정제품의 각도 및 위치

검량선(Calibration)을 작성할 때에는 표준시편이라는 평면구조의 제품

으로 작성을 하므로 실 제품을 측정할 때에는 평면을 유지해 주어야 정

확한 측정이 됩니다. 측정물이 어떤 각도를 이루고 있으면 그 각도만큼

의 오차가 발생합니다.

측정제품에 단층이 있을 경우에는 단층의 높은 부분이 검출기쪽을 향하

지 않도록 하여야 합니다. 측정제품의 표면에서 방출되는 원소가 단층부

분에 막혀서 측정값에 오차가 발생 합니다.

앞 뒤

정상적인 사용 비정상적인 사용

검출기 검출기

XRay XRay



2-20

2.9.2 측정제품의 두께 및 소재

측정제품의 두께가 얇을 경우(Flexible PCB, Fe 0.4mm이하, 기타 0.2mm

이하) Xray가 측정제품을 통과하여 측정하지 않을 측정제품의 밑(Stage)에

까지 도달하므로 Stage의 원소가 측정제품에 영향을 주어 측정값에 오차가

발생하게 됩니다. 그러므로 두께가 얇은 제품의 경우에는 그 제품의 Base

와 같은 소재의 1mm 이상 되는 판재를 밑에 깔고 측정해야 정확한 측정이

됩니다. Flexible PCB 의 Base는 Cu를 주로 사용하므로 동판을 깔고 측정

하고, Base 소재가 낮은 두께의 Fe 인(0.4 mm 이하) 경우에는 Fe 판을 깔

고 측정해야 정확한 측정이 됩니다.

AuCu

Cu 판

Stage

정상적인 사용

AuCu

Stage

비정상적인 사용


2-21

2.9.3 원 모양의 제품 측정

원 모양의 제품을 측정하는 경우에는 앞뒤 방향으로 놓으십시오.

또한 제품의 중앙 부분을 측정해야 측정오차가 적어집니다.

XRay XRay



2-22

2.9.4 검량선 작성된 Base와 다른 Base 소재 측정

검량선 작성 때는 Base 소재를 Cu로 작성 하였다가, 실제로 측정하는 제품

의 소재가 다를 경우에는 측정값에 오차가 발생 합니다.

특히 Sn/Cu, Ag/Cu등으로 검량선을 작성하고, 측정 제품은 Sn/Bronze,

Ag/Bronze 로 된 제품을 측정하면 Bronze에 포함된 Sn 성분이 도금층에

영향을 미쳐서 측정값에 영향을 줍니다.

Au/Ni/Cu로 검량선을 작성한후 Au/Ni/Brass로 된 제품을 측정하여도

Brass의 Zn 성분이 Au 부분에 영향을 미쳐서 측정값에 오차를 줍니다.

그러므로 정확한 측정을 하기 위해서는 Base 소재는 필히 같은 소재로 된

검량선 파일을 준비하여 사용하여야 합니다.

2.10 Error 발생시 동작제어

2-23

2.10 Error 발생시 동작제어

측정 프로그램을 시작할 때에 측정기의 상태를 살펴보고 Error가 있으면

다음과 같은 화면을 표시하고 실행을 중지 합니다.

체크 표시가 되어 있는 부분이 이상 발생 부분 입니다.

Progress Lamp와 H.V Lamp 부분은 표시부분이므로 이상 발생이 되어도

측정하는 데에는 영향이 없습니다.

Uxxx : 챔버 내부의 마이크로프로세서의 이상을 나타냅니다.

2kV : PreAmp의 2kV Power supply의 이상을 나타냅니다.

24V : 24V Power supply의 이상을 나타냅니다.

※ 위의 상황이 발생하면 즉각 가동을 중단하고 본사로 연락을

주시기 바랍니다.

3.1 Main Tool Bar

3-1

Tool Bar 아이콘의 각종 기능들

제3.장 프로그램의 기능

3.1 Main Tool BarMain 윈도의 기능들을 아이콘으로 하여 한곳에 모아놓은 윈도입니다.

3.2 Main 측정 윈도

3-2

Main 측정 윈도


Main 측정 윈도로 각종 측정 및 부가기능을 수행하는 역할을 합니다.

Main 측정 윈도의 각종 선택사항들은 Main Tool Bar에 모아져 있습니다.

1. 각종 기능을 선택하는 메뉴

도금 두께 측정기의 여러 가지 기능 및 설정 사항을 선택합니다.

부분의 기능들은 Main Tool Bar의 아이콘으로 등록되어 있습니다.

2. 선택된 CalFile(검량선 파일)

현재 사용 중인 Calibration File을 표시 합니다.

이 부분을 더블클릭하면 Calibration File을 선택할 수 있습니다.

Tool Bar의 아이콘을 눌러서도 선택할 수 있습니다.


3-3

3. 측정시간

현재 설정되어 있는 측정시간을 표시합니다.

이 부분을 더블클릭하면 측정시간을 변경할 수 있습니다.

Tool Bar의 아이콘을 눌러도 같은 기능을 수행 합니다.

※ 측정시간은 길수록 측정값이 정확하게 나옵니다. 따라서 시간이 허용 하

는 만큼 긴 시간을 설정하면 좋습니다.

4. 사용 중인 Collimator Size

고정 모델 : 장착되어 있는 Collimator의 Size를 표시 합니다.

자동 모델 : 선택되어 있는 Collimator의 Size를 표시 합니다.

5. 측정 단위 : 현재 측정값의 단위를 표시 합니다.

Display 메뉴의 Unit항목을 선택하거나 Tool Bar의 아이콘을

눌러서 선택할 수 있습니다.

6.측정중인 원소를 표시

선택되어 있는 Calibration File의 원소를 나타냅니다.

7. 두께 또는 합금 비율을 표시

선택된 Calibration File에 따라서 단층 또는 복층 측정의 경우에는


3-4

두께를 표시하고, 합금비율 측정인 경우에는 두께 와 합금비율을 표시

합니다.

8. 측정된 CPS를 표시

XRay 검출기로 들어온 복합된 원소의 CPS로부터 측정할 원소의 CPS로

변환된 값입니다.

9. 측정 버튼

이 버튼을 누르면 측정이 시작됩니다. 측정이 시작되면 버튼이 중지로

바뀌는데 중지 버튼을 누르면 측정을 멈춥니다.

Main 측정 윈도가 선택되어 있을 때에는 Enter키나 Space키를 눌러도

측정이 됩니다.


3-5

3.2.1 File 메뉴

3.2.1.1 환경 설정

Tool Bar의 아이콘을 눌러도 같은 기능을 수행 합니다.

Sleep 모드, Focus Laser 밝기, 측정값 Excel로 전송, 암호변경 등의

설정을 합니다. “기타 환경설정” 윈도 참조

3.2.1.2 Exit

Xray 측정 프로그램을 종료 합니다. Main 측정 윈도의 우측 위쪽에 있

는 종료 버튼을 눌러도 프로그램을 종료 합니다.


3-6

3.2.2 Display 메뉴

각종 측정 기능들을 표시하거나 측정조건을 변경하는 메뉴입니다.

통계표시 : 통계표시 화면을 표시 합니다.

수치표시 : 수치표시 화면을 표시 합니다.

Limit 설정 : 통계표시 또는 Main 측정 윈도의 결과색 표시에 사용하는

상한 및 하한값을 설정합니다.

Unit : μm, μinch, mils의 측정 단위선택을 합니다.

Display Accuracy : 측정값의 소숫점 단위표시를 설정합니다.

Spectrum : Spectrum 윈도를 표시합니다.

Camera 보기 : 카메라 화면을 표시합니다.

Stage Control : Stage를 Control하는 윈도를 표시합니다.

2D3D 측정 : 2D3D 측정용 윈도를 표시합니다.

임의위치 측정 : Stage의 임의 위치를 측정하는 윈도를 표시합니다.

Tool화면 표시 : Tool Bar를 표시합니다.


3-7

3.2.2.1 통계표시

통계표시 화면을 표시 합니다.

Tool Bar의 아이콘을 눌러도 동일한 기능을 수행 합니다.

3.2.2.2 수치표시

수치표시 화면을 표시 합니다.


3.2.2.3 Limit 설정

측정값의 상하한 값을 설정하거나, Limit 생성을 자동, 또는 수동으로 할지

Main 측정 윈도에 NG/GO 결과에 따른 색상을 표시할지를 선택합니다.


3.2.2.4 Unit

측정단위를 선택합니다. (um, uinch, mils)


아이콘은 선택된 측정단위로 변경됩니다. 따라서 아이콘을 보면

현재 어떤 측정단위가 선택되어 있는지 알 수 있습니다.


3-8

3.2.2.5 Display Accuracy

측정값을 표시할 소수점의 자릿수를 선택합니다.


3.2.2.6 Spectrum(정성분석)

정성분석을 위한 스펙트럼 화면을 표시합니다.


3.2.2.7 카메라 보기

측정할 제품의 형태를 보여주며 측정할 부분을 십자 선으로 표시합니다.



3-9


3.2.2.8 Stage Control

XYZ Motor Stage의 위치를 제어하는 윈도를 표시 합니다.









3-10

3.2.2.9 2D3D 측정

2차원 또는 3차원 측정을 합니다.

2D : 측정할 제품이 일정한 간격을 가지고 있는 경우에 사용합니다.

3D : 면을 격자 모양으로 측정 할때 사용 합니다.

측정값은 Microsoft Excel로 전송되어 이차원 및 삼차원 그래프는

Excel의 기능을 사용하여 표시 합니다.


3.2.2.10 임의위치 측정

임의의 위치를 기억시킨 후 측정을 자동으로 하는 윈도 입니다.

Z축의 제어는 Stage 높이 Option에 따릅니다.

측정할 부분을 카메라화면을 보면서 맞춘 후 Set 버튼을 누르면 좌표가

등록되고 , Run 버튼을 누르면 등록된 좌표로 이동하면서 측정됩니다.


3.2.2.11 Tool 화면 표시

프로그램을 처음시작 할 때 표시하지만 어떤 이유로 인하여 종료 버튼을 누

르면 보이지 않습니다. 이런 때에 Tool 화면 표시 메뉴를 선택하면 Tool

Bar가 표시됩니다.

※ 각각의 기능은 3.1 Main Tool bar 참조


3-11

3.2.3 Cal 메뉴

검량선 작성(Calibration)에 관련된 메뉴입니다.

3.2.3.1 Cal File (검량선 파일) 선택

이미 작성되어 있는 검량선 파일(Cal File)을 선택합니다.

측정할 제품의 도금 층 구성과 동일한 파일을 선택합니다.


3.2.3.2 ReCalibration(검량선 보정)

이미 작성되어 있는 Cal File의 일부 부분을 다시 보정 하는 기능입니다.

Calibration Data 윈도에서 보정할 부분을 클릭한후 ReCalibration 윈도의

측정 버튼을 누릅니다. 측정은 1번이상 할 수 있으며 가능하면 많이 할수록

측정값이 정확해 집니다. 측정한 횟수는 Avg 항목에 표시됩니다.

측정이 끝나면 저장 버튼을 누릅니다.



3-12

3.2.3.3 NewCalibration(새로운 검량선 작성)

새로운 CalFile(검량선 파일)을 만드는 윈도입니다.

필요한 모드를 선택한후 다른 부분을 설정한후

Calibration 버튼을 누르면 새로운 CalFile(검량선 파일)을 만드는 과정으로

들어갑니다.


3.2.3.4 원소 List

각각의 원소들의 정보를 보여 줍니다.

원소 List 윈도의 Search 기능을 이용하면 보고자 하는 원소를 보여주고

Spectrum 윈도에 그 원소가 차지하고 있는 ROI 구간을 청색 및 적색 선으

로 보여 줍니다. 선택된 후에 키보드의 위 화살표 및 아래 화살표 키를 누르

면 연속적으로 선택된 원소를 ROI 구간을 보여 줍니다.


3.2.3.5 System Adjust

측정기의 상태를 최적으로 맞추어 줍니다.

Reference Standard를 넣고 시작 단추를 누르면 자동으로 최적의 상태로

맞추어 줍니다.



3-13

3.2.3.6 Density 보정

측정 하고자 하는 제품의 도금에 사용한 원소의 밀도(Density)를 설정 합니

다. 설정된 밀도와 다른 제품을 측정하면 측정값에 오차가 발생하므로

정확한 값을 입력해야 합니다. 각 원소칸의 Density 부분을 더블클릭하면

설정값을 수정할 수 있습니다.

※ 각각의 설정 값은 CalFile마다 별도로 저장됩니다.

Focus가 낮은 경우 Focus가 맞은 경우 Focus가 높은 경우


3-14

Laser

ON

Laser

OFF

3.2.4 기타 메뉴

3.2.4.1 Focus Laser

카메라 윈도에서 초점을 맞추기 위한 Focus Laser를 ON/OFF 합니다.

제품을 측정할 때 카메라 윈도의 수직 눈금 선에 Focus 레이저를 일치시킨

후 측정을 합니다. 단순히 카메라의 초점에 의지하여 측정을 하면 사람에

따라서 오차가 발생 할 수도 있으므로 레이저를 사용하면 항상 정확한 측정

이 가능 합니다. 밝기는 File 메뉴의 기타환경설정에서 조절합니다.

Tool Bar의 Focus Laser 아이콘은 다음과 같이 표시되며 이 아이콘을

눌러도 같은 기능을 수행 합니다.


3-15

Lamp

ON

Lamp

OFF

OFFON

자동이동 ON 상태 자동이동 OFF 상태

3.2.4.2 조명 Lamp

카메라 보기 윈도의 조명용 Lamp를 ON/OFF 합니다.

조명의 밝기는 측정기의 전면에 있는 LAMP 손잡이를 돌려서 적당한

밝기를 선택합니다.

Tool Bar의 Lamp 아이콘은 다음과 같이 표시되며 이 아이콘을 눌러도

같은 기능을 수행 합니다.

3.2.4.3 Y Stage 자동 이동

선택되어 있으면 문을 열면 Y 축이 앞으로 나오고, 문을 닫으면 들어갑니

다. 문을 열고 앞으로 나온 상태에서 Position Laser에 측정할 제품을 놓고

문을 닫으면 측정할 위치까지 자동으로 이동합니다.

Tool Bar의 Y축 자동이동 아이콘은 다음과 같이 표시되며 이 아이콘을



3-16

ON OFF

OFF 되어 있는 경우On 되어 있는 경우

3.2.4.4 Auto Cycle

정해진 수만큼 자동으로 연속적인 측정을 수행하는 기능입니다.

같은 제품을 여러 번 측정할 경우에 사용하면 편리 합니다.

Tool Bar의 Auto Cycle 아이콘은 다음과 같이 표시되며 이 아이콘을


자동 측정 회수를 설정 하려면 메뉴의 Auto Cycle 개수 설정을 선택

하거나 Main Tool Bar에서 아이콘을 누릅니다.

각 측정마다의 시간 간격을 설정 하려면 Auto Cycle 시간 간격을 선택

하고 시간을 초단위로 입력 합니다.

Auto Cycle 측정 중에 중지 버튼을 누르면 중지 합니다.

3.3 카메라 보기 윈도

3-17


측정하고자 하는 제품을 윈도에 칼라로 보이게 하여 측정하고자 하는 부분

을 십자 선에 맞추면 그 부분이 측정점이 됩니다.

십자선 중간의 동그랗거나 네모난 부분은 실제로 XRay Beam이 나오는 부

분입니다. 이 부분은 Collimator Size를 실제 크기로 표시 한 것으로서

Collimator 크기에 따라서 자동으로 변경됩니다.


3.3.1 카메라 화면에서 마우스로 클릭 이동

카메라보기 윈도가 선택되어 있을 경우에 정해진 부분을 마우스로 위치

시키고 마우스의 왼쪽 버튼을 누르면 마우스가 있는 위치가 십자선의 중

심 부분으로 이동 합니다. 즉 마우스로 선택하면 그 부분이 측정점이 됩

니다. 이 기능으로 측정하고자 하는 부분을 손쉽게 이동 시킬 수 있습니

다.

Focus Laser가 수직 십자선 중심에 있지 않을 때 마우스를 Focus

Laser의 중심부분에 맞추고 마우스의 오른쪽 버튼을 누르면 Z 축이 움

직이면서 Focus를 맞추게 됩니다.


3-18

3.3.2 File 메뉴

3.3.2.1 Open

저장 했던 카메라 화면을 읽어 들여서 카메라 보기 윈도에 표시합니다.

화면에 표시를 하게 되면 카메라보기는 중지됩니다.

카메라보기를 다시 시작하려면 카메라보기 시작 메뉴를 선택합니다.

3.3.2.2 SaveAs

현재 표시중인 카메라 화면을 지정된 장소에 지정된 이름으로 저장합니다.

저장은 윈도에서 많이 쓰이는 BMP 형식으로 저장되므로 다른 프로그램

에서도 읽어서 쓸 수 있습니다.

3.3.2.3 Copy

카메라 화면을 클립보드에 복사합니다. 복사한 화면은 다른 프로그램에서

붙여넣기로 넣을 수 있습니다. 사용자가 워드 프로세서 등으로 고유의 성적

서를 만들 때 그림을 복사해서 붙여 넣기로 자신의 문서에 붙여 넣을 수 있

습니다.


3-19

카메라 화면을 프린트 한 예

3.3.2.4 카메라 보기 시작

Open 메뉴를 사용하여 카메라 화면을 읽어 들이면 카메라 보기는 자동적으

로 중지됩니다. Open 기능의 사용을 끝내고 다시 카메라를 볼 수 있도록 하

는 메뉴입니다.

3.3.2.5 Comment

프린트 할 때에 사진의 하단부에 인쇄되는 글을 지정 합니다.

다음은 프린트 한 예입니다.

3.3.2.6 Print

위의 예처럼 카메라 화면을 프린트 합니다.

3.3.2.7 Exit

카메라 보기를 종료 합니다.


3-20

3.3.3 SetUp

3.3.3.1 클릭으로 이동

체크 표시가 되어 있으면 카메라보기 윈도의 정해진 위치를 마우스로 찍었

을 때 그 부분으로 이동합니다.

3.3.3.2 눈금색, 눈금표시

십자선과 눈금의 색을 설정 하고 눈금의 표시를 ON/OFF 합니다.

3.3.3.3 Beam 표시색

Collimator의 Beam Size를 표시하는 색을 설정합니다.

3.3.3.4 Beam 표시

선택되면 Beam 크기를 표시하고, 선택하지 않으면 십자선과 눈금만 표시합

니다. Collimator가 0.1x0.4와 같이 사각형인 경우에는 자동적으로 그 크기

에 맞는 사각형으로 표시 합니다.

3.3.3.5 Beam 위치 조정

Beam 위치 찾기로 찾아진 Beam의 위치로 십자 선을 맞추는 기능을 합니


3-21

다. 사용 방법은 2.8 Beam 위치조정을 참조 하십시오.

3.3.3.6 Beam 위치 찾기

Beam 위치와 카메라의 눈금 선을 일치시키기 위하여 실제로 Xray가 나오

는 위치를 자동적으로 찾습니다. 이 기능을 수행하기 위해서는 Cu와 Sn을

맞붙여 놓은 것이 필요 합니다.

사용 방법은 2.8 Beam 위치조정을 참조 하십시오.

3.3.3.7 카메라보기 윈도 크기 조절하기

카메라보기 윈도의 크기는 윈도의 오른쪽 부분을 늘리거나 줄여서 조절합

니다. 최 화 버튼을 누르면 화면 전체가 카메라 화면이 됩니다.

3.4 통계표시 윈도

3-22


측정값을 수집하여 윈도에 표시하고 Seiko 또는 UPA 방식의 성적서를

프린트 하거나 미리보기를 할수 있습니다.

측정값의 개수는 3~20개로 제한되어 있습니다. 그이상의 측정값 개수가 필

요한 경우에는 수치표시를 이용하여 주십시오. 수치표시는 최 90개까지

의 값을 표시하고 성적서를 프린트 할 수 있습니다.

이 윈도를 표시하려면 Main 측정 윈도의 Display 항목의 통계표시 메뉴를

선택하거나, CTRL+A를 누르거나 Main Tool Bar의 아이콘을 누릅

니다.


3-23

3.4.1 File 메뉴

3.4.1.1 복사

측정값을 클립보드에 복사하여 글, 워드, Microsoft Excel등에 붙여넣기

를 하여 측정값을 활용할 수 있도록 하였습니다.

통계표시 Tool Bar의 아이콘을 눌러도 동일한 기능을 수행합니다.

3.4.1.2 Open

저장된 측정값을 읽어 들입니다. 측정값은 측정할 당시에 선택된 CalFile의

번호로 저장됩니다. 따라서 측정값을 읽고자 할 때에는 CalFile을 확인한후

읽어야 합니다. Open을 선택하면 파일 열기 윈도가 열리면서 저장된 파일

이 표시됩니다. 이때 읽어 들일 파일을 선택한후 확인을 더블클릭을 하거나

확인 버튼을 누릅니다.


3-24

3.4.1.3 Save

측정값을 지정된 이름으로 저장합니다. 이때 저장되는 이름은 CalFile의

번호를 기준으로 저장됩니다. 즉 CalFile의 번호가 02번이면 이름.D02로

저장됩니다.

3.4.1.4 Exit

통계표시 윈도를 종료 합니다. 종료 하게 되면 종료되는 시점의 위치를 기

억하였다가 시작할 때 종료된 시점의 위치에서 시작되게 됩니다.

통계표시를 종료하지 않고 Main 측정 윈도를 종료 하게 되면 자동으로 같

이 종료되고, 측정 프로그램 시작 시에 자동으로 표시되도록 하였습니다.


3-25

3.4.2 Print 메뉴

Seiko 및 UPA방식의 프리트 및 미리보기를 선택 합니다

3.4.2.1 Seiko 형식

3.4.2.1.1 Print

Seiko 형식으로 측정값을 프린트 합니다.


3.4.2.1.2 미리보기

Seiko 형식으로 프린트될 성적서를 미리보기 윈도에서 확인할 수 있습니다.

이 기능을 사용하여 실제로 프린트될 형태를 확인한 후 프린트함으로서 프

린터의 잉크 및 용지의 낭비를 줄일 수 있습니다.


3.4.2.2 UPA 형식

3.4.2.2.1 Print

UPA 형식으로 측정값을 프린트 합니다.


3.4.2.2.2 미리보기

UPA 형식으로 프린트될 성적서를 미리 윈도에서 확인할 수 있습니다.

이 기능을 사용하여 실제로 프린트될 형태를 확인한 후 프린트함으로서 프

린터의 잉크 및 용지의 낭비를 줄일 수 있습니다.


3-26


3.4.3 SetUp

성적서를 프린트하기 위한 여러 가지 조건을 설정합니다.


글자 및 색 : 성적서에 프린트될 고객명, 모델명, 발행처, 주석의 글자

모양, 크기 및 색을 지정하고, 측정값이 표시될 색을 지정합니다.

글자의 모양, 크기 및 색을 지정하려면 Text Box에서 더블클릭 합니

다. 주석을 여러 줄로 입력할 수 있고, 측정값 색은 박스 안을 더블클릭

하면 지정 할 수 있습니다.


3-27

공통

Seiko 및 UPA 형식에 적용되는 설정입니다.

1) 카메라 화면 프린트 : 카메라 화면의 프린트 여부를 설정 합니다.

2) 카메라 눈금 프린트 : 카메라 화면을 프린트 할 때에 십자선 눈금을

프린트할지를 설정 합니다. 카메라 화면 프린트가 설정되어

있지 않으면 설정 불능 상태로 됩니다.

3) Bar 그래프 표준 편차선 표시 : Bar 그래프의 표준편차선 표시여부.

4) Bar 그래프 자동설정 : 표시범위를 자동으로 설정

5) Bar 그래프 Ng/Go 표시 : Bar그래프에 판정표시를 합니다.

6) Std Font : 프린트할 때의 기본 폰트를 설정합니다.

7) Data 표시 개수 표시할 Data의 수를 설정(3~20)


3-28

판정 프린트 기능을 사용한 예

Seiko 형식 : Seiko 형식 프린트 때에만 적용되는 설정입니다.

1) X-Bar 그래프 프린트 : 보조 그래프의 프린트 여부를 설정

2) Ng/Go판정 프린트 : Limit 설정에 의해 설정된 상, 하한 값에 의하여 판

정된 결과를 프린트 합니다.


3-29

시간 프린트를 설정한 예

UPA 형식

1) 시간 프린트 : UPA 형식을 프린트할 때 성적서를 작성한 날자 및 시간

을 프린트 합니다.


3-30

3.4.4 Clear

통계표시 윈도에서 측정값을 지웁니다.


3.4.5 통계값 표시와 공식

1) Minimum : 측정값 중 최소 값

2) Maximum : 측정값 중 최 값

3) Max-Min : 최 값 - 최소값

4) Mean(평균) : 측정개수측정값

5) Std Dev(표준편차) :

측정개수 측정값평균

6) Cv% : 평균표준편차

×

7) Cp :

8) Cpk : ×

평균

SL : 하한값, SU : 상한값


3-31

3.4.6 측정값 표시 윈도

측정된 값을 표시하는 윈도입니다.

별도의 지정을 하지 않으면 제일 윗부분부터 표시가 시작되어 측정 회수가

설정된 값이상으로 넘어갈 경우에는 제일 위쪽에 있는 표시는 없어지고 제

일 아래쪽에 새로운 측정값이 표시됩니다.

마우스로 어떠한 줄을 클릭하면 그 줄이 반전되면서 그 줄에서부터 측정값

이 표시됩니다.

3.4.7 측정값 Bar 그래프 표시 윈도

측정값을 Bar 그래프로 표시합니다.

3.5 수치표시 윈도

3-32


통계표시가 3~20개까지의 측정값을 표시하는데 반하여 수치표시는 최

90개 까지의 측정값을 표시하고 프린트 합니다. 또한 90개까지 프린트할

수 있는 성적서 프린트, 관리도만을 출력하는 관리도 프린트 및 CMI사 형

식의 성적서를 프린트 할 수 있는 기능을 갖고 있습니다.

측정값 표시는 Sn-Pb/Cu등의 성분분석 기능을 선택했을 경우에는

Sn-Pb두께, Sn 성분비율, Pb 성분 비율을 한 윈도에 표시합니다.

이 윈도를 표시하려면 Main 측정 윈도에서 Display 항목의 수치표시 메뉴

를 선택하거나 CTRL + D를 누르거나, Main Tool Bar의 아이콘을

누릅니다.


3-33

3.5.1 File

3.5.1.1 복사

측정값을 클립보드에 복사하여 글, 워드, Microsoft Excel등에 붙여넣기

를 하여 측정값을 활용할 수 있도록 하였습니다.

3.5.1.2 Open

저장된 측정값을 읽어 들입니다. 측정값은 측정할 당시에 선택된 CalFile의

번호로 저장됩니다. 따라서 측정값을 읽고자 할 때에는 CalFile을 확인한후

읽어야 합니다. Open을 선택하면 파일 열기 윈도가 열리면서 저장된 파일

이 표시됩니다. 이때 읽어 들일 파일을 선택한후 확인을 더블클릭을 하거나

확인 버튼을 누릅니다.


3-34

3.5.1.3 Save

측정값을 지정된 이름으로 저장합니다. 이때 저장되는 이름은 CalFile의

번호를 기준으로 저장됩니다. 즉 CalFile의 번호가 02번이면 이름.N02로

저장됩니다.

3.5.1.4 Exit

수치표시 윈도를 종료 합니다. 종료 하게 되면 종료되는 시점의 위치를 기

억하였다가 시작할 때 종료된 시점의 위치에서 시작되게 됩니다.

수치표시를 종료하지 않고 Main 측정 윈도를 종료 하게 되면 자동으로 같

이 종료되고, 측정 프로그램 시작 시에 자동으로 표시되도록 하였습니다.

종료해도 표시되었던 측정값은 유지되어 다음에 수치표시 윈도가 표시되어

도 측정값이 표시됩니다.


3-35

성적서 프린트의 예

3.5.2 Print

3.5.2.1 성적서 인쇄, 미리보기

최 90개까지의 측정값을 프린트 합니다.


3-36

3.5.2.2 관리도 인쇄, 미리보기

관리도만을 프린트 합니다. 관리도는 설정된 상황에 따라서 2장이 프린트될

수도 있습니다. 아래는 관리도의 미리보기의 예입니다.


3-37

3.5.2.3 CMI 형식 인쇄, 미리보기

CMI 형식으로 프린트 합니다. CMI 형식은 최 30개까지의 측정값을

프린트 합니다. 회사의 그래픽 로고도 같이 프린트 될 수 있습니다.

아래는 미리보기의 예입니다.


3-38

Block Data 프린트의 예

3.5.3 Block Data

서로 다른 Cal file을 사용하여 측정된 측정값을 하나의 성적서로 프린트하

기 위한 기능입니다.

1) Block Save : 현재 상태의 측정값을 저장합니다. 저장할 때 마다 새로운

Block으로 저장 됩니다.

2) Block Clear : 저장된 모든 Block를 삭제합니다.

3) Block Print : 저장된 Block을 프린트 합니다.

4) Block Preview : 저장된 Block를 미리보기 합니다.


3-39

Data Comment 표시를 ON한 상태

3.5.4 SetUp(환경설정)

1) 환경설정 : 각종 설정을 합니다.

2) Data Comment 표시 : 측정값에 표시할 Comment를 ON/OFF 합니다.

3) Data Comment 입력 : 표시할 Comment를 입력합니다. 새로이 입력할

때 까지 유지 됩니다. Comment 부분을 더블클릭하면 해당하는

번호의 Comment를 직접 입력할 수 있습니다.


3-40

3.5.4.1 글자 및 색

프린트될 고객명, 모델명, 발행처, 주석의 글자 및 측정값의 색을 지정합니

다.

글자의 모양, 크기 및 색을 지정하고, 측정값이 표시될 색을 지정합니다.

글자의 모양, 크기 및 색을 지정하려면 Text Box에서 더블클릭 합니다.

주석을 여러 줄로 입력할 수 있고, 측정값의 색은 박스 안을 더블클릭 하면

지정할 수 있습니다.


3-41

3.5.4.2 공통

공통적으로 적용되는 사항을 설정합니다.

X/R Bar 눈금선

Spec,Control Limit, Mean : 각선의 색을 지정 합니다. Box 안에서

더블클릭을 하면 색을 지정할 수 있습니다.

수평, 수직 눈금선 프린트 : 프린트되는 그래프 내부의 눈금을 프린트

합니다.

그래프 마커 : 측정값 그래프에 마커를 프린트 합니다.

Histogram

Color : Histogram 막 의 색을 지정 합니다. 박스를 더블클릭하면 색

을 설정할 수 있습니다.

막 수 자동 : 막 수를 자동으로 설정하면측정값개수가 설정됩니

다. 수동으로 설정하면 막 수 항목에서 막 수를 설정할수 있

습니다. 최소 개수는 3개 이상입니다.


3-42

XBar 프린트할 원소

관리도 및 CMI 형식에서 출력할 원소를 설정 합니다. 첫 번째 원소는

자동적으로 설정 상태로 됩니다.

Std Font

프린트될 Data의 폰트를 설정 합니다.


3-43

3.5.4.3 성적서

성적서 출력에 사용되는 사항을 설정합니다.

카메라 프린트 : 성적서에 카메라 화면을 프린트 하는 설정을 합니다.

시적점 X, Y는 카메라가 프린트될 화면의 좌측 상단의 좌표를

mm 단위로 설정 합니다.

고객명, 모델명, 발행처, 주석 프린트 : 각각의 프린트 여부를 설정합니

다.

XBar-Rs, R-Chart 그래프 프린트 : XBar그래프와 R-Char의 프린트

여부를 설정 합니다.

날자 및 시간 프린트 : 성적서를 프린트하는 날자 및 시간의 프린트 여

부를 설정 합니다.

Logo 프린트 : 사용자가 그림으로 만든 로고를 프린트 합니다. 아래쪽의

박스에서 더블클릭을 하면 프린트할 그림파일을 설정할 수 있

습니다 박스 하단은 그림의 크기를 나타냅니다.

실제크기로 프린트를 설정하면 박스 하단의 크기로 프린트되고

설정하지 않으면 시작점과 끝점으로 지정한 좌표에 늘리거나

줄여서 프린트 합니다. 시작점은 그림의 좌측상단, 끝점은 그림

의 우측하단의 좌표를 mm 단위로 설정 합니다.


3-44

3.5.4.4 관리도

관리도 프린트에 사용되는 사항을 설정합니다.

고객명, 모델명, 발행처, 주석 프린트 : 각각의 프린트 여부를 설정합니

다.

Logo 프린트 : 사용자가 그림으로 만든 로고를 프린트 합니다. 아래쪽의

박스에서 더블클릭을 하면 프린트할 그림파일을 설정할 수 있

습니다 박스 하단은 그림의 크기를 나타냅니다.

실제크기로 프린트를 설정하면 박스 하단의 크기로 프린트되고

설정하지 않으면 시작점과 끝점으로 지정한 좌표에 늘리거나

줄여서 프린트 합니다. 시작점은 그림의 좌측상단, 끝점은 그림

의 우측하단의 좌표를 mm 단위로 설정 합니다.


3-45

3.5.4.5 CMI

CMI 형식으로 프린트 되는 항목을 설정 합니다.

Remark Box

CMI 형식 프린트시 좌측부분에 프린트될 내용입니다.

줄2 및 줄7을 제외하고는 다른 항목으로 변경하여도 됩니다.


3-46

Logo

그림 Logo : CMI 형식으로 프린트될 양식의 좌측 상단의 그림을 설정합니

다. 우측은 그림의 실제 크기를 나타냅니다. 이 그림은 정해진 크기로

프린트되므로 보이는 것과 다를 수도 있습니다. 그림을 바꾸려면 그림

의 박스 부분을 더블클릭하면 바꿀 수 있습니다.

문자 Logo : CMI 형식으로 프린트될 양식의 우측 상단의 글자를 지정합니

다. 글자는 영어 또는 한글로도 가능합니다.

기타 : 카메라 화면 및 눈금의 프린트 여부를 설정합니다.

3.5.5 Clear

측정값을 지웁니다.


3-47

3.5.6 프린트할 범위 선택하기

아무런 설정도 하지 않거나 No. 부분을 선택하고 프린트하면 모든 측정값

이 프린트됩니다.

3번에 마우스를 위치시키고 왼쪽 버튼을 누른 상태에서 마우스를 밑으로

내려서 4번에 마우스를 위치시키고 왼쪽 버튼을 놓으면 위와 같이 설정되

고 이 상태에서 프린트를 하면 3번과 4번(반전된 부분)만 프린트됩니다.

3.5.7 지정된 측정값만 지우기

위와 같이 3번에서 5번을 선택하고 마우스의 우측 버튼을 누르면 위와 같

은 메뉴가 나오는데 여기서 지우기를 선택합니다. 또는 선택된 상태에서

키보드의 Delete 키를 누릅니다.


3-48

3.5.8 측정값이 표시될 부분 선택하기

아무런 선택이 없으면 측정값은 마지막으로 표시된 다음으로 넘어가서 표

시되지만 위와 같이 어떤 줄을 선택한후 측정하면 선택된 줄로 측정값이

들어가게 됩니다. 측정값이 15개 이상이면 아래 그림과 같이 수직 스크롤바

가 자동으로 나와서 위나 아래 부분의 측정값을 볼 수 있습니다.


3-49

3.5.9 XBar-Rs 차트

위의 차트에서 윗부분은 XBar 차트이고 아래 부분은 Rs 차트입니다. 청

색부분은 평균값을 나타내는 선이고 적색은 Control Limit 선을 나타냅

니다. Rs 차트는 이전측정값에서 현재 측정값을 뺀 차이 값을 나타냅니

다. 따라서 Rs 차트는 측정값의 변화량을 나타냅니다.

2번 Rs 값 = 절 값 (1번 측정값 - 2번 측정값)

3번 Rs 값 = 절 값 (2번 측정값 - 3번 측정값)

UCL 및 LCL은 Control Limit를 나타냅니다. Control Limit는 수치표시

의 환경설정에서 공통 항목에서 설정한 값입니다. Control Limit를 자동

으로 지정하면 Control Limit는 다음과 같이 지정됩니다.

UCL = 평균값 + 표준편차 × 3

LCL = 평균값 - 표준편차 × 3

Control Limit를 수동으로 지정하면 UCL은 USL, LCL 은 LSL로 바뀌

어 프린트 됩니다.

3.6 Spectrum(정성분석) 윈도

3-50


측정한 제품의 원소별 분포를 스펙트럼으로 보여줍니다.

윈도에 표시된 그래프를 이용하여 미지의 제품의 정성분석을 할 수 있습니다.

이 기능을 선택하기 위해서는 Main Tool Bar의 아이콘을 누르거나

Main 측정 윈도의 Display 항목의 Spectrum 메뉴를 선택하거나

CTRL + S를 누르면 됩니다.

Peak 채널, Data : 측정값중 제일 큰 값의 Data와 그때의 채널값을

표시 합니다.

원소라벨 : 원소 List에서 설정된 원소의 라벨을 해당하는 위치에 표시

합니다.

Total CPS : 측정값 전체의 CPS를 표시합니다.

각 색별 원소 CPS : 각각의 색이 표시하는 부분의 CPS합을 표시합니다.

이색은 Setup 메뉴의 Status 표시 항목을 선택한후 Status 윈

도에서 5개 까지 설정할 수 있습니다.

마우스 커서 : Spectrum 윈도 안에서 마우스를 움직이면 커서 위치의

원소, 채널, Data, Kev를 하단에 보여 줍니다.

3.6 Spectrum(정성분석)윈도

3-51

3.6.1 File

Open : 저장된 Spectrum 파일을 읽어 옵니다. 읽어온 파일은 다음 측정

때 측정된 Spectrum을 보여주면서 지워 집니다.

Save As : Spectrum 파일을 지정된 이름으로 저장 합니다.

Copy : 화면을 복사합니다.

Print : 화면에 보여주는 Spectrum을 프린트 합니다. 이때 프린트되는

크기는 Spectrum 윈도의 크기만큼 프린트됩니다. 즉 윈도의

크기를 변경시키면 프린트되는 크기도 변합니다.

Exit : Spectrum 윈도를 종료 합니다.

3.6.2 Setup

Grid 표시 : Spectrum 윈도에 수평 눈금 선을 그립니다.

Start : 윈도에 표시할 시작 채널을 지정 합니다. (0 ~ Stop)

Stop : 윈도에 표시할 끝 채널을 지정 합니다.(Start+1 ~ 1023)

Avg : 윈도에 표시하는 그래프를 부드럽게 만들어 보는데 좋게 만듭니

다. 표시에만 작용을 하고, 측정값에는 영향을 안줍니다.

Status 표시 : Status 표시 윈도를 보입니다.


3-52

3.6.3 Status 표시 윈도

Peak Ch, Data : 측정값중 제일 큰 값의 Data와 그때의 채널값을

표시 합니다.

CurSor Ch, Data : 마우스 커서가 위치한곳의 채널과 값을 표시합니

다.

Peak 표시 : Spectrum 윈도에서 Peak 채널과 Data의 표시 여부를 설

정합니다.

원소 표시 : Spectrum 윈도에서 원소라벨의 표시 여부를 설정합니다.

ROI L, U : 측정할 구간을 설정합니다. 이 구간을 설정하면 설정된 구간

의 CPS 합을 Total 칸에 표시하고 Spectrum 윈도의 측정값

그래프에는 지정된 색으로 표시하고, 우측 상단에 같은 색으로

Total값을 표시 합니다.

ROI L, U 값을 설정하려면 설정할 위치에 마우스를 위치시키고

더블클릭한후 설정 하고자하는 값을 입력합니다.

설정을 없애려면 각각 0을 설정 합니다. 이 설정은 Spectrum을

종료시키기 전까지만 유효합니다. Spectrum 윈도를 새로 보이

는 경우에는 2번째와 3번째의 ROI 구간은 Calibration 될 때의

구간으로 자동 설정합니다.

1번째 ROI 구간은 Total CPS 구간으로서 수정이 안 됩니다.


3-53

마우스로 끌어서 선택한 상태

확 한 상태

3.6.4 확 기능

Spectrum 윈도에 표시된 그래프를 확 합니다.

마우스를 확 할 위치에 위치시키고 왼쪽 버튼을 누른상태로 이동하여 확

할 구간까지 간후에 버튼을 놓으면 선택된 부분이 확 됩니다. 해제 할

경우에는 마우스의 오른쪽 버튼을 눌러서 Reset 항목을 선택합니다.


3-54

3.6.5 미지의 원소 분석하기

Main Tool Bar의 아이콘을 선택하거나 Main 측정 윈도의 Cal 메뉴

의 원소 List 항목을 선택합니다.

Search 부분의 아래 삼각형 모양을 마우스로 누르면 원소 이름이 표시됩니

다. 여기에 원하는 원소의 이름을 키보드로 입력한후 나타나는 원소의 이름

을 마우스로 찍으면 선택된 원소가 보이면서 Spectrum 윈도에도 청색과 적

색의 선으로 선택된 원소의 ROI 구간을 표시합니다. 이 상태에서 키보드의

위, 아래 화살표를 누르면 원소의 이름이 바뀌면서 Spectrum 윈도의 청색

과 적색의 위치도 따라서 변하게 됩니다. 이 기능으로 Spectrum 윈도에 나

타난 원소의 정성분석을 할 수 있습니다.

또는 원소가 표시된 줄부분을 마우스로 Click 하면 같은 기능을 수행하고

Click한 상태에서 키보드의 위/아래 커서 키를 움직이면 연속적으로 표시됩

니다.

그리고 스텍트럼 윈도에서 마우스 커서를 움직이면 하단의 원소항목에 커

서 위치의 원소이름이 표시됩니다. 이것은 원소 List에서 원소 번호를 더블

클릭 하여 번호 옆에 +표시를 한 원소만 표시됩니다.

또한 Status 윈도의 원소표시 항목을 설정하면 +표시된 원소가 원소라벨로


3-55

원소 List에서 Cu를 선택한 예

표시됩니다.

3.7 Stage Control 윈도

3-56


3.7 Stage Control 윈도

XYZ Stage의 위치를 제어하는 윈도입니다. 마우스를 해당하는 버튼위에

위치시키고 왼쪽 버튼을 누르면 아래의 그림과 같이 위치마다 다른 속도로

움직입니다. 같은 위치에서 오른쪽 버튼을 누르면 가감속 방법을 이용한 빠

른 속도로 움직입니다.







3.8 원소 List 윈도

3-57


각각의 원소마다의 원자번호 및 측정구간, 최고 값 구간, Spectrum 윈도에

서 보일 원소라벨의 표시 여부 등을 보여 줍니다. 또한 Spectrum 윈도가

보여져있는 상태라면 Search 부분에서 선택된 원소의 ROI 구간을 청색과

적색선으로 보여 줍니다.

No : 원자번호를 나타냅니다. 번호 옆의 + 기호는 Spectrum 윈도에서

원소표시를 선택 하였을 때 보여 질 원소라벨을 나타냅니다. 이 표시를

하기위해서는 해당하는 원소에서 더블클릭하면 됩니다.

Sym : 원자기호를 나타냅니다.

Densi : Density를 나타냅니다.

RoiL : Spectrum 윈도에서 ROI 구간의 시작 부분을 나타냅니다.

RoiU : Spectrum 윈도에서 ROI 구간의 끝 부분을 나타냅니다.

Kalph : K 알파의 에너지를 나타냅니다.

Lalph : L 알파의 에너지를 나타냅니다.

Lbeta : L 베타의 에너지를 나타냅니다.

KalPk : K 알파의 최고 값의 채널을 나타냅니다.

LalPk : L 알파의 최고 값의 채널을 나타냅니다.

LbePk : L 베타의 최고 값의 채널을 나타냅니다.


3-58

원소 List에서 Cu를 선택한 예

Search : 보고자하는 원소를 찾아주며, Spectrum 윈도에 청색과 적색의

선으로 선택한 원소의 ROI 구간을 나타냅니다.

찾는 방법은 Search 콤보 박스의 역삼각형 부분을 마우스로 누

르면 선택할 수 있는 List가 나타납니다. 이 상태에서 키보드로

찾고자 하는 원소를 입력하면 원소가 표시되는데 이때 마우스

로 나타난 원소를 클릭하면 List 화면이 선택된 원소로 표시되

고 Spectrum 윈도에는 청색과 적색의 선이 선택된 원소의

ROI 구간을 표시하게 됩니다.

또한 한 원소가 선택된 상태에서 키보드의 위, 아래 커서 키를

누르면 연속적으로 이전, 또는 이후의 원소가 표시되며

Spectrum 윈도에도 구간이 변하면서 표시됩니다.

그리고 원소가 표시된 줄을 Click하면 같은 기능을 수행하고

Click한 상태에서 키보드의 위/아래 커서 키를 누르면 연속적

으로 구간을 표시합니다.

3.9 CalFile(검량선 파일)선택 윈도

3-59

3.9 CalFile(검량선 파일)선택 윈도

NewCalibration(새로운 검량선 작성)으로 작성된 CalFile을 선택하는 윈도

입니다. 작성되던 당시의 간단한 정보를 표시하고 있고, 파일의 선택 및 필

요 없는 파일의 삭제 등의 기능이 있습니다. 또한 각 파일별로 기억하기 쉽

도록 설명을 넣을 수 있는데 NewCalibration 당시에 입력하였던 설명을

수정할 수 있습니다.


No : CalFile의 번호를 나타냅니다. (0에서 99까지 가능)

Beam : 사용된 Beam의 크기를 나타냅니다.

uA(TC) : Tube Current를 나타냅니다.

kV(HV) : 고압전압을 나타냅니다.

Date : 작성된 날짜를 나타냅니다.

Comments : 설명을 나타냅니다. 설명수정 버튼을 누르면 이 부분을 수

정할 수 있습니다.

설정 버튼 : 마우스로 설정할 번호를 클릭한후 설정 버튼을 누르면 설정

됩니다. 설정할 번호를 더블클릭 하여도 같은 기능을 수행 합니다.

취소 버튼 : 설정을 취소하고 윈도를 닫습니다.

삭제 버튼 : 선택된 번호를 삭제합니다. 삭제된 파일은 휴지통에 들어가

므로 휴지통에서 복원을 선택하면 되돌릴 수 있습니다. 삭제할 때에는

통계표시 및 수치표시에서 같은 번호로 저장된 다른 Data 파일도 같이

지웁니다.

설명수정 버튼 : Comments로 표시된 부분을 수정합니다.

3.10 System Adjust 윈도

3-60

3.10 System Adjust 윈도

측정기는 시간이 흐름에 따라서 주위온도 및 여러 가지 이유로 하여 처음에

작성하였던 검량선의 조건이 변할 수도 있습니다. 이런 때에 이 기능을 수

행하면 처음 검량선을 작성 하였던 조건으로 돌아갈 수도 있습니다. 이 기

능으로도 처음상태로 돌아가지 않는 경우에는 ReCalibration 기능으로 표

준시편을 측정하여야만 정확한 측정을 할 수 있습니다.


Reference Standard를 챔버의 측정 점에 넣습니다.

시작 버튼을 누릅니다. 조정은 상태에 따라서 오래 걸릴 수도 있습니다.

조정이 끝난 후 Spectrum은 다음과 같습니다. 조정은 두 봉우리의 위치 및

간격을 조정하므로 봉우리의 높이는 영향이 없습니다.

3.11 2D3D 측정 윈도

3-61


측정할 제품이 일정한 간격으로 되어 있거나 넓은 면을 일정한 간격으로 측

정하고자 할 경우에 사용하는 윈도입니다. 측정할 위치가 불규칙 할 경우에

는 임의위치 측정 윈도를 사용하십시오.

3.11.1 2D(Step)

넓은 면을 가진 제품을 일정 간격으로 측정하고자 할 때에 사용합니다.

이동간격 : 한번 측정할 때 마다 이동하는 간격을 입력 합니다. 최소단위

는 0.01mm입니다.

측정 개수 : 측정하고자 하는 개수를 설정합니다. 측정하게 되는 총 이동

거리는 (측정 개수-1)×이동간격입니다.

현재 : 현재 측정중인 번호를 나타냅니다.

측정시작 : 측정하면서 제품이 이동하는 방향을 나타냅니다. 만일 총 이

동거리가 제어 범위을 넘어서면 한계를 벗어났다는 메시지가 나옵니다.

측정시작의 우측 버튼을 눌렀을 때의 제품의 이동방향 및 측정점의 이동

방향은 다음과 같습니다.


3-62

3.11.2 2D(Point)

핀과 같이 좁은 면을 가진 제품을 측정 할 때 사용 합니다.

시작점 등록 : 측정을 시작할 좌표를 등록 합니다.

끝점 등록 : 측정을 끝낼 좌표를 등록 합니다.

현재 위치 : 측정중인 현재의 위치를 나타냅니다.

측정점개수 : 측정하고자 하는 점의 수를 입력합니다.(시작점 및 끝점을

포함하여 입력합니다. 즉 전체 측정점의 수를 입력합니다.)

현재 : 측정중인 현재의 번호를 표시합니다.

측정시작 : 측정을 시작합니다.

측정점개수 시작점끝점

측정점개수시작점끝점

※ 14핀 IC또는 Frame 측정법

1. IC의 1번 핀을 카메라의 측정점에 맞추고 시작점 등록 버튼을 눌러

시작점을 등록 합니다.

2. IC의 14번 핀을 카메라의 측정점에 맞추고 끝점 등록 버튼을 눌러

끝점을 등록합니다.

3. 측정점개수에 14를 입력합니다.

4. 측정시작 버튼을 누릅니다.


3-63

3.11.3 3D

면으로 된 제품의 XY 좌표를 일정한 간격으로 측정하여 도금의 분포를 보

고자 할 때 사용되는 기능입니다. 이 기능은 Microsoft의 Excel로 Data를

보내어 Excel의 차트기능을 이용하므로 Microsoft의 Excel이 실행되어 있

어야 합니다.

X, Y 이동간격 : XY 방향으로 이동할 간격을 설정합니다. 최소 단위는

0.01mm입니다.

X, Y 측정개수 : 원점을 포함한 측정 개수를 지정 합니다. 측정하게 되

는 총 이동 거리는 (측정개수-1)×이동간격입니다.

현재 : 현재 측정중인 번호를 표시합니다.

측정시작 : 측정을 시작하고 측정값을 Microsoft Excel로 보냅니다. 측

정을 취소하려면 Main 측정 윈도의 중지 버튼을 누릅니다. 측정 시작버

튼을 눌렀을 때 총 이동거리가 제어범위를 넘으면 한계를 벗어났다는

메시지가 나옵니다. Microsoft의 Excel이 실행되어 있지 않으면 주의

메시지가 나오고 계속 측정되는데 측정값은 수치표시를 보이게 하였으

면 수치표시 Data로 계속 저장됩니다.

측정되는 위치는 제품의 우측 뒷면에서부터

좌측 앞면으로 이동합니다. 측정은 오른쪽

그림과 같은 순서로 되지만 Excel로 전송

할 때에는 위치 순서 로 전송됩니다.


3-64

3.11.4 기타 표시 및 설정

현재위치 : XY Stage의 현재 위치를 나타냅니다.

시작점위치 : 측정을 시작하는 위치를 나타냅니다. 측정시 시작점으로

설정 항목을 체크하여 놓으면 시작버튼을 눌렀을 때 시작점이 설정됩니

다. 측정후 원위치 항목을 체크하여 놓으면 측정이 끝난 후 시작점으로

돌아옵니다.

시작점 설정 : 현재위치의 좌표를 시작점으로 설정합니다.

시작점으로 이동 : 설정되어 있는 시작점으로 이동 합니다.

홈으로 이동 : 기계적인 0점으로 이동 합니다. X 축은 좌측으로 Y축은

앞쪽으로 이동합니다.

측정시 시작점 설정 : 체크 표시가 되어 있으면 측정 버튼을 눌렀을 때

현재위치가 시작점으로 설정됩니다.

측정후 원위치 : 체크 표시가 되어 있으면 측정이 끝났을 때 시작점으로

이동합니다.

File : 현재의 설정상태를 저장하거나 읽어 들입니다.


3-65

File의 열기 버튼을 누르면 다음과 같은 윈도가 나옵니다.

저장된 파일을 선택하면 그 파일의 내용이 우측의 Text Box로 표시됩니다.

선택된 파일을 더블클릭하면 그 내용으로 설정되게 됩니다.

File의 저장 버튼을 누르면 다음과 같은 윈도가 나옵니다. 저장할 이름

을 입력하고 저장 버튼을 누르면 이름.PD로 저장됩니다.


3-66

3.11.5 2D 측정의 예


3-67

3.11.6 3D 측정의 예

3.12 임의위치 측정(Random Stage) 윈도

3-68


측정하고자 하는 제품의 위치가 일정하지 않을 때 사용합니다. 측정하고자

하는 위치를 Stage Control 윈도를 사용하여 카메라로 확인한후 Set 아이

콘을 누르면 등록됩니다. 등록을 한 후 Run 아이콘을 누르면 등록된 위치로

이동하면서 측정됩니다. 측정을 취소하려면 Main 측정 윈도의 중지 버튼을

누르면 취소됩니다. 등록은 최 100개까지 가능 합니다.

또한 등록된 좌표중 선택된 좌표로 이동할 수 있고, 등록된 좌표는 키보드

를 이용하여 다른 값으로 수정할 수 있습니다.

3.12.1 Open

저장된 좌표 Data를 읽어 들입니다.

3.12.2 Save

등록된 좌표를 지정된 이름으로 저장합니다. 저장 형식은 이름.XYZ으로 저

장됩니다.

3.12.3 Home

XY Stage의 기계적인 0점으로 이동합니다. X축은 좌측, Y축은 앞쪽, Z축은

아래로 이동합니다. 이동후 현재의 좌표 표시는 0으로 됩니다.


3-69

3.12.4 Set

현재의 좌표를 등록합니다. 등록은 별도의 선택이 없을 경우 제일 마지막에

추가적으로 등록합니다. 만약 다른 줄을 클릭 하여 선택한후 등록하면 그

부분에 있던 좌표 Data는 없어지고 새로운 좌표가 등록됩니다.

3.12.5 Run

등록된 좌표로 이동 하면서 측정합니다. 측정을 취소하려면 Main 측정 윈

도의 중지 버튼을 누르면 취소됩니다.

3.12.6 Clear

등록된 좌표 Data를 전부 지웁니다. 일부를 지우려면 다음과 같이 합니다.

1) 한 줄을 지울 때 : 지울 줄을 마우스로 선택합니다. 키보드의 Delete키를

누르거나 마우스의 오른쪽 버튼을 눌러서 Del 메뉴를 선택합니다.

2) 여러 줄을 지울 때 : 지울 첫 번째 줄에 마우스를 위치시키고 왼쪽 버튼

을 누릅니다. 왼쪽 버튼을 누른 상태로 마우스를 밑으로 내려서 지울 마지

막 줄까지 이동합니다. 그리하면 지울 부분이 반전되어 표시될 것입니다.

선택된 상태에서 키보드의 Delete키를 누르거나 마우스의 우측 버튼을 눌

러서 Del 메뉴를 선택합니다.

3.12.7 선택된 좌표로 이동

선택된 좌표로 이동을 하려면 이동하고자 하는 좌표가 있는 줄을 클릭 하여

선택합니다. 마우스의 우측 버튼을 눌러서 Move To 메뉴를 선택합니다.

3.12.8 등록된 좌표의 수정

등록된 좌표을 수정하려면 수정하고자 하는 셀을 더블클릭 합니다. Edit

Box가 나오면 원하는 값을 입력합니다. 이 방법은 좌표가 등록되어 있는

부분만 수정할 수 있습니다.

3.13 Limit 설정 윈도

3-70


측정값의 상하한 값을 설정하거나, Limit 생성을 자동, 또는 수동으로 하거

나, Main 측정 윈도에 NG/GO 결과에 따른 색상을 표시할지를 선택합니다.


Limit 설정

각 층마다의 상한, 하한의 값 및 판정방식을 설정합니다. 이 값은 측정

할 때에 판정 값으로 쓰이며 통계표시에서 그래프의 상하한 값으로도

쓰여 집니다. Low는 상한보다 낮으면 양품, Up은 하한보다 높으면

양품 LowUp은 하한과 상한 안에 있으면 양품으로 판정됩니다.

Limit 자동 설정을 체크해 놓으면 이 값은 사용되지 않습니다.

Limit 자동 설정

측정할 때 마다 상한값과 하한값을 자동으로 설정 합니다.

읽기 및 저장

설정할 상하한 값들을 저장하거나 읽을 수 있습니다.


3-71

Ng/Go 색상 표시

판정결과에 따라서 Main 측정 윈도의 측정값을 표시하는 부분에

Ng이면 적색, Go이면 녹색으로 표시 합니다.

3.14 ReCalibration(검량선 보정) 윈도

3-72


이미 작성되어 있는 검량선의 보정을 수행 합니다. 이 기능을 사용하려면

Main 측정 윈도의 Cal 메뉴의 ReCalibration 메뉴를 선택합니다.


이 기능이 선택되면 다음과 같은 윈도가 표시됩니다.

3.14.1 표준시편 보정하기

위와 같은 윈도가 표시되면 Calibration Data 윈도에서 보정할 부분을

마우스로 클릭한 후 ReCalibration 윈도의 측정 버튼을 누릅니다. 이때

Calibration Data 윈도의 Avg 항목에 측정한 횟수가 표시됩니다. 측정

값의 정확도를 높이려면 여러 번 측정하는 것이 유리 합니다. 오른쪽 부

분의 좌표는 시편을 카메라에 맞춘후 해당 부분의 좌표를 더블클릭하면

좌표가 입력되고, 모든 좌표가 입력된 후 측정을 누르면 입력된 좌표로

이동하면서 측정되어 해당 위치에 측정값이 입력됩니다.


3-73

3.14.2 측정값 지우기

만약 표준 시편을 잘못 선택 했다든지 등의 이유로 측정값을 지울 경우에는

지우고자 하는 줄을 선택한후 마우스의 오른쪽 버튼을 누른 후 Clear CPS

메뉴를 선택합니다.

3.14.3 측정값 프린트하기

측정값을 프린트 하려면 Calibration Data 윈도에서 오른쪽 버튼을 누르고

Print 메뉴를 선택합니다.

3.14.4 저장하기

ReCalibration 윈도의 저장 버튼을 누릅니다.

3.14.5 취소하기

ReCalibration 윈도의 취소 버튼을 누릅니다.

취소 버튼을 누르면 지금까지의 작업이 무효가 됩니다.

3.15 New Calibration(검량선 작성) 윈도

3-74


새로운 검량선을 작성 합니다. 이 기능을 사용하려면 Main 측정 윈도의 Cal

메뉴의 NewCalibration 메뉴를 선택합니다.


원소종류 : 만들고자 하는 원소의 종류를 선택합니다.

Beam Size : Collimator 자동 선택 모델의 경우 필요한 Collimator의

크기를 선택합니다.

Cal Time : Calibration 시간을 설정합니다. 원소종류에서 선택한 모드

에 따라서 시간이 구분됩니다.

High Vol : 사용될 전압을 선택 합니다. 보통의 경우에는 표준값인

47.1kV를 사용 합니다.

Calibration 버튼 : 검량선 작성으로 진행 합니다.

취소 버튼 : 현재 작업을 취소하고 윈도를 닫습니다.


3-75

3.15.1 검량선 작성하기

사용할 원소를 선택합니다.( 예 : Au/Ni/Cu )

Beam Size를 선택합니다. (Collimator 자동 모델인 경우)

시간을 설정합니다. 표준값은 30초로 설정되어 있지만 정확한 측정을 위

해서는 측정하는 시간과 같은 시간을 설정한후 측정 횟수를 늘리는 것이

정확한 측정값을 얻는데 유리합니다.

Calibration 버튼을 누릅니다. 다음과 같은 윈도로 변합니다.

메시지 박스에 나타난 무한 (예:Au)를 측정 점에 위치시키고 Focus를

맞춘 후 New Calibration 윈도의 측정 버튼을 누릅니다.

측정이 끝나면 다음 시편을 넣으라고 하면 표시된 무한 를 넣습니다.

모드별로 정해진 시편을 입력하여 측정 버튼을 누릅니다.

Intensity 측정이 끝나면 다음과 같이 수동으로 입력하도록 나옵니다.


3-76

수동 입력은 측정하고자 하는 표준 시편이 매우 얇은 경우에 나타난 값보다

낮은 값을 입력합니다. 이외에는 제시된 값을 사용하므로 확인만 누릅니다.

System Adjust를 하라는 윈도가 나옵니다. Reference standard를 측

정 점에 위치시킨 후 Focus를 맞추고 시작 버튼을 누릅니다.

조정이 완료되면 NewCalibration 윈도는 다음과 같이 변합니다.


3-77

단층 측정의 경우

복층 측정의 경우

동시에 Calibration Data 윈도가 표시됩니다. 이 윈도는 측정 원소의 종

류에 따라서 여러 가지로 표시됩니다.

단층의 경우에는 무한 및 Base를 제외한 시편의 개수를 설정하면 됩

니다.


3-78

SnPb/Cu의 SnPb성분두께의 예

SnPb/Cu의 합금성분두께의 예


3-79

Calibration Data 윈도의 동그라미 쳐진 부분에 표준 시편의 값을 입력

합니다. 값 입력은 해당하는 칸을 더블클릭 하면 Edit Box가 타나나는

데 필요한 값을 입력하고 키보드의 Enter를 누르거나 마우스로 다른 곳

을 클릭하면 됩니다.

입력이 다 끝나면 측정 하고자 하는 시편을 클릭 하여 아래와 같이 반전

되도록 선택 합니다.

선택한 표준시편을 측정 점에 맞추고 Focus를 맞춥니다.

NewCalibration 윈도의 측정 버튼을 누릅니다. 측정값이 표시되면서

Avg 항목에 측정한 횟수가 표시됩니다. 측정값의 정확도를 위해서 많이

측정 할수록 좋습니다.(측정 모드에 #Au/Ni/Cu와 같이 #표시가 되어

있으면 Numeric Mode로서, Cal Time이 10초로 주어 지므로 이때에는

최소한 3번 이상은 측정해야 정확한 측정값을 얻을수 있습니다.)

어떤 실수로 인하여 측정값이 틀렸다고 판단되면 아래와 같이 지울 원소

를 선택한 후 마우스의 오른쪽 버튼을 누르면 아래와 같은 메뉴가 나옵

니다. 여기서 Clear CPS를 선택하면 선택된 부분이 0으로 됩니다.


3-80

모든 시편의 측정이 완료되면 NewCalibration 윈도의 저장 버튼이 활성

화되어 저장이 가능하게 됩니다.

저장을 누르면 다음과 같이 설명입력을 요구 합니다. 설명 입력은

CalFile 선택 시에 우측 부분에 보여 지는 부분입니다. Calibration과 관

련된 설명을 입력하면 사용 시에 기억이 쉽도록 하였습니다.

설명입력 후 확인을 누르면 측정된 값들이 저장되면서 새로 만든

CalFile로 자동 설정되어 즉시 사용할 수 있도록 됩니다.


3-81

3.15.2 검량선 작성시 주의 사항

검량선 작성시 Base 소재를 측정한후 표준시편을 측정함으로서

Background 보정을 실시합니다. 그러나 다음과 같은 경우에는

Background 보정에 오차가 발생하므로 주의하여 주십시오.

Base를 합성수지류, 세라믹 또는 플라스틱등에 도금한후 다른 금속을

도금하는 경우에는 도금된 Base의 두께가 얇으므로 순수 원소로 된

Base와는 다른 특성을 나타냅니다. 그러므로 이런 경우에는 합성수지위

에 Base 원소를 도금한 것(도금전 원소재)을 Base로 하여 검량선을 작

성 하여야 합니다.

예) Au/Ni/Cu/PCB

Cu와 Cu/PCB는 특성이 다르게 나타나므로 Base는 Cu로 하면

안되고 원소재인 Cu/PCB로 하여야 정확한 측정이 가능합니다.

또한 PCB가 얇을 경우에는 PCB 밑에 Cu(1mm이상)를 깔고 검

량선작성 및 측정을 하여야 합니다.

예) Au/W/세라믹

세라믹은 두께에 따라서 나오는 특성이 다르므로 실제 제품에

사용되는 두께의 세라믹을 사용해야 정확한 측정이 가능합니다.

예) Flexible PCB (Au/Ni/Cu)

Base로 되어 있는 Cu의 두께가 얇으므로 Xray가 Base를 뚫고

Stage의 원소를 방출시키므로 오차가 발생 합니다. 따라서

FPCB를 측정하고자 할 때에는 밑에 1mm이상의 Cu를 깔고서

검량선 작성 및 측정을 하여야 합니다.

3.16 Sleep 모드 및 Excel 전송 설정하기

3-82

3.16 기타 환경 설정

3.16.1 Sleep Mode 설정

Sleep 모드에 체크 마크가 설정되어 있고 측정을 지정된 시간 동안 하지

않으면 Sleep 모드로 진입합니다. Sleep 모드로 되면 다음과 같은 윈도

가 나오면서 Sleep 모드 해제 이외에는 다른 모든 기능은 정지합니다.

Sleep 모드를 해제 하려면 위의 윈도에서 Sleep Mode 해제 버튼을 누

릅니다. 해제 버튼을 누르면 고압을 올리고 전류를 다시 설정 합니다.

3.16.2 Focus Laser 밝기

Focus 용 laser의 밝기를 설정 합니다.

3.16 Sleep 모드 및 Excel 전송 설정하기

3-83

3.16.3 측정값 Excel로 전송

Microsoft의 Excel이 실행되어 있고 시트가 열려있는 상태에서 환경설

정의 측정값 Excel로 전송 부분의 체크마크를 표시해 놓으면 측정할 때

마다 측정값을 지정된 시트의 셀로 전송합니다. 새로운 셀로 전송하고자

할 때에 새로운 시트의 셀 또는 새로운 셀을 선택하면 그 부분으로 전송

됩니다.

3.16.4 암호 변경

암호 변경을 누르면 프로그램을 시작할 때 나오는 사용자 암호및 측정값

보정에 사용되는 암호를 변경할 수 있습니다.

암호변경은 보안을 위하여 * 문자로 표시 됩니다.

현재 암호와 바꿀 암호를 설정한후 확인을 누르면 새로운 암호로

시작할 수 있게 됩니다.

Documents

XRay Fluorescence Coating Thickness Gauge XRF-2000 …micropioneer.com/catalogue/6_XRF-2000.pdfXRay Fluorescence Coating Thickness Gauge XRF-2000 측정기 사용법 Micro Pioneer