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Die TURBOVAC iX vereint herausragende Performance mit höchster
Funktionalität. Unsere Turbomolekular-Pumpen mit integrierter
Vakuumsystem-Steuereinheit bieten Ihnen zahlreiche Optionen, die
bisher nur bei teuren externen Steuereinheiten verfügbar waren.
Vorvakuumpumpen, Kühlungen, Ventile und weitere Zubehörteile
können ganz unkompliziert direkt über die Turbopumpe angesteuert
und die über die Vakuummessröhre ausgelesenen Druckdaten zum
Betrieb des Pumpsystems verwendet werden.
Mit dem besten Verhältnis von Leistung
zu Größe im ISO 63-, 100- und 160-
Bereich bietet die TURBOVAC iX ein
innovatives Rotor- und Holweckstufen-
design. Das Resultat: hervorragende
Performance und bislang unerreichtes
Saugver mögen vor allem für leichte
Gase.
Für noch mehr Flexibilität können Sie
zwischen verschiedenen elektronischen
Steuerungsfunktionen, Gehäuse- und
Flanschkonfigurationen sowie einem
breiten Angebot an Zubehör wählen.
Das einzigartige ölfreie Hybridlager-
System mit lebensdauer-geschmiertem
Kugellager steigert Ihre Produktivität
und senkt gleichzeitig die Betriebskosten.
Entdecken Sie neue Vakuum-Dimensionen
02 TURBOVAC iX
Ihre Vorteile auf einen Blick
Price & Performance:
Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis
Flexible & Fast: Höchste Produktflexibilität –
und damit perfekte Anpassung an Ihre Bedürfnisse
Plug & Play: Einfache und schnelle Installation,
Prozessabläufe und Steuerung dank flexiblen Produkt-
designs, integrierter Elektronik und einem breiten
Angebot an Kommunikationsschnittstellen
Fit & Forget: Absolute Zuverlässigkeit durch inno -
vatives Pumpendesign und dem einzigen auf dem Markt
befindlichen ölfreien Hybridlagerkonzept mit lebensdauer-
geschmiertem Kugellager
TURBOVAC iX 03
Analytische Technologien/
Forschung & Entwicklung
Massenspektrometrie
Elektronenmikroskopie
Oberflächenanalyse
Röntgenanalyse
Teilchenbeschleuniger und
Synchrotrone
Labor-Beschichtungssysteme
MBE (Molekularstrahlepitaxie)
UHV-Systeme
Life Sciences
Protonentherapie
Gammasterilisation
Produktion von hochwertigen
Implantaten
Industrielle Anwendungen und
Beschichtungen
PVD (Physikalische
Abscheideverfahren)
- Optische Beschichtungen
- Produktion von CD/DVD/Blu-Ray
- Dünnschichttechnologien,
Photovoltaik
Sputteranlagen, Transferkammern,
Handhabungssysteme
Elektronenstrahlschweißen
Vakuumisolation und Lecksuche
Typische Anwendungen
Maximale Leistung
Dank seines variablen Rotor- und
Holweckstufen-Designs bietet unsere
neue TURBOVAC iX-Produktlinie auch
bei unterschiedlichsten Anforderun-
gen immer maximale Leistung. So
sind TURBOVAC iX Modelle für UHV-
Anwendungen und kompakte Pump-
systemlösungen die perfekte Wahl. Mit
einem Saugvermögen für leichte Gase,
das bis zu 60 % über dem vergleich-
barer Produkte liegt, und einem Kom-
pressionswert, der rund 100 Mal höher
ist als bei Produkten der vorherigen
Generation, sind sie besonders für Pro-
zesse mit kleinen Vorpumpen geeignet.
Ihre Vorteile: ein erheblich kompakte-
res Vakuum-System sowie reduzierte
Anschaffungs- und Betriebskosten.
Wenn es um anspruchsvolle Applika-
tionen mit hohem Gasdurchsatz geht,
überzeugen die T-Varianten der
TURBOVAC iX Reihe durch gesteiger-
ten Gasdurchsatz und kürzere Hoch-
laufzeiten sowie ihre erhöhte Toleranz
gegenüber Staub- und Partikelanfall.
Überdurchschnittliche
Zuverlässigkeit
Die einzigartige ölfreie Hybridlagerung
mit Lebens dauerschmierung zeichnet
sich durch extreme Zuverlässigkeit und
Haltbarkeit aus und macht Regelwar-
tungen aufgrund Ölwechsel überflüssig.
Das spezielle Lagersystem sorgt für
einen vibrations- und geräuscharmen
Betrieb und damit für wenig Beanspru-
chung oder negative Auswirkungen bei
vibrationsempfindlichen Anwendungen.
Das optimierte thermische Design
der TURBOVAC iX-Produktlinie
gewährleistet eine bestmögliche
Kühlung des Lagersystems. Um die
Lager vor kritischen Gasen oder Partikeln
zu schützen, sind alle Pumpen mit
einem Sperrgasanschluss ausgestattet.
Dadurch wird nicht nur die Laufzeit
der Pumpe deutlich erhöht, sondern
auch die Anlagenverfügbarkeit – und
damit Ihre Produktivität. Zusammen mit
den geringen Betriebskosten wird Ihr
Vakuum system so effizienter, zuver-
lässiger und günstiger als jemals zuvor.
04 TURBOVAC iX
TURBOVAC iX 05
Zahlreiche Optionen
Um Installation, Betrieb und Steuerung
so unkompliziert wie möglich zu
gestalten, ist die TURBOVAC iX mit
einer integrierten Antriebselektronik mit
direkter 24/48V DC-Versorgung sowie
einer eingebauten Vakuumsystem-
Steuereinheit für erweiterte Funktionen
und Pumpsystemkontrolle ausgestattet.
Die Steuereinheit bietet USB- und di-
gitale In/Out-Ports sowie einen zusätz-
lichen Anybus-Port, der mit typischen
auf dem Markt erhältlichen Schnitt-
stellen (RS 485, RS 232, Profibus und
vielen anderen) bestückt werden kann.
Die TURBOVAC iX verfügt darüber
hinaus über drei Zubehöranschlüsse,
mit denen sich die Luftkühler, Belüftungs-
und Sperrgasventile sowie die Relais-
Box für den Betrieb einer Vorvakuum-
pumpe, einer Heizmanschette oder
weiteren Zuhörteilen steuern lassen.
Für höchste Flexibilität sorgen bei der
TURBOVAC iX einzigartige Funktionen
wie ein Vakuummess röhrenanschluss
für den Messröhrenbetrieb. Die so
gewonnenen Druck daten können direkt
zur Ansteuerung des angeschlossenen
Zubehörs verwendet werden.
Die TURBOVAC iX ist mit einer dreh-
baren Vorvakuum-Flanschverbindung
ausgestattet und optional mit einem
zusätzlichen Zwischen-Anschluss im
Gehäuse erhältlich, um das Abpumpen
einer weiteren Kammer zu ermögli-
chen.
Die flexiblen Optionen und zahlreichen
Vorteile machen die TURBOVAC iX
so zu einer ausgesprochen kosten-
effizienten Lösung für die Vakuum-
systemsteuerung und zu einer mehr
als wett bewerbsfähigen Alternative zu
kostenintensiven, externen Steuerungs-
einheiten.
Ein variables und umfangreiches
Angebot an Zubehör ergänzt die neue
Produktreihe. Es umfasst unter anderem
kostengünstige Netzteile für 100 bis
240 V Netzspannungsversorgung,
justierbare Luft- oder Wasserkühlungen,
Heizmanschetten, Belüftungs- und
Sperrgaszubehör sowie Installations-
und Befestigungssets, die die Inbetrieb-
nahme vereinfachen. Entdecken Sie
unendliche Möglichkeiten mit der
Flexibilität der TURBOVAC iX!
Leistung Branchenbestes Saugvermögen insbesondere für
leichte Gase (bis zu 60 % höher als vergleichbare Produkte)
Optimierter Rotor-Durchmesser für ISO 63-, 100- und
160-Flansch resultiert in maximaler Pumpleistung
Flexibilität Individualisierbares Design der Vakuumanschlüsse
• Drehbarer Vorvakuumanschluss
• Verschiedene Zwischen-Anschlüsse verfügbar
Variables Rotor- und Holweckstufen-Design zur
Unterstützung der Leistung gemäß Ihrer Vorgaben
Installation, Betrieb und Steuerung Integrierte Antriebselektronik mit 24/48V DC-Versorgung
vermeidet kostenintensive Verkabelung
Integrierte Vakuumsystem-Steuereinheit für Plug and Play-
Pumpsystembetrieb
• Standard USB- und digitale 15-Pin In/Out-Schnittstelle
• Optionale Schnittstellen (RS 485, RS232, Profibus etc.)
• Steuerung von bis zu sechs Zubehörkomponenten
• Vakuummessröhrenanschluss für die Messröhrenversorgung
und Datenerfassung, auch zur druckabhängigen Steuerung
des Zubehörs
• Vorvakuumpumpen-Steuerung
Hocheffizienter Motor
Optimiertes thermisches Design für bestmögliche Kühlung
der Lager und verlängerte Laufzeit der Pumpe
Innovatives Lagersystem zur Reduzierung von Vibrationen
Wartungsfreies oberes Permanentmagnetlager
Ölfreies, lebensdauergeschmiertes unteres mechanisches
Keramikkugellager, vor Ort austauschbar
06 TURBOVAC iX
Mehr für Sie drin ...
TURBOVAC iX 07
... holt mehr für Sie raus
Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis Flexible Leistungsanpassung – individuell auf individuell
auf Ihre Anforderungen zugeschnitten
Hervorragende Leistung bei allen Applikationen dank
innovativer Pumpentechnologie
Installation, Betrieb und Steuerung – schnell und einfach
Plug & Play: integrierte Elektronik und Vakuumsystem-
Steuereinheit, verschiedene Kommunikationsschnitt-
stellen und flexibles Zubehör
Installation in jeder Lage möglich
Gesteigerte Produktivität und Systemverfügbarkeit bei niedrigen Kosten
Höchste Zuverlässigkeit dank des innovativen
Pumpen- und Lagerkonzepts
Fit & Forget: erste und einzige mechanische Turbo-
molekularpumpe mit ölfreiem Hybridlagerkonzept und
wartungsfreiem Kugellager – keine Ölwechsel nötig
Erhöhte Anlagenverfügbarkeit und reduzierte
Betriebskosten durch Lagerwechselmöglichkeit vor Ort
TURBOVAC 90 iX TURBOVAC 250 iX
HeliumStickstoff WasserstoffArgon
TURBOVAC 90 iX
TURBOVAC 250 iX
08 TURBOVAC iX
Technische Spezifikationen
100
80
40
60
20
0
10-6 10-110-210-310-410-5
High-vacuum pressure (mbar)
Pum
pin
g s
peed
(l/s)
19
6
36
2075
19
2x M6-10
Purge
G 1/8" Vent
G 1/8"
Ø130
Ø131
57
38
120
19
9
DN 16 KF
23
23
110
476
4
75 93
54 56
92
7520
41
185.75
41
22
39.6
182.5
∅105.5∅95
43.7
120
64.2
47.2
23
22.2
110
54 56
92.4
75 93
h
TURBOVAC 90 iX
DN 63 ISO-K 186
DN 63 CF 203
TURBOVAC 250 iX
DN 100 ISO-K 199
DN 100 CF 208
h
Hochvakuum-Druck (mbar)
Saug
verm
ög
en (l/s)
300
240
120
180
60
0
10-6 10-110-210-310-410-5
TURBOVAC 350 iX TURBOVAC 450 iX
500 500
400 400
200 200
300 300
100 100
0 0
10-6 10-610-1 10-110-2 10-210-3 10-310-4 10-410-5 10-5
Hochvakuum-Druck (mbar) Hochvakuum-Druck (mbar)
Saug
verm
ög
en (l/s)
Saug
verm
ög
en (l/s)
HeliumStickstoff WasserstoffArgon
TURBOVAC (T) 350 iX
TURBOVAC (T) 450 iX
TURBOVAC iX 09
20
25
,5
20
,8
100,7 2x M6 - 10
32
165
180
h
95,4
111,3
110,2
93,2
110,7
VENT
G 1/8"
PURGE
DN 25 KF
3,2
111
106,8
13
9,3
21
6
102
h
320
26
21
62
32
101 138
20487
6
110
103
23
47
64
G 1/8"
PURGE
DN 25 KF
VENT
2x M6 - 10
X
Ø 130
Ø 165
h
TURBOVAC (T) 350 iX
DN 100 ISO-K 235
DN 100 CF 248
h
TURBOVAC (T) 450 iX
DN 160 ISO-K 219
DN 160 CF 225
56,354,4
56
111
94
111
54
32°
32°
Technische Spezifikationen
Technische Daten
10 TURBOVAC iX
TURBOVAC 90 iX 250 iX
Hochvakuum-Anschluss DN 63 ISO-K 100 ISO-K
63 CF 100 CF
Vorvakuum-Anschluss DN 16 KF 16 KF
Saugvermögen für I ∙ s-1
N2 90 225
Ar 83 210
He 90 250
H2 78 210
Gasdurchsatz mbar ∙ I ∙ s-1
N2 10 6
Ar 3 3
He 11 6
H2 11 > 10
Kompressionsverhältnis
N2 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011
Ar 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011
He 1 ∙ 108 1 ∙ 108
H2 5 ∙ 107 2 ∙ 107
Enddruck ISO-K/CF mit mbar ≤ 8 ∙ 10-8 / ≤ 5 ∙ 10-10
zweistufiger ölgedichteter Drehschieberpumpe
Maximaler mbar 14 14
Vorvakuum-Druck für N2
Nenndrehzahl U/min 72 000
Kühlung Standard Konvektion
Kühlung optional Luft- oder Wasserkühlung
Gewicht ISO-K/CF kg 3,6 / 5,3 4,5 / 7,1
Empfohlene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 2,5 E / D 4 B D 2,5 E / D 4 B
SCROLLVAC SC 5 D SC 5 D / SC 15 D
DIVAC 1,4 HV3 3,8 HV3
Versorgungsspannung 24/48V DC ±10 %
Maximale Stromaufnahme 10A bei 24V DC
Maximale Leistungsaufnahme W 240
Schnittstellen USB, 15-Pin digital I/O, Anybus
(Optional RS485, RS232, Profibus; weitere auf Anfrage)
Technische Daten
TURBOVAC 350 iX 450 iX T 350 iX T 450 iX
Hochvakuumanschluss DN 100 ISO-K 160 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K
100 CF 160 CF 100 CF 160 CF
Vorvakuumanschluss DN 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF
Saugvermögen für I ∙ s-1
N2 290 430 290 430
Ar 260 400 260 400
He 360 440 360 440
H2 350 420 320 400
Gasdurchsatz mbar ∙ I ∙ s-1
N2 4,5 4,5 11,5 11,5
Ar 2,0 2,0 6,0 6,0
He 8,0 8,0 20,0 20,0
H2 8,0 8,0 20,0 20,0
Kompressionsverhältnis
N2 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011 1 ∙ 1010 1 ∙ 1010
Ar 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011
He 1 ∙ 108 1 ∙ 108 1 ∙ 106 1 ∙ 106
H2 1 ∙ 106 1 ∙ 106 1 ∙ 104 1 ∙ 104
Enddruck ISO-K/CF mit zweistufiger mbar ≤ 8 ∙ 10-8 / ≤ 5 ∙ 10-10
ölgedichteter Drehschieberpumpe
Maximaler mbar 10 10 0,5 0,5
Vorvakuumdruck für N2
Nenndrehzahl U/min 60.000
Kühlung Standard Konvektion
Kühlung optional Luft- oder Wasserkühlung
Gewicht ISO-K/CF kg 8,0/12,0 8,2/13,0 7,5/11,5 7,7/12,5
Empfohlene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B
SCROLLVAC SC 5 D SC 5 D SC 15 D SC 15 D
SC 15 D SC 15 D SC 30 D SC 30 D
DIVAC 3,8 HV3 3,8 HV3 – –
Versorgungsspannung 24/48V DC ± 10 %
Maximale Stromaufnahme 10A bei 24V DC
Maximale Leistungsaufnahme W 240
Schnittstellen USB, 15-Pin digital I/O, Anybus
(Optional RS485, RS232, Profibus; weitere auf Anfrage)
TURBOVAC iX 11
Bestellinformationen
Pumpen
Zubehör
Für den Betrieb einer TURBOVAC iX werden eine passende Vorvakuumpumpe sowie ein Netzgerät und
entsprechende Kabel benötigt. Je nach Einsatzgebiet und Anwendung ist weiteres Zubehör notwendig.
Bic
om
_13685.1
3810.0
1
175.6
2.0
1
3.2
.11.1
6
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erm
any o
n c
hlo
rine-f
ree b
leached
pap
er
Te
chnic
al altera
tions r
eserv
ed
Netzgerät, Kabel und Zubehör
800100V0003 – TURBO.POWER integra inkl. 0,3 m Kabel
800096V0100 – Kabel TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 1 m
800096V0300 – Kabel TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 3 m
800096V0500 – Kabel TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 5 m
800102V0002 – Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, Euro-Stecker
800102V0003 – Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, UK-Stecker
800102V1002 – Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, US-Stecker 5-15P, 115V
800110V0016 – Zubehörkabel TURBOVAC i, M8-M8, 2m
800110V0020 – Y-Verteiler TURBOVAC i, M8
800110V0021 – Start-Stopp Schalter für TURBOVAC i
800110V0108 – USB-Kabel 2.0 Typ A/B, 1,8 m
800110V0030 – Relais-Box für Vorpumpe, 1-phasig, 10 A
inkl. 2m M8-M8-Kabel
Kühlung
800136V0007 – Luftkühlung radial TURBOVAC 90 i(X)
800136V0009 – Luftkühlung radial TURBOVAC 250 i(X)
800136V0005 – Luftkühlung radial TURBOVAC 350-450 i(X)
800136V0008 – Luftkühlung axial TURBOVAC 90 i(X) und 250 i(X)
800136V0006 – Luftkühlung axial TURBOVAC 350-450 i(X)
800135V0005 – Wasserkühlung TURBOVAC i(X), G 1/8“
800135V0006 – Wasserkühlung TURBOVAC i(X), G 1/4“
Heizung
800137V0003 – Heizmanschette DN 63 CF, 230 V
800137V0004 – Heizmanschette DN 63 CF, 115 V
800137V0005 – Heizmanschette DN 100 CF, 230V
800137V0006 – Heizmanschette DN 100 CF, 115V
800137V0007 – Heizmanschette DN 160 CF, 230V
800137V0008 – Heizmanschette DN 160 CF, 115V
Belüftung und Sperrgas
800120V0012 – Belüftungsventil TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8“
800120V0013 – Sperrgasventil TURBOVAC i, 24V DC, 24 sccm, G 1/8“
800120V0014 – Sperrgasdrossel TURBOVAC i, 24 sccm, G 1/8“
800120V0022 – Stromausfallfl uter TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8“
800110V0022 – Luftfi lter für TMP, G 1/8“
TURBOVAC 90 iX 250 iX 350 iX 450 iX T 350 iX T 450 iX
Hochvakuumfl ansch 63 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K
Kat.-Nr. *) 810031V3300 820051V3300 830051V3300 830071V3300 830050V3300 830070V3300
Hochvakuumfl ansch 63 CF 100 CF 100 CF 160 CF 100 CF 160 CF
Kat.-Nr. *) 810041V3300 820061V3300 830061V3300 830081V3300 830060V3300 830080V3300
* alle angegebenen Katalognummern mit USB+, 15-Pin digital I/O und RS485; weitere Schnittstellen auf Anfrage.
Die LEYASSIST Software für Turbomolekularpumpen ist im Standardlieferumfang der TURBOVAC iX enthalten.
Leybold GmbH
Bonner Str. 498 · D-50968 Köln
T +49 (0) 221-347-0
F +49 (0) 221-347-1250
www.leybold.com