Totaldruck- Messgeräte - TEVAK · Kalibrierdienst Totaldruck-Messgeräte Mess-, Steuer- und Regelgeräte 10-12 - 2000 mbar 179.01.01 Auszug aus dem Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog

Kalibrierdienst

Totaldruck-MessgeräteMess-, Steuer- und Regelgeräte10-12 - 2 000 mbar

179.01.01Auszug aus dem Oerlikon Leybold Vacuum GesamtkatalogProdukt-Kapitel C16Ausgabe 2009

C16

Allgemeines

Messgeräte-Applikationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.03Wählen Sie die für Sie richtige Kombination von Sensor und Messgerät für ihre Applikation aus . . . . . . . C16.04Grundbegriffe der Vakuum-Druckmessung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.06Anschluss-Zubehör für Kleinflansch-Technik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.08

Produkte

Messgeräte mit mechanischer Anzeige

Bourdon-Feder-Vakuummeter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.09 Kapselfeder-Vakuummeter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.10 DIAVAC DV 1000 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.12

Handmessgeräte

THERMOVAC-Sensoren TM 90 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.14THERMOVAC-Sensoren TM 100 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.16

Aktive Sensoren

CERAVAC-Transmitter CTR 100 und CTR 91. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.18THERMOVAC-Transmitter TTR 91 / TTR 91 S / TTR 96 S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.22THERMOVAC-Transmitter mit Feldbus-Schnittstelle TTR 211 D/PB / TTR 216 D/PB. . . . . . . . . . . . . . . . C16.26THERMOVAC-Transmitter TTR 100 und TTR 100 S2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.30PENNINGVAC-Transmitter PTR 225 / PTR 225 S / PTR 237 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.34PENNINGVAC-Transmitter PTR 90. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.38IONIVAC-Transmitter ITR 90. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.40IONIVAC-Transmitter ITR 200 S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.44Rohrspirale. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.48

Anschlussleitungen zu aktiven Sensoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.50

Betriebsgeräte für aktive Sensoren

DISPLAY ONE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.52DISPLAY TWO / THREE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.54CENTER ONE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.56CENTER TWO / THREE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.58

Betriebsgeräte für passive Sensoren

PIEZOVAC PV 20 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.60

Ultra-Hochvakuum-Messgeräte

IONIVAC IM 540 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.62

Zusätzliche Sensoren

IONIVAC-Sensoren IE 414 und IE 514 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.66THERMOVAC-Sensoren TR 211 / TR 211 NPT / TR 212/TR 216 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.68PENNINGVAC-Sensoren PR 25 bis PR 28 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.70Lineare Druck-Sensoren DI 200 / DI 201 / DI 2000 / DI 2001 / DI 2000 rel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.72Ersatz-Sensoren für ältere Betriebsgeräte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.74

Druckschalt- und Regelgeräte

Druck-Regelgeräte Move . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.76Unterdruck-Sicherheitsschalter PS 113 A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.84Druckschalter PS 115 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.86Schaltverstärker SV 110 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.88Membranregler MR 16 undMR 50 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.90

Sonstiges

Oerlikon Leybold Vacuum-Kalibrierdienst . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C16.92

Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 200902

Inhalt

Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009 C1603

Allgemeines

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BOURDONVAC A

BOURDONVAC C

Kapse

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DV 100

0

THERMOVA

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540

Sicherh

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13 A

Druck

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lter P

S 115

Maschinenbau

Automobil-Industrie; Befüllen von Brems-/Klima-Anlagen

Vakuumtransport-Technik

Verpackungs-Technik

Isolationsvakuum

Chemische Prozesse

Absolutdruck-Bestimmung von Gasgemischen

Trocknungs- und Entgasungsprozesse

Lösungsmittel-Rückgewinnung

Vakuumdruckregelungan einer vorhandenen Zentral-Vakuumanlage

Elektro/Elektronik/Optik

Aufdampf- und Beschichtungs-Anlagen

Überwachung und Steuerung von Sputter-Anlagen

Halbleiter-Technik (CVD, Plasmaätzen, usw.)

Ionenimplanter

Lampenproduktion

Analysengeräte und Oberflächenphysik

ESCA, SIMS, AES, XPS

Elektronenmikroskope

Kristallzüchtung

Gasanalysensysteme, Massenspektrometer

Forschung

Enddruck-Bestimmung in UHV-Apparaten

Einsatz in MBE-Anlagen

Teilchen-Beschleuniger

Strahlführungssysteme, Zyklotron

Fusionsexperimente

Weltraum-Simulationskammer

Anlagensteuerungen/Druckkontrolle

Betriebskontrolle an Vorvakuum-Pumpen und -Anlagen

Sicherungsschaltungen in Vakuum-Anlagen, Absicherung von Vakuumschiebern

Steuerung von Ionisation-Vakuummetern

Druckmessung an HV-Pumpständen, z.B. Diffusions-, Turbo-Molekular-, Kryo-Pumpstände

Belüftungseinrichtungen

Steuerung von Ventilen, druckabhängige Anlagensteuerung

Einfache Druckregelungen

Kalibrierung

Kalibrierung von Vakuum-Messgeräten und Massenspektrometer

Bezugs-Messgeräte zur Bestimmung der physikalischen Eigenschaften von Gasen

Präzise Druckmessung niedriger Drücke, auch bei korrosiven oderr reaktiven Gasen

Sonstiges

Vakuumglüh-, Schmelz-, Löt- und Härte-Öfen

Kälte- und Klima-Technik

Elektronenstrahl-Schweißen

Metallurgie

Membr

anreg

ler M

R 16/5

0

Messgeräte-Applikationen

Mes

sger

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mbar 10-1110-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 100 1000

Messbereich

Wählen Sie die für Sie richtige Kombination von

2000�1

0,1 200

0,1 200

1330�0,13

133 0,013

13 0,0013

1,3 0,00013

1330�0,13

133 0,013

13 0,0013

1,3 0,00013

0,13 0,000013

1000 5 x 10-10

1500�0,0005

1000 0,0005

0,01 2 x 10-11

1 x 10-12

-1000 +1000�

1 2000�

1000 0,0005

1000 5 x 10-10

0,0001

0,01 1 x 10-9

0,011 x 10-9

1000 5 x 10-9

1000 5 x 10-9

1000 5 x 10-9

1 x 10-12

C16 04

Kapazitäts-Manometer

CERAVAC-Transmitter (x = 2, 3, 4 oder 5) 1)

CTR 91 / CTR 101

CTR 91 / CTR 101

CTR 91 / CTR 101

CTR 91 / CTR 101

CTR 91 / CTR 101

CTR 100

CTR 100

CTR 100

CTR 100

Wärmeleitungs-Vakuummeter (nach Pirani)

THERMOVAC-Transmitter 1)

TTR 100(Pirani kombiniert mit einem Kapazitäts-Manometer)

TTR 91

TTR 96 S

TTR 211 Profibus/DeviceNet

TTR 216 Profibus/DeviceNet

Handmessgeräte

THERMOVAC-Sensoren TM 90 + 100

Kaltkathoden-Ionisation (nach Penning)

PENNINGVAC-Transmitter

PTR 225, DN 25 KF

PTR 237, DN 40 CF

PTR 90, DN 40 CF

PTR 90, DN 40 KF

PTR 90, DN 25 CF

Glühkathoden-Ionisation

IONIVAC-Transmitter (Bayard-Alpert kombiniert mit Pirani) 1)

ITR 90 / ITR 200

ITR 90 / ITR 200 mit Display

IONIVAC-Sensoren

IE 414 (Bayard-Alpert)

IE 514 (Extractor)

Lineare Druck-Sensoren 2)

DI 200

DI 201

DI 2000

DI 2001

DI 2001 rel.

1) Unterschiedliche Kat.-Nrn. je nach Vakuumanschluss2) Unterschiedliche Sensoren für den gleichen Betriebsbereich je nach Material in Kontakt mit dem Medium

mbar 10-11 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 100 1000

1000 0,0005

1000 0,0005


DISPLAY CENTER IONIVAC

ONE TWO THREE ONE TWO THREE IM 540

Kat.-Nr. EU 230 001 230 024 230 025 230 002 230 004 230 003 230 100Kat.-Nr. US 235 001 235 024 235 025 235 002 235 004 235 003 230 100

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1 1, 2 1, 2, 3 1 1, 2 1, 2, 3 3, 4

1, 2 1, 2, 3 1 1, 2 1, 2, 3

1, 2 1, 2, 3 1 1, 2 1, 2, 3

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1 1, 2 1, 2, 3 1 1, 2 1, 2, 3

1 1, 2 1, 2, 3

1, 2

1, 2

1, 2, 3 bezeichnen den passenden Kanal, an den Sie den Sensor anschließen können

Sensor und Messgerät für ihre Applikation ausBetriebsgeräte

C16 Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 200906

Grundbegriffe der Vakuum-Druckmessung

Der heute messbare Druckbereich desVakuums erstreckt sich von Atmosphä-rendruck (ca. 1000 mbar) bis 10-12 mbar, also über 15 Zehnerpoten-zen. Zur Messung in diesem weitenDruckbereich dienen Messgeräte, dieals Vakuummeter bezeichnet werden.Aus physikalischen Gründen ist esnicht möglich, einen Vakuumsensor zu bauen, mit dem man den gesamtenDruckbereich quantitativ messen kann.Daher steht eine Reihe von Vakuum-metern zur Verfügung, von denenjedes einen charakteristischen Mess-bereich besitzt, der sich meist übereinige Zehnerpotenzen erstreckt. Manunterscheidet so genannte direkte undindirekte Druckmessungen. Bei derdirekten (oder absoluten) Druckmes-sung ist die Anzeige des Messinstru-ments von der Art des zu messendenGases unabhängig. Gebräuchlich sindso genannte mechanische Vakuum-meter, die den Druck direkt durchRegistrierung der Kraft, die auf eineMembranfläche wirkt, bestimmen. Beiden so genannten indirekten Druck-messungen wird der Druck als Funktioneiner druckabhängigen Eigenschaftdes Gases (z.B. Wärme-Leitfähigkeit,Ionisierungs-Wahrscheinlichkeit) ermit-telt. Diese Eigenschaften sind außervom Druck auch von der molarenMasse der Gase abhängig. Deshalb istdie Druckanzeige der Messinstrumente,die den Druck indirekt bestimmen,gasartabhängig. Die Messwertanzeigeist auf Luft oder Stickstoff als Messgasbezogen. Für andere Dämpfe oderGase müssen entsprechende Korrek-turfaktoren angewendet werden.

Vakuummeter mit gasart-unabhängiger Druckanzeige(mechanische Vakuummeter)

BOURDON-Vakuummeter

Das Innere eines kreisförmig geboge-nen Rohres (das so genannteBourdon-Rohr) wird an die Vakuum-anlage angeschlossen. Durch die Wir-kung des äußeren Luftdrucks wird dasEnde des Rohrs beim Evakuieren mehroder weniger gebogen. Dadurch wirddas dort angreifende Zeigerwerk be-tätigt. Der entsprechende Druckwert istauf einer linearen Skala ablesbar. Mitden Feder-Vakuummetern nachBourdon können Drücke zwischen 10 mbar und Atmosphärendruck grobbestimmt werden.

Kapselfeder-Vakuummeter

Es enthält eine abgeschlossene, eva-kuierte dünnwandige Membrandose,die sich innerhalb des Messgeräts befindet. Mit geringer werdendem Vakuumdruck beult sich die Dose aus.Diese Ausbeulung wird durch einHebelwerk auf einen Zeiger übertragenund ist als Druck auf einer linearenSkala ablesbar.

Membran-Vakuummeter

Bei den absolut messenden Membran-Vakuummetern dient als Bezugsgrößeeine abgepumpte Referenzkammer, diedurch die Membran gegen den zu mes-senden Vakuumdruck abgetrennt ist.Mit zunehmender Evakuierung wird dieDifferenz zwischen dem zu messendenDruck und dem Referenzdruck geringer.

Die Membran biegt sich durch. DieseDurchbiegung kann mechanisch, z.B.über ein Hebelwerk, auf eine Skalaübertragen werden oder auf elektri-schem Wege über Dehnungs-Mess-streifen oder Biegebalken in ein druck-proportionales, elektrisches Messsignalumgewandelt werden. Der Messbe-reich derartiger Membran-Vakuummetererstreckt sich von 1 mbar bis über2000 mbar.

Kapazitäts-Manometer

Die drucksensible Membran dieserkapazitiven Absolutdruck-Sensorenbesteht aus einer Al2O3-Keramik.Kapazitiv messen bedeutet, dass dieMembran sowie eine feste Elektrodeauf der Rückseite der Membran einenPlattenkondensator bilden. Verändertsich nun aufgrund einer Druckände-rung der Abstand zwischen diesen bei-den Kondensator-Platten, so resultiertdaraus eine Kapazitätsänderung. Diesedruckproportionale Änderung wird in einentsprechendes elektrisches Messsignalumgewandelt. Bezugspunkt für dieDruckmessung ist auch hier eine abge-pumpte Referenzkammer. Mit Kapazi-täts-Manometern lassen sich Drückevon 10-5 mbar bis über Atmosphären-druck mit hoher Präzision messen,wobei hier verschiedene Kapazitäts-Manometer mit unterschiedlich dicken(d.h. sensiblen) Membranen verwendetwerden müssen.


Vakuummeter mit gasart-abhängiger Druckanzeige

Wärmeleitungs-Vakuummeter(Pirani)

Dieses Messverfahren nutzt die Wär-meleitfähigkeit von Gasen zur Druck-messung im Bereich von 10-4 mbar bisAtmosphärendruck. Um eine möglichstkurze Ansprechzeit zu erreichen, setztOerlikon Leybold Vacuum heute aus-schließlich das Prinzip des geregeltenPirani ein. Der sich im Sensor befind-liche Messfaden ist ein Zweig einerWheatstoneschen Messbrücke. Die ander Brücke anliegende Heizspannungwird so geregelt, dass der Fadenwider-stand und damit die Temperatur desMessfadens unabhängig von derWärmeabgabe konstant ist. Da derWärmeübergang vom Messdraht aufdas Gas mit zunehmendem Druckzunimmt, ist die an der Brücke anlie-gende Spannung somit ein Maß fürden Druck.

Durch Verbesserungen in der Tempe-ratur-Kompensation ergeben OerlikonLeybold Vakuum-Sensoren eine stabileDruckanzeige auch bei großen Tempe-raturänderungen, insbesondere beimMessen niedriger Drücke.

Kaltkatoden-Ionisations-Vakuummeter (Penning)

Hierbei geschieht die Druckmessungdurch eine Gasentladung im Sensor,die durch eine Hochspannung gezün-det wird. Der entstehende Ionenstromwird als druckproportionales Signalausgegeben. Mit Hilfe eines Magnetfel-des wird die Gasentladung auch nochbei niedrigen Drücken aufrechterhalten.

Neue Konzeptionen im Aufbau der sogenannten Penning-Sensoren erlaubenden sicheren und zuverlässigen Mess-betrieb von 10-2 bis 1 · 10-9 mbar.

Glühkatoden-Ionisations-Vakuummeter

Diese Messsysteme sind meist ausdrei Elektroden aufgebaut. Aus einerbeheizten Glühkatode werden Elektro-nen zu einer Anode ausgesendet. Aufdiesem Wege erfolgt eine Ionisationdes zu messenden Gases. Der dabeientstehende, positive Ionenstrom wirdüber die dritte Elektrode, den so ge-nannten Ionenfänger, aufgefangen undals druckproportionales Signal verwen-det. Die bekanntesten Glühkatoden-Messsysteme sind nach dem Bayard-Alpert-Prinzip aufgebaut. Bei dieserElektroden-Anordnung ist eine Mes-sung im Druckbereich von 10-10 bis10-2 mbar möglich. Andere Elektroden-Anordnungen erlauben das Erfasseneines höheren Druckbereichs von z.B.10-1 bis hinab zu 10-10 mbar. Zur

Messung von Drücken unterhalb von10-10 mbar werden so genannteExtraktor-Messsysteme nach Redheadeingesetzt. Beim Extraktorsystem werden die gebildeten Ionen auf einensehr dünnen und kurzen Ionenfängerfokussiert. Durch die Geometrie desSystems werden störende Einflüssewie Röntgeneffekte und Ionendesorp-tion fast vollkommen ausgeschlossen.Das Extraktor-Messsystem erlaubtDruckmessungen zwischen 10-4 und 10-12 mbar.

Auswahl derDruckmessgeräte

Bei der Auswahl des geeigneten Mess-instruments für eine Druckmessung istnicht nur der Druckbereich entschei-dend. Auch die Betriebsbedingungen,bei denen das Gerät arbeiten soll,spielen eine große Rolle. Besteht bei-spielsweise eine erhöhte Verschmut-zungs-Gefahr, sind Erschütterungen desMessinstruments nicht auszuschließen,Lufteinbrüche zu erwarten etc.; somuss das Messinstrument robust aus-gelegt sein. Für industrielle Anwendun-gen sind deshalb Membran-Vakuum-meter, geregelte Wärmeleitungsmano-meter sowie Kaltkatoden-Ionisations-Vakuummeter nach Penning zu emp-fehlen. Präzise Messgeräte sind häufigempfindlich gegen rauhe Betriebsbe-dingungen. Sie müssen deshalb stetsunter Beachtung der entspechendenAnwendungshinweise eingesetzt wer-den.


Bestelldaten

Aussen-Zentrierring mit O-Ring

Aluminium / FPM (Viton)

Feinfilter auf Zentrierring mit O-Ring

Edelstahl / FPM (Viton)

Baffle mit Zentrierring (FPM)

Anschluss-Zubehör für Metall-Dichttechnik

oder Ausheizbetrieb bis 150 °C

Ultra-Dichtring,

Aluminium (Satz à 3 Stück)

Außen-Stützring

Spannring

Kat.-Nr. 183 53 Kat.-Nr. 183 54 Kat.-Nr. 183 55


– – Kat.-Nr. 230 078




DN 10 KF DN 16 KF DN 25 KF

Anschluss-Zubehör für Kleinflansch-Technik

Bestelldaten

Aussen-Zentrierring mit O-Ring

Aluminium / FPM (Viton)

Feinfilter auf Zentrierring mit O-Ring

Edelstahl / FPM (Viton)

Baffle mit Zentrierring (FPM)

Anschluss-Zubehör für Metall-Dichttechnik

oder Ausheizbetrieb bis 150 °C

Ultra-Dichtring,

Aluminium (Satz à 3 Stück)

Außen-Stützring

Spannring

Anschluss-Zubehör für CF-Technik

Cu-Dichtungen (Satz à 10 Stück)

Schrauben (Satz à 25 Stück)

Ersatz-Sinterfilter mit Zentrierring

Kat.-Nr. 183 55 – –

Kat.-Nr. 883 98 – –

Kat.-Nr. 230 079 – –

Kat.-Nr. 883 77 – –

Kat.-Nr. 883 78 – –

Kat.-Nr. 882 78 – –

– Kat.-Nr. 839 41 Kat.-Nr. 839 43

– Kat.-Nr. 839 40 Kat.-Nr. 839 01

Kat.-Nr. 231 93 515 – –

DN 40 KF DN 16 CF DN 40 CF

C16 08

BOURDONVAC A BOURDONVAC CBestelldaten


Bourdon-Feder-Vakuummeter

Vorteile für den Anwender

- Hohe Zuverlässigkeit, robust, erschütterungsunempfindlich

- Anzeige linear, von der Gasart unabhängig

- Hervorragende Medienverträglich-keit durch Edelstahl-Messwerk(BOURDONVAC C)

- Schutzart IP 54(BOURDONVAC C)

Typische Anwendungen

- Vakuumdestillation

- Trocknungsprozesse

- Vakuumtransporttechnik

Robuste Relativdruck-Messgerätenach dem Bourdon-Prinzip für denMessbereich 1 bis 1020 mbar.

3080

105

64

81

101

140

50

Maßzeichnung des BOURDONVAC A (oben) und des BOURDONVAC C (unten)

Technische Daten

Messbereich mbar

Messunsicherheit % FS

Klasse 1 (EN 837) % FS

Überlastbereich (abs. kurzzeitig) bar

Lagerungstemperatur-Bereich °C

Nenntemperatur-Bereich °C

Flanschanschluss DN

Skalenlänge mm

Durchmesser mm

Gesamthöhe mm

Gewicht kg

Dichtheit mbar · l/s

Medienberührende Werkstoffe

1 bis 1020 1 bis 1020

1 1

1 1

1,5 1,3

-25 bis +60 -25 bis +60

+10 bis +60 +10 bis +100 (max.)

16 KF 16 KF

207 188

80 101

105 140

0,25 0,5

1 · 10-8 1 · 10-8

Normalstahl vernickelt, Bronze, Weichlot Edelstahl 1.4404

Bourdon-Feder-Vakuummeter Kat.-Nr. 160 40 Kat.-Nr. 161 20

BOURDONVAC A BOURDONVAC C

Produkte

Messgeräte mit mechanischer Anzeige




- Robust und erschütterungsun-empfindlich

- Für zwei Messbereiche (1 bis 100 mbar und 1 bis 1000 mbar) lieferbar

- Anzeige unabhängig von der Gas-art und atmosphärischen Druck-änderungen

- Lineare Druckanzeige

- Montage direkt über Anschluss-flansch oder Einbau in Schalttafelmöglich

- Ausführung für Verpackungsma-schinen mit eingebautem Absperr-ventil (Kat.-Nr. 160 68)


- Absolut-Druckmessung (nur fürInertgase)

- Vakuumtransporttechnik

- Betriebsüberwachung

- Verpackungstechnik

Robuste Absolutdruck-Messgeräte fürden Bereich 1 bis 1000 mbar.

101+1

120°

132

6073

14,5

116

4,5

68

53

110

3,5

10

100

13

92

4053

Maßzeichnung und Schalttafel-Ausbrüche zu den Kapsel-Vakuummetern 160 63/64 (links) und 160 68 (rechts)

Kapselfeder-VakuummeterBestelldaten


Technische Daten

Messbereich mbar

Messunsicherheit % FS

Überlastbereich (abs.) bar



Skalenlänge mm

Totvolumen, ca. cm3

Durchmesser mm

Gewicht kg

Vakuumanschluss DN

Einbauneigung, max.


1 bis 100 1 bis 100 1 bis 1000

1,0 2,5 1,6

1,5 1,5 1,5

-25 bis +60 -25 bis +60 -25 bis +60

+10 bis +50 +10 bis +50 +10 bis +50

205 180 205

235 167 235

132 110 132

0,7 0,6 0,7

16 KF Schlauchwelle ø 10 mm 16 KF

mit eingebautem Absperrventil

45° 45° 45°

Messing Messing Messing

Normalstahl vernickelt Normalstahl vernickelt Normalstahl vernickelt

Glas Glas Glas

NBR NBR NBR

Aluminium Aluminium Aluminium

Kupfer-Beryllium Kupfer-Beryllium Kupfer-Beryllium

Weich- und Hartlot Weich- und Hartlot Weich- und Hartlot

Kunstharzlack Kunstharzlack Kunstharzlack

Kapselfeder-Vakuummeter Kat.-Nr. 160 63 Kat.-Nr. 160 68 Kat.-Nr. 160 64



DIAVAC DV 1000


- Großer Messbereich 1 bis 1000 mbarmit hoher Auflösung im Bereich 1 bis 100 mbar

- Individuelle Kalibrierung der Skala

- Absolutdruck-Messgerät

- Anzeige unabhängig von der Gas-art und vom Atmosphärendruck

- Hervorragende Medienverträglich-keit durch Edelstahl-Membran

- Hohe Präzision der Membranfas-sung durch Laserschweiß-Techno-logie

- Robustes Tischgehäuse, freieMontage über Flanschanschlussoder Schalttafeleinbau möglich

- Leichte Reinigung des Messraumsdurch abnehmbaren Messflansch


- Chemische Prozesse

- Vakuumdestillation

- Absolutdruck-Bestimmung vonGasgemischen

- Trocknungsprozesse

- Lampenproduktion

Robustes mechanisches Membran-Vakuummeter mit hoher Genauigkeitfür den Grobvakuum-Bereich von 1 bis 1000 mbar.

180

166

45°

4,5

170

203,5156

166 166

152 155

Maßzeichnung und Schalttafel-Ausbruch zum DIAVAC DV 1000

DIAVAC DV 1000Bestelldaten

Technische Daten


Messbereich mbar

Messunsicherheit

01 - 10 mbar

10 - 1000 mbar

Lagerungs-Bereich °C


Zulässige Überlast (abs.) bar

Skalenlänge mm

Totvolumen cm3

Vakuumanschluss DN

Abmessungen (B x H x T) mm

Gewicht kg


1 bis 1000

± 1 mbar

± 10 % vom Messwert

-10 bis +60

0 bis +60

3

270

130

40 KF

180 x 166 x 100

2,7

Edelstahl 1.4301, 1.4310 (Membran), FPM

DIAVAC DV 1000

mbar-Anzeige

Torr-Anzeige

DKD-Kalibrierung

Ersatz-Sinterfilter mit Zentrierring, DN 40 KF

Ersatzteil-Gehäuse, komplett

1) Ausführung komplett mit Zentrierring und Sinterfilter

Kat.-Nr. 160 67 1)

Kat.-Nr. 896 06 1)

Kat.-Nr. 157 12

Kat.-Nr. 231 93 515

Kat.-Nr. 240 000

DIAVAC DV 1000


THERMOVAC-Sensor TM 90


- Druckmessung an Kälte- und Klima-anlagen vor der Kühlmittelbefüllung

- Druckmessungen bei Service-einsätzen

Das THERMOVAC TM 90 ist ein ein-faches Handmessgerät zur gelegent-lichen Benutzung. Es arbeitet nachdem Pirani-Prinzip und deckt denMessbereich von 1 x 10-2 mbar bisAtmosphäre ab. Die Auslieferung er-folgt in einer stabilen Kunststoffbox.


- Kabellose Stromversorgung durch 9 V Standardbatterie

- Großes, 3 1/2 stelliges 7-SegmentDisplay

- Druckmaßeinheit wählbar zwischenmbar, Torr und Pascal

Handmessgeräte

82,6

172,6

23,7

29,3

30

Maßzeichnung zum THERMOVAC-Sensor TM 90


Technische DatenTHERMOVAC-Sensor

TM 90Gewicht (inkl.Batterie) kg

Energiequelle

(Batterie-)Lebensdauer h

Anschluss DN

Bedienelemente

Darstellbare Messeinheiten

Messbereich

Automatische Abschaltung

Messgenauigkeit der Ablesung mbar

microns

Auflösung

Arbeitstemperatur °C

Aufbewahrungstemperatur °C

Gewicht kg

Maximaler Überdruck bar abs.

0,2

9 Volt-Batterie (Typ 6LR61)

< 5

16 KF oder 25 KF

On/Off/Einheit Auswahlknopf

mbar, microns, Pa

atm.bis 1x10-2 mbar

(atm. bis 1 Pa, atm. bis 1 micron)

Nach 15 min; letzte Anzeige erscheint nach Neustart

<2 ±5%, >2 ±10%,

<20.000 ±5%, >20.000 microns ±10%

microns: Schrittweise bis 1 micron

Pascal: Schrittweise bis 1 Pa

mbar: Schrittweise bis 0,01 mbar

0 bis +50

-10 bis +60

0,22

10

BestelldatenTHERMOVAC-Sensor

TM 90TM 90, DN 16 KF

TM 90, DN 25 KF

Kat.-Nr. 230 076

Kat.-Nr. 230 077


THERMOVAC-Sensor TM 100


- Mobile Druckmessungen aller Art

- Druckmessung an Kälte- und Klima-anlagen vor der Kühlmittelbefüllung

- Druckmessungen beim Service vonVakuumpumpen

- Druckmessung bei der Gasdruck-lampen-Herstellung bzw. -Wieder-befüllung

Das Handmessgerät THERMOVAC TM 100 erfasst Drücke im Mess-bereich von 5 x 10-4 bis 1200 mbar.Durch die Kombination eines piezore-sistiven Druckaufnehmers im oberen und eines Pirani-Sensors im unterenDruckbereich zeigt das THERMOVACTM 100 oberhalb von 15 mbar gasar-tunabhängig an. Zu beachten ist dieaußerordentliche hohe Batteriestand-zeit.


- Nutzung direkt im Vakuum möglich(wir empfehlen Batterien von Pana-sonic: 6LR61PM, 9 V/ 500 mAh)

- Gasartunabhängige Druckerfassungoberhalb von 15 mbar


- Großes, 4-stelliges 7-SegmentDisplay

- Kabellose Stromversorgung durch 9 V Standardbatterie

- Schutzklasse IP 40

60

120

25 36

44

30

Maßzeichnung zum THERMOVAC TM 100


Technische DatenTHERMOVAC-Sensor

TM 100Messprinzip

Darstellbare Messeinheiten

Messbereich mbar

Max. Überlast bar abs.

Messunsicherheit vom

Skalenendwert (bei 1200 - 10 mbar) %

Messwert (bei 10 - 0,01 mbar) %

Materialien mit Vakuumkontakt

Messzyklus s

Einstellzeit ms

Betriebstemperatur °C

Lagertemperatur °C

Spannungsversorgung

Leistungsaufnahme, ca. mW

Betriebsdauer

Li-Batterie h

6LR61 Alkali h

Anzeige

Anschluss DN

Abmessungen (ohne Flansch) mm

Schutzart IP

Gewicht (inkl.Batterie) kg

Piezoresistiv (gasartunabhängig) und Wärmeleitfähigkeit Pirani

mbar, Torr, microns, Pa

1200 bis 5 · 10-4

2

0,4 (Vollausschlag)

10 (Vollausschlag)

Edelstahl, Gold, Wofram, Nickel, Glas, Viton

1,6

400

+5 bis +50

-20 bis +60

Akku 9 Volt-Batterie (Typ 6LR61) oder

12 V Stecker-Netzteil (Mini-Klinke, Pluspol an der Spitze)

110 (getaktet)

< 100

< 40

LCD 12 mm

16 KF

60 x 120 x 25

40

0,23

BestelldatenTHERMOVAC-Sensor

TM 100TM 100, DN 16 KF Kat.-Nr. 230 080


Aktive Sensoren


- Hervorragende Messgenauigkeit

- Korrosionsbeständig

- Hohe Messauflösung

- Sehr gute Temperaturstabilität

- Elektrisch und mechanisch kom-patibel zu den konventionellenKapazitätsmanometern mit Edel-stahl-Membrane

- In beheizter und unbeheizter Version lieferbar

- RS 232 C-Schnittstelle (nur CTR 100)


- Universelle Druckmessungen imFein- und Grobvakuum-Bereich,auch bei korrosiven Prozessgasen

- Chemische Verfahrenstechnik

- Halbleiter-Produktionsverfahren

- Geeignet als Referenzsensor zurPrüfmittelüberwachung gemäßDIN/ISO 9000

Der CERAVAC-Transmitter mit seinerMembran aus reiner Aluminium-Oxyd-Keramik bietet eine hervorragendeMessgenauigkeit und Reproduzierbarkeit.

Die Keramik-Membran

Aluminium-Oxyd-Keramik ist steifer alsMetall, so dass sie bei häufigen Druck-veränderungen oder Überdrucken einehöhere Langzeitstabilität aufweist.Daher ist die Aluminium-Keramik-Oxyd-Membran der CERAVAC-Sensoren imstande, ihre ursprünglichePosition zu einem bestimmten Druckwieder einzunehmen, so dass dieMessungen reproduzierbar bleiben. Dadie Membran nicht durch Überdruckeoder häufigen Druckveränderungenbeeinträchtigt wird, sind keine

Absperrventile notwendig, was auchzur Kostenreduzierung beiträgt.

Aluminium-Oxyd-Membranen nehmenaußerdem ihre Ausgangspositionschneller wieder ein als Metall-Membra-nen, die Zeit zwischen den Prozessen,zur Stabilisierung der Messung, wirdreduziert. Dies ist besonders wichtig fürMessungen um den Nullpunkt-Bereich,wo Metall-Membranen meistens mehrere Minuten brauchen, um ihreRuhelage einzunehmen.

Während Metall-Membranen Rest-spannungen und von der Fertigungherrührende Unregelmäßigkeiten auf-weisen, sind Aluminium-Oxyd-Mem-branen außerordentlich homogen be-schaffen und durch den Brennpro-zess bei 2500 °C völlig spannungs-frei. Dies reduziert die Exemplar-streuungen der Messzellen erheblich.

CERAVAC-Transmitter CTR 100 und CTR 91


Technische DatenCERAVAC-Sensor

CTR 100 (temperatur-kompensiert)

Vollausschlag (FS) / Messbereich


Max. Überdruck

Messunsicherheit

Auflösung

Temperatureinflüsse

Koeffizient für den Nullpunkt %/°C

Koeffizient für den Messbereich %/°C

Ansprechzeit ms


Spannungsversorgung V DC

Leistungsaufnahme W

Ausgangssignal Messbereich V

Schnittstelle

Gewicht, ca. kg

Tot-Volumen cm3

Anschlussleitungen

Kalibrierung

1 Torr / 1 · 10-4 - 1 Torr 10 Torr / 1 · 10-3 - 10 Torr

100 Torr / 0,01 - 100 Torr

1000 Torr / 0,1 - 1000 Torr

Druckeinheiten: Druckeinheiten:

1 Torr = 1,33 mbar = 133 Pascal 1 Torr = 1,33 mbar = 133 Pascal

Keramik (Al2O3), Edelstahl 316, Vacon 70 Keramik (Al2O3), Edelstahl 316, Vacon 70

2000 Torr für 1/10/100 Torr-Sensoren, 2000 Torr für 1/10/100 Torr-Sensoren,

3000 Torr für 1000 Torr-Sensoren 3000 Torr für 1000 Torr-Sensoren

0,2% vom Messwert ± Temperatureinflüsse 0,2% vom Messwert ± Temperatureinflüsse

0,003% vom Vollausschlag 0,003% vom Vollausschlag

für 0,1/1 Torr-Sensoren, für 10/100/1000 Torr-Sensoren

0,015 vom Vollausschlag 0,005 vom Vollausschlag

0,01 vom Messwert 0,01 vom Messwert

�� 30 �� 30

+5 bis +50 +5 bis +50

+14 bis +30 +14 bis +30

�� 1 �� 1

0 - 10; linear 0 - 10; linear

RS 232 C RS 232 C

0,26 0,26

6 6

siehe Abschnitt siehe Abschnitt

„Anschlussleitungen zu aktiven Sensoren“ „Anschlussleitungen zu aktiven Sensoren“

siehe Abschnitt „Sonstiges“, Absatz siehe Abschnitt „Sonstiges“, Absatz

„Oerlikon Leybold Vacuum-Kalibrierdienst“ „Oerlikon Leybold Vacuum-Kalibrierdienst“

1 2 3 4 5 6 7 8 9 100

0.9xF.S.

0.5xF.S.

0.6xF.S.

1.0xF.S.

0.7xF.S.

0.8xF.S.

0.1xF.S.

0.2xF.S.

0.3xF.S.

0.4xF.S.

1.1xF.S.

Dru

ck p

Messsignal Uout [V]

0.0xF.S.

Kennlinie des CERAVAC-Transmitters CTR 100


Technische DatenCERAVAC-Sensor

CTR 91 (45 °C beheizt)

Vollausschlag (FS) / Messbereich


Max. Überdruck

Messunsicherheit

Auflösung

Temperatureinflüsse

Koeffizient für den Nullpunkt %/°C

Koeffizient für den Messbereich %/°C

Reaktionszeit ms


Spannungsversorgung V DC

Leistungsaufnahme W

Ausgangssignal V

Gewicht, ca. kg

Tot-Volumen cm3

Anschlussleitungen

Kalibrierung

0,1 Torr / 1 · 10-5 - 0,1 Torr 1 Torr / 1 · 10-4 - 1 Torr

10 Torr / 1 · 10-3 - 10 Torr

100 Torr / 0,01 - 100 Torr

1000 Torr / 0,1 - 1000 Torr

Druckeinheiten: Druckeinheiten:

1 Torr = 1,33 mbar = 133 Pascal 1 Torr = 1,33 mbar = 133 Pascal

Keramik (Al2O3), Edelstahl 316, Vacon 70 Keramik (Al2O3), Edelstahl 316, Vacon 70

1000 Torr für 0,1 Torr-Sensoren 2000 Torr für 1/10/100 Torr-Sensoren,

3000 Torr für 1000 Torr-Sensoren

0,2% vom Messwert ± Temperatureinflüsse 0,15% vom Messwert ± Temperatureinflüsse

0,0025% vom Vollausschlag 0,0025% vom Vollausschlag

für 1 Torr-Sensoren,

0,0015% vom Vollausschlag

für 10/100/1000 Torr-Sensoren

1/10/100/1000 Torr-Sensor

0,005 vom Vollausschlag 0,0025 vom Vollausschlag

0,01 vom Messwert 0,01 vom Messwert

�� 30 �� 30

+15 bis +40 +15 bis +40

wahlweise ± 15 oder + 24 wahlweise ± 15 oder + 24

�� 19 �� 19

0 - 10; linear 0 - 10; linear

0,6 0,6

6 7





1 2 3 4 5 6 7 8 9 100

0.9xF.S.

0.5xF.S.

0.6xF.S.

1.0xF.S.

0.7xF.S.

0.8xF.S.

0.1xF.S.

0.2xF.S.

0.3xF.S.

0.4xF.S.

1.1xF.S.

Dru

ck p

Messsignal Uout [V]

0.0xF.S.

Kennlinie des CERAVAC-Transmitters CTR 91


Bestelldaten CERAVAC-Sensor

CTR 100 CTR 91DN 16 ISO-KF

1000 Torr

100 Torr

10 Torr

1 Torr

0,1 Torr

DN 16 CF-R

1000 Torr

100 Torr

10 Torr

1 Torr

0,1 Torr

Cajon 8-VCR

1000 Torr

100 Torr

10 Torr

1 Torr

0,1 Torr

1/2" Rohr

1000 Torr

100 Torr

10 Torr

1 Torr

0,1 Torr

Zubehör

Kat.-Nr. 230 300 Kat.-Nr. 159 25

Kat.-Nr. 230 301 Kat.-Nr. 159 26

Kat.-Nr. 230 302 Kat.-Nr. 159 27

Kat.-Nr. 230 303 Kat.-Nr. 159 28

– Kat.-Nr. 159 29

Kat.-Nr. 230 305 Kat.-Nr. 159 35

Kat.-Nr. 230 306 Kat.-Nr. 159 36

Kat.-Nr. 230 307 Kat.-Nr. 159 37

Kat.-Nr. 230 308 Kat.-Nr. 159 38

– Kat.-Nr. 159 39

Kat.-Nr. 230 310 Kat.-Nr. 159 45

Kat.-Nr. 230 311 Kat.-Nr. 159 46

Kat.-Nr. 230 312 Kat.-Nr. 159 47

Kat.-Nr. 230 313 Kat.-Nr. 159 48

– Kat.-Nr. 159 49

Kat.-Nr. 230 315 Kat.-Nr. 159 55

Kat.-Nr. 230 316 Kat.-Nr. 159 56

Kat.-Nr. 230 317 Kat.-Nr. 159 57

Kat.-Nr. 230 318 Kat.-Nr. 159 58

– Kat.-Nr. 159 59

Es empfiehlt sich Es empfiehlt sich

der Einbau einer Rohrspirale der Einbau einer Rohrspirale

bei verunreinigten Applikationen bei verunreinigten Applikationen

(Öldämpfen oder Stäuben) (Öldämpfen oder Stäuben)

44

89

113

3,8

117

(26)

1/2" Tube DN 16 KF DN 16 CF-R

8-VCR

Maßzeichnung des CERAVAC-Transmitters CTR 100

CT

R91

Maßzeichnung des CERAVAC-Transmitters CTR 91

Ansicht A↓↓A


THERMOVAC-TransmitterTTR 91 / TTR 91 S / TTR 96 S


- Robuste Messzellen aus Edelstahl

- Kompakte Bauweise

- Stabile Messungen innerhalb einesweiten Temperaturbereichs

- Hohe Überdruckfestigkeit

- Austauschbare Messzellen

- Kurze Ansprechzeit

- Verfügbar mit integriertem Schalt-relais (TTR 91 S, TTR 96 S)


- Analysentechnik

- Sicherheits-Schaltungen in Vakuum-anlagen

- Steuerung von Ionisations-Vakuum-metern

- Allgemeine Druckmessung und Regelung in Systemen im Fein- undGrobvakuum-Bereich

Sensor

Der THERMOVAC-Transmitter enthälteine Pirani-Meßzelle, die entweder miteiner Wolfram- (TTR 91 / TTR 91 S)oder Nickel- (TTR 96 S) Wendel ausge-stattet ist. Falls erforderlich, lassen sichdie Meßstellen leicht mit Hilfe eines

THERMOVAC-Transmitter sind aktiveSensoren (Druck/Spannungswandler),deren Funktionsweise auf dem Wärme-leitfähigkeitsprinzip nach Pirani basiert.Die weiterentwickelten THERMOVAC-Transmitter weisen ein optimiertesPreis-Leistungs-Verhältnis auf.Der Schaltpunkt des TTR 91 S kannauf Knopfdruck auf den Spannungs-Ausgang geschaltet und am Betriebs-gerät abgelesen werden.

010-32 4 6 8

10-4 10-2 10-1 100 101 102 103mbar

Druck

U(a

) / V

olt

1

2

34

5

67

8

910

Formelp = 10 0,778 (U(a) - 6,143) mbar

Kennlinie des THERMOVAC-Transmitters TTR 91 / TTR 91 S / TTR 96 S

genau bekannten Drucks (Atmosphä-rendruck, „Null“, Referenzdruck) aufTastendruck abgleichen.

Die Integration dieser Transmitter inprogrammierbare Steuerungen wirddurch die lineare Charakteristik erleich-tert, wodurch nur eine einfacheGleichung in den Steuerrechner einzu-geben ist.

Die Transmitter TTR 91, TTR 91 S undTTR 96 S sind kompatibel zu den älte-ren TTR Typen wie TTR 211, TTR 216 S oder TTR 90.Eingebaute Relais ermöglichen dieAusführung von Schaltfunktionen direktdurch den Transmitter selbst, ohne daßeine programmierbare Steuerung be-nötigt würde.

6550

33

15

DN

16

ISO

-KF

DN

16

CF

-R

DN 16 CF-R

1/8" NPT

70.4

115

29

22.2

14

Maßzeichnung des TTR 91 / TTR 91 S / TTR 96 S


Technische Daten THERMOVAC-Transmitter

TTR 91 / TTR 91 S / TTR 96 SAnzeigebereich mbar

Messunsicherheit

Messprinzip

Versorgungsspannung

Leistungsaufnahme VA

Lagerungs- / Nenntemperatur-Bereich °C

Max. rel. Feuchte % n.c.

Schutzart

Gewicht für DN 16 KF, ca. kg

Messsystem

Ausheiztemperatur am Flansch, max. °C

Totvolumen, ca. cm3

Material

in Kontakt mit dem Medium

dem Faden

Überdruckfestigkeit, abs. bar

Signalausgang (Ra > 10 kΩ)

Messsignal

Statussignal

Schaltpunkt (nur TTR 91 S/TTR 96 S)

Einstellbereich mbar

Hysterese

Reaktionszeit ms

Fehlerstatus

Statusanzeigen (nur TTR 91 S)

Elektrischer Anschluss

Leitungslänge, max. m

5 · 10-4 bis 1000

15 % im Bereich von 1 · 10-3 bis 100 mbar

Wärmeleitung nach Pirani

14 bis 30 V DC

Brummspannung �� 1 Vss

�� 1

-20 bis +65 / +5 bis +60

�� 80

IP 40

0,08

austauschbare Messzelle

80 (250 mit langer Zelle)

2 (10 mit langer Zelle)

Edelstahl, Nickel, Glas, NIFE

Wolfram (TTR 91, TTR 91 S) oder Nickel (TTR 96 S)

10

0 bis 10,3 V

1,9 bis 10 V, entspricht 5 · 10-4 bis 1 · 103 mbar

1,286 V/Dekade logarithmisch

Fehler: �� 0,5 V

Relaiskontakt als Schliesser

2 · 10-3 bis 500

10 %

30 V; 0,5 A DC

Relaiskontakt offen

Schaltpunkt aktiviert: LED grün

FCC-68/RJ45-Buchse, 8polig mit Abschirmung

100


Bestelldaten THERMOVAC-Transmitter

TTR 91 / TTR 91 S / TTR 96 Sohne Schaltpunkt

TTR 91, DN 16 KF

TTR 91, 1/8" NPT

TTR 91, DN 16 CF

TTR 91, 1/2" Rohr, DN 16 CF

mit Schaltpunkt

TTR 91 S, DN 16 KF

TTR 91 S, 1/8" NPT

TTR 91 S, DN 16 CF

TTR 91 S, 1/2" Rohr, DN 16 CF

TTR 96 S, DN 16 KF

TTR 96 S, 1/8" NPT

TTR 96 S, DN 16 CF

TTR 96 S, 1/2" Rohr, DN 16 CF

Ersatz-Messzelle

für TTR 91 / TTR 91 S

DN 16 KF

1/8" NPT

DN 16 CF

1/2" Rohr, DN 16 CF

für TTR 96 S

DN 16 KF

1/8" NPT

DN 16 CF

1/2" Rohr, DN 16 CF

Kalibrierung

Anschlussleitung, beidseitig FCC 68,

8polig mit Abschirmung

005 m

010 m

015 m

020 m

030 m

040 m

050 m

075 m

100 m

Zubehör

Kat.-Nr. 230 035

Kat.-Nr. 230 038

Kat.-Nr. 230 036

Kat.-Nr. 230 037

Kat.-Nr. 230 040

Kat.-Nr. 230 043

Kat.-Nr. 230 041

Kat.-Nr. 230 042

Kat.-Nr. 230 045

Kat.-Nr. 230 048

Kat.-Nr. 230 046

Kat.-Nr. 230 047

Kat.-Nr. 230 050

Kat.-Nr. 230 053

Kat.-Nr. 230 051

Kat.-Nr. 230 052

Kat.-Nr. 230 055

Kat.-Nr. 230 058

Kat.-Nr. 230 056

Kat.-Nr. 230 057

siehe Abschnitt „Sonstiges“, Absatz „Oerlikon Leybold Vacuum-Kalibrierdienst“

Typ A

Kat.-Nr. 124 26

Kat.-Nr. 230 012

Kat.-Nr. 124 27

Kat.-Nr. 124 28

Kat.-Nr. 124 29

Kat.-Nr. 124 30

Kat.-Nr. 124 31

Kat.-Nr. 124 32

Kat.-Nr. 124 33

Es empfiehlt sich der Einbau einer Rohrspirale

bei verunreinigten Applikationen (Öldämpfen oder Stäuben)


Notizen


THERMOVAC-Transmitter mit Feldbus-Schnittstelle Profibus oder DeviceNetTTR 211 PB/D / TTR 216 PB/D


- Robuste Pirani-Messzellen auchzum Einsatz bei korrosiven Medien

- Logarithmischer Signalausgang

- Hohe Reproduzierbarkeit

- Leicht austauschbare Messzellen

- Schaltpunkt mit großem Einstell-bereich (1 · 10-3 - 500 mbar) undRelaiskontakt

- LED-Anzeige für Betrieb undSchaltpunktfunktion

- Einfach zugänglicher Monitor-An-schluss zur Kontrolle von Mess-signal- und Schaltpunkt-Einstellung(Voltmeter)

- Hohe EMV-Verträglichkeit durchabgeschirmte Gehäuse, FCC-68-Stecker und Leitungen

- Rechner-Schnittstelle– Feldbus: Profibus DP/DeviceNet

- CE-Zeichen


- Analysentechnik

- Sicherheits-Schaltungen in Vakuum-anlagen

- Steuerung von Ionisations-Vakuum-metern

- Vakuumöfen

- Universelle Druckmessung undSteuerung im Fein- und Grob-Vakuumbereich an Anlagen, beidenen folgende Forderungen zu-treffen:

- unmittelbarer Datentransfer an SPS/Computer über Analog-schnittstelle

- längere Übertragungswege zwi-schen Messort und Auswerte-station

- mehrere Messpunkte, die ständig überwacht werden sollen

- Kleinspannungs-Versorgung

- einfache, kosten- und platzsparen-de Installation

- gesteigerte Zuverlässigkeit

- einfache Bedienung

- erhöhte Anforderungen an die elektromagnetische Verträglichkeit (EMV)

Die THERMOVAC-Transmitter wurdenspeziell zur Integration in Vakuum-An-lagen entwickelt. Als aktive Sensoren(Druckmess-Umformer) mit bewährterPirani-Messzelle und neuer Betriebs-und Auswerte-Elektronik bieten sieeinen Messbereich von 5 · 10-4 bis1000 mbar.


010-32 4 6 8

10-4 10-2 10-1 100 101 102 103mbar

Druck

U(a

)/V

olt

1

2

34

5

67

8

910

FormelU(a) = lg (p/mbar) 1,286 + 6,143 Volt

Kennlinie des TTR 211 PB/D und TTR 216 PB/D

13

1/8" NPT

Trigger0

16

121

DN 16 KF

92

7

107(116)

56 73

Maßzeichnung des TTR 211 PB/D und TTR 216 PB/D

Sensor

Im THERMOVAC-Transmitter TTR 211 PB/D sind die bewährtenPirani-Messzellen mit Wolfram-Mess-faden und Flanschanschluss DN 16 KFeingebaut. Der Transmitter TTR 216 PB/D besitzt eine Edelstahl-Messzelle mit Platinmessfaden undAl2O3-Keramikstrom-Durchführungzum Einsatz bei korrosiven Medien

oder erhöhtem Wasserdampfanfall. Beiallen Transmitter-Ausführungen sind dieMesszellen leicht austauschbar.

Im Bedarfsfall kann die Messzelle beiAtmosphärendruck und Druck „0“ mitzwei Potentiometern einfach abgegli-chen werden.

Die Integration des Transmitters in die

SPS wird insbesondere durch die ge-radlinige Kennlinie erleichtert, die imRechner durch Eingabe einer einfachenFormel festzulegen ist.

Über die eingebauten Relais könnenwichtige Schaltfunktionen direkt vomTransmitter wahrgenommen werden –ohne Umweg über die SPS.



TTR 211 PB/D / TTR 216 PB/DAnzeigebereich mbar

Messunsicherheit

Messprinzip

Versorgungsspannung


Lagerungs-/Nenntemperatur-Bereich °C

Max. rel. Feuchte (Klima-Klasse F) % n.c.

Schutzart

Abmessungen (H x B x T) mm

Gewicht, ca. kg

Entflammbarkeit

Messsystem

Messfaden

Vakuumanschluss DN

Ausheiztemperatur, max. °C

Totvolumen, ca. cm3


Überdruckfestigkeit, abs. bar


Messsignal

Statussignal

Schaltpunkt


Hysterese

Reaktionszeit ms

Schaltvermögen

Fehlerstatus

Statusanzeigen

Monitorausgang (Ra > 100 kΩ)



Schnittstelle

TTR 211 D / 216 D

TTR 211 PB / 216 PB

5 · 10-4 bis 1000

20 % im Bereich 1 · 10-3 bis 1 · 10-2 mbar

15 % im Bereich 1 · 10-2 bis 30 mbar

Wärmeleitung nach Pirani

14,5 bis 36 V DC, typ. 24 V DC

Brummspannung < 2 Vss

< 2

-20 bis +70 / +10 bis +50

95

IP 40

106 x 73 x 56

0,29

UL 94 - V 2

austauschbare Messzelle

Wolfram (TTR 211) / Platin (TTR 216)

16 KF

80 am Flansch

11

TTR 211:

Aluminium, Stahl vernickelt, Vacon, Wolfram, CrNi8020, Glas, Epoxydharzkleber;

TTR 216:

Edelstahl, CrNi, Al2O3-Keramik, NiFe, Mo, Ni, Platin

TTR 211: 3, TTR 216: 10

0 bis 10,6 V

1,9 bis 10 V, entspricht 5 · 10-4 bis 1 · 103 mbar

1,286 V/Dekade

Fadenbruch 10,5 V

Relaiskontakt als Schliesser/Wechsler

1 · 10-3 bis 500

ca 30 % vom eingestellten Druckwert

≤ 50

60 V; 0,5 A DC

Kontakt offen bei Fadenbruch bzw. Versorgung aus

Betriebsanzeige (Power): LED orange

Schaltpunkt (aktiviert): LED grün

Klinkenbuchse (3,5 mm) zum Auslesen von Messsignal und Schaltpunkteinstellung

FCC-68-Buchse, 8polig mit Abschirmung

100

DeviceNet

Profibus DP



TTR 211 PB/D / TTR 216 PB/DTTR 211 D, DN 16 KF,

Wolfram-Faden (1 Schaltpunkt)

DeviceNet-Schnittstelle

Ersatz-Messzelle

TTR 211 PB, DN 16 KF

Wolfram-Faden (1 Schaltpunkt)

Profibus DP-Schnittstelle

Ersatz-Messzelle

TTR 216 D, DN 16 KF

Platin-Faden (1 Schaltpunkt)


Ersatz-Messzelle

TTR 216 PB, DN 16 KF

Platin-Faden (1 Schaltpunkt)

Profibus-Schnittstelle

Ersatz-Messzelle

Kalibrierung



005 m

010 m

015 m

020 m

030 m

040 m

050 m

075 m

100 m

Zubehör

Kat.-Nr. 896 51

Kat.-Nr. E 157 75

Kat.-Nr. 896 50

Kat.-Nr. E 157 75

Kat.-Nr. 896 53

Kat.-Nr. E 157 77

Kat.-Nr. 896 52

Kat.-Nr. E 157 77

siehe Abschnitt „Sonstiges“, Absatz „Leybold-Kalibrierdienst“

Typ A

Kat.-Nr. 124 26

Kat.-Nr. 230 012

Kat.-Nr. 124 27

Kat.-Nr. 124 28

Kat.-Nr. 124 29

Kat.-Nr. 124 30

Kat.-Nr. 124 31

Kat.-Nr. 124 32

Kat.-Nr. 124 33




THERMOVAC-TransmitterTTR 100 und TTR 100 S2


- Weiter Messbereich von 5 · 10-4 bis1500 mbar

- Gasartunabhängige Druckmessungim Bereich zwischen 100 mbar und1500 mbar

- Verfügbar mit bis zu zwei integrier-ten Relais (TTR 100 S2)

- Lageunabhängige Montage

- 0 bis 10,3 V Analogausgang für einfache Systemintegration

- Kompakte Bauweise

- Durchflussunabhängig

- Für rasche Zykluswechsel geeignet

- Folgt dem wahren Druck in derPumpe und bei der Belüftung


- Für die Steuerung von Belade-kammern (Loadlock)

- Vorvakuum-Drucküberwachung

- Sicherheits-Einrichtungen innerhalbvon Vakuumsystemen

- Allgemeine Messung und Steuerungim Grob- und Feinvakuumbereich

- Steuerung von Hochvakuum-Ionisationsvakuummetern

Der Pirani Kapazitäts-Vakuumsensor istder erste Vakuumsensor, in dem dasPrinzip der Kapazitäts-Messung übereine keramische Membran mit demPrinzip der Druckmessung über dieWärmeleitfähigkeit kombiniert wird.Anders als bei der herkömmlichenDruckmessung über die Wärmeleit-fähigkeit bietet der Oerlikon LeyboldVacuum-Transmitter TTR 100 eineüberlegene Genauigkeit und die Mög-lichkeit gasartunabhängiger Mes-sungen im Druckbereich zwischen 100 mbar und 1500 mbar.

Option

Staub und andere Partikel können zueiner Vergrösserung der Messfehlersowie einer verringerten Nutzungs-dauer führen. Wir empfehlen daher imFalle von kritischen Anwendungen denEinbau eines Fein-Filters.Fein-Filter sind im Kapitel „Allgemei-nes“, im Abschnitt „Anschlusszubehörfür Kleinflansche“ aufgeführt.

010-32 4 6 8

10-4 10-2 10-1 100 101 102 103mbar

Druck

U(a

) / V

olt

1

2

34

5

67

8

910

Formelp = 10 0,778 (U(a) - 6,143) mbar

Kennlinie des THERMOVAC-Transmitters TTR 100 (S2)

~65

45

26.3

DN 16 ISO-KF

1/8" NPT

68.3

45

28

Maßzeichnung des TTR 100 (S2)



TTR 100 / TTR 100 S2Messprinzip

Anzeigebereich(Luft, O2, CO, N2) mbar

Messunsicherheit1 · 10-3 bis 50 mbar50 bis 950 mbarATM (Atmosphärendruck)

Reproduzierbarkeit

Trigger (nur TTR 100 S2)Einstellbereich über PotentiometerRelaiskontakte

geschlossenoffen

HystereseKontaktbelastungRelaisstatus

Analoges AusgangssignalMessbereichSpannung gegen Druck

AusgangsimpedanzMinimale LastimpedanzAnsprechzeit

StromversorgungSpannung (Welligkeit �� 1 Vpp)Leistungsaufnahme, maximalAbsicherung



Materialien die dem Vakuum ausgesetzt sind (Prozessmedien)

VakuumanschlussPiraniwendelKapazitätssensorzelleDurchführungAndere Materialien

Inneres VolumenDN 16 ISO-KF cm3

1/8" NPT cm3

Überdruckdimensionierung, absolut bar

TemperaturBetrieb (Umgebung) °CLagerung °CAusheizen am Flansch, maximal °CWendeltemperatur °C

Relative Feuchte

Einbaulage

Verwendung

Schutzart IP

GewichtDN 16 ISO-KF kg1/8" NPT kg

Wärmeleitfähigkeit nach Pirani kombiniert mit kapazitiver Druckmessung

5 · 10-4 bis 1500

±15 % des Messwertes±5 % des Messwertes

±2.5 % des Messwertes

±2 % des Messwertes

21,5 · 10-3 bis 1400 mbarSchliesser (potenzialfrei)

Bei niedrigem Druck (Indikator ist an)Bei hohem Druck oder fehlender Versorgungsspannung (Indikator ist aus)

10 % vom Schwellenwert30 V DC / 1 A

Aktiv: LED, Grün

0 bis 10,3 V+1,9 bis +10,23 V

1,286 V / pro Dekade, logarithmisch

2 · 4,7 Ohm, kurzschlusssicher10 kOhm

10 ms

+15 bis +30 V DC2,5 W

1 AT (langsam)


100

EdelstahlWolframAI2O3Glas

Ni, Cu, NiFe, SnAg, AgPd

68

5

+10 bis +50-20 bis +65

+80< +160

< 80% bei Temperaturen unter +31 °C,Verringerung auf 50% bei +40 °C

Beliebig

Nur innerhalb von Räumen, Höhe bis zu 2000 m über NN

40

0,090,09



TTR 100 / TTR 100 S2ohne Schaltpunkt

TTR 100, DN 16 KF

TTR 100, 1/8" NPT

mit Schaltpunkt

TTR 100 S2, DN 16 KF

TTR 100 S2, 1/8" NPT

Kalibrierung



005 m

010 m

015 m

020 m

030 m

040 m

050 m

075 m

100 m

Zubehör

Kat.-Nr. 230 026

Kat.-Nr. 230 028

Kat.-Nr. 230 027

Kat.-Nr. 230 029


Typ A

Kat.-Nr. 124 26

Kat.-Nr. 230 012

Kat.-Nr. 124 27

Kat.-Nr. 124 28

Kat.-Nr. 124 29

Kat.-Nr. 124 30

Kat.-Nr. 124 31

Kat.-Nr. 124 32

Kat.-Nr. 124 33




Notizen


PENNINGVAC-TransmitterPTR 225 / PTR 225 S / PTR 237


- Aufdampf- und Sputter-Anlagen

- Analysentechnik

- Vakuumöfen

- Hochvakuum-Anlagen

- Universelle Druckmessung undSteuerung im Fein- und Hoch-vakuum-Bereich an Anlagen, beidenen folgende Anforderungenzutreffen:

- unmittelbarer Datentransfer an SPS/Computer

- längere Übertragungs-Wege zwischen Messort und Auswerte-

station

- mehrere Messpunkte, die stän-dig überwacht werden sollen


- einfache, kosten- und platzspa-rende Installation

- Erhöhte Zuverlässigkeit auch in Argon-Prozessen (Sputtern)

- einfache Bedienbarkeit

- erhöhte Anforderungen an die elektromagnetische Verträglichkeit (EMV)

Die PENNINGVAC-Transmitter wurdenspeziell zur Integration in programmier-bare Anlagen entwickelt. Als aktiveSensoren (Druckmess-Umformer) – mitrobuster Kaltkatoden-Messzelle undzugehöriger Betriebs- und Auswerte-Elektronik – bieten sie einen großenMessbereich von 1 · 10-9 bis 1 · 10-2 mbar. Der Messsignaltransferselbst über große Entfernungen ist problemlos möglich.


- Kaltkatoden-Sensoren in Ganzme-tall-Ausführung (invertiertes Penning)

- Hohe Reproduzierbarkeit

- Gute Zündcharakteristik durch dieoptimierte Konstruktion der Elektro-den

- Geringe Verschmutzungs-Neigung(auch bei Argon-Betrieb) durchHochspannungs-Absenkung nachZünden des Plasma und durch dasTitan-Katodenblech

- Schaltpunkt mit grossem Einstellbe-reich (1 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar)und belastbarem Relaiskontakt (PTR 225 S)

- Geringes magnetisches Streufeld

- Hohe EMV-Verträglichkeit durchabgeschirmtes Gehäuse, FCC-68-Stecker und Leitungen

- LED-Betriebsanzeige

- Logarithmischer Signalausgang

- Intelligente Schnittstelle

- CE-Zeichen

- Gute Verträglichkeit mit Sputter-prozessen durch Katodenblecheaus Titan

Option

Zum Schutz der PTR-Sensoren gegenVerschmutzung, Wärmestrahlung undanderer störender Einflüsse wird derEinbau eines Baffles empfohlen.

Baffle DN 25 KF, Kat.-Nr. 230 078


010-82 4 6 8

10-9 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2mbar

Druck

U(a

)/V

olt

1

2

34

5

67

8

910

FormelU(a) = [1.33 * lg (p/mbar) + 12,66] Volt

Kennlinie des PTR 225/225 S/237

130

114

73

POWER

17

READY

80

Maßzeichnung des PTR 225

Sensor

Im PENNINGVAC-Transmitter PTR 225 / 225 S und PTR 237 sindKaltkatoden-Sensoren nach dem be-währten Prinzip des invertierten Pen-nings mit Anschlussflansch DN 25 KFbzw. DN 40 CF eingebaut. Zum Aus-heizen des Ganzmetall-Sensors mitAl2O3-Stromdurchführung können dasTrans-mitter-Gehäuse mit Elektroniksowie der Magnet leicht entfernt wer-den. Die Konstruktion der Penning-Sensoren mit ihrem geschlossenenMagnetfeld resultiert in einem ver-

nachlässigbar geringen Streufeld.Dies erlaubt die Montage des PTR 225 / 225 S und PTR 237 auchin der Nähe sensibler Anlagen-Komponenten.

Zur schnellen Wartung des Mess-systems bei Verschmutzung könnenAnodenring bzw. Titan-Katodenblechausgetauscht werden. Das neugestal-tete Katodenblech dient aufgrund sei-ner Form auch als Baffle für dieSensoren.

Die Integration des Transmitters in dieAnlagensteuerung wird insbesonderedurch die geradlinige Kennlinie erleich-tert, die im Rechner durch Eingabeeiner einfachen Formel festzulegen ist.

Über das eingebaute Relais (PTR 225 S) können wichtige Schalt-funktionen direkt vom Transmitterwahrgenommen werden – ohne Um-weg über die SPS.

144

114

73

POWER

30

READY

80

Maßzeichnung des PTR 237


Technische Daten PENNINGVAC-Transmitter

PTR 225 / PTR 225 S / PTR 237Anzeigebereich mbar

Messunsicherheit

Messprinzip

Versorgungsspannung


Lagerungs-Bereich °C


Max. rel. Feuchte (Klima-Klasse F) % n.c.

Schutzart IP

Abmessungen (H x B x T) mm

Gewicht, ca. kg

Entflammbarkeit

Messsystem

Vakuumanschluss DN


Totvolumen, ca. cm3


Überdruckfestigkeit (abs.) bar


Messsignal

Schaltpunkt (PTR 225 S)


Hysterese

Schaltvermögen

Fehlerstatus

Steuereingang Hochspannung

Statusausgang

Messbereitschaft

Fehler (nicht gezündet)

Statusanzeigen

Monitorausgang (Ra > 100 kΩ)



Schnittstellen

PTR 225 PB

PTR 237 D

1 · 10-9 bis 1 · 10-2

30 % im Bereich 1 · 10-8 bis 1 · 10-4 mbar

Kaltkatoden-Ionisation nach Penning

14,5 bis 36 V DC typ. 24 V DC

Brummspannung ≤ 2 Vss

< 2

-20 bis +70

+10 bis +50

95

40

125 x 80 x 73

0,5

UL 94 - V 2

zu Reinigungszwecken abnehmbar

25 KF bzw. 40 CF

250 bei abgezogener Elektronik

21

Edelstahl, CrNi, Al2O3-Keramik,

NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti

10

0 bis 10,6 V

0,66 bis 10 V,

entspricht 1 · 10-9 bis 1 · 10-2 mbar

logarithm. Teilung 1,333 V/Dekade

Relaiskontakt als Wechsler

1 · 10-9 bis 1 · 10-3

ca. 30 % vom eingestellten Druckwert

60 V; 0,5 A DC

Kontakt in Ruhelage, bei "Nicht gezündet"/"HV aus"

EIN: bei U < 2,9 V, bzw. U > 12 V

AUS: bei U > 3 V, bzw. U < 7 V

Spannungspegel

HIGH (typ. 24 V DC)

LOW (0 V)

Betriebsanzeige: LED orange

Messbereitschaft (gezündet): LED grün

Schaltpunkt (aktiviert): LED grün

Klinkenbuchse (3,5 mm) zum Auslesen der Schaltpunkteinstellung


100

Profibus DP

DeviceNet

C16 36


Bestelldaten PENNINGVAC-Transmitter

PTR 225 / PTR 225 S / PTR 237PTR 225, DN 25 KF

PTR 225 S, DN 25 KF

PTR 225 PB, DN 25 KF


PTR 237, DN 40 CF

PTR 237 D, DN 40 CF


Baffle, DN 25 KF, mit Zentrierring

Ersatz-Katodenbleche, Titan

(Satz mit 5 Stück)

Ersatz-Anodenring, komplett

Kalibrierung



005 m

010 m

015 m

020 m

030 m

040 m

050 m

075 m

100 m

Kat.-Nr. 157 34

Kat.-Nr. 164 34

Kat.-Nr. 896 41

Kat.-Nr. 157 36

Kat.-Nr. 896 42

Kat.-Nr. 230 078

Kat.-Nr. EK 162 91

Kat.-Nr. 200 28 711


Typ A

Kat.-Nr. 124 26

Kat.-Nr. 230 012

Kat.-Nr. 124 27

Kat.-Nr. 124 28

Kat.-Nr. 124 29

Kat.-Nr. 124 30

Kat.-Nr. 124 31

Kat.-Nr. 124 32

Kat.-Nr. 124 33


PENNINGVAC-Transmitter PTR 90

Der PENNINGVAC-Transmitter PTR 90kombiniert das Kaltkatoden-Ionisa-tions- mit dem Pirani-Messprinzip.Dieses erlaubt die kontinuierlicheDruckmessung von 5 x 10-9 mbar bisAtmosphäre durch einen Transmitter.Die Zündung des Kaltkatodensystemserfolgt direkt durch interne Hochspan-nungseinschaltung bei dem optimalenZünddruck.


- Hohe Betriebssicherheit durch auto-matische Zündung der Kaltkatode

- Geringerer Aufwand für Montageund Verdrahtung durch Integrationzweier Messprinzipien in ein Ge-häuse

- Kompakte Bauweise

- Gute Servicefähigkeit


- Einfache, kosten- und platzsparen-de Installation

- Erhöhte Zuverlässigkeit auch inArgon-Prozessen (Sputtern)

- Einfache Bedienbarkeit

- CE-Zeichen


- Aufdampf- und Beschichtungs-technik

- Analysentechnik

- Vakuumöfen

- Universelle Druckmessung undSteuerung im Fein und Hoch-vakuumbereich

Option

Zum Schutz der PTR-Sensoren gegenVerschmutzung, Wärmestrahlung undanderer störender Einflüsse wird derEinbau eines Baffles empfohlen.

110

18

28

55

63,5

60

75

DN 25 ISO-KF

Maßzeichnung des PENNINGVAC-Transmitters PTR 90

110,5

18,5

28

55

63,5

6075

DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F

116

24

Umrechnungskurven des PTR 90

Messsignal U(V)

Druck p

Formel p= 10 1,667 U-d


PTR 90

Bestelldaten


Technische Daten PENNINGVAC-Transmitter

PTR 90Anzeigebereich mbar

Messunsicherheit %

Messprinzip

Wiederholbarkeit %

Ausgangssignal (Messsignal)

Spannungsbereich V

Messbereich V

Beziehung Spannungs-Druck

Fehlersignal

Versorgungsspannung V DC


Arbeitstemperatur °C

Aufbewahrungstemperatur °C



Schutzart IP

5 · 10-9 bis 1000

30 (im Bereich 1 · 10-8 bis 100 mbar)

Kaltkatoden-Messsystem nach dem Prinzip

des invertierten Magnetrons und Pirani-Messsystem

5 (im Bereich 1 · 10-8 bis 100 mbar)

0 - 10,5

1,82 bis 8,6

Logarithmisch, 0,6 V/Dekade)

< 0,5 V keine Speisung

> 9,5 V Pirani-Messelement defekt (Fadenbruch)

15 - 30

FCC 68 Sockel, 8-Pol

+5 bis +55

-40 bis +65

Edelstahl, Keramik, Mo, Ni, Au, W

10

40

PTR 90

DN 25 KF

DN 40 KF

DN 40 CF

Baffle

DN 25 KF

DN 40 KF

Kalibrierung



005 m

010 m

015 m

020 m

030 m

040 m

050 m

075 m

100 m

Kat.-Nr. 230 070

Kat.-Nr. 230 071

Kat.-Nr. 230 072

Kat.-Nr. 230 078

Kat.-Nr. 230 079


Typ A

Kat.-Nr. 124 26

Kat.-Nr. 230 012

Kat.-Nr. 124 27

Kat.-Nr. 124 28

Kat.-Nr. 124 29

Kat.-Nr. 124 30

Kat.-Nr. 124 31

Kat.-Nr. 124 32

Kat.-Nr. 124 33


IONIVAC-Transmitter ITR 90


- Analysen-Technik

- Aufdampf- und Beschichtungs-Technik

- Vakuumöfen

- Universelle Druckmessung im Fein-und Hochvakuum-Bereich

Der ITR 90 ist ein optimierter Kombina-tions-Transmitter. Die Kombinationeines Heißkathoden-Ionisationssensorsnach Bayard-Alpert und eines Pirani-Sensors erlaubt Vakuumdruckmess-ungen von nicht entzündlichen Gasenund Gasmischungen im Druckbereichvon 5 · 10-10 bis 1000 mbar.

Der ITR 90 kann auf Wunsch miteinem integrierten Display oder einerProfibus-Schnittstelle geliefert werden.


- Kontinuierliche Druckmessung von 10-10 mbar bis Atmosphäre

- Hohe Wiederholbarkeit im typischenProzessdruckbereich von 10-2 bis10-8 mbar

- Kontrollierte Ein- und Ausschaltvor-gänge durch das integrierte Doppel-Pirani optimieren die Lebensdauerder yttriumbeschichteten Iridium-Kathoden

- Kompakte Bauweise

- Geschlossene, stabile Elektroden-geometrie in robustem Metallge-häuse

- Effizientes Entgasen durch Elektro-nenbombardement

- Einfache Sensormontage

- Verlängerung für höhere Ausheiz-temperaturen im Messbetrieb

- Ein Signalausgang für 13 Dekaden

- Ein Flanschanschluss für 13 Deka-den

- ITR 90-Ausführung mit eingebautemDisplay ermöglicht Stand-Alone-Betrieb ohne zusätzliche Anzeige-instrumente

- RS 232 C-Schnittstelle

Baffle DN 25 KF, Kat.-Nr. 230 078

Option

Zum Schutz des Sensors ITR 90 ge-gen Verschmutzung, Wärmestrahlungund anderer störender Einflüsse wirdder Einbau eines Baffles empfohlen.

Zwei unterschiedliche Baffle-Typensind verfügbar:Eine Einbauversion für CF-Flansche istim Sensor eingebaut.Das Baffle für KF-Anschlüsse ist imZentrierring integriert.


0 2

10-10

Druck/mbar

U(a

) / V

olt

4 6 8

10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100mbar

3456

21

78

10

10 1000

VoltFormel

p = 10(u-7,75)/ 0,75

Kennlinie des ITR 90

ø40

~105

Maßzeichnung der Ausheiz-Verlängerung

Sensor

Der Sensor des ITR 90 beinhaltet ein 2 Faden Pirani-Messsystem sowie einBayard-Alpert Messsystem.

Durch die Verwendung der Ausheiz-verlängerung ist der Messbetrieb auch

bei einer Flanschtemperatur von 150 °Czulässig.

67 (2.64 )

58 (2.28 )

153 (6 )

48 (1.89 )

DN 40 CF-R DN 25 ISO-KF

42 (1.65 )

Maßzeichnung des ITR 90


Technische Daten IONIVAC-Transmitter

ITR 90Anzeigebereich mbar

Messunsicherheit, 10-8 - 10-2 mbar

Wiederholbarkeit, 10-8 - 10-2 mbar

Messprinzipien

Degas

Versorgungsspannung

Leistungsaufnahme, max. W


Schutzart

Gewicht, ca.

ITR 90, DN 25 KF kg

ITR 90, DN 40 CF kg

Messsystem


Totvolumen, ca. cm3



Signalausgang (Ra ≥ 10 kΩ)

Messsignal

Fehlersignal

Schnittstelle (Serie / Option)



1) Flanschtemperatur bei Verwendung der Ausheiz-Verlängerung

5 · 10-10 bis 1000

15 % vom Messwert

5 % vom Messwert

Heisskathoden-Ionisations-Vakuummeter nach Bayard-Alpert

kombiniert mit Wärmeleitung nach Pirani

Elektronen-Bombardement max. 3 Minuten

20 bis 28 V DC, typ. 24 V DC

16

-20 bis +70 / 0 bis +50

IP 30

0,285

0,550

voll gekapselt, austauschbar

150 1)

24 bei DN 25 KF

34 bei DN 40 CF

Cu, W, Glas, NiFe, Mo, Edelstahl, Aluminium, Iridium, Yttrium, NiCr,

2

0 - 10 V; 0,774 - 10 V; 0,75 V pro Dekade

< 0,5 V

RS 232 C / Profibus

15poliger Sub-D-Stecker/Stiftkontakte

100 / 30 bei RS 232 C


Bestelldaten IONIVAC-Transmitter ITR 90

ohne Display mit DisplayITR 90, DN 25 KF

ITR 90, DN 25 KF, Profibus-Schnittstelle

ITR 90, DN 40 CF-R, drehbarer CF-Flansch

ITR 90, DN 40 CF-R, drehbarer CF-Flansch


Optionen

Netzteil für IONIVAC Transmitter

100 V - 240 V AC / 24 V DC

inkl. Anschlussleitung 5 m und

RS 232 C-Leitung 5 m

Ausheiz-Verlängerung (ca. 100 mm)

Baffle, DN 25 KF,

mit Zentrierring (FPM)

Installationsblende für CF/KF-Variante

Ersatz-Sensor

IE 90, DN 25 KF 1)

IE 90, DN 40 CF-R 1)

Kalibrierung

Anschlussleitungen

1) inkl. Innensechskant-Schlüssel

Kat.-Nr. 120 90 Kat.-Nr. 120 91

Kat.-Nr. 230 030 –

Kat.-Nr. 120 92 Kat.-Nr. 120 94

Kat.-Nr. 230 031 –

Kat.-Nr. 121 06 Kat.-Nr. 121 06

Kat.-Nr. 127 06 Kat.-Nr. 127 06

Kat.-Nr. 230 078 Kat.-Nr. 230 078

Kat.-Nr. 121 07 Kat.-Nr. 121 07

Kat.-Nr. E 121 02 Kat.-Nr. E 121 02

Kat.-Nr. E 121 03 Kat.-Nr. E 121 03






IONIVAC-Transmitter ITR 200 S


- Analysen-Technik

- Aufdampf- und Beschichtungs-Technik

- Vakuumöfen

- Universelle Druckmessung im Fein-und Hochvakuum-Bereich

Option

Der ITR 200 S kann auf Wunsch miteinem integrierten Display, einer Profi-bus- oder einer DeviceNet-Schnittstellegeliefert werden.

Der ITR 200 S ist ein optimierter Dop-pelkatoden-Kombinations-Transmitterauf Basis des bewährten ITR 90. Die Kombination eines Heißkathoden-Ionisationssensors nach Bayard-Alpertund eines Pirani-Sensors erlaubtVakuumdruckmessungen von nichtentzündlichen Gasen und Gas-mischungen im Druckbereich von 5 · 10-10 bis 1000 mbar.

Auf Wunsch wird der Druck auf einemintegrierten Display zur Anzeige ge-bracht.

Sensor

Der Sensor des ITR 200 S beinhaltetneben dem Piranisystem ein Doppel-katoden-Messsystem nach Bayard-Alpert. Falls eine Glühkatode währenddes Betriebes durchbrennen sollte wirdautomatisch auf die zweite Katodeumgeschaltet. Ferner beinhaltet jederSensor einen Speicherchip mit denrelevanten Systemkenndaten. Dadurchfindet nach einem Sensortausch einautomatischer Abgleich zwischenSensor und Betriebselektronik statt(Plug and Play).


- Erhöhung der Standzeit und derBetriebssicherheit durch Integrationeiner zweiten Glühkatode

- Kontinuierliche Druckmessung von 10-10 mbar bis Atmosphäre

- Hohe Wiederholbarkeit im typischenProzessdruckbereich von 10-2 bis10-8 mbar

- Kontrollierte Ein- und Ausschaltvor-gänge durch das integrierte Doppel-Pirani optimieren die Lebensdauerder yttriumbeschichteten Iridium-Kathoden

- Kompakte Bauweise

- Geschlossene, stabile Elektroden-geometrie in robustem Metallge-häuse

- Effizientes Entgasen durch Elektro-nenbombardement

- Einfache Sensormontage

- Verlängerung für höhere Ausheiz-temperaturen im Messbetrieb

- ITR 200 S-Ausführung mit eingebau-tem Display ermöglicht Stand-Alone-Betrieb ohne zusätzlicheAnzeigeinstrumente

- RS 232 C-Schnittstelle


0 2

10-10

Druck/mbar

U(a

) / V

olt

4 6 8

10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100mbar

3456

21

78

10

10 1000

VoltFormel

p = 10(u-7,75)/ 0,75

Kennlinie des ITR 200 S

67 (2.64 )

58 (2.28 )

153 (6 )

48 (1.89 )

DN 40 CF-R DN 25 ISO-KF

42 (1.65 )

Maßzeichnung des ITR 200 S

Draufsicht

107.8

Ausheizbereich

Maßzeichnung der Ausheizverlängerung


Technische Daten IONIVAC-Transmitter

ITR 200 SAnzeigebereich mbar

Messunsicherheit, 10-8 - 10-2 mbar

Wiederholbarkeit, 10-8 - 10-2 mbar

Messprinzipien

Degas

Versorgungsspannung

Leistungsaufnahme, max. W


Schutzart

Gewicht, ca.

ITR 200 S, DN 25 KF kg

ITR 200 S, DN 40 CF kg

Messsystem


Totvolumen, ca. cm3



Signalausgang (Ra �� 10 kΩ)

Messsignal

Fehlersignal


Schaltfunktion

Standard

Profibus oder DeviceNet



5 · 10-10 bis 1000

15 % vom Messwert

5 % vom Messwert

Doppelkathoden-Ionisations-Vakuummeter nach Bayard-Alpert

kombiniert mit Wärmeleitung nach Pirani

Elektronen-Bombardement max. 3 Minuten

20 bis 28 V DC, typ. 24 V DC

20

-20 bis +70 / 0 bis +50

IP 30

0,5

0,75

voll gekapselt, austauschbar

80

24 bei DN 25 KF

34 bei DN 40 CF

Cu, W, Glas, NiFe, Mo, Edelstahl, Iridium, Yttrium, NiCr,

2

0 - 10 V; 0,774 - 10 V; 0,75 V pro Dekade

< 0,5 V

RS 232 C / Profibus oder DeviceNet

1 Schließer

2 Schließer

15poliger Sub-D-Stecker/Stiftkontakte

100 / 30 bei RS 232 C


Bestelldaten IONIVAC-Transmitter ITR 200 S

ohne Display mit DisplayITR 200 S, DN 25 KF

1 Schaltfunktion

ITR 200 SP, DN 25 KF,

Profibus-Schnittstelle, 2 Schaltfunktionen

ITR 200 SD, DN 25 KF

DeviceNet-Schnittstelle, 2 Schaltfunktionen

ITR 200 S, DN 40 CF-R, drehbarer CF-Flansch

1 Schaltfunktion

ITR 200 SP, DN 40 CF-R, drehbarer CF-Flansch

Profibus-Schnittstelle, 2 Schaltfunktionen

ITR 200 SD, DN 40 CF

DeviceNet-Schnittstelle, 2 Schaltfunktionen

ITR 200 SL 1), DN 40 CF-R,

drehbarer CF-Flansch

1 Schaltfunktion, 150 °C ausheizbar

Optionen

Netzteil für IONIVAC Transmitter

100 V - 240 V AC / 24 V DC

inkl. Anschlussleitung 5 m und

RS 232 C-Leitung 5 m

Baffle, DN 25 KF,

mit Zentrierring (FPM)

Ersatz-Sensor

IE 200, DN 25 KF 2)

IE 200, DN 40 CF-R 2)

IE 200 SL 1), DN 40 CF-R 2)

Kalibrierung

Anschlussleitungen

1) SL = long version (Ausheizverlängerung)2) Inklusive Innensechskant-Schlüssel

Kat.-Nr. 230 250 Kat.-Nr. 230 251

Kat.-Nr. 230 252 –

Kat.-Nr. 230 253 –

Kat.-Nr. 230 254 Kat.-Nr. 230 255

Kat.-Nr. 230 256 –

Kat.-Nr. 230 257 –

– Kat.-Nr. 230 258

Kat.-Nr. 121 06 Kat.-Nr. 121 06

Kat.-Nr. 230 078 Kat.-Nr. 230 078

Kat.-Nr. 240 020 Kat.-Nr. 240 020

Kat.-Nr. 240 021 Kat.-Nr. 240 021

– Kat.-Nr. 240 022






Rohrspirale


Drucksensoren können durch die Ver-wendung der Rohrspirale vor Verun-reinigungen, wie Öldämpfen und Stäu-ben besser geschützt werden. Eineverbesserte Messzuverlässigkeit sowieeine verlängerte Lebensdauer derDrucksensoren wird damit erreicht.

Empfohlener Einbau bei

- Pirani-Messsystem TTR (vorzugsweise)

- CERAVAC CTR

Einbaulage des Sensors

110

51

DN

Maßzeichnung der Rohrspirale(Maßzeichnung ähnlich des Originales)

Hinweis

- Messfehler durch den erhöhtenLeitwert des Bauteiles berücksichti-gen

- Für eine schwingungsarmeInstallation ist zu sorgen

- Einbaulage der Rohrspirale senk-recht

Wirkungsweise

Durch die entwickelte Geometrie mitkonstantem Gefälle werden möglicheVerunreinigungen ausgetragen.

Wartung

Je Applikation ist eine turnusmäßigeReinigung der Rohrspirale zu empfeh-len.

RohrspiraleBestelldaten

Technische Daten Rohrspirale

Werkstoff Edelstahl

Rohrspirale

DN 16 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

Kat.-Nr. 230 082

Kat.-Nr. 230 083

Kat.-Nr. 230 084

Rohrspirale


Notizen


Anschlussleitungen zu aktiven Sensoren

Aktive Sensoren

THERMOVAC-Transmitter

TTR 91, TTR 91 S, TTR 96 S u. a.

TTR 211 PB/D, TTR 216 PB/D


PTR 90, PTR 225, PTR 225 S, PTR 237

CERAVAC-Transmitter

CTR 91, CTR 100 (analoges Signal)

CERAVAC-Transmitter

CTR 100, CTR 101 (digitales Signal)

IONIVAC-Transmitter

ITR 90, ITR 200 S

Typ A Typ A Typ A

Typ A (nur PTR 90) Typ A Typ A

– – Typ B

– – Typ C

– – Typ C


DISPLAY ONE DISPLAY TWO CENTER ONEDISPLAY THREE CENTER TWO

CENTER THREE

Active Sensors


TTR 91, TTR 91 S, TTR 96 S u. a.

CERAVAC-Transmitter

CTR 91, CTR 100

IONIVAC-Transmitter

ITR 90, ITR 200 S

Typ A –

Typ B –

– Typ E


IONIVAC IM 540 Lose Drahtenden

(Kanel 3 und 4)


BestelldatenAnschlussleitungen

Typ A Typ B

Leitungslänge

005 m

010 m

015 m

020 m

030 m

040 m

050 m

075 m

100 m

Kat.-Nr. 124 26 Kat.-Nr. 230 013

Kat.-Nr. 230 012 Kat.-Nr. 230 014

Kat.-Nr. 124 27 Kat.-Nr. 230 015

Kat.-Nr. 124 28 Kat.-Nr. 230 016

Kat.-Nr. 124 29 Kat.-Nr. 230 017

Kat.-Nr. 124 30 Kat.-Nr. 230 018

Kat.-Nr. 124 31 Kat.-Nr. 230 019

Kat.-Nr. 124 32 Kat.-Nr. 230 020

Kat.-Nr. 124 33 Kat.-Nr. 230 021

BestelldatenAnschlussleitungen

Typ C Typ E

Leitungslänge

005 m

010 m

015 m

020 m

030 m

040 m

050 m

075 m

100 m

1) Größere Leitungslängen sind wegen der RS 232 C-Anbindung nicht spezifiert

Kat.-Nr. 124 55 Kat.-Nr. 124 63

Kat.-Nr. 230 022 Kat.-Nr. 230 023

Kat.-Nr. 124 56 Kat.-Nr. 124 64

Kat.-Nr. 124 57 Kat.-Nr. 124 65

Kat.-Nr. 124 58 Kat.-Nr. 124 661) Kat.-Nr. 124 671) Kat.-Nr. 124 681) Kat.-Nr. 124 691) Kat.-Nr. 124 70

Technische Daten Anschlussleitungen

Leitungen

Typ A

Typ B

Typ C

Typ E

Beidseitig FCC 68 (RJ45), 8polig abgeschirmt

Sub-D 15polig female auf FCC 68 (RJ45), 8polig abgeschirmt

Sub-D 15polig female auf Sub-D 15polig male, abgeschirmt

Sub-D 15polig female auf offene Drahtenden, abgeschirmt



Anschließbare Sensoren

THERMOVAC

- TTR 100

- TTR 211

- TTR 216 S

- TTR 90

- TTR 90 S

- TTR 91

- TTR 91 S

- TTR 96 S

PENNINGVAC

- PTR 90

Preiswertes, kompaktes 1-Kanal-Anzeige-Gerät für die Transmitter derTHERMOVAC-Reihe und für PTR 90.

M3 - 3,2 mm

66 78

105,5

91,5102

172,5170106,5

85

Schalttafelausbruch und Maßzeichnung des DISPLAY ONE


- Versorgung der Transmitter mit Be-triebsspannung

- 4-stellige Anzeige der Mantisse imBereich von 5 · 10-9 bis 2000 mbar

- Anzeige wahlweise in mbar, Torroder Pascal

- 0 - 10 Volt Schreiberausgang aufsteckbarer Schraubklemme

- Die Schaltschwelle der Transmitterist über Steckanschlüsse durchge-schleift

- Einstellwerte der Transmitter-Schaltpunkte können auf Knopf-druck im Display angezeigt werden

- Kompaktes Tischgehäuse (1/4 19", 2 HE)

- Mittels Adapter in 19", 3 HE Rackseinbaubar

- Spannungsversorgung 100 - 240 V

DISPLAY ONE


Technische Daten DISPLAY ONE

Anzahl der Messkanäle

Messwertanzeige

Anzeigebereich mbar

Masseinheit (umschaltbar)

Schaltpunkt

Schreiberausgang (Ra > 2,5 kΩ)

Netzanschluss

EU-Version

US-Version

1

Digital, 7-Segment-LED

5 · 10-9 bis 2000

mbar, Torr, Pascal

vom Transmitter durchgeschliffen

0 - 10 Volt, Charakteristik entspricht dem angeschlossenem Transmitter

100 - 240 V / 50-60 Hz

100 - 240 V / 50-60 Hz

Bestelldaten DISPLAY ONE

EU-Version, inkl. Netzleitung

US-Version, inkl. Netzleitung


PENNINGVAC-Transmitter PTR 90



005 m

010 m

015 m

020 m

030 m

040 m

050 m

075 m

100 m

Adapterplatte

zur Montage in 3 HE, 19" Rack

Kat.-Nr. 230 001

Kat.-Nr. 235 001

siehe Abschnitt „Aktive Sensoren”

Typ A

Kat.-Nr. 124 26

Kat.-Nr. 230 012

Kat.-Nr. 124 27

Kat.-Nr. 124 28

Kat.-Nr. 124 29

Kat.-Nr. 124 30

Kat.-Nr. 124 31

Kat.-Nr. 124 32

Kat.-Nr. 124 33

Kat.-Nr. 230 005


DISPLAY TWO / THREE

Kostengünstige Betriebs- und Anzeige-einheiten für die Transmitter der THERMOVAC und PENNINGVAC-Baureihen.

Alle Kanäle werden gleichzeitig ange-zeigt.

M3 - 3,5 mm

106,0

122,4

106,0

91,5164,5162

106,5

128,4

91,5

122,4

3,5 mm

Schalttafelausbruch und Maßzeichnung des DISPLAY TWO und THREE


THERMOVAC

- TTR 211

- TTR 216 S

- TTR 90

- TTR 91

- TTR 96 S

- TTR 100

- TTR 100 S2

PENNINGVAC

- PTR 90

- PTR 225

- PTR 225 S

- PTR 237


- Stromversorgung für die Transmitter

- Anzeigebereich von 1 · 10-9 bis2000 mbar


- Einstellbare Schaltschwellen mitvariabler Hysterese, potenzialfreieWechselkontakte und optischeDarstellung des Schaltzustandesüber die Anzeige

- Möglichkeit der Eingabe einesGaskorrekturfaktors für diePENNINGVACs

- Getrennte Schreiberausgänge 0 bis 10 V für jeden Messkanal


- Zum Einbau in 19", 3 HE Racks

Bestelldaten


Technische Daten DISPLAY TWO DISPLAY THREE


Messwertanzeige

Anzeigebereich mbar


Gasartkorrektur (for PTR)

Sensoranschluss

Sensorversorgung V DC

Elektrische Ausgänge

SchaltpunktAnzahlEinstellbereichHytereseRelaiskontaktBelastbarkeit

FehlermeldungRelaiskontaktBelastbarkeit

Schreiberausgang (Ra > 10 kΩ)

Steuereingang

Netzanschluss V AC / Hz

Leistungsaufnahme W

Nenntemperaturbereich °C

Gewicht kg

Schutzart IP

2

Digital, 7-Segment-LED, 4-stellig

1 · 10-10 bis 2000

mbar, Torr, Pascal

Faktor einstellbar

FCC68 (RJ45)

24

Schraubanschluss

2 (1 pro Kanal)sensorabhängig

einstellbarpotentialfreier Wechselkontakt60 V, 1 A DC / 30 V, 1 A AC

potentialfreier Schließkontakt60 V, 1 A DC / 30 V, 1 A AC

0 - 10 Volt, Ausgangscharakteristik

entspricht dem angeschlossenen

Transmitter

PENNINGVAC PTR: HV ein

85 - 240 / 50 - 60

< 10

+5 bis +50

1,3

40

3


1 · 10-10 bis 2000

mbar, Torr, Pascal

Faktor einstellbar

FCC68 (RJ45)

24

Schraubanschluss

3 (1 pro Kanal)sensorabhängig

einstellbar potentialfreier Wechselkontakt60 V, 1 A DC / 30 V, 1 A AC

potentialfreier Schließkontakt60 V, 1 A DC / 30 V, 1 A AC

0 - 10 Volt, Ausgangscharakteristik entspricht dem angeschlossenen

Transmitter

PENNINGVAC PTR: HV ein

85 - 240 / 50 - 60

< 15

+5 bis +50

1,4

40

DISPLAY TWO DISPLAY THREE

EU-Version mit EURO-NetzleitungUS-Version mit US-Netzleitung



Anschlussleitungfür THERMOVAC und PENNINGVAC (Typ A)

Kat.-Nr. 230 024 Kat.-Nr. 230 025Kat.-Nr. 235 024 Kat.-Nr. 235 025

siehe Abschnitt „Aktive Sensoren” siehe Abschnitt „Aktive Sensoren”

siehe Abschnitt „Aktive Sensoren” siehe Abschnitt „Aktive Sensoren”

siehe Abschnitt siehe Abschnitt„Anschlussleitung für aktive Sensoren” „Anschlussleitung für aktive Sensoren”


CENTER ONE

- Nullpunktkorrektur der Anzeige unddes Schreiber-Ausgangs durchTastendruck bei Verwendung vonCERAVAC-Transmittern

- Eingabemöglichkeit für Gasartkor-rektur-Faktoren für PENNINGVACs

- 0 - 10 Volt Schreiberausgang

- RS 232 C-Schnittstelle mit einstell-barer Baud-Rate

- Relais-Ausgang zur Fehlererken-nung


- Mittels Adapter in 19", 3 HE-Rackseinbaubar

Universelles, kompaktes Anzeige- undBetriebs-Gerät für die aktivenSensoren der Baureihe CERAVAC,THERMOVAC, PENNINGVAC und IONIVAC.

M3 - 3,2 mm

68 78

106,5

105

85

91,2204,5

287,5285

Schalttafelausbruch und Maßzeichnung des CENTER ONE


THERMOVAC

- TTR 211

- TTR 216 S

- TTR 90

- TTR 91

- TTR 96 S

- TTR 100

- TTR 100 S2

PENNINGVAC

- PTR 90

- PTR 225

- PTR 225 S

- PTR 237

CERAVAC

- CTR 90

- CTR 91

- CTR 100

IONIVAC

- ITR 90

- ITR 100

- ITR 200 S

- ITR 200 SL


- Versorgung der Transmitter mit Be-triebsspannung


- Je nach Druckbereich automatischeUmschaltung in exponentielle Dar-stellung der Messwerte

- Anzeige wahlweise in mbar, Torr,Micron oder Pascal

- Einstellbarer Schaltpunkt mit varia-bler Hysterese, potentialfreiemWechselkontakt und optischerAnzeige des Schaltzustandes imAnzeigefeld

Bestelldaten CENTER ONE

EU-Version mit 2 m EURO-NetzleitungUS-Version mit 2 m US-Netzleitung

THERMOVAC, PENNINGVAC, CERAVACund IONIVAC-Transmitter

Anschlussleitung fürTHERMOVAC und PENNINGVAC (Typ A),CERAVAC (Typ B analog, Typ C digital) und IONIVAC (Typ C)

Adapterplatte zur Montage in 3 HE 19"-Rack

Schraubanschluss zum9 poligen Sub-D-Stecker

Kat.-Nr. 230 002Kat.-Nr. 235 002

siehe Abschnitt „Aktive Sensoren“

siehe Abschnitt „Anschlussleitung für aktive Sensoren“

Kat.-Nr. 230 005

Kat.-Nr. 230 006


Technische Daten CENTER ONE


Messwertanzeige

Anzeigebereich mbar


Gasartkorrektur

Sensoranschluss


Elektrische Ein- und Ausgänge




Steuereingang

Schnittstelle RS 232 C


Leistungsaufnahme W

Gewicht kg

Schutzklasse IP

1


1 · 10-10 bis 2000

mbar, Torr, Pascal, Micron

Faktor einstellbar

15polige Sub-D-Buchse FCC68 (RJ45)

24

9poliger Sub-D-Stecker

1sensorabhängig

einstellbarpotentialfreier Wechselkontakt

60 V; 0,5 A DC / 30 V; 0,5 A AC

potentialfreier Schließkontakt60 V; 0,5 A DC / 30 V; 0,5 A AC

0 - 10 Volt, Ausgangscharakteristik entspricht dem angeschlossenen Transmitter

PTR: HV einITR 100: Emission ein

9 polige Sub-D-Buchse

85 - 264 / 50 - 60

< 30

0,85

30

C16 58

CENTER TWO / THREE

Universelle mehrkanalige Anzeige- undBetriebs-Geräte mit permanenter Dar-stellung aller Messkanäle, geeignet fürdie Sensoren der Baureihen CERAVAC,THERMOVAC, PENNINGVAC und IONIVAC.

M3 - 3,2 mm

112122,5

206106,5

104,5

128,5

91,5 290293,5

Schalttafelausbruch und Maßzeichnung zum CENTER TWO und THREE


THERMOVAC

- TTR 211

- TTR 216 S

- TTR 90

- TTR 91

- TTR 96 S

- TTR 100

- TTR 100 S2

PENNINGVAC

- PTR 90

- PTR 225

- PTR 225 S

- PTR 237

CERAVAC

- CTR 90

- CTR 91

- CTR 100

IONIVAC

- ITR 90

- ITR 200 S

- ITR 200 SL


- Versorgung der Transmitter mitBetriebsspannung


- Je nach Druckbereich automatischeUmschaltung in exponentielle Dar-stellung der Messwerte

- Anzeige wahlweise in mbar, Torr,Micron oder Pascal

- Einstellbare Schaltpunkte mit vari-abler Hysterese, potentialfreienWechselkontakten und optischerAnzeige des Schaltzustandes imAnzeigefeld, frei zuordenbar zu deneinzelnen Messkanalen

- Nullpunktkorrektur der Anzeige unddes Schreiber-Ausganges durchTastendruck bei Verwendung vonCERAVAC-Transmittern

- Eingabemöglichkeit für Gasartkor-rektur-Faktoren für PENNINGVACs

- Separate Schreiberausgänge0 - 10 Volt für jeden Messkanal

- Zusätzlicher Schreiberausgang0 - 10 Volt über mehrere Mess-kanäle programmierbar

- RS 232 C-Schnittstelle mit einstell-barer Baud-Rate

- Relais-Ausgang zur Fehlererken-nung


- In Schalttafelausbrüche und 19", 3 HE-Racks einbaubar


Bestelldaten CENTER TWO CENTER THREE

EU-Version mit 2 m EURO-NetzleitungUS-Version mit 2 m US-Netzleitung

THERMOVAC, PENNINGVAC, CERAVACund IONIVAC Transmitter

Anschlussleitung fürTHERMOVAC und PENNINGVAC (Typ A),CERAVAC (Typ B analog, Typ C digital) und IONIVAC (Typ C)

Schraubanschluss zum9 poligen Sub-D-Stecker

Kat.-Nr. 230 004 Kat.-Nr. 230 003Kat.-Nr. 235 004 Kat.-Nr. 235 003

siehe Abschnitt „Aktive Sensoren“ siehe Abschnitt „Aktive Sensoren“

siehe Abschnitt „Anschlussleitung siehe Abschnitt „Anschlussleitungfür aktive Sensoren“ für aktive Sensoren“

Kat.-Nr. 230 006 Kat.-Nr. 230 006

C1659

Technische Daten CENTER TWO CENTER THREE


Messwertanzeige

Anzeigebereich mbar


Gasartkorrektur

Sensoranschluss


Relaisausgänge




Steuereingang

Schnittstelle RS 232 C


Leistungsaufnahme W

Nenntemperaturbereich °C

Gewicht kg

Schutzklasse IP

2 3

Digital, 7-Segment-LED, 5-stellig Digital, 7-Segment-LED, 5-stellig

1 · 10-10 bis 2000 1 · 10-10 bis 2000

mbar, Torr, Pascal, Micron mbar, Torr, Pascal, Micron

Faktor einstellbar Faktor einstellbar

15polige Sub-D-Buchse FCC68 (RJ45) 15polige Sub-D-Buchse FCC68 (RJ45)

24 24

25polige Sub-D-Buchse 25polige Sub-D-Buchse

frei zuordenbar zu den Messkanälen frei zuordenbar zu den Messkanälen4 6

sensorabhängig sensorabhängigeinstellbar einstellbar

potentialfreier Wechselkontakt potentialfreier Wechselkontakt60 V; 0,5 A DC / 30 V; 0,5 A AC 60 V; 0,5 A DC / 30 V; 0,5 A AC

potentialfreier Schliesskontakt potentialfreier Schliesskontakt60 V; 0,5 A DC / 30 V; 0,5 A AC 60 V; 0,5 A DC / 30 V; 0,5 A AC

0 - 10 Volt pro Messkanal, 0 - 10 Volt pro Messkanal,Ausgangscharakteristik entspricht dem Ausgangscharakteristik entspricht dem

angeschlossenen Sensor, angeschlossenen Sensor, zusätzlich ein Schreiberausgang zusätzlich ein Schreiberausgang

programmierbar programmierbar

PENNINGVAC PTR: Hochspannung ein PENNINGVAC PTR: Hochspannung ein

9 polige Sub-D-Buchse 9 polige Sub-D-Buchse

90 - 250 / 50 - 60 90 - 250 / 50 - 60

< 45 < 65

+5 bis +50 +5 bis +50

1,1 1,2

20 20



PIEZOVAC PV 20Dieses Komplettgerät bietet eine präzi-se und kostengünstige Vakuummes-sung zwischen 1 und 2000 mbar, bzw.0,1 und 200 mbar.

Sensoren

Das PIEZOVAC PV 20 wird komplettmit Sensor DI 2000 bzw. DI 200 aus-geliefert. Der Sensor ist betriebsbereitabgeglichen.

Informationen zu den THERMOVAC-Sensoren finden Sie im Abschnitt„Aktive Sensoren“.


- Komplettgerät: Sensor und Mess-leitung im Lieferumfang enthalten

- LCD-Simultan-Anzeige – kombiniertdie Vorteile analoger und digitalerMesswert-Darstellung

- Übersichtliche Anzeige von Druckund Betriebszuständen mit analogerTrenderkennung, auch aus grosserEntfernung ablesbar

- Logarithmischer/linearer 0 - 10 V-Schreiberausgang

- Kompaktes Tischgehäuse (1/4 19",3 HE), in Schalttafel-Ausbrüche und19"-Racks einbaubar

- Keramischer Absolutdruck-Sensormit hoher Korrosions-Beständigkeit

- Alternativ ist der Betrieb mit THERMOVAC-Sensoren TR 211, TR 212 und TR 216 möglich

- CE-Zeichen


- Universelle Druckmessung im Fein-und Grobvakuum-Bereich, z.B.Vakuumöfen und Analysengeräte

- Betriebskontrolle an Vorvakuum-pumpen und Vakuumanlagen

- Ersatz von Quecksilber-Manometernin Labor und Fertigung

M3 - 3,2 mm

112122,5

106,5

104,5

128,5

91,5172

258,5255

Schalttafel-Ausbruch und Maßzeichnung zum PIEZOVAC PV 20

Betriebsgeräte für passive Sensoren


Bestelldaten PIEZOVAC PV 20

Komplett mit 2 m Netzleitung und

Sensor DI 2000,

mit 5 m Messleitung, 230 V AC,

Messbereich 1 - 2000 mbar

Komplett mit 2 m Netzleitung und

Sensor DI 200,

mit 5 m Messleitung, 230 V AC,

Messbereich 0,1 - 200 mbar

Kalibrierung

Optionen

19"-Einbaurahmen

1/4 19"-Abdeckplatte

Kat.-Nr. 157 96

Kat.-Nr. 157 97

siehe Abschnitt „Sonstiges“,

Absatz „Oerlikon Leybold Vacuum-Kalibrierdienst“

Kat.-Nr. 161 00

Kat.-Nr. 161 02

Technische Daten PIEZOVAC PV 20

Anzeigebereich mbar

Messwertanzeige

Messunsicherheit

mit DI 200/201/2000 Sensor % FS


Schreiberausgang (Ra > 2,5 kΩ)

Netzanschluss 50/60 Hz (umschaltbar) V




Max. rel. Feuchte % n.c.

Gewicht, ca. kg

Abmessungen (B x H x T) mm



0,1 bis 2000

digital: 7-Segment-LCD,

analog: LCD-Laufbalken

0,2

mbar, Torr, Pa, Micron

0 - 10 V, lineare Teilung bei Absolutdrucksensoren,

ca. 10,5 V bei Störung

0 - 10 V, logarithmische Teilung bei

THERMOVAC-Messröhren (1,67 V/Dekade)

90 bis 130 / 180 bis 250

9

-40 bis +60

0 bis +40

80

2

106,5 x 128,5 x 172

100

TR 211/212/216, DI 200/201/2000/2001


Ultra-Hochvakuum-Messgeräte


- Standardmäßig vorhandene RS 232 C-Schnittstelle

- Einfache Softwareaktualisierungenüber die RS 232 C-Schnittstelle

- Profibus-Schnittstelle (Option)

- CE-Zeichen


- Druckmessung und -steuerung imUHV-Bereich

- Enddruck-Bestimmung in UHV-Apparaturen

- Enddruck-Kontrolle bei der Halblei-ter-Fertigung

- Totaldruckmessung in der Kryo-technik

- Totaldruckmessung in Kalibrier-Systemen

Das Drei-Kanal Anzeige- und Betriebs-gerät IONIVAC IM 540 deckt durch dieKombination von bis zu vier unter-schiedlichen Messprinzipien – Pirani,Kapazitiv, Bayard-Alpert und Extraktor– den gesamten Vakuummess- undRegelbereich zwischen 10-12 mbar undAtmosphärendruck ab.


- Präzise UHV-Druckmessung durchden Bayard-Alpert-Sensor IE 414(mit ausgezeichneter Langzeitsta-bilität) oder durch den Extraktor-Sensor IE 514 (mit einer extremniedrigen Röntgengrenze von ≤ 1 · 10-12 mbar)

- 1 Messkanal für IONIVAC-Sensor(Bayard-Alpert oder Extraktor)

- Möglichkeit zum gleichzeitigenAnschluss eines zweiten IONIVAC-Sensors

- Ausheizen der Anode durch Elek-tronen-Bombardement mit Zeitlimit

- Kontinuierliche UHV-Messung auchwährend der Ausheizphase (bis 250 °C mit ausheizbarer Messleitung)

- 2 Messkanäle zum direkten An-schluss von Transmittern der SerienTHERMOVAC TTR und CERAVACCTR

- Umschaltbare Druckeinheiten (mbar, Torr, Pascal, Micron)

- Anzeige eines Messkanals mitDrucktendenz durch analogen Bar-graph oder gleichzeitige Anzeigealler Messkanäle

- Zwei einstellbare Schaltpunkte miteinstellbarer Hysterese und freierZuordnung zu den Messkanälen


- Bayard-Alpert Sensor IE 414

- Extraktor Sensor IE 514 (siehe Abschnitt „Sensoren”)

kombiniert mit

- THERMOVAC TTR 211, TTR 216 S,TTR 90, TTR 91 und TTR 96 S

- CERAVAC CTR 90, CTR 91 und CTR 100

Zwei passive Sensoren, die nach demIonisationsprinzip arbeiten (IE 414 und/oder IE 514), lassen sich gleichzeitigam IONIVAC IM 540 anschließen,wobei immer nur ein Sensor zur Zeitbetrieben werden kann.

Eine druckabhängige Steuerung derEmission dieser Sensoren ist möglich,sofern ein THERMOVAC TTR oderCERAVAC CTR 100/CTR 91 mit aus-reichender Bereichsüberlappung ange-schlossen wird.

213 355

228,6

2,5

Schalttafel-Ausbruch (links) und Maßzeichnung (rechts) zum IONIVAC IM 540

198

209

IONIVAC IM 540


Technische Daten IONIVAC IM 540

Anzahl Messkanäle

Bayard-Alpert / Extraktor

THERMOVAC / CERAVAC

Anzeigebereich mbar

Anzeigebereich Extraktor mbar

Anzeigebereich Bayard-Alpert mbar

Messbereichs-Umschaltung

Maßeinheit (umschaltbar)

Messunsicherheit %

Tendenzanzeige

Messwertanzeigerate

Emissionsstrom

Extraktor-Sensor mA

Bayard-Alpert-Sensor mA

Emissionsstrom-Abschaltung bei

Ausheiz-Leistung

Extraktor / Bayard-Alpert W

Sensorversorgung, Potential für

Anschlussmöglichkeiten

Messsystem-Erkennung

Messsystem-Umschaltung

Schreiberausgänge

Extraktor/Bayard-Alpert

(Ra = 2,5 kΩ)


Schaltpunkte (Einzelbetrieb oder Intervall)

Netzanschluss V / Hz



Abmessungen des Tischgerätes

(B x H x T) mm

Gewicht, ca. kg

3

Kanal 1 oder 2

Kanal 3 und 4

1 · 10-12 bis 1100

1 · 10-12 bis 1 · 10-4

1 · 10-11 bis 1 · 10-2

automatisch oder Dekadenvorwahl

mbar, Torr, Pa, Micron

±10 vom angezeigten Wert

Laufbalken

1 · 10-10 bis 1 · 10-2 mbar, 5 s-1

1 · 10-12 bis 1 · 10-10 mbar, 0,5 s-1

1,6

0,1 bis 10; automatische Regelung

p > 1 · 10-2 mbar, Katodenbruch, Kurzschluss,

Unterbrechung des Stromkreises

20 / 40

Anode Extraktor / Bayard-Alpert: 220 V,

Katode Extraktor / Bayard-Alpert:100 V/80 V,

Reflektor Extraktor: 205 V

Bayard-Alpert und Extraktor, Einzelbetrieb möglich

2 x Bayard-Alpert oder 2 x Extraktor (Redundanz)

automatisch

automatisch, druckabhängig, fehlerabhängig

logarithmisch 0 bis 10 V (1 V/Dek.);

linear 0 bis 10 V;

Störmeldung U ≥ 10,5 V

RS 232 C / Profibus

2 mit potentialfreiem Wechselkontakt

90 - 264 / 50/60

-40 bis +60

+5 bis +50

213 x 128,5 x 250

3


Bestelldaten IONIVAC IM 540

IONIVAC IM 540

mit Netzanschlussleitung 2 m

(für EU + US)

Optionen

Profibus DP-Schnittstelle

DKD-Kalibrierung

IONIVAC-Sensoren

IE 414, DN 40 CF

Ersatzkatode IE 414

IE 514, DN 40 CF

Ersatzkatode IE 514

Messleitungen für IE 414/514

05 m

10 m

05 m, ausheizbar bis 200 °C

Verlängerungs-Leitung für IE 414/514

10 m

20 m

THERMOVAC-Transmitter TTR

Anschlussleitung Typ A

CERAVAC-Transmitter CTR

Anschlussleitung Typ B

Kat.-Nr. 230 100

Kat.-Nr. 230 101

siehe Kapitel „Sonstiges”

Kat.-Nr. 158 66

Kat.-Nr. 158 63

Kat.-Nr. 158 67

Kat.-Nr. 158 61

Kat.-Nr. 158 68

Kat.-Nr. 150 88

Kat.-Nr. 158 44

Kat.-Nr. 245 002

Kat.-Nr. 200 02 937


siehe Abschnitt „Anschlussleitungen zu aktiven Sensoren“


siehe Abschnitt „Anschlussleitungen zu aktiven Sensoren“


Notizen


Zusätzliche Sensoren

IONIVAC-Sensoren IE 414 und IE 514

IE 414

- Bayard-Alpert-Messsystem

- Messbereich bis 2 · 10-11 mbar

- Eingeschweißtes Schutzschild

Die Funktionsweise dieser passivenSensoren beruht auf dem Heißkatho-den-Ionisationseffekt.

58

12,8

DN 40 CF55

90

69,433

Maßzeichnung IE 414 (rechts) und IE 514 (links)


- Austauschbare Katode

- Hohe Messgenauigkeit durch indivi-duell kalibriertes Messsystem

IE 514

- Extraktor-Messsystem

- Zuverlässig bis 1 · 10-12 mbar

- Deutliche Reduzierung von Röntgen-und Ionen-Desorptionseffekten

69,433

DN 40 CF

66

25

12,8

98


IE 414 IE 514Bestelldaten

Technische Daten IE 414 IE 514

Messbereich mbar

Röntgengrenze mbar

Betriebstemperatur-Bereich °C

Ausheiztemperatur Flansch, max. °C

Material

Katode

Durchführungsstifte

Anode

Vakuumanschluss DN

Einstelldaten

Potential Ionenfänger V

Potential Katode V

Potential Anode V

Emissionsstrom mA

Heizstrom der Glühkatode A

Heizspannung der Glühkatode V

Empfindlichkeit für Stickstoff mbar -1

Ausheizbetrieb,

Elektronen-Bombardement V / mA

Betriebsgeräte

2 · 10-11 bis 10-2 10-12 bis 1 · 10-4

�� 10-11 �� 10-12

0 bis +80 0 bis +80

200 1) / 350 2) 200 1) / 350 2)

Iridium mit Yttriumoxidbelag Iridium mit Yttriumoxidbelag

NiFe 42 NiFe 42

Pt/Ir 90/10/pt-Manteldraht Mo und CoNiCr

40 CF 40 CF

0 0

80 100

220 220

0,06 bis 0,6 1,6

1,4 1,4

2,7 3,7

17,0 6,6

700 / 30 700 / 30

IM 520, 510, 540 IM 520, 510, 540

IONIVAC-Sensoren

Ersatz-Katode

1) Mit ausheizbarer Messleitung2) Bei abgezogener Messleitung

Kat.-Nr. 158 66 Kat.-Nr. 158 67

Kat.-Nr. 158 63 Kat.-Nr. 158 61


THERMOVAC-SensorenTR 211 / TR 211 NPT / TR 212 / TR 216

TR 211

- Aluminium-Messzelle mit Wolfram-Messfaden

- Verbesserte Temperatur-Kompen-sation

TR 211 NPT/TR 212

- Messzelle aus Edelstahl mit Wolf-ram-Messfaden

- Überdruckfest

Die Funktionsweise dieser passivenSensoren beruht auf dem Wärme-leitungseffekt nach Pirani.

20 40

135(144)

5

133(122)

35

Maßzeichnung der TR 211, TR 212 und TR 216; TR 211 NPT in Klammern


- Messbereich 5 · 10-4 - 1000 mbar

- Wolfram- oder Platin-Messfaden

- Preiswerte Ersatzmesszelle

- Abgeglichen und temperaturkom-pensiert 0 bis +40 °C

- Konstante Fadentemperatur

TR 216

- Messzelle aus Edelstahl mit Platin-Messfaden und Keramik-Strom-durchführung

- Gut geeignet für korrosive Prozesseund Wasserdampf-Atmosphäre


TR 211 TR 211 NPT TR 212 TR 216Bestelldaten

Technische Daten TR 211 TR 211 NPT TR 212 TR 216

Messbereich mbar

Betriebstemperatur-Bereich

(kompensiert) °C

Lagerungstemperatur-Bereich, max. °C

Messfaden

Messfadentemperatur °C

Zulässige Überlast (abs.), max. bar

Messzellen-Volumen, ca. cm3

Vakuumanschluss DN


Betriebsgeräte

5 · 10-4 bis 1000 5 · 10-4 bis 1000 5 · 10-4 bis 1000 5 · 10-4 bis 1000

0 bis +40 0 bis +40 0 bis +40 0 bis +40

80 80 80 80

Wolfram Wolfram Wolfram Platin

110 110 110 110

3 3 10 10

11 11 11 11

16 KF 1/8" NPT 16 KF/16 CF 16 KF

Aluminium, Vacon, Edelstahl, Vacon, Edelstahl, Vacon, Edelstahl 1.4301

Glas, Wolfram Glas, Wolfram Glas, Wolfram (SS 304),

CrNi 8020, CrNi 8020 CrNi 8020 Al2O3-Keramik,

Epoxidharzkleber CrNi 8020, Platin

THERMOVAC THERMOVAC THERMOVAC THERMOVAC

TM 21, 22, 23 / TM 21, 22, 23 / TM 21, 22, 23 / TM 21, 22, 23 /

COMBIVAC COMBIVAC COMBIVAC COMBIVAC

CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 /

PIEZOVAC PV 20 PIEZOVAC PV 20 PIEZOVAC PV 20 PIEZOVAC PV 20

THERMOVAC-Sensoren Serie 200

DN 16 KF

DN 16 CF

DN 1/8" NPT

Ersatz-Messzelle

Kat.-Nr. 157 85 – Kat.-Nr. 158 52 Kat.-Nr. 157 87

– – Kat.-Nr. 157 86 –

– Kat.-Nr. 896 33 – –

Kat.-Nr. E 157 75 Kat.-Nr. E 896 34 – Kat.-Nr. E 157 77


PENNINGVAC-Sensoren PR 25 / PR 26 / PR 27 / PR 28

Option

Zum Schutz der PENNINGVAC-Sen-soren gegen Verschmutzung, Wärme-strahlung und anderer störender Ein-flüsse wird der Einbau eines Bafflesempfohlen.

Die Funktionsweise dieser passivenSensoren beruht auf dem Kaltkatho-den-Ionisationsprinzip nach Penning.

DN 25 KF / DN 40 KF

94

132

50

Maßzeichnung der PENNINGVAC PR Sensoren


- Robust

- Unempfindlich gegen Luft-Einbrücheund Erschütterungen

- Leichte Zerlegung zur Reinigungdes Messsystems

- Austauschbares Katodenblech

- Verbessertes Zündverhalten durchTitankatoden

107

147

50

DN 40 CF


Bestelldaten

Technische Daten PR 25 PR 26 PR 27 PR 28

PR 25 PR 26 PR 27 PR 28

Messbereich mbar

Hochspannungsversorgung

(Anodenpotential) kV



Ausheiztemperatur (Flansch) °C

Zulässige Überlast (abs.) bar

Totvolumen cm3


Gewicht, ca. kg

Vakuumanschluss DN

Betriebsgeräte

1 · 10-9 bis 10-2 1 · 10-9 bis 10-2 1 · 10-9 bis 10-2 1 · 10-9 bis 10-2

+ 3,3/+1,6 + 3,3/+1,6 + 3,3/+1,6 + 3,3/+1,6

-25 bis +80 -25 bis +80 -25 bis +80 -25 bis +80

0 bis +80 0 bis +80 0 bis +80 0 bis +200

– – – 350

6 1) 6 1) 6 1) 6 1)

21 21 21 21

Edelstahl, Edelstahl, Edelstahl, Edelstahl,

Nickel-Chrom, Nickel-Chrom, Nickel-Chrom, Nickel-Chrom,

Keramik, Titan Keramik, Titan Keramik, Titan Keramik, Titan

0,75 0,75 0,8 0,8

25 KF 40 KF 40 CF 40 CF

COMBIVAC COMBIVAC COMBIVAC COMBIVAC

CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 /

PENNINGVAC PENNINGVAC PENNINGVAC PENNINGVAC

PM 31 PM 31 PM 31 PM 31

PENNINGVAC-Sensoren

Ersatz-Katodenblech, Titan

(5 Stück, inkl. 5 Keramikscheiben)

Ersatz-Anodenring

Baffle, mit Zentrierring

1) Bei Verwendung einer Ultra-Dichtscheibe am Vakuumanschluss

Kat.-Nr. 157 52 Kat.-Nr. 136 46 Kat.-Nr. 136 47 Kat.-Nr. 136 48

Kat.-Nr. EK 162 91 Kat.-Nr. EK 162 91 Kat.-Nr. EK 162 91 Kat.-Nr. EK 162 91

Kat.-Nr. 200 28 711 Kat.-Nr. 200 28 711 Kat.-Nr. 200 28 711 Kat.-Nr. 200 28 711

Kat.-Nr 230 078 Kat.-Nr 230 079 – –



- Druckmessung im Grobvakuum-Bereich, auch bei korrosiven Medien

- Chemische Verfahrens-Technik

- Vakuum-Verpackung

- Trocknungs-Verfahren

- Messen des Betriebs- und Füll-drucks, z.B. bei der Glühlampen-Herstellung

- Füllanlagen für Bremsflüssigkeit (DI 201/DI 2001)

- Füllanlagen für Kühlmittel

- Messen des Drucks relativ zumAtmosphären-Druck (DI 2001 rel)

Kapazitiver Druck-Sensor in Keramik-Technik. Lieferbar als Absolutdruck-oder Relativdruck-Sensor.

48,5

80

58

DN 16 KF

Maßzeichnung der Sensoren DI 200/DI 201/DI 2000/DI 2001 rel


- Drucksensor in Zwei-Leiter-Technik

- Absolutdruck-Messbereiche von 0,1bis 200 mbar oder 1 bis 2000 mbar

- Relativdruck-Messbereich von -1000 mbar bis +1000 mbar

- Exzellentes Überlastverhalten durchAI2O3-Keramik-Membran

- Hohe Korrosions-Beständigkeit

- Gasartunabhängig

- Vibrationsfest

- Versorgungs-Spannungsbereich 12 bis 30 V DC

- Lineares Ausgangssignal 4 bis 20 mA

- Kompakte Bauform

Lineare Druck-Sensoren DI 200 / DI 201 / DI 2000 / DI 2001 / DI 2001 rel


Bestelldaten DI 200 DI 201 DI 2000 DI 2001 DI 2001 rel

Linearer Absolutdruck-Sensor,

komplett mit 5 m Anschlussleitung

und Anschlussstecker

Verlängerungsleitung

10 m

20 m

1) Summe aus Linearität, Hysterese und Reproduzierbarkeiten

Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr.

158 12 158 14 158 13 158 15 245 000

Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr.

200 04 112 200 04 112 200 04 112 200 04 112 200 04 112

200 02 645 200 02 645 200 02 645 200 02 645 200 02 645

Technische Daten DI 200 DI 201 DI 2000 DI 2001 DI 2001 rel

Messbereich mbar

Überlastbereich, max. bar


Messunsicherheit 1)

(± Temperaturfehler) % FS

Auflösung % FS

Reproduzierbarkeit % FS

Linearität % FS

Temperaturfehler

Nullpunktdrift % FS/10°K

Empfindlichkeitsdrift % FS/10°K

Messprinzip

Messkopfversorgung

Ausgangssignal mA

Versorgungsspannung V DC

Betriebsbereich V

Totvolumen cm3

Vakuumanschluss DN

Gewicht, ca. kg

Schutzart IP


Betriebsgeräte

0,1 bis 200 0,1 bis 200 1 bis 2000 1 bis 2000 -1000 bis +1000

Relativdruck

5 5 10 10 10

0 bis +60 0 bis +60 0 bis +60 0 bis +60 0 bis +60

0,2 0,2 0,2 0,2 0,2

0,05 0,05 0,05 0,05 0,05

0,1 0,1 0,1 0,1 0,1

0,2 0,2 0,2 0,2 0,2

0,1 0,1 0,1 0,1 0,1

0,15 0,15 0,15 0,15 0,15

kapazitiv kapazitiv kapazitiv kapazitiv kapazitiv

Zwei-Leiter- Zwei-Leiter- Zwei-Leiter- Zwei-Leiter- Zwei-Leiter-

Technik Technik Technik Technik Technik

4 bis 20 4 bis 20 4 bis 20 4 bis 20 4 bis 20

+24 typ. +24 typ. +24 typ. +24 typ. +24 typ.

12 bis 30, 12 bis 30, 12 bis 30, 12 bis 30, 12 bis 30,

Ripple 1 Vpp Ripple 1 Vpp Ripple 1 Vpp Ripple 1 Vpp Ripple 1 Vpp

3 3 3 3 3

16 KF 16 KF 16 KF 16 KF 16 KF

0,55 0,55 0,55 0,55 0,55

44 44 44 44 44

Edelstahl 1.4305, Edelstahl 1.4305, Edelstahl 1.4305, Edelstahl 1.4305, Edelstahl 1.4305,

Al2O3 (96 %) Al2O3 (96 %) Al2O3 (96 %) Al2O3 (96 %) Al2O3 (96 %)

Keramik, Keramik, Keramik, Keramik, Keramik,

FPM EPDM FPM EPDM EPDM

MEMBRANOVAC MEMBRANOVAC MEMBRANOVAC MEMBRANOVAC MEMBRANOVAC

DM 11, DM 12 / DM 11, DM 12 / DM 11, DM 12 / DM 11, DM 12 / DM 11, DM 12 /

PIEZOVAC PIEZOVAC PIEZOVAC COMBIVAC COMBIVAC

PV 20 / PV 20 / PV 20 / CM 32, 2T CM 32

COMBIVAC COMBIVAC COMBIVAC

CM 32, 2T CM 32, 2T CM 32, 2T


Ersatz-Sensoren für ältere Betriebsgeräte

BestelldatenTypZugehöriger Sensor /

Betriebsgeräte

Ersatz-Sensor IE 10

Ersatz-Sensor IE 20

Ersatz-Sensor IE 21

Ersatz-Sensor IE 100

DN 25 KF

DN 40 CF

Ersatz-Katode

Ersatz-Sensor TR 301

Ersatz-Messzelle

Ersatz-Messzelle

Ersatz-Messzelle

1) Auslauf

IM 110, IM 110 D

IM 210, IM 210 D, IT 230

IM 210, IM 221

ITR 100

ITR 100

IE 220

TM 320, CM 350, IM 520, DM 11, DM 12, CM 32

TR 201/901 DN 16 KF

TR 201/901 NPT

TR 301

Kat.-Nr. 163 43

Kat.-Nr. 163 14

Kat.-Nr. 158 17

Kat.-Nr. E 163 61

Kat.-Nr. E 163 67

Kat.-Nr. E 158 58 1)

Kat.-Nr. 157 40

Kat.-Nr. E 162 09 1)

Kat.-Nr. E 896 76 1)

Kat.-Nr. E 157 43


Notizen


Druck-Regelgeräte MoveP

roze

sska

mm

er

Regelventil Move X

Regelventil Move 1250

Interface-Modul IMove 1250

Elektrisches Regelgerät CMove 1250

oder

z.B. PC, SPS, ...(optional)

Sensor

SPS, PC


Regelventile Move 1250 und Move X



- Ausgedehnter Regelbereich von 5 · 10-6 bis 1250 mbar x l/s

- Exzellente Regelcharakteristik

- Korrosionsfest durch FPM/Edelstahl

- In Kombination mit CMove schliesstdas Ventil bei Stromausfall automa-tisch

- Ventilansteuerung entweder durchRegelgerät CMove 1250 oder durchPC oder SPS über die SchnittstelleIMove

- Elektromotorische Druckregelungmit variablem Gasfluss (Upstream-Regelung) oder mit variablemStrömungsleitwert (Downstream-Regelung)


Regelventil Move X


- 6 verschiedene Ventile für Gasflüssevon 10 sccm F.S. bis zu 5000 sccmF.S.

- Schnelle Ansprechzeit

- Elektromagnetische Druckregelungmit variablem Gasfluss (Upstream-Regelung)

- Stromlos geschlossen

- viele Anschluss-Adapter verfügbar

DN 16 ISO-KF

60 60

15290

30

35

Maßzeichnung des Move 1250

6.5(17)8 8

33

M14

x1

2.8x0.5

14.5

AD 1/4"

14.5

AD 6 mm

DN 10 ISO-KF

18

49

17

SW 17

49

23.5

35


Schutzkappe

Maßzeichnung des Move X mit Anschluss-Adapter

1E-6

1E-5

1E-4

1E-3

1E-2

1E-1

1

10

100

1000

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

USTG [V]

Gasfluss [mbar l/s]

Gasflusskurve des Move 1250

Regelventil Move X

Spulenstrom [mA]

Gasfluss [sccm]

Regelventil geschlossen

Regelventil offen

0

100

200

300

400

500

600

0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80

Beispiel einer Gasflusskurve (Mittelwert 500 sccmFS) bei einem Differenzdruck Vp = 1 bar für Move X


Technische DatenElektrisches Regelventil

Move 1250 Move XVakuumanschluss

Einbaulage

Dichtheit mbar · l/s

Druckbereich

Gasfluss 1)

mit Filter, einlassseitig

mit Filter, einlass-

und vakuumseitig mbar · l/s

Versorgung

Betriebsspannung V DC


Stromaufnahme mA

Ansteuerung

Digital

Analog V DC

Schutzart IP

Schliess- / Öffnungszeit s

Ansprechzeit ms

Umgebungstemperatur °C

Ausheiztemperatur

Ventilgehäuse °C

Antrieb °C

Werkstoff

Ventilgehäuse

Ventilnadel, -teller

Filter

Dichtungen

Dosierbuchse

Ankerteller

Führungsrohr

Gewicht kg

1) Für Luft bei Differenzdruck Vp = 1 bar

2) 1 sccm = 1,69 · 10-2

3) Minimaler Fluss: jeweils 1% vom FS (Vollausschlag)

DN 16 ISO-KF Gewindeamschluss M 14 x 1

zur Aufnahme von:

Flanschverbindung DN 10 ISO-KF

Rohranschluss l 1/4"

Rohranschluss l 6 mm

beliebig beliebig, vorzugsweise senkrechte Lage

1 · 10-9 1 · 10-9

1 · 10-8 mbar bis 2,5 bar (absolut) 1 · 10-8 mbar bis 1000 mbar

(max. Druck in Schliessrichtung 2 bar)

5 · 10-6 bis 1250 mbar · l/s 10 sccm FS 2), 3)

50 sccm FS 2), 3)

100 sccm FS 2), 3)

500 sccm FS 2), 3)

1000 sccm FS 2), 3)

5000 sccm FS 2), 3)

5 · 10-6 bis 1000 –

24 (+/- 10%) 0 bis 24

12 2,5 max.

500, 20 bis 30 (Ruhestrom) –

Schrittmotor Spule

CMove oder IMove 1250 CMove

0 bis 10 –

40 51

3 / 4 –

– < 30

+5 bis +40 +5 bis +50

80 +5 bis +50 (im Betrieb)

60 80 (ohne Stromversorgung)

Edelstahl 1.4435 Edelstahl 1.4301

Edelstahl 1.4301 –

Edelstahl 1.4404 –

FPM FPM

Fluorplastomer –

– Edelstahl 1.4510

– Edelstahl 1.4105

0,5 0,08

mbar · ls


Bestelldaten Elektrisches Regelventil

Move 1250 Move XElektrisches Regelventil

Move 1250

Move X mit Gas-Fluss 1)

0010 sccm

0050 sccm

0100 sccm

0500 sccm

1000 sccm

5000 sccm

Zubehör

Flansch DN 10 KF

Rohr 1/4 “

Rohr 6 mm

Einlass- oder vakuumseitiger Filter

bestehend aus Filterkerze, O-Ring und

2 Sicherungsringen

Filtersatz bestehend aus 10 Filterscheiben

und 10 Ringfedern

Verbindungskabel

CMove 1250 - Regelventil Move 1250

03 m

05 m

10 m

15 m

20 m

25 m

CMove 1250 - Regelventil Move X

03 m

05 m

10 m

15 m

20 m

25 m

1) Zur richtigen Auswahl bitten wir Sie um ihre Anfrage

Kat.-Nr. 230 219 –

– Kat.-Nr. 230 202

– Kat.-Nr. 230 203

– Kat.-Nr. 230 204

– Kat.-Nr. 230 205

– Kat.-Nr. 230 206

– Kat.-Nr. 230 207

– Kat.-Nr. 284 50

– Kat.-Nr. 284 51

– Kat.-Nr. 284 52

Kat.-Nr. 109 63 –

– Kat.-Nr. 109 64

Kat.-Nr. 230 220 –

Kat.-Nr. 230 221 –

Kat.-Nr. 230 222 –

Kat.-Nr. 230 223 –

Kat.-Nr. 230 224 –

Kat.-Nr. 230 225 –

– Kat.-Nr. 230 210

– Kat.-Nr. 230 211

– Kat.-Nr. 230 212

– Kat.-Nr. 230 213

– Kat.-Nr. 230 214

– Kat.-Nr. 230 215



Technische Merkmale

- Einfache Bedienung- selbsterklärendes LCD-Display

und Funktionstasten

- Analoge/digitale Ein-/Ausgänge undSchnittstellen

- Digital-EingangVentilsteuerung, Umschaltung

Druck- und Gasfluss-Steuerung- Digital-Ausgang

Ventilsteuerung, Fehlermeldung

- Einstellbare PID-Regelalgorithmen

- 99 vorprogrammierte PI-Regelalgorithmen für schnellen undeinfachen Betrieb

- Wahlweise als Einbau- oderTischgerät verwendbar (1/4 19")

Regelgerät CMove 1250


Das elektronische DruckregelgerätCMove in Verbindung mit elektroni-schem Regelventil Move 1250 oderMove X eignet sich für den Einsatz in Bereichen wie

- Halbleiter-Industrie

- Analytik

- Beschichtung

- Qualitätskontrolle

- Oberflächenbehandlung

sowie überall dort, wo einfache,schnelle und präzise Druckregelungerwünscht und notwendig ist.

228,5 3

command edit

128 122.5

106

913,5

110

103Ø

Maßzeichnung des CMove 1250


Technische Daten Elektrisches Regelgerät CMove 1250

Versorgung

Netzspannung, 50/60 Hz V AC


Reglertypen

Regelgenauigkeit

Anzeige

Anzeige-Masseinheiten (umschaltbar)

Druck

Fluss

Anzeigebereich

Druckregelung

CERAVAC

THERMOVAC

PENNINGVAC (außer PTR 90)

IONIVAC

mit 0 bis 10 V linear mV

Flusssteuerung

mit MOVE 1250

mit MOVE X

mit Analogausgang AA 2 mV

Anzeigegenauigkeit %

Betriebsmodus

Betriebsart

Digital-Eingang

Digital-Ausgang

Analog-Eingang

Analog-Ausgang

Serielle Schnittstelle

Gehäuse

Gewicht kg

Temperatur

Betrieb °C

Lagerung °C

Schutzklasse IP

90 - 250

50

Auto = (PI) einstellbar in 1 bis 99 wählbare Stufen

PID = PID benutzerdefiniert einstellbar

5% F.S. Sensor

LCD 64 x 128 Pixel

mbar, Torr, Pa, mV

mbar l/s, Torr l/s, Pa l/s, mV

0 bis 10.000

ZU, 5,0 · 10-6 bis 1,25 · 10+3 mbar · l/s

ZU, 1,0 · 10-5 bis 1,0 · 10+2 mbar · l/s

0 bis 10 000

0,2 FS Sensor

Gasflusssteuerung (upstream Regelung)

Drucksteuerung (downstream Regelung)

Lokalbetrieb oder Fernsteuerung

Flussanpassung, Öffnen/schließen von externen Ventilen /

Betriebsmodus Fluss/Druck / Einschalten von Emission/Degas

Angabe Ventilstellung; Ventilfehler; Sensorfehler;

Statusnachricht für Sensor und Ventil;

Druckkontrolle upstream/downstream

0 bis 10 V DC Sollwert Druck/Fluss

0 bis 10 V DC,

Signal Drucksensor, Ventilsignal, Ventilstellung MOVE 1250

RS 232 C, RS 485 C

1/4 19", verwendbar als Einschub- oder Tischgerät

1,65

+5 bis +50

-40 bis +60

30 (EN 60 529)


BestelldatenElektrisches Regelgerät CMove 1250


RegelventilMove 1250Move X mit Gas-Fluss0010 sccm0050 sccm0100 sccm0500 sccm1000 sccm5000 sccm

Verbindungskabel CMove 1250 - Regelventil Move 1250

03 m05 m10 m15 m20 m25 m

CMove 1250 - Regelventil Move X03 m05 m10 m15 m20 m25 m

SensorkabelTTR 90, TTR 100, TTR 211, TTR 216PTR 225, PTR 237

005 m015 m020 m030 m040 m050 m075 m100 m

ITR 90, ITR 100, ITR 200005 m015 m020 m030 m

CTR 90, CTR 91, CTR 100005 m010 m015 m020 m030 m040 m050 m075 m100 m

Kat.-Nr. 230 200

Kat.-Nr. 230 219

Kat.-Nr. 230 202Kat.-Nr. 230 203Kat.-Nr. 230 204Kat.-Nr. 230 205Kat.-Nr. 230 206Kat.-Nr. 230 207



Kat.-Nr. 124 26Kat.-Nr. 124 27Kat.-Nr. 124 28Kat.-Nr. 124 29Kat.-Nr. 124 30Kat.-Nr. 124 31Kat.-Nr. 124 32Kat.-Nr. 124 33

Kat.-Nr. 124 55Kat.-Nr. 124 56Kat.-Nr. 124 57Kat.-Nr. 124 58

Kat.-Nr. 230 013Kat.-Nr. 230 014Kat.-Nr. 230 015Kat.-Nr. 230 016Kat.-Nr. 230 017Kat.-Nr. 230 018Kat.-Nr. 230 019Kat.-Nr. 230 020Kat.-Nr. 230 021


Interface-Modul IMove 1250für Move 1250


Das Interface-Modul IMove 1250 ver-bindet eine RS 232 C-Schnittstelle(z.B: von einem Computer oder einerSPS) mit der digitalen Schnittstelle desRegelventils Move 1250.

Technische Daten Interface-Modul IMove 1250

TemperaturBetrieb °CLagerung °C

Schutzklasse IP

Betriebsspannung V DC

StromaufnahmeIMove 1250 mAMove 1250 mASicherung vorschalten

Schnittstelle

BefestigungTragschienen

Gewicht g

+5 bis +50-10 bis +65

30

24 +/- 10%

< 50 (Eigenbedarf)< 5001 AT

RS 232 C

EN 50022-35 (symmetrisch)EN 50035-G32 (asymmetrisch)

40

BestelldatenInterface-Modul IMove 1250

Interface-Modul IMove 1250 Kat.-Nr. 230 201

54 18

62

Maßzeichnung zum IMove 1250

Computer oder SPS


Anschluss des IMove 1250


- Statusabfrage und Ventilstellung



- Belüftungs-Einrichtungen

- Sicherheits-Abschaltungen inVakuumsystemen

- Schleusen-Kammern

- erhöhte Schaltleistung bei Verwen-dung des Schaltverstärkers SV 110

Schalter, der anzeigt, ob der Drucknach dem Fluten Atmosphärenniveauerreicht hat oder nicht.Festeingestellter Membran-Druck-schalter mit einem Schaltpunkt bei 6 mbar unterhalb Atmosphärendruck.

48,5

72

50

DN 16 KF

Maßzeichnung des Unterdruck-Sicherheitsschalters PS 113 A

Technischer Hinweis

Wegen des Membran-Materials (EPDM)ist der PS 113 A nicht für Anwendun-gen geeignet, bei denen das Prozess-gas einen hohen Helium-Anteil enthält.Durch Helium-Permeation stellt sich dieLeckrate der Membran für Helium beiWerten �� 1 · 10-4 mbar · l/s ein.


- Robuste Ausführung

- Hohe Schaltleistung

- Korrosionsgeschützt

- Einfache Handhabung

- Schutzart IP 44

- Anschluss an SPS

Unterdruck-Sicherheitsschalter PS 113 A

Unterdruck-SicherheitsschalterBestelldaten


Technische Daten Unterdruck-Sicherheitsschalter

Schaltdruck mbar

Rückschaltdruck mbar

Schaltgenauigkeit mbar

Max. zul. Betriebsdruck (abs.) mbar



Schaltkontakt

Kontaktlebensdauer

Schaltvermögen

elektrischer Anschluss

Vakuumanschluss DN

He-Permeation mbar · l/s

Totvolumen cm3


Gewicht g

Schutzart IP

ca. 6 unter Atmosphärendruck

3 unter Atmosphärendruck

2

2000

-25 bis +85

0 bis +85

Wechselkontakte, vergoldet, SPS-geeignet

> 105 Schaltungen

100 mA / 24 V AC

30 mA / 24 V DC

Flachstecker 6,3 mm

16 KF

�� 1 · 10-4

2

Edelstahl 1.4305, Edelstahl 1.4310, Edelstahl 1.4300 PTFE beschichtet, EPDM

315

44

Unterdruck-Sicherheitsschalter

PS 113 A, DN 16 KF;

komplett mit Leitung 3 m Kat.-Nr. 230 011


Druckschalter PS 115

- Schaltkontakt (Öffnerfunktion) gegendas Medium geschützt imReferenzraum

- Betriebsdruck bis 3 bar zulässig

- Hohe Temperaturstabilität

- Auf Wunsch werksseitige Einstel-lung des Schaltpunktes

Robuster Absolutdruckschalter mitelektrischem Schaltkontakt und einemeinstellbaren Schaltpunkt zwischen 0,5und 2000 mbar. Mit Hilfe des Differenz-druck-Adapters (Option) lässt sich derDruckschalter PS 115 zu einem Diffe-renzdruck-Schalter umrüsten. DerAdapter besteht aus einem Flansch DN 16 KF mit Einschraubgewinde undDichtsystem und wird anstelle desEinstellventils in den Druckschalter PS 115 eingeschraubt. Der Arbeitsbe-reich erstreckt sich bis zu 2000 mbar.Kurzzeitige Drücke bis 3000 mbar sindzulässig. Die hohe Schaltgenauigkeitwird dadurch nicht beeinträchtigt. Indiesem Arbeitsbereich sind Differenz-werte von +5 bis -20 mbar über dieStellschraube einstellbar.

51

DN 16 KF

Option:Differenzdruck-adapter DN 16 KF

8518

14

105

21

19

133

Maßzeichnung des Druckschalters PS 115


- Hohe Schaltgenauigkeit(± 0,1 mbar)

- Stabiles Langzeit-Verhalten

- Robuste, korrosionsgeschützteAusführung

- Erhöhte Schaltleistung (potentialfrei)bei Verwendung des Schaltver-stärkers SV 110

Bestelldaten


Technische Daten Druckschalter PS 115

Schaltbereich mbar

Überlastgrenze mbar

Ansprechempfindlichkeit mbar

Schalthysterese mbar

Temperaturkoeffizient %/°K

Nenntemperatur-Bereich

kurzzeitig (max. 8 h) °C

dauernd °C

Schaltkontakt

Schaltspannung V

Schaltstrom (max.) mA

Kontaktwiderstand, max. kΩ


Schutzart IP

Vakuumanschluss DN

Medienberührende Materialien

Messkammer

Referenzkammer

Messkammervolumen, ca. cm3

Referenzkammer-Volumen, ca. cm3

Gewicht kg

0,5 bis 2000

3000

0,1

0,5

0,4 vom Schaltwert

120

0 bis +90

Öffner, vergoldet, SPS geeignet

24

10

1

Steckanschluss (DIN 43 650)

65

16 KF

Edelstahl 1.4301; 1.4401; 1.4310; 1.3541; FPM

Edelstahl 1.4301; 1.4401; 1.3541; Glas; Gold

4

20

1,3

Druckschalter PS 115, DN 16 KF

Druckschaltereinstellung

Für potentialfreie Installationen ohne SV 110

Spannring, DN 16 KF, Kunststoff

Zentrierring, DN 16 KF, Kunststoff

Option

Differenzdruck-Adapter, DN 16 KF,

zum Anschluss an PS 115, incl. Dichtung

Ersatzteil-Kit PS 115

Schaltverstärker SV 110

Kat.-Nr. 160 04

Kat.-Nr. 160 05

Kat.-Nr. 200 28 306

Kat.-Nr. 200 28 307

Kat.-Nr. 160 74

Kat.-Nr. E 160 06

Kat.-Nr. 160 78

Druckschalter PS 115


Schaltverstärker SV 110

Die elektrischen Anschlüsse erfolgenüber Schraubklemmen und sind überPG-Verschraubungen aus dem Kunst-stoffgehäuse herausgeführt.

21,5

80

4,2

15 109

12155,5

Pg 9

Pg 9

2150,5

163

Maßzeichnung des Schaltverstärkers SV 110


- Erhöhung der Schaltleistung

- Wechselkontakt

Der Membrankontakt der Druckschal-ter liegt einseitig auf Masse und istmaximal mit 24 V / 10 mA belastbar.Für höhere Schaltleistungen wird einSchaltverstärker benötigt. Der Schalt-verstärker ist mit leistungsfähigen,potentialfreien Wechselkontakten be-stückt. Das Ausgangsrelais schaltet,wenn der am Druckschalter einge-stellte Wert unterschritten ist.

Schaltverstärker SV 110Bestelldaten


Technische Daten Schaltverstärker SV 110

Netzanschluss 50/60 Hz


Ausgangsrelais

Schaltspannung / -strom V / A

Schaltleistung, max. VA

Ansprechzeit ms

Abschaltzeit ms

Steuerkreis V / mA

Umgebungstemperatur, max. °C

Gewicht, ca. kg

110/130/220/240 V, umschaltbar

3

250 / 5

500

30

7

24 / 10

50

0,36

Schaltverstärker SV 110 Kat.-Nr. 160 78


Membranregler MR 16 und MR 50


- Destillations-Verfahren aller Art

- Lösungsmittel-Rückgewinnung

- Trocknungs-Verfahren

- Temperatur-Regelung an Bad-Kryostaten

- Entgasen von Flüssigkeiten undKunststoffen

Die Membranregler MR 16/MR 50 sindAbsolutdruck-Regler, die selbstständigund ohne Hilfsenergie das Saugvermö-gen der Vakuumpumpe dem jeweiligenGasanfall anpassen.

67130

98

120

58,5

Maßzeichnung der Membranregler MR 16 (links) und MR 50 (rechts)


- Stufenlose, selbsttätige Druck-regelung

- Einfache Einstellung des Regel-druckes

- Hohe Regelgenauigkeit

- Korrosionsgeschützte Edelstahl-Ausführung

- Einfache Demontage zur Reinigungund Wartung

- Eingebaute Absperrventile fürProzessanschluss und Vakuum-pumpe (MR 16)

39

135

92,5

165

Bestelldaten


Technische Daten Membranregler

MR 16 MR 50Regelbereich mbar

Regelgenauigkeit

Durchsatz m3/h



Temperaturkoeffizient %/K

Einstellzeit ms

Zul. Überlast, kurzzeitig bar

Membranwerkstoff

Gehäusewerkstoff

Einbaulage

Abmessungen

Vakuumanschluss 2x DN

Messanschluss 3x Gewinde R

Gewicht, ca. kg

10 bis 1000 10 bis 1000

± 2 % vom Regeldruck ± 2 % vom Regeldruck

(10 - 90 % vom Durchfluss) (10 - 90 % vom Durchfluss)

16 50

+5 bis +100 +5 bis +100

-25 bis +60 -25 bis +60

0,3 0,3

5 5

3 3

FPM/EPDM FPM/EPDM

Edelstahl 1.4571 Edelstahl 1.4571

beliebig beliebig

siehe Maßzeichnung siehe Maßzeichnung

16 KF 40 KF

1/8" 1/8"

2,7 8,0

Membranregler

MR 16 MR 50Membranregler

MR 16, DN 16 KF

MR 50, DN 40 KF

Optionen

Messflansch Edelstahl, DN 16 KF

zum Anschluss an Referenz- und/oder

Prozesskammer sowie Pumpstutzen

KALREZ-Membran

Ersatzteile

Membran und Dichtungssatz aus EPDM

Membran und Dichtungssatz aus Viton

Dichtungssatz MR 50,

inkl. EPDM- und Viton-Membranen

Stellschraube des Einstellventils,

komplett mit Dichtung

Kat.-Nr. 160 25 –

– Kat.-Nr. 160 27

Kat.-Nr. 160 26 Kat.-Nr. 160 26

– Kat.-Nr. 200 28 597

Kat.-Nr. EK 160 29 –

Kat.-Nr. EK 160 31 –

– Kat.-Nr. EK 160 32

– Kat.-Nr. 240 001


Oerlikon Leybold Vacuum-Kalibrierdienst

- wenn eine eindeutige Beschreibungvon Verfahrensabläufen gewünschtwird

- wenn für Versuche und Prozess-abläufe, bei denen eine eindeutigeRückführung der gemessenenDrücke auf Basisgrössen von Auf-traggebern bzw. Aufsichtsorganenvorgeschrieben ist

- wenn nach DIN/ISO 9000 geprüftwird, und zwar in den Bereichen:

- Forschungs-Institute

- Dünnschicht-Technik

- Anlagenbau

- Wehr-Technik

- Energie-Technik

- Chemie-Produktion

- Pharma- und Pflanzenschutz-Produktion

- Sputter-Anlagen

- Luft- und Raumfahrt-Industrie

- Lampen- und Leuchten-Herstellung

Kalibrieren von Vakuum-Messgerätenim Druckbereich von 10-9 bis 1000 mbarals DKD- oder Werks-Kalibrierung.

DKD-Kalibrierung

Aufgabe des Deutschen Kalibrier-dienstes (DKD) ist es, den Anschlussder Mess- und Prüfeinrichtungen desindustriellen Messwesens an staatlicheStandards sicherzustellen.

Der Deutsche Kalibrierdienst wird ge-meinsam getragen von der Physika-lisch Technischen Bundesanstalt (PTB),der Industrie, dem Bundesminister fürWirtschaft und dem Western EuropeanMetrology Club (WEMC).

Die in der DKD-Kalibrierstelle vonOerlikon Leybold Vacuum verwendetenTransfer-Standards werden von derPTB in regelmäßigen Abständen über-prüft (rekalibriert).

Im Rahmen des Deutschen Kalibrier-dienstes wurde der bei Oerlikon LeyboldVacuum aufgebaute Kalibrierstand vonder PTB überprüft und abgenommensowie die eingesetzten TransferStandards von der PTB kalibriert.

Werks-Kalibrierungen wurden durchge-führt mit Standards, die nicht direkt bei der PTB, sondern in der eigenenDKD-Kalibrierstelle kalibriert werden.Die Rückführbarkeit auf nationaleStandards ist dadurch in beiden Fällengewährleistet.


- Eindeutiger Bezug zu den Basis-größen

- Reproduzierbares Messen

- Gleichbleibend hohe Qualität

- Zuverlässige Kontrolle vorhandenerGeräte

- Eindeutige Prozessbeschreibung

Seit 1981 werden im Kundenauftragunparteiisch Messgeräte und Aufneh-mer aller Fabrikate kalibriert. Über dieKalibrierung wird ein DKD-Kalibrier-schein oder Werks-Kalibrierschein aus-gestellt. Nicht kalibrierbar sind Gerätemit ungenügender Langzeit-Stabilitätoder für die Kalibrierung ungeeignetenMessprinzipien.


Eingesetzt werden kalibrierteMessgeräte,

- wenn hohe Anforderungen an Re-produzierbarkeit und Vergleichbar-keit von Versuchsverläufen gestelltwerden

- wenn ein eindeutiger Bezug für vielevorhandene Druckmessgeräte be-nötigt wird

C16 92

Sonstiges

Bestelldaten

Werks-KalibrierungBestelldaten


Technische Daten DKD-Kalibrierung

Kalibrierbereich mbar bis 10-3 bis 10-5

DKD-Kalibrierung

DKD-Kalibrierung Kat.-Nr. 157 12 Kat.-Nr. 157 13

Technische Daten

Kalibrierbereich mbar bis 10-3 bis 10-5 bis 10-8

Werks-Kalibrierung Kat.-Nr. 154 22 Kat.-Nr. 154 23 Kat.-Nr. 154 24

C1693

Werks-Kalibrierung

Kalibrier-Pumpstände sind im Produkt-Kapitel C10 beschrieben.

OerlikonLeybold Vacuum GmbHBonner Straße 498 D-50968 KölnTel.: +49-(0)221-347 0Fax: +49-(0)221-347 [email protected]

Volksrepublik ChinaOerlikon Leybold Vacuum (Tianjin)International Trade Co. Ltd.Beichen EconomicDevelopment Area (BEDA),No.8 Western Shuangchen RoadTianjin 300400ChinaSales und Service:Tel.: +86-22-2697 0808Fax: +86-22-2697 4061Fax: +86-22-2697 [email protected]@[email protected]

Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin) Co. Ltd.Beichen EconomicDevelopment Area (BEDA),No.8 Western Shuangchen RoadTianjin 300400ChinaSales und Service:Tel.: +86-22-2697 0808Fax: +86-22-2697 [email protected]@[email protected]

Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin)International Trade Co. Ltd.Shanghai Branch:No.3376 Fu Te Dong San RoadWaigaoqiao Free Trade ZoneShanghai 200131ChinaSales und Service:Tel.: +86-21-5064-4666Fax: [email protected]@[email protected]

Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin)International Trade Co. Ltd.Guangzhou Office and Service Center1st F, Main BuildingScience City Plaza,No.111 Science Revenue,Guangzhou Science City (GZSC) 510663, Guangzhou,ChinaSales und Service:Tel.: +86-20-223 23 980Fax: +86-20-223 23 [email protected]@[email protected]

Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin)International Trade Co. Ltd.Beijing Branch:1-908, Beijing Landmark Towers8 North Dongsanhuan RoadBeijing 100004ChinaSales:Tel.: +86-10-6590-7622Fax: [email protected]@oerlikon.com

IndienOerlikon Leybold Vacuum India Pvt Ltd.EL 22, J-BlockMIDC BhosariPune 411026IndiaSales und Service:Tel.: +91-20-3061 60000Fax: +91-20-2712 [email protected]@oerlikon.com

SchwedenOerlikon Leybold Vacuum Scandinavia ABBox 9084SE-40092 GöteborgSales und Service:Tel.: +46-31-68 84 70Fax: +46-31-68 39 [email protected]@oerlikon.comBesuchs-/Lieferadresse:Datavägen 57BSE-43632 Askim

SchweizOerlikon Leybold Vacuum Schweiz AGLeutschenbachstrasse 55CH-8050 ZürichSales:Tel.: +41-44-308 40 50Fax: +41-44-302 43 [email protected]: Tel.: +41-44-308 40 62Fax: +41-44-308 40 [email protected]

SpanienOerlikon Leybold Vacuum Spain, S.A.C/ Huelva 7E-08940 Cornellà de Llobregat(Barcelona)Sales:Tel.: +34-93-666 43 11Fax: +34-93-666 43 [email protected]:Tel.: +34-93-666 46 16Fax: +34-93-685 43 [email protected]

USAOerlikon Leybold Vacuum USA Inc.5700 Mellon RoadUSA-Export, PA 15632Tel.: +1-724-327-5700Fax: [email protected]:Eastern & Central time zonesTel.: +1-724-327-5700Fax: +1-724-333-1217Pacific, Mountain, Alaskan &Hawaiian time zonesTel.: +1-480-752-9191Fax: +1-480-752-9494Service:Tel.: +1-724-327-5700Fax: +1-724-325-3577

LateinamerikaOerlikon Leybold Vacuum USA Inc.Brazilian OfficeAv. Dória 360 cj. 12 Campo Belo04635-070 São Paulo SP BRAZILSales:Tel.: +55 11-3554 3117Fax: +55 11-3554 [email protected]

BelgienOerlikon Leybold Vacuum Nederland B.V.Belgisch bijkantoorLeuvensesteenweg 542-9AB-1930 ZaventemSales:Tel.: +32-2-711 00 83Fax: +32-2-720 83 [email protected]:Tel.: +32-2-711 00 82Fax: +32-2-720 83 [email protected]

FrankreichOerlikon Leybold Vacuum France S.A.7, Avenue du QuébecZ.A. de Courtaboeuf 1 - B.P. 42F-91942 Courtaboeuf CedexSales und Service:Tel.: +33-1-69 82 48 00 Fax: +33-1-69 07 57 38 [email protected]@oerlikon.com

Oerlikon Leybold Vacuum France S.A.Valence Factory640, Rue A. BergèsB.P. 107 640F-26501 Bourg-lès-Valence CedexTel.: +33-4-75 82 33 00Fax: +33-4-75 82 92 [email protected]

GroßbritannienOerlikon Leybold Vacuum UK LTD.Silverglade Business ParkLeatherhead Road Unit 2KT9 2QL Chessington, Surrey(London)Sales:Tel.: +44-13-7273 7300Fax: +44-13-7273 [email protected]:Tel.: +44-13-7273 7320Fax: +44-13-7273 [email protected]

ItalienOerlikon Leybold Vacuum Italia S.r.l.Via Trasimeno 8I-20128 MailandSales:Tel.: +39-02-27 22 31Fax: +39-02-27 20 96 [email protected]:Tel.: +39-02-27 22 31Fax: +39-02-27 22 32 [email protected]

NiederlandeOerlikon Leybold Vacuum Nederland B.V.Proostwetering 24NNL-3543 AE UtrechtSales und Service: Tel.: +31-(30) 242 6330Fax: +31-(30) 242 [email protected]@oerlikon.com

Oerlikon Leybold Vacuum GmbHBonner Straße 498D-50968 KölnTel.: +49-(0)221-347 1234Fax: +49-(0)221-347 [email protected]

Oerlikon Leybold Vacuum GmbHVB Nord/NordostNiederlassung BerlinIndustriestraße 10bD-12099 BerlinTel.: +49-(0)30-435 609 0Fax: +49-(0)30-435 609 [email protected]

Oerlikon Leybold Vacuum GmbHVB Süd/SüdwestNiederlassung MünchenKarl-Hammerschmidt-Straße 34D-85609 Aschheim-DornachTel.: +49-(0)89-357 33 9-10Fax: +49-(0)89-357 33 [email protected]@oerlikon.com

Oerlikon Leybold Vacuum GmbHVB West & BeneluxNiederlassung KölnBonner Straße 498D-50968 KölnTel.: +49-(0)221-347 1270Fax: +49-(0)221-347 [email protected]

Oerlikon Leybold Vacuum GmbHService Competence CenterEmil-Hoffmann-Straße 43D-50996 Köln-SürthTel.: +49-(0)221-347 1439Fax: +49-(0)221-347 [email protected]

OerlikonLeybold Vacuum GmbHMobil Customer ServiceEmil-Hoffmann-Straße 43D-50996 Köln-Sürth Tel.: +49-(0)221-347 1765Fax: +49-(0)221-347 [email protected]

Oerlikon Leybold VacuumDresden GmbHService Competence CenterZur Wetterwarte 50, Haus 304D-01109 DresdenService:Tel.: +49-(0)351-88 55 00Fax: +49-(0)351-88 55 [email protected]

JapanOerlikon Leybold VacuumJapan Co., Ltd.Headquarter23-3, Shin-Yokohama3-chomeTobu A.K. Bldg. 4th FloorKohoku-kuYokohama-shi 222-0033Sales:Tel.: +81-45-471-3330Fax: [email protected]@oerlikon.com

Oerlikon Leybold VacuumJapan Co., Ltd.Osaka Sales Office3F, Shin-Osaka Terasaki No.3 Bldg.1-5-28 Nishi-MiyaharaYodogawa-ku, Osaka-shiOsaka 532-0004Tel.: +81-6-6399-6271Fax: [email protected]@oerlikon.com

Oerlikon Leybold VacuumJapan Co., Ltd.Tsukuba Technical Service CenterKogyo Danchi21, Kasuminosato,Ami-machi, Inashiki-gunIbaraki-ken, 300-0315Service:Tel.: +81-298 89 2841Fax: +81-298 89 [email protected]@oerlikon.com

Süd-KoreaOerlikon Leybold Vacuum Korea Ltd.3F. Jellzone 2 TowerJeongja-dong 159-4Bundang-gu Sungnam-siGyeonggi-doBundang 463-384, KoreaSales:Tel.: +82-31 785 1367Fax: +82-31 785 [email protected]

Service:623-7, Upsung-DongCheonan-SiChungcheongnam-DoKorea 330-290Tel.: +82-41 589 3035Fax: +82-41 588 [email protected]

SingapurOerlikon Leybold VacuumSingapore Pte Ltd.1 Science Park RoadSingapore Science Park 2#02-12, Capricorn BuildingSingapore 117528Sales und Service:Tel.: +65-6303 7000Fax: +65-6773 [email protected]@oerlikon.com

TaiwanOerlikon Leybold Vacuum Taiwan Ltd.No 416-1, Sec. 3Chunghsin Road., ChutungHsinchu County 310Taiwan, R.O.C.Sales und Service:Tel.: +886-3-500 1688Fax: +886-3-583 [email protected]@oerlikon.com

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Totaldruck- Messgeräte - TEVAK · Kalibrierdienst Totaldruck-Messgeräte Mess-, Steuer- und Regelgeräte 10-12 - 2000 mbar 179.01.01 Auszug aus dem Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog