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Experiment Polarization Terahertz Spectroscopy Application to Theophylline Anhydrous Single Crystal for Vibrational Mode Assignment Purpose Summary A single crystal of theophylline anhydrite, large and thin enough for wide range THz transmittance spectroscopy could be successfully fabricated by Temperature Difference Method (TDM) in aqueous solution. Wide range polarization spectroscopy at low temperature was shown to be useful to assign vibration modes with the aid of DFT calculation. Sample preparation Results and discussion 0 10 20 30 40 Theophylline anhydrous Intensity (a.u.) (deg) grown crystal XRD - 2 measurement Pna21 P21/c Theophylline monohydrate P21/n 5.0 mm 1.0 Grown single crystal Orthorhombic Pna2 1 a = 24.612 , b = 3.8302 , c = 8.5010 <010> <001> <100> (110) reflection <100> <001> <010> <100> <010> 0 1 2 3 4 5 0 1 2 3 parallel to <001> Frequency (THz) Absorbance Theophylline anhydrous single crystal 1.060 0 30 60 90 1.797 2.084 2.788 4.070 5.112 <010> 1.212 1.761 2.853 3.913 4.390 single crystal 70 K Smoothing 50GHz 1 2 3 4 5 1 2 0 Frequency (THz) Absorbance Theophylline 0.85 1.06 1.23 1.47 1.79 2.09 2.79 10 wt% PE pellet 2.87 3.96 powder 70 K Pole Figure measurement to (110) reflection Powder XRD measurement of crushed crystal 1/ T ln c hydrate anhydrou s 0.002 9 71 @1013 hPa Temperature Difference Crystal growth from aqueous solution low temperature hydrous high temperature anhydrous Single crystal growth of Theophylline anhydrous for THz transmittance spectroscopy 82 78 cooler crystal cel l heat sink peltier cooler stirre r pum p saturated aqueous solution 8278heater Air flow air flow CW GaP THz Spectrometer Dry air purged Nb TES bolometer Motorized Linear Stage Chopper Lockin Amp Motorized Rotary Stage Collimater DFB : Distributed Feedback laser ECLD: mode hop free External Cavity Laser Diode YbFA: Yb doped Fiber Amplifier Collimater Cryostat YbFA DFB 2 channel Frequency Meter YbFA ECLD Power feedback Power feedback Frequency feedback Frequency feedback Nb TES: Nb Superconducting Transition Edge Sensor Calculation DFT (Density Functional Theory) calculation with periodic boundary condition Software package CRYSTAL09 B3LYP/6-31G(d,p) level Fixed cell parameter Y. Ebisuzaki, P. Boyle and J. Smith, Acta Cryst. (1997). C53, 777-779. Geometry optimization start from crystal structure defined by X-ray diffraction at room temperature GaP Frequency Absorption Direction (THz) (a.u.) 0.85 <100> 1.06 0.348 <010> 1.21 0.026 <001> 1.47 <100> 1.761 0.179 <001> 1.797 <010> 2.084 0.056 <010> 2.788 0.099 <010> 2.853 0.042 <001> 3.913 0.496 <001> 4.070 0.971 <010> 4.390 <001> 5.112 0.162 <010> 0 1 2 3 4 5 0 1 Frequency (THz) Absorbance <010> <001> 10 20 30 40 50 60 Intensity (km/mol) B3LYP / 6-31G(d,p) Fixcell DFT Calculation Frequency Intensity Direction (THz) (km/mol) 0.696 0.80 <010> 0.737 0.99 <001> 0.796 1.18 <100> 1.212 4.74 <010> 1.235 3.65 <001> 1.344 1.80 <100> 1.723 2.84 <100> 1.726 0.14 <010> 1.955 19.64 <001> 2.160 0.04 <010> 2.190 0.14 <001> 2.663 2.50 <010> 3.477 0.10 <001> 3.562 1.34 <100> 3.616 0.68 <010> 3.993 18.13 <001> 4.049 20.46 <100> 4.170 58.02 <010> 4.419 4.83 <100> 4.604 3.23 <010> 4.777 1.02 <001> 4.793 5.71 <100> 4.958 3.04 <010> 5.058 5.55 <001> 5.063 10.55 <100> 5.462 17.39 <100> 5.466 9.37 <010> 5.469 0.59 <001> <100> <010> <001> Measurement 0.796 THz Theophylline anhydrous C 7 H 8 N 4 O 2 drug for respiratory diseases C 7 H 8 N 4 O 2 H 2 O Theophylline monohydrate DFT calculation Polarization dependent spectra for anhydrous single crystal at low temperature Direct comparison Single crystal growth of Theophylline anhydrous Polarization THz spectroscopy of Theophylline anhydrous crystal at low temperature Comparison absorption frequencies and intensities between measurements and calculations for THz vibrational mode assignment to obtain basic data to apply THz spectra to pharmaceutical Product Quality Control H 2 O Supply a system (hardware and software) Please find each vibration mode in PC (animation file) Frequency range Frequency accuracy &resolution Power stability <10MHz < 0.3% Advantage Easy operation maintenance free Small size, Mobile 0.5 6.0 THz NIHS

Polarization Terahertz Spectroscopy Application to ... - iPERC · セルロース誘導体の糊化作用が水和キサンチン化合物の 脱水に与える影響及び脱水・非晶質化メカニズムの分子振動解析

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  • Experiment

    Polarization Terahertz Spectroscopy Application to Theophylline Anhydrous Single Crystal for Vibrational Mode Assignment

    7

    Purpose Summary A single crystal of theophylline anhydrite, large and thin enough

    for wide range THz transmittance spectroscopy could be successfully fabricatedby Temperature Difference Method (TDM) in aqueous solution.

    Wide range polarization spectroscopy at low temperature was shown to be useful to assign vibration modes with the aid of DFT calculation.

    Sample preparation Results and discussion

    0 10 20 30 40

    Theophylline anhydrous

    Inte

    nsity

    (a.u

    .)

    (deg)

    grown crystal

    XRD - 2 measurement

    Pna21

    P21/c

    Theophylline monohydrate

    P21/n

    5.0 mm

    1.0 Grown single crystal

    Orthorhombic Pna21a = 24.612 Å, b = 3.8302 Å,  c = 8.5010 Å

    (110) reflection

    0 1 2 3 4 5

    0

    1

    2

    3

    parallel to

    Frequency (THz)

    Abs

    orba

    nce

    Theophylline anhydrous single crystal70 K

    1.060

    0

    30

    60

    90

    1.797

    2.0842.788

    4.070

    5.112

    1.212 1.761 2.853 3.9134.390

    single crystal

    70 KSmoothing 50GHz

    1 2 3 4 5

    1

    2

    0Frequency (THz)

    Abs

    orba

    nce

    Theophylline

    0.85

    1.06

    1.231.47

    1.79

    2.092.79

    10 wt% PE pellet

    2.87

    3.96

    powder

    70 K

    Pole Figure measurementto (110) reflection

    Powder XRD measurement of crushed crystal

    1/T

    lnc

    hydrate

    anhydrous

    0.0029

    71℃

    @1013 hPa

    Temperature Difference

    Crystal growth from aqueous solution

    ・low temperature hydrous

    ・high temperature anhydrous

    Single crystal growth of Theophylline anhydrous for THz transmittance spectroscopy

    8278

    cooler

    crystalcell

    heat sinkpeltiercooler stirre

    r

    pump

    saturated aqueous solution

    82℃

    78℃

    heater

    Air flow

    air flow

    CW GaP THz Spectrometer

    Dry air purged

    Nb TES bolometer

    Motorized LinearStage

    Chopper

    Lock‐inAmp

    Motorized Rotary Stage

    Collimater

    DFB : Distributed ‐Feedback  laserECLD: mode‐hop free         

    External Cavity Laser DiodeYbFA: Yb doped Fiber Amplifier

    Collimater

    Cryostat

    YbFA

    DFB

    2 channel  Frequency Meter

    YbFA

    ECLD

    Power feedback

    Power feedback

    Frequency feedback

    Frequency feedback

    Nb TES: Nb Superconducting‐Transition Edge Sensor

    CalculationDFT (Density Functional Theory) calculation with periodic boundary condition

    Software package CRYSTAL09

    B3LYP/6-31G(d,p) level

    Fixed cell parameter

    Y. Ebisuzaki, P. Boyle and J. Smith, Acta Cryst. (1997). C53, 777-779.

    Geometry optimization start from crystal structure

    defined by X-ray diffraction at room temperature

    GaP

    Frequency Absorption Direction(THz) (a.u.)

    0.85 -

    1.06 0.348

    1.21 0.026

    1.47 -

    1.761 0.179

    1.797 -

    2.084 0.056

    2.788 0.099

    2.853 0.042

    3.913 0.496

    4.070 0.971

    4.390 -

    5.112 0.162

    0 1 2 3 4 5

    0

    1

    Frequency (THz)

    Abso

    rban

    ce

    102030405060

    Inte

    nsity

    (km

    /mol

    )

    B3LYP / 6-31G(d,p)Fixcell

    DFT Calculation

    Frequency Intensity Direction(THz) (km/mol)

    0.696 0.80 0.737 0.99 0.796 1.18 1.212 4.74 1.235 3.65 1.344 1.80 1.723 2.84 1.726 0.14 1.955 19.64 2.160 0.04 2.190 0.14 2.663 2.50 3.477 0.10 3.562 1.34 3.616 0.68 3.993 18.13 4.049 20.46 4.170 58.02 4.419 4.83 4.604 3.23 4.777 1.02 4.793 5.71 4.958 3.04 5.058 5.55 5.063 10.55 5.462 17.39 5.466 9.37 5.469 0.59

    Measurement

    0.796 THz Theophylline anhydrous

    C7H8N4O2

    drug for respiratory diseases

    C7H8N4O2・H2O

    Theophylline monohydrate

    DFT calculation

    Polarization dependent spectra for anhydrous single crystalat low temperature

    Direct comparison

    • Single crystal growth of Theophylline anhydrous• Polarization THz spectroscopy of Theophylline anhydrous crystal

    at low temperature• Comparison absorption frequencies and intensities

    between measurements and calculations

    for THz vibrational mode assignment to obtain basic data to apply THz spectra

    to pharmaceutical Product Quality Control

    ・H2O

    Supply a system (hardware and software)

    Please find each vibration mode in PC (animation file)

    ○ Frequency range

    ○ Frequency accuracy &resolution

    ○ Power stability

  • Improvement of CW GaP THz Spectrometer

    Wide range and high resolution CW THz spectrometer combined with GaP THz signal generator and mechanically cooled bolometer

    Motivation

    CW GaP THz Spectrometer

    Dry airpurged

    Nb TES bolometer

    MotorizedLinearStage

    Chopper

    Lock-inAmp.

    MotorizedRotary Stage

    Collimator

    DFB : Distributed - Feedback laser

    ECLD: mode-hop free External Cavity Laser Diode

    YbFA: Yb doped Fiber Amplifier Cryostat

    DFB

    2 channelFrequency Meter

    YbFAECLD

    Powerfeedback

    Powerfeedback

    Frequency feedback

    Nb TES: Nb Superconducting‐Transition Edge Sensor

    GaP

    Next Step

    Lens

    Collimator

    Frequency feedback

    YbFA

    THz wave

    Nb TES bolometer

    0 1 2 3 4 5 6

    4K Silicon bolometer QMC Nb TES bolometer

    Frequency (THz)

    Out

    put p

    ower

    (re

    lativ

    e va

    lue)

    T.Sasaki

    ○ Frequency range

    ・Signal generator

    ・Spectrometer

    ○ Frequency resolution

    ・Feedback control of pump beams

    at seed laser

    ○ Power stability

    ・Feedback control of pump beams

    at fiber amplifier

    ○ Easy operation, Maintenance‐free

    ・Parts for optical communication

    ○ Small size, Portable

    ・Optical fiber coupling

    1000

    1

    GaP crystal

    THz‐wave3 = 1 - 2

    2

    IR laser beams

    Difference Frequency Generation (DFG)

    Ga

    P

    1.95 THz

    GaPFiber Amp.Power feedback

    Fiber Laser

    Modehop-free ECDL

    IR lens

    25W

    5W

    0 2 4 610-4

    10-3

    10-2

    10-1

    1

    10

    Frequency (THz)

    THz

    outp

    ut (a

    .u.)

    IR laser beam power: 5 W x 25W (not purged)

    noise floor

    > 4.5 orders

    3W x 3W (purged by dry air)

    ~ 3 order

    CW GaP THz Signal Generator

    GaP

    THz

    DFB : Distributed FeedBack laser

    ECLD: External CavityLaser Diode

    FA : Fiber Amplifier

    DFB

    ECLD

    FA

    FA

    Mirror

    Polarizer

    - Global helium shortage - Price rise

    Using a cryostat with a tank storing liquid helium

    - Refill Liq. He every 30 hours

    Problem

    2.7738 2.774 2.7742

    3.4 Pa 70 600 1.8k

    Frequency (THz)

    THz

    pow

    er (a

    .u.)

    100MHz

    2.773985 THz2.773977 THzNASA JPL

    measurement

    Summary

    combining with a CW THz SG as a light source and a bolometer detector cooled by a mechanical cooler

    1 2 3 4 5 6

    1

    2

    0

    Theophylline anhydrous plate (thickness ~ 100 m)

    Frequency (THz)

    Abs

    orba

    nce

    300 K

    70 K

    An example ofTHz absorption measurement

    Theophylline anhydrous

    Pharmaceutical drugfor respiratory diseases

    System optical responsivity

    System RMS output noise at 80 Hz

    System optical NEP at 80 Hz

    QMC instruments QNbB/PTC

    THz power spectraof CW GaP THz SG

    measured byQMC Nb TES bolometerand4 K silicon bolometer

    168 kV/W

    430 /

    2.6 /

    CW GaP THz Spectrometer

    High accuracyHigh resolutionWide dynamic rangeHigh stability Long lifetime (durability)Easy maintenanceLow equipment costLow running cost

    The spectrometer is now working as non-stop system

    Next targetdevelop practical industrial applications

    Applying high power fiber laserin order to power up THz output

    Observation of THz wave output by an oscilloscope

    Chopper

    THz wave

    THz wave output with high power fiber laser

  • セルロース誘導体の糊化作用が水和キサンチン化合物の脱水に与える影響及び脱水・非晶質化メカニズムの分子振動解析

    結合剤ヒドロキシプロピルセルロース(HPC)

    テオフィリン無水物(TPAH)

    +H2O, 造粒

    TPAH+HPC(10:3)

    +H2O, 造粒

    常温・真空or

    50℃/70℃・大気圧

    乾燥顆粒

    常温・真空or

    50℃/70℃・大気圧

    乾燥顆粒

    テオフィリン水和物

    (TPMH)

    テオフィリン水和物(TPMH)

    1 2 3 4 5

    1

    2

    3

    4

    0Frequency (THz)

    Abso

    rban

    ce

    研究

    新知見データの蓄積(分光ビッグデータ)

    創薬への活用トラブルシューティングIn situモニタリング

    品質不良の改善

    新たな問題・疑問

    産業応用へ

    ●粉末XRD(RINT Ultima Ⅲ, Rigaku)光源:CuKα走査範囲: 10°~50°ステップ: 0.02°

    ●MIR 分光計(FT/IR-6300, JASCO)

    測定範囲: 4000-400 cm-1Scan number: 256測定間隔: 2 cm-1測定モード: ATR

    ● NIR 分光計(MPA FT-NIR, Bruker)

    測定範囲: 12500-4000 cm-1

    Scan number: 32測定間隔: 2 cm-1測定モード: 拡散反射率

    顆粒物から得たNIRスペクトルの経時変化(真空乾燥)

    Nd:YAGLaser

    Cr: Forsterite(signal)

    Cr: Forsterite(pump)

    GaP ep

    es

    WP CP ミラー

    RT-DTGS

    フィルター

    放物面鏡

    1064nm

    1240-1280nm

    1240nmミラー

    HM

    WP: λ/2 波長板CP : 偏光子HM: ハーフミラー

    試料

    ●テラヘルツ分光スペクトル測定装置

    (GaP THz Spectrometer, 自作)励起光: Cr:Forsterite レーザー検出器: 室温動作 DTGS 測定範囲:0.6 – 6.1 THz 測定間隔:15GHz測定モード: ダブルビーム透過

    品質 良

    不良

    不良

    無水

    水和物

    非晶質

    減圧

    H2O

    市販医薬品

    HPCの存在下でピークシフトはほとんど観察されず

    ↓脱水の完了後に非晶質化が進行

    HPCの存在下で高波数側へピークシフト↓

    水素結合が一部外れた可能性

    NIHS

    非晶質化

    約60minで脱水が完了

    +

    約120minで脱水が完了

    非晶質化

    新たな吸収

    明瞭に現れた結合剤の影響

    TPTPMH0min15min60min120min240min1200min

    2.0THz付近

    TPAHTPMH0min15min60min120min240min1200min

    顆粒物から得たNIRスペクトルの経時変化(70℃及び50℃乾燥)

    真空乾燥中の三級アミドの経時変化 真空乾燥中の二級アミンの経時変化

    4270 cm-1付近のC-H結合音を形成する基準振動(v(CH) + δ(CH))

    C-H面内変角はさみ振動(-CH3)

    C-H伸縮振動(-CH3)

    テオフィリン化学構造中の[N-CH3]に由来する吸収

    1383 cm‐12887 cm‐1

    局所振動解析結果に基づく考察

    ●脱水と同時に高波数側にシフト

    ①脱水完了と同時に非晶質化

    ②三級アミドの分子間結合が切断

    ●脱水完了後も三級アミド吸収のシフトなし

    ③脱水完了後も分子構造を維持

    ●二級アミン吸収は脱水後にブロード化

    ④二級アミンの分子間結合は切断されない

    ●CH3由来のC-H結合音が非晶質化に基づきシフト

    ⑤隣接C-N伸縮振動の影響によりシフト

    ◆テラヘルツ分光スペクトルの

    プロセスモニタリング・評価へ

    の in situ導入

    ◆近赤外~テラヘルツの複合的

    分子振動情報の活用による

    製剤物性・品質の予測と

    品質トラブル原因究明

    ◆分光ビッグデータの創薬への活用

    テオフィリン水和物とHPCの分子間相互作用

    HPC

    Theophylline monohydrate

    背景と目的●気管支喘息治療薬テオフィリンの品質不良の検知

    ●非晶質化・脱水メカニズムの分子科学的解明

    ●製剤物性・品質の予測による開発期間短縮

    ●品質トラブル時の原因解明へのデータ蓄積

    ●テラヘルツ吸収の理解

    まとめと展望

    ●テラヘルツ分光スペクトル測定を用いて、薬剤テオフィリンの糊化・乾燥

    工程における結合剤の作用を検知した。

    ●近赤外分光、中赤外分光、粉末X線回折を用いた解析から、水和物の

    会合の一部は結合剤により脱水後に切断され、非晶質化が進行する

    ことが示唆された。

    ●結合剤は水和物で会合に寄与しない三級アミドと分子間相互作用を

    形成していることが示唆された。

    実験 結果と考察

    テオフィリンの分子構造においてどの官能基が

    非晶質化に関与しているのか?

    テオフィリンの分子構造

    1.三級アミドの基準振動

    2.二級アミンの基準振動

    3.三級アミドの周囲の分子(CH3)結合音

    の変化に着目局所振動解析から推察される非晶質化におけるテオフィリン2分子の位置関係

    加熱

    脱水及び構造安定化

    減圧

    脱水

    H2O

    非晶質化構造不安定

    無水物へ転移

    ex. 100 mプラスチック

    測定範囲

    スペーサ

    THz波

    フレーム

    乾燥空気

  • 製造:自作

    設置場所:2階211号室: 光波実験室

    フォトキャパシタンス測定装置

    フォトキャパシタンス測定とは微細化・高集積化が進むVLSIやULSI製作では、極微量の混入不純

    物が半導体製品の歩留りや信頼性等に深刻な影響を与えます。フォトキャパシタンス測定(PHCAP)は、このような極微量の汚染不純物を高感度かつ定量的に検出することができます。

    上の図は従来用いられている微量不純物検出法の感度比較です。化学的手法で最も高感度なものでは検出感度が1ppt(10-12)以下になりますが、固体半導体を測定対象とする場合は複雑で面倒な前処理が必要となり、たいへん面倒です。一方、光・電気的手法は不純物が形成する欠陥準位を検出するので、非破壊測定である上に、容易に高感度が得られます。その中でもフォトキャパシタンス測定は、他の測定法に比べて感度や定量性の面で優れています。

    フォトキャパシタンス測定の原理

    pn接合の空乏層中では、アクセプタイオン(-)とドナイオン(+)および、欠陥準位に捕獲された電子(あるいはホール)の電荷がつりあっています(右図)。欠陥に捕獲された電子は、照射される単色光(単一エネルギ)からエネルギをもらって、空乏層の外へ出て行きます。すると、空乏層中では新たな電荷のつりあいが必要となり、結果的に空乏層幅が変化します。空乏層幅は

    C=ε/W (C: pn接合容量値、ε: 半導体の誘電率、W: 空乏層幅)で示されるように、接合容量値の関数です。

    つまり、照射光エネルギーに対する接合容量値の変化から、欠陥準位のエネルギと密度を知ることができます。

  • 製造:自作

    設置場所:2階 411 室

    フォトキャパシタンス測定装置

    目的

    装置の概要

    半導体結晶中の欠陥(= 深い準位)の測定

    ○ 接合を作り、空乏層中のキャリアの励起を用いる方法● フォトキャパシタンス法 (PHCAP)● Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS)● Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy (ICTS)

    その他○ 接合を必要としない方法

    ●フォトルミネッセンス法 (PL)●光吸収法

    その他

    PHCAP測定の特徴○ 深い準位の濃度を正確に求めることができる○ 照射する単色光の分解能に依存する高いエネルギー分解能○ 熱励起できないほどの深い準位も光により励起できる○ 深い準位の伝導帯、価電子帯それぞれとの関係を求められる

  • 製造:QMC Instruments Ltd.

    型番:QNbB/Dry

    遠赤外・THz波長域用検出器

    機器外観・用途

    連続波テラヘルツ分光スペクトル測定装置の特徴

    外観と装置性能連続波テラヘルツ分光スペクトル測定装置

    CW GaP THz Spectrometer

    Dry airpurged

    Nb TES bolometer

    MotorizedLinearStage

    Chopper

    Lock-inAmp.

    MotorizedRotary Stage

    Collimator

    DFB : Distributed - Feedback laser

    ECLD: mode-hop free External Cavity Laser Diode

    YbFA: Yb doped Fiber Amplifier Cryostat

    DFB

    2 channelFrequency Meter

    YbFA

    ECLD

    Powerfeedback

    Powerfeedback

    Frequency feedback

    Nb TES: Nb Superconducting‐Transition Edge Sensor

    GaPLens

    Collimator

    Frequency feedback

    YbFA

    THz wave

    Nb TES bolometer

    System optical responsivity

    System RMS output noise at 80 Hz

    System optical NEP at 80 Hz

    QMC instruments QNbB/PTC

    168 kV/W

    430 /

    2.6 /

    GaPのメリット

    パルスと比較したデメリット … 低いピークパワー

    ・赤外励起光に対して高い透過率

    ・THz波に対して高い透過率

    ・高い損傷閾値

    広帯域

    高出力

    DFGのメリット

    ・励起光に依存する周波数純度

    ・THz波の周波数絶対精度は

    励起光の相対精度に依存

    狭線幅

    高精度

    CWのメリット・高い周波数安定性

    ・高い出力安定性高S/N比

    本装置で

    解消

    ○高い周波数精度

    ○広い帯域幅

    1.000000 THz オーダーの精度

    0.1 ~ 7.5 THz(2桁に迫る!)

    ターンオンキー ノーターンオフキー

    光ファイバー結合、 除振台不要

    ・高い操作性、メンテナンスフリー + 高い耐久性

    ・可搬性、設置容易

    単精度実数では桁が足りない

  • 製造:自作

    設置場所:2階 結晶評価室

    蒸気圧制御温度差法による液相結晶成長装置

    目的

    J. Nishizawa, Y. Okuno, K. Suto, T. Sato, and S. Yamakoshi 1974 Solid State Commun. 14 889.J. Nishizawa, Y. Okuno 1975 IEEE Trans. Electron Devices ED-22 716.

    蒸気圧制御温度差法による液相成長 → ストイキオメトリ制御

    ・濃度拡散・熱拡散

    溶質

    溶媒

    GaP基板

    温度

    音響フォノン、光学フォノン自由キャリア欠陥, …

    テラヘルツ波発生効率

    強い相関関係

    完全結晶

    液相エピタキシャル成長の比較

    Time

    Tem

    pera

    ture

    成長開始成長終了

    徐冷法

    従来法

    温度変動を伴う

    •組成変動•欠陥の発生

    Time

    Tem

    pera

    ture

    成長開始成長終了

    蒸気圧制御温度差法による液相エピタキシャル成長

    本方法

    温度一定

    •組成変動なし•低欠陥密度

    基板温度一定下の成長•低欠陥密度•組成揺らぎがない•連続的な低温成長が可能

    装置の概要

    P

    GPG T

    TPP TG: 基板温度

    TP: リン温度

    PG: 基板圧力

    PP: リン圧力

    eV01.1exp1067.4Torr

    B

    6GaP Tk

    P