컨백스 진공게이지

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convaX

제품의 특징

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convaX 컨백스

펠티어 효과를 이용한 열전도형 진공게이지

• 측정진공범위: 10-4 ~ 760 Torr• 진공 챔버 온도측정 가능• 소형 센서: 길이 5 mm, 직경 12.5 µm• 기체의 열전도도 및 비열 측정을 통한 진공도 측정• DSP 프로세스

convaX 컨백스

• 펠티어 진공 센서열전쌍은 일반적으로 온도 센서로 사용되지만 강제로 전류를

흘리게 되면 열전쌍의 접점에서 전류의 방향에 따라 가열/냉각효과가 발생합니다.(펠티어 효과) 컨백스(convaX)의 진공 센서는 열전쌍의 펠티어 효과를 진공 센서로 응용한 것입니다.

• 교류 구동 회로컨백스(convaX)의 구동 회로는 진공 센서를 교류로 구동함

으로써, 기체의 열전도도뿐만 아니라 압력에 비례하는 기체의비열을 동시에 측정합니다.

제품 소개

주요 특징 :

• 10 Torr 이상에서의 고민감도펠티어 진공 센서의 교류 구동은 기체의 열전도도뿐만 아니라 압력에 비례하는

기체 비열 측정을 포함함으로써, 점성류 영역에서 민감도를 크게 향상시켰습니다.

• 10-2 Torr 이하에서의 고민감도펠티어 효과에 의한 열전쌍의 가열/냉각은 그 접합점에서만 발생합니다. 또한

미세 전류로 펠티어 진공 센서를 구동하여, 센서의 열전도 손실 및 복사 손실이 기체 분자에 의한 열손실에 비해 상대적으로 무시할 정도이므로, 10-2 Torr 이하에서의 민감도가 향상되었습니다.

• 소형 진공센서

펠티어 진공 센서는 점 열원이자 동시에 점 온도센서이므로 소형(길이: 5 mm, 직경: 12.5 µm) 센서로도 충분한 민감도를 가집니다. 기존의 피라니 진공 센서와 비교하여 약 1/20 정도의 초소형 진공 센서를 구현하였습니다.

기타 :

• 일체형 진공게이지컨백스는 사진에서와 같이, 플랜지를 포함하는 센서모듈과 구동 회로가 일체형

으로 설계되어 있습니다. 챔버의 베이크 아웃시에 구동 회로는 분리가 가능합니다.

• 진공 챔버의 온도 측정

컨백스는 진공도뿐만 아니라 진공 챔버의 온도 측정도 가능합니다.

• 편리한 교정과 공정 제어컨백스는 간단한 교정 방식을 채용하였고, 다양한 인터페이스, 디지털 및 아날

로그 출력을 제공함으로써, 진공 공정 제어가 편리합니다.

펠티어 효과를 이용한 열전도형 진공게이지

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펠티어 효과/펠티어 진공센서

“펠티어 효과”란 ?

“펠티어 효과”란 서로 다른 금속의 접합(열전쌍)에 전류를 흘릴 때 그 접합점에서 발생되는 열의 흡입 및 방출에 관련된 현상입니다.

가열가열 냉각냉각

펠티어 열원의 특징

1. 점 열원열교환은 열전쌍의 접점에서만 발생합니다.

2 가열 및 냉각 효과전류의 방향에 따라 가열 및 냉각이 가능합니다.

3. W = T ∆S i (온도 X 제벡계수 X 전류)발생한 열량은 간단한 관계식으로 결정됩니다.

“펠티어 진공 센서”란 ?

“펠티어 진공 센서”란 하나의 열전쌍을 열원이자 동시에 온도 센서로 사용한 열전도형 진공 센서입니다.

피라니 센서 열전쌍 센서펠티어 센서

온도센서

열원

열전쌍필라멘트열전쌍

필라멘트필라멘트열전쌍

TC 센서피라니 센서펠티어 센서

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i i

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iac

특성 곡선

진공 챔버

W = T∆S i

Wc

기체 분자

Wg

iac

펠티어 진공 센서의낮은 백그라운드 열손실

교류 구동을 통한 기체의열전도도 및 비열 측정

heat capacity of gas

Thermal resistance of gas

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펠티어 진공 센서의 2가지 특성 곡선

펠티어 진공 센서는 펠티어 효과에 의한 특성 곡선과 주울 가열에 의한특성 곡선을 가지게 됩니다. 펠티어 효과에 의한 특성 곡선(검정색)은 대기압에서 10-1 Torr 범위에서 감도가 우수하고, 주울 가열에 의한 특선 곡선(파란색)은 기존의 피라니 진공 게이지의 특성 곡선으로,10 Torr에서10-3 Torr에서 감도가 우수합니다. 컨백스는 펠티어 진공 센서의 2가지특성곡선을 조합하여 대기압에서 10-4 Torr 영역에서 향상된 감도로 동작하는 새로운 진공게이지 입니다.

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재질

펠티어 진공 센서 모듈에 사용된 재료는 UHV에 적합합니다.1. 센서기초부 : SUS 304L2. 리드 핀 : alloy523. 글라스 비드 : Nippon Electric Glass4. 플랜지 : SUS 3045. 펠티어 진공 센서 : E-형 열전쌍

진공센서 모듈

리드 핀

TIG 용접부

글라스 기밀부

센서 기초부

회로 연결 핀

펠티어 진공 센서플랜지

펠티어 진공 센서의 확대 그림

길이 : 5 mm

직경 : 12.5 µm

펠티어펠티어 진공진공 센서센서 모듈의모듈의 단면도단면도 및및 사진사진

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100 µm

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교류 구동 회로

convaX 컨백스 구동 회로 convaX 컨백스 구동 회로의 원리

센서 모듈시분할형구동 회로

DSP

TH

TL

진공 챔버

시간

전류

펠티어 진공센서의온도

convaX 컨백스 구동 회로의 특징

1. 유효 숫자 2자리 및 대형 FND2. 인터페이스(RS232C)3. 디지털 출력 2개 (공정제어용)4. 아날로그 출력 1개 (공정제어용)5. 간편한 교정6. 온도 측정7. DSP 프로세서

시간

대기시간

대기 시간 동안의진공 센서 온도 차이 측정

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0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 cm

convaX 컨백스

사양 비교

POSVAC

10-4 ~ 10-3 Torr: 1 자리 및 지수

10-3 ~ 760 Torr: 2 자리 및 지수

10-4 ~ 10-3 Torr: 1 자리 및 지수

10-3 ~ 1 Torr: 2 자리 및 지수

표시

10-4 ~ 760 Torr302 A컨백스

10-4 ~ 1 Torr301 A

펠티어피라니

측정 영역모델

(주)포스백 게이지의 사양비교

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Torr

10-5

10-3

10+3

10-1

10+1

302A 301A

convaX 컨백스

컨백스 펠티어피라니

1. 펠티어 진공 센서- 재질 : E-형 열전쌍 (Chromel/Constantan), - 길이: 5mm, 직경: 12.5 µm

2. 진공 측정- 진공 측정 범위: 10-4 Torr – 760 Torr- 단위: Torr, Pascal

3. 온도 측정- 온도 측정 범위: 0 ~ +60°C- 온도 단위: °C, °F - 온도 측정 분해능: 0.1

4. 측정 사이클- 측정 사이클 : 20 Hz- 표시 사이클 : 3 Hz

5. 아날로그 출력- 비선형 출력- 선형 출력: 0.0 V ~ 7.0 V (10-4 Torr to 10 +3 Torr )- 출력 임피던스 : < 10 Ohm

사양

POSVAC

6. 디지털 출력- TTL (High/Low)- set-point resolution : 2 digits over all vacuum range

7. 인터페이스- RS232C

8. 설치- 수직 방향 (사용자 설명서 참고)

9. 아답터 입력 전압- 110/120 VAC. 220/240 VAC

10. 플랜지 피팅- NW16/25KF, CF35/70,

VCR(SS-6-VCR-3/1), Swagelok(SS-6-VCO-1), 1/8 NPT

11. 크기(구동회로)- 100 mm (폭) X 70 mm (높이) X 35 mm (깊이)

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