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the art of metrologyTM
Optische 3D-Oberflächenmesstechnik für Forschung, Entwicklung & Produktion
- 25. testXpo 2016 -
FRT GmbHUwe Schosser
www.frt-gmbh.com
the art of metrologyTM
Distributoren:Über 20 in 18 Ländern
FRT GmbH – Weltweites NetzwerkEntwicklung optischer 3D-Oberflächenmesstechnik: Messung von Topographie, Schichtdicken, Rauheit etc. Multi-Sensor Systeme Sensorentwicklung im Hause Steuer- und Analysesoftware Integration und Automation Dienstleistungen Distributoren & Service weltweit
Mitglied in vielen Fachverbänden
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Solar
Das Unternehmen FRT GmbHRelevante Industriezweige
Automotive
Optics
MEMS / Nano
Medical
LED / Semicon /Micro Electronics
Rauheit Stufenhöhe Verschleiß Defektinspektion Ebenheit Topographie Profile Membrane Bow Schichtdicke etc. …
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FRT Kurzübersicht - Oberflächenmesstechnik
Multi-Sensor Messtechnik Modulare Software
Modularer AufbauMessaufgaben
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Das Unternehmen FRT GmbHProduktpalette
Vollautomatisierte Lösungen
Tischgeräte
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MicroSpy® Serie Tischgeräte als Einsteigermodelle
MicroSpy® Topo DT
MicroSpy® Profile
MicroSpy® Mobile
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MicroProf® 100 Bewährtes Messsystem im kompakten Design!
Heute auf der 25. testXpo schnell und berührungslos Multi-Sensor Konfiguration Auflösung im unteren nm-Bereich bis zu 14 kHz Messrate 150 mm x 100 mm Verfahrweg TTV- Option geringer Platzbedarf
MicroProf® 100 (TTV)
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MicroProf® Serie Multi-Sensor Systeme für Produktion und Qualitätssicherung
MicroProf® 100150 mm x 100 mm
MicroProf® 300415 mm x 305 mm
MicroProf® 200250 mm x 200 mm
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Vollautomatisierte Systeme z.B. für die Halbleiter- IndustrieHigh-End Systeme
MicroProf® 200 MHUMulti-Sensor System mitHandling
MicroProf® 300 TTV MHUMulti-Sensor System mit beidseitiger Messmöglichkeit (Dickenvariation) sowie Handling für 300 mm Wafer
SEMI CompliantTTV Measurement
FRT MFE - Metrology for FrontendVollautomatisiertes System mit Reinraumklasse 1, SECS/GEM (Schnittstelle nach SEMI), optional auch für sehr dünne Wafer)
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FRT Multi-Sensor TechnologieMulti-Sensor Systeme für universelle MesslösungenFRT bietet eine 4-fache Kombinationsmöglichkeit der Sensortypen:
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Intensität über Wellenlängen
400nm 540nm 680 nmblue green red
λ
400nm 540nm 680 nmblue green red
I
λ
Stufenhöhen
Rauheiten , Welligkeiten
*Chromatic White Light
optisches Verfahren schnell und berührungslos Auflösung im unteren nm-Bereich bis zu 14 kHz Messrate z.B. LED Lichtquelle Inline- Anwendungen lösbar
FRT CWL Chromatischer Weißlicht Sensor
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FRT FTRInterferometrischer Punktsensor/ Dünnschichtsensor für F&E
Multilayer Schichtsysteme sind messbar eigene Entwicklung der FRT GmbH Datenbank mit vielen hinterlegten Materialkennwerten weitere Schichtmodelle können hinzugefügt werden
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FRT CFM DT Sensor:
“Dual technology” Sensor kombiniert das Konfokalmikroskop (CFM) mit dem Weißlichtinterferometer (WLI)
Nanometer (CFM) und Sub-Nanometer vertikale Auflösung (WLI)
Sub-µm laterale Auflösung
schnelle 3D Messungen in wenigen Sekunden
Highlight: optionales AFM
FRT Topo DT – CFM + WLI FLFRT Flächensensoren
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Multi-Sensor Konfigurationsbeispiele
FRT Multi-Sensor TechnologieMulti-Sensor Systeme für universelle Messlösungen
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polierte Seite raue Seite
Anwendungen und AutomatisierungMessungen oben und unten am Wafer (TTV)
TTV- Prinzip
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Anwendungen und AutomatisierungFRT Acquire Automation XT Software
Layout Wizard Definieren von Strukturen im Messrezept Definieren der Sensoreinstellungen Import und Export von Daten
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T = 25°C T = 175°C
Vollautomatische und manuelle Messungen bei verschiedenen Temperaturen
Anwendungen und AutomatisierungThermoeinheit & FRT Acquire Automation XT Software
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MicroProf® Topographiemessungen
0,0
10,0
20,0
30,0
40,0
50,0
60,0
70,0
25 50 75 100 125 150 175 200 225 250 265Temperature [°C]
Flat
ness
[µm
]Anwendung mit Thermokurve
Ebenheitsmessung und Topographieanalyse auf Siliziumchip
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Automotive
Interior Armaturenbrett (Kunstleder)
Struktur Restdicke
Technische Maserung Struktur Restdicke
Anzeigeninstrumente Rauheit
Schalter/ Knopf Rauheit
Exterior Türgriff
Stufenhöhe Rauheit
Lackierung Schichtdicke
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Automotive
Motoren Zylinder
Rauheit scharfe Kanten Abnutzung
Injektor Ventile Ebenheit Koplanarität
Turbolader Ebenheit Rauheit
Kurbelwelle Rauheit Konvexität, Radius
Batterien Folien
Rauheit
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Automotive
Bremsen Bremsbeläge
Ebenheit Rauheit
Bremsscheiben Ebenheit Rauheit
Zylinderkopfdichtung Dicke Höhe Breite Winkel
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Komplettlösung von FRT Sensor – System – Mess- und Analysesoftware – Support
Multi-Sensor Technologie FRT Sensoren (eigene Sensorentwicklung)
MicroProf® Serie Kombination von mehreren Sensoren Manuelle, halbautomatische bis voll automatisierte Metrologielösung Messungen unter thermischer Belastung
Hauseigene Software für Datenaufnahme, -kontrolle, -bewertung und -abbildung
FRT optische 3D-Metrologiesysteme
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Danke für Ihre Aufmerksamkeit!
HeadquartersFRT GmbHFriedrich-Ebert-Straße 7551429 Bergisch Gladbach, GermanyTel.: +49 (0) 2204 - 84 2430Fax: +49 (0) 2204 - 84 [email protected]
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