Upload
others
View
9
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
İnce Filmlerin Optik
Özellikleri
Okan Ağırseven
090000340
Kalınlıkları bir mikrondan daha
ince olan filmlere ince film adı
verilir.
İnce film nedir?
İnce filmler,
Mikroelektronik,
Devre elemanı yapımı,
Güneş pilleri,
Koruyucu kaplamalar,
Yani genel olarak ışığın kontrol edilmesi
gereken, optoelektronikle ilgili hemen her
alanda kullanılırlar.
İnce filmlerin yapımında kullanılan
yöntemler temelde ikiye ayrılırlar.
1) Fiziksel yöntemler:
- Tozutma
- Püskürtme
- MBE (Molecular
Beam Epitaxy)
2) Kimyasal yöntemler:
- Sol-Jel Yöntemi
- Kimyasal Buhar
Depozisyonu
Sol-jel Yöntemi:
Sol, katıların sıvı içerisinde dibe çökmeden dağınık halde
bulundukları sisteme verilen isimdir.
Jel, katı moleküllerin sol gibi koloid bir yapının içinde
genişleyip büyük boyutlara ulaşmış haline verilen isimdir.
Sol-jel yönteminde sıvı fazdaki kaplama
malzemesi cam gibi taşıyıcı bir yüzey üzerine
kaplanır. Kaplanan film düşük sıcaklıkta ısıtılarak
kurutulur ve daha sonra sıcaklık arttırılarak filmin
yoğunluğunun artması sağlanır.
Sol-jel yönteminin avantajları:
Yüksek derecede homojenlik ve kalınlık kontrolü sağlar.
Filmin mikro yapısı üzerinde kolayca değişiklik yapılmasını
sağlar.
Yöntem taşıyıcı geometrisiyle sınırlı değildir.
Kaplamada kullanılan maddelerin bulunması kolaydır. Bu da
maliyeti düşük tutmaktadır.
Sol-jel yöntemi uygulanırken fazla yüksek sıcaklıklara
gereksinim duyulmaz.
Uygulamada kullanılan kimyasal maddeler zararsızsalar, insan
sağlığı ve çevre kirliliği açısından tehlike oluşturmaz.
Sol-jel yönteminin dezavantajları:
Uygulamada kullanılan kimyasal maddeler zor
bulunanlardan seçilirse maliyet önemli bir şekilde
yükselebilir.
Sol-Jel yöntemi ile kaplama yapılırken malzemeden
fazla kayıp verilir.
Kullanılan kimyasallar kurşun gibi zehirleyici ve
zararlı maddelerden seçilirse insan sağlığına ve
çevreye zarar verebilir.
Filmlerde karbon çökeltisi kalır.
İnce Filmlerin Optik Özellikleri
Saydam izotropik yüzeyler için Maxwell denklemleri,
İletken olmayan bir yüzey için Maxwell denklemleri,
Yüksüz bir yüzey için Maxwell denklemleri,
Yansıma ve geçirme sırasında elektrik ve
manyetik vektörlerin durumu
Yansıtma ve geçirmenin olduğu iki
saydam yüzey için vektör denklemleri
Birinci yüzey için, İkinci yüzey için,
Sınır koşulları ile denklemlerin
durum vektörleri cinsinden yazılması
Tek Film İçin Yansıma ve
Geçirme Bağıntılarını Hesaplama
Teknikleri
Toplama Metodu
Filmin içinden geçen ışının faz değişimi,
Yansıyan ışın için toplama formülü,
Enerjinin korunumundan,
Yansıma için toplama denkleminin son hali,
Aynı şekilde geçirme için toplama formülü,
Birim genlikteki ışınları ele alırsak,
Tek film için yansıma ve geçirme bağıntılarının temel halleri,
Fresnel bağıntılarının kırma indisleri cinsinden yazılması,
Bu bağıntılar kullanılarak elde edilen son denklemler,
Matris Metodu
Matris metodu sonucu elde edilen denklemler ve kullanılan özdeşlikler,
Deneysel Çalışma
Taşıyıcı Hazırlanması
Taşıyıcı kesilir (Corning cam)
Taşıyıcı temizlenir
Özel sıvı deterjan
Aseton, metanol ve etanol
Solün Hazırlanışı ve Uygulanışı
60ml etil alkole birkaç damla nitrik asit
(katalizör) damlatıldı.
2ml vanadyum oksitrisopropoksit eklendi.
1 saat boyunca manyetik karıştırıcı yardımıyla
karıştırıldı.
Elde edilen sol ile filmler kaplandı.
Böylece vanadyum oksit filmler elde edildi.
2VO
Ölçümler ve Sonuç
NKD cihazı ile ölçüm
UV/VIS spektroskopisi ölçümü
Program sonucu ile karşılaştırma
NKD Analizörü Ölçümü
UV/VIS Spektroskopisi Ölçümü
Program Sonuçları ile Karşılaştırma
NKD & Program UV/Vis & Program
Sonuç ve Yorum
Programda soğurma ihmal edildi.
Bu yüzden yansıtma değerleri kritik soğurmanın bulunduğu bölgede aldığımız ölçümlerin üzerinde çıktı.
Soğurmanın daha az olduğu görünür bölge ve kızıl ötesinde ise program sonuçları daha tutarlı çıktı.
Bu program aracılığıyla filmlerin kırma indisi ve kalınlığı hakkında yaklaşık olarak fikir alınabilmektedir.
Laboratuvarda amaca uygun hazırlanacak saydam filmlerin kalınlığı ve kırma indisi ilk yaklaşıklıkla bu program vasıtası ile hızlı bir şekilde belirlenebilmektedir.
SON