Mikrosystemykrzemowe

Rozmiary geometryczne mikrosystemów

Schemat blokowy mikrosystemu

Realizacja skomplikowanego kształtu metodą wielokrotnego nakładania warstw poświęconych

MIKROSILNIK ELEKTROSTATYCZNY

STOJAN

ROTORo średnicy

100 m

prędkość obrotowa25000 obr/min

Projekt w CAD Wykonanie

Cewka

Chip z wieloma układami RF

Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB

Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB

Waraktor obrotowy

Linia opóźniająca

Scaner

Projekt w CAD Wykonanie

Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB

Zespół dysz wraz z przełącznikiem

1 mm

Miniaturowa łódź podwodna płynie w naczyniu

krwionośnym

Dzięki uprzejmości firmy Micro TECH, Bismarckstrasse 1426, 47057 Duisburg, Niemcy

Techniką stereolitografi wytworzono subminiaturową łódź podwodną, przeznaczoną do diagnostyki układów krążenia, o wymiarach 4 x 0.8 mm . Urządzenie to jest napędzane śrubą wielołopatkową. Może być wyposażone w kamerę TV i różne czujniki wielkości nieelektrycznych.

Rynek MEMS-ów w miliardach dolarów

1996 2002 spodziewany wzrost

Nazwa produktu szt.mln

USDmln

szt.mln

USDmln

ilościowy wartościowy

dozowniki lekarstw 1 10 100 1000 10x 10x

przełączniki optyczne 1 50 40 1000 50x 25x

lab-on-chip (DNA,HPLC, etc)

0 0 100 1000 - -

magnetoopycznetwarde dyski

0.01 1 100 500 10000x 500x

rzutniki obrazu DMD 0.1 10 1 300 10x 30x

cewki na chipie 20 10 600 100 30x 10xmikroprzekaźniki - 0.1 50 100 - 1000x

mikromotory 0.1 5 2 80 20x 16x

mierniki pochylenia(poziomice)

1 10 20 70 20x 7x

dysze wtryskowe 10 10 30 30 3x 3xczujniki

antykolizyjne0.01 0.5 2 20 200x 100x

nosy elektroniczne 0.001 0.1 0.05 5 50x 50xRazem 106.7 4205 >40x

1996 2002Nazwa produktu szt.

mlnUSDmln

szt.mln

USDmln

głowica twardych dysków 530 4500 1500 12000głowica drukarek

atramentowych ink-jet100 4400 500 10000

urządzenia wspomagającepracę serca

0.2 1000 0.8 3700

urządzenia do diagnozowaniain vitro

700 450 4000 2800

pomocnicze urządzenia dlaniesłyszących

4 1150 7 2000

czujniki ciśnienia 115 600 309 1300czujniki przyspieszenia 24 240 90 430

czujniki chemiczne 100 300 400 800kamery podczerwone 0.01 220 0.4 800

żyroskopy 6 150 30 360czujniki magneto-rezystywne 15 20 60 60

mikrospektrometry 0.0006 3 0.150 40Razem 13033 34290

Światowy rynek mikrosystemów Struktura i zakres 1996-2002, produkty dobrze usytuowane (przewidywania 1999)

Noworozwijane mikrosystemy 1996-2002 (przewidywania 1999)

W Europie powołano jeden ogólnoeuropejski i kilka narodowych programów rozwoju mikrosystemów pod nazwą EUROPRACTICE, który podzielono na pięć głównych działów:

pomiary fizyczne i motoryzacja (CC1)mikrourządzenia biomedyczne i zastosowania w medycynie (CC2a)mikrosystemy bioanalityczne dla nauki o życiu i ochrony środowiska (CC2b)MEOMS, urządzenia peryferyjne i telekomunikacyjne (CC3)mikromaszyny i mikroaktuatory, kontrola procesów i zastosowania w narzędziach (CC4)mikrofluidyka i mikrosystemy cieczowe (CC5)czujniki promieniowania, areonautyka i zastosowania instrumentalne w aparaturze naukowej (CC6a)systemy obrazowe CMOS (CC6b).

EUROPRACTICE

Rozwój techniki mikrosystemów na świecie

Struktura nakładów inwestycyjnych na badania i instytucji badawczych w dziedzinie

mikrosystemów

Struktura nakładów inwestycyjnych na badania w dziedzinie mikrosystemów

krzemowych

Struktura instytucji badawczych i dydaktycznych

Rozwój mikrosystemów

Pole zastosowań i rozwój mikrosystemów

Technika mikrosystemów a rozwój