Upload
others
View
2
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
MEMS, szenzorok
Tóth Tünde
Anyagtudomány MSc
2016. 05. 04.
1
Előadás vázlat
• MEMS
• Története
• Előállítása
• Szenzorok
• Nyomásmérők
• Gyorsulásmérők
• Szögsebességmérők
• Áramlásmérők
• Hőmérsékletmérők
2
Mi is az a MEMS?
• MEMS = mikro-elektromechanikai rendszerek
• Olyan apró eszközök, melyek mechanikai és elektronikai
alkatrészeket is tartalmaznak.
• Karakterisztikus méretük jellemzően 20-1000 mikrométer
• Az alkatrészek mérete 1-100 mikrométer
3
4
Története
5
Előállítás
• Alapanyagok:
• Szilícium
• Legelterjedtebb
• Jól megmunkálható, stabil
• Polimerek
• Olcsó, könnyen előállítható és megmunkálható
• Szubsztrát és fotoreziszt is lehet
• Fémek ( Au, Ni, Cu, Al, Ti, Ag, Pt)
• Si tulajdonságai jobbak
• Megfelelő korlátok között megbízható Mems eszközök készíthetőek
• Kerámiák (Si, Al, Ti nitridjei)
6
Előállítás
• Főbb lépései
• Rétegleválasztás
• Mintázat kialakítása
• Maratás
• Rétegleválasztási technikák
• Fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD)
• Hordozó és felvitt anyag közt nincs kémiai reakció
• A kialakult réteget csak kohéziós erők kötik a hordozóhoz
• Kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD)
• A réteg kémiai kötéssel kapcsolódik a hordozóhoz
• Leggyakrabban: LPCVD
7
PVD
8
CVD
9
Mintázat kialakítása
• Litográfiai eljárások
• Litográfia = lenyomat
• Mikrotechnikában:
• Áramkörök, mikromechanikai struktrúrák rajza
• Fotoreziszt = fizikai tulajdonságai megváltoznak, ha megfelelő
besugárzást kap
• Maszk = az átvivendő struktúrát tartalmazza
• Optikai, röntgen-, és elektronsugaras
10
Fotolitográfia
11
Maratási eljárások
• Nedves maratás
• Marószer oldatába merítve történik a folyamat
• Anizotróp marás
• Marási sebesség erősen függ a kristálytani irányoktól
• Izotróp marás
• Marási sebesség független a kristálytani irányoktól
• Szelektivitás fogalma
12
Anizotróp marás
13
Egykristály szilícium
Izotróp marás
14
Maratási eljárások
• Száraz maratás
• A folyamat gáz vagy gőzfázisban történik
• Fizikai és kémiai folyamatok is
• Az egyik legelterjedtebb módszer: DRIE
15
Deep Reactive Ion Etching
• Erősen anizotróp
• Felváltva: izotróp maratás és passziválás
16
Mikrotechnikai kötések
• Mikrotechnikai kötések biztosítása
• Típusai
• Forrasztott: a kötés fémes adalékanyag segítségével jön létre
• Ultrahangos:
17
Mikrotechnikai kötések II
• Típusai:
• Termokompressziós: Au és Si
18
Mikrotechnikai kötések III
• Típusai
• Termoszonikus kötés:
• Termokompressziós és ultrahangos technika ötvözése
• Módszerek előnyeinek kombinálása
• Alacsonyabb hőmérséklet, kötés időtartama rövidebb, felületi
szennyeződések, oxidrétegek eltávolítása
• Anódos kötés:
• Sík szilícium-, és üvegfelületek kötésére
19
Szenzorok
• Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet (fizikai vagy
kémiai) elektromos jellé alakítanak át.
• Jellemzőik:
• Szelektivitás
• Reprodukálhatóság
• Gyors működés
• Folyamatos működés
20
Nyomásmérők
• Iparban és egészségügyben is számos területen használják
21
Orvosi nyomásmérő
• Kardiovaszkuláris katéter: a szív koszorúereiben fellépő nyomás mérésére
• Mikromechanikai membrán, alsó részén referencianyomás, felső részén vérnyomás
22
Orvosi nyomásmérő II
• A membránt kondenzátorként alakítják ki
•∆𝐶
𝐶= −
𝑤(𝑥)
𝑥𝑝
23
Légnyomás mérése
• A=1x1 mm, d= 10μm Si membrán
• Atmoszférikus nyomás deformálja a membránt
• Membrán anyagából kialakított piezorezisztorok
24
Gyorsulásmérők • Járműiparban széleskörű felhasználás:
• Benzinmotorok kopogásszabályzása
• Járműgyorsulások meghatározása a blokkolásgátló (ABS) vagy a
stabilitási (ESP) rendszerek számára
• Légzsák és övfeszítő biztonsági rendszerek működtetésére
ütközéskor
• Karosszériagyorsulások kiértékelésére a felfüggesztési rendszerek
szabályozásához
25
Gyorsulásmérők
• Az erőmérést útmérésre vagy mechanikai feszültség mérésére vezetik vissza
• Állandó gyorsulás: 𝐹 = 𝑚 ∗ 𝑎 = 𝑐 ∗ 𝑥
• Változó gyorsulás: 𝐹 = 𝑚 ∗ 𝑎 = 𝑐 ∗ 𝑥 + 𝑏 ∗ 𝑥 + 𝑚 ∗ 𝑥
26
Kapacitív gyorsulásmérők
• Fontos alkalmazás: légzsákok vezérlésére szolgáló szenzorok
27
Kapacitív gyorsulásmérők
• Légzsák vezérléséhez kifejlesztett gyorsulásmérő szenzor
28
Piezoelektromos gyorsulásmérők
• Működésük a töltésszétválasztás elvén alapul
29
Piezorezisztív gyorsulásmérők
• Gyorsulásmérés nyúlásmérő bélyegek alkalmazásával
30
Termodinamikai elven működő gyorsulásmérők • Felmelegített gázbuborék helytől függő hőmérséklet eloszlása
31
Szögsebesség érzékelők
• Járművekben az 1990-es évektől kezdve
• Érzékelik a jármű kanyarodását, kisodródását is
• Műhorizont, ESP, rakétatechnika 32
Klasszikus giroszkópok
• Gyorsuló koordináta-rendszerben:
𝑚𝒂 = 𝑭 −𝑚𝒂0 −m𝝎× 𝝎 × 𝒓 − 2𝑚 𝝎 × 𝒓 −𝑚 𝜷 × 𝒓
Működés alapja: Coriolis-erő= −2𝑚 𝝎 × 𝒓
33
MEMS giroszkópok
• Próbatest rezonanciában rezeg
• Forgómozgás esetén Coriolis-erő
• Mérése rugók segítségével
• Elmozdulások mérése kapacitív elven
34
MEMS giroszkópok
• Kis kapacitásváltozások, így két ellenfázisban működő mikromechanikai rendszert építenek egymás mellé
35
MEMS giroszkópok
36
Áramlásmérők
• Belsőégésű motoroknál nagyon fontos a helyes levegő-tüzelőanyag arány betartása
• Hőfilmes áramlásmérők
• Gyors
• Levegő abszolút hőmérséklete
befolyásolja
• Mérőcellát védeni kell a
szennyeződésektől 37
Hőmérők
• Ellenállás változáson alapuló szenzorok
• Kerámia hordozóra felvitt strukturált vékonyréteg
ellenállás (Ni, Pt)
38
Szenzortechnika jelentősége a gépjárműiparban
39
40
Források
• en.wikipedia.org/wiki/Microelectromechanical_systems
• www.memsindustrygroup.org
• http://www.mogi.bme.hu/TAMOP/mikromechanika
• https://www.mems-exchange.org/MEMS
41
Köszönöm a figyelmet!
42