IMPORTANT NOTICE For Users of TSUPREM-4 Version …amrel.bioe.uic.edu/docs/TSuprem4.pdf · TCAD Business Unit IMPORTANT NOTICE For Users of TSUPREM-4 Version 2000.2 Enhancements contained

TCAD Business Unit

IMPORTANT NOTICE

For Users of TSUPREM-4 Version 2000.2

Enhancements contained in the v2000.2 release of the TSUPREM-4 pro-gram are briefly described in Appendix C. Please read Appendix C beforeusing TSUPREM-4 2000.2 to assure efficient use of this upgrade. ThisAppendix describes the extent of the version differences for users of the pre-vious version of the code.

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TSUPREM-4

Two-Dimensional ProcessSimulation Program

Version 2000.2

Users Manual

July 2000

Copyright Notice TSUPREM-4 Users Manual

ii Confidential and Proprietary S4 2000.2

TSUPREM-4 Users Manual, Release 2000.2 First Printing: July 2000Copyright 2000Avant! Corporation and Avant! subsidiary. All rights reserved.Unpublishedrights reserved under the copyright laws of the United States.

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Table of Contents

CONTENTS

List of Figures xxix

Introduction to TSUPREM-4 xxxv

Program Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxvProcessing Steps. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxvSimulation Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxvAdditional Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxvi

Manual Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxviTypeface Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxviiRelated Publications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxvii

Reference Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxviiProblems and Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxxvii

Chapter 1 Using TSUPREM-4 1-1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1Program Execution and Output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1

Starting TSUPREM-4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1Program Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

Printed Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2Graphical Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

Errors, Warnings, and Syntax . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3File Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

File Types. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3Default File Names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3Environment Variables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

Input Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4Command Input Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4Mask Data Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

S4 2000.2 Confidential and Proprietary iii

Table of Contents TSUPREM-4 Users Guide

Profile Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5Other Input Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

Output Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5Terminal Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5Output Listing Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

Standard Output Files4out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6Informational Output Files4inf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6Diagnostic Output Files4dia. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

Saved Structure Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6TSUPREM-4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7TIF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7Taurus-Lithography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7Medici . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7MINIMOS 5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7Wave. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

Graphical Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8Extract Output Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8Electrical Data Output Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

Library Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8Initialization Input Files4init . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9Ion Implant Data Files4imp0 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9Plot Device Definition Files4pcap . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9Key Filess4fky0 and s4uky0 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10Authorization Files4auth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10

Chapter 2 TSUPREM-4 Models 2-1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1Simulation Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1

Coordinates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1Initial Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2Regions and Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2

Grid Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2Mesh, Triangular Elements, and Nodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2Defining Grid Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3Explicit Specification of Grid Structure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3

The LINE Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3Generated Grid Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3Eliminating Grid Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4

Automatic Grid Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5Automatic Grid Generation in the X Direction . . . . . . . . . . . . . . . 2-5

X Grid from WIDTH Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5X Grid from MASK Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5Column Elimination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6

Automatic Grid Generation in the Y Direction . . . . . . . . . . . . . . . 2-6

iv Confidential and Proprietary S4 2000.2

TSUPREM-4 Users Guide Table of Contents

S

Changes to the Mesh During Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7DEPOSITION and EPITAXY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7Structure Extension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7ETCH and DEVELOP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8Oxidation and Silicidation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8

Removal of Nodes in Consumed Silicon . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8Addition of Nodes in a Growing Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8Nodes in Regions Where Oxide is Deforming . . . . . . . . . . . . . . 2-9Numerical Integrity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9

Adaptive Gridding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10Refinement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10Unrefinement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11

One-Dimensional Simulation of Simple Structures. . . . . . . . . . . . . 2-12Initial Impurity Concentration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12

Diffusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13DIFFUSION Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13

Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14Ambient Gas Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14Ambient Gas Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14Ambients and Oxidation of Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14Default Ambients . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15Chlorine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15

Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16Coefficient Tables. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16

Chemical Predeposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16Solution of Diffusion Equations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16

Diffusion of Impurities. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17Impurity Fluxes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17Modeling of Diffusivities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-18Mobile Impurities and Ion Pairing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-18Electric Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-19Diffusivities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-20Polysilicon Enhancement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-21Point Defect Enhancement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-21PD.FERMI Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-21PD.TRANS and PD.FULL Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-21Paired Fractions of Dopant Atoms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-22Reaction Rate Constants. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-23

Activation of Impurities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24Physical Mechanisms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24Activation Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-25Model Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-25Solid Solubility Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-26

Solid Solubility Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-26Dopant Clustering Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-27Dopant-Defect Clustering Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-27

4 2000.2 Confidential and Proprietary v


Segregation of Impurities. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-28Segregation Flux. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-28

Transport Coefficient . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-28Segregation Coefficient . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-29Moving-Boundary Flux . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-29Interface Trap Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-29

Using the Interface Trap Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-32Diffusion of Point Defects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-32

Equilibrium Concentrations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-32Charge State Fractions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-33Point Defect Diffusion Equations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-33Interstitial and Vacancy Diffusivities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-34Reaction of Pairs with Point Defects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-35Recombination of Interstitials with Vacancies. . . . . . . . . . . . . . . 2-35Absorption by Traps, Clusters, and Dislocation Loops . . . . . . . . 2-37

Injection and Recombination of Point Defects at Interfaces . . . . . . 2-37Surface Recombination Velocity Models. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-38V.MAXOX Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-38V.INITOX Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-39V.NORM Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-39

Trapped Nitrogen Dependent Surface Recombination. . . . . . . . . 2-39Injection Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-39Moving-Boundary Flux . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-41

Interstitial Traps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-41Enabling, Disabling, and Initialization. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-42

Interstitial Clustering Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-42Model Equations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-42Choosing Model Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-43Using the Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-44

Small Clusters of Point Defects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-44Concentration of Defects in Small Clusters . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-44Recombination of Defects in Small Clusters . . . . . . . . . . . . . . . . 2-45

Oxidation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-46Theory of Oxidation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-46Analytical Oxidation Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-48

Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-48Oxide Growth Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-48Thin Regime . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-48Linear Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-48Parabolic Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-49

Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-50The ERFC Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-51

Recommended Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-51The ERF1, ERF2, and ERFG Models. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-51

Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-51Initial Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-51ERF1 Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-52

vi Confidential and Proprietary S4 2000.2


S

ERF2 Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-52ERFG Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-53Recommended Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-53

Numerical Oxidation Models. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-54Oxide Growth Rate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-54

Concentration Dependence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-55Thin Regime . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-56Usage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-56

The VERTICAL Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-56Recommended Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-56

COMPRESS Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-57Compressible Viscous Flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-57Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-58Model Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-58COMPRESS Model: Recommended Usage . . . . . . . . . . . . . . . . 2-58

VISCOUS Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-58Incompressible Viscous Flow. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-58Stress Dependence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-59Recommended Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-60

VISCOELA Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-60Viscoelastic Flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-60Model Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-62Recommended Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-62

Polysilicon Oxidation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-63Surface Tension and Reflow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-63N2O Oxidation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-63

Nitrogen Trap and Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-63Surface Reaction Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-64Thin Oxidation Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-64

Boron Diffusion Enhancement in Oxides . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-65Diffusion Enhancement in Thin Oxides . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-65Diffusion Enhancement Due to Fluorine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-67

Silicide Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-68TiSi2 Growth Kinetics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-68

Reaction at TiSi2/Si Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-68Diffusion of Silicon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-68Reaction at TiSi2/Si Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-69Initialization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-69Material Flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-69

Impurities and Point Defects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-69Specifying Silicide Models and Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-69

Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-70Impurities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-70Reactions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-70Impurities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-72

Tungsten and Cobalt Silicide Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-72Other Silicides . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-72

4 2000.2 Confidential and Proprietary vii


Stress Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-73Stress History Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-73Thermal Stress Model Equations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-73

Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-73Initial Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-73Intrinsic Stress in Deposited Layers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-74Effect of Etching on Stress . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-74Using the Stress History Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-74Limitations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-75

Modeling Stress with the STRESS Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-75Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-76

Ion Implantation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-77Analytic Ion Implant Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-77

Implanted Impurity Distributions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-77Implant Moment Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-78Gaussian Distribution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-80Pearson Distribution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-80Dual Pearson Distribution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-81Dose-dependent Implant Profiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-81Tilt and Rotation Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-84Multilayer Implants . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-84

Effective Range Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-84Dose Matching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-84

Lateral Distribution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-85Depth-Dependent Lateral Distribution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-85Wafer Tilt and Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-85BF2 Implant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-86Analytic Damage Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-86

Damage Distribution Calculations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-86Recommended Usage and Limitations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-87

Monte Carlo Ion Implant Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-87Binary Scattering Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-87

Energy Loss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-88Scattering Angle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-88Dimensionless Form . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-88Coulomb Potential . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-89Universal Potential . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-90

Amorphous Implant Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-91Nuclear Stopping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-92Electronic Stopping. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-92Electronic Stopping at High Energies. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-93Total Energy Loss and Ion Deflection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-93Ion Beam Width . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-94

Crystalline Implant Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-94Channeling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-94Lattice Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-96Lattice Damage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-96

viii Confidential and Proprietary S4 2000.2


S

Damage Dechanneling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-96Damage Annealing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-97Number of Ions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-97BF2 Implantation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-97

Implant Damage Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-98Damage Produced During Implant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-98

+1 and Effective +n Damage Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-99Cumulative Damage Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-100Old Damage Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-101Conservation of Total Defect Concentrations . . . . . . . . . . . . . . 2-102Using the Implant Damage Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-102

Boundary Conditions for Ion Implantation . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-103Polysilicon Monte Carlo Implant Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-103

Ion Implantation into Silicon Carbide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-104Epitaxial Growth. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-104

Layer Thickness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-105Incorporation of Impurities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-105Diffusion of Impurities. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-105

Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-105Layer Thickness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-106Incorporation of Impurities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-106Photoresist Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-106Polycrystalline Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-106Deposition with Taurus-Topography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-106

Masking, Exposure, and Development of Photoresist . . . . . . . . . . . . 2-107Etching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-107

Defining the Etch Region. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-107Removal of Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-108Trapezoidal Etch Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-108

Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-109Etch Steps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-109Etch Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-109

Simple Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-109Structure with Overhangs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-110Complex Structures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-111

Etching with Taurus-Topography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-111Modeling Polycrystalline Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-112

Diffusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-112Diffusion in Grain Interiors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-112Grain Boundary Structure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-113Diffusion Along Grain Boundaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-113

Anisotropic Diffusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-113Segregation Between Grain Interior and Boundaries . . . . . . . . . . 2-114Grain Size Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-115

Initial Grain Size. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-115Grain Growth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-116

Concentration Dependence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-116

4 2000.2 Confidential and Proprietary ix


Grain Surface Energy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-117Segregation Drag . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-117

Interface Oxide Break-up and Epitaxial Regrowth . . . . . . . . . . . . 2-117Oxide Break-Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-117Epitaxial Regrowth. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-118

Using the Polycrystalline Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-119Electrical Calculations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-120

Automatic Regrid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-120Poissons Equation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-120

Boltzmann and Fermi-Dirac Statistics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-121Ionization of Impurities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-121Solution Methods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-122

Carrier Mobility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-123Tabular Form . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-123Arora Mobility Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-123Caughey Mobility Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-124

Quantum Mechanical Model for MOSFET . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-125Capacitance Calculation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-125

DC Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-126MOS Capacitances . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-126

Extended Defects AAM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-126Dislocation Loop Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-126

Equations for Dislocation Loop Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-127Loop Density Specified by L.DENS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-128Loop Density Specified by L.THRESH. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-128Evolution of Loops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-128Effects of Dislocation Loops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-129

Transient Clustering Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-129References. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-131

Chapter 3 Input Statement Descriptions 3-1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1Input Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1

Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2Syntax. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2Specifying Materials and Impurities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2

Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3Logical . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3Numerical. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3Character . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3

Statement Description Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4Parameter Definition Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4Syntax of Parameter Lists . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4

Parameter Types < >. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4

x Confidential and Proprietary S4 2000.2


S

Parameter Groups . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5Optional Parameters [ ]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5Choices { }, |. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5Group Hierarchy ( ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5

3.1 Documentation and Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7COMMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8

SOURCE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9Reusing Combinations of Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9Generating Templates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9

RETURN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10Returning from Batch Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10Exiting Interactive Input Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11

INTERACTIVE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12Interactive Input Mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13

PAUSE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14

STOP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15

FOREACH/END . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17

LOOP/L.END. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19Termination of Optimization Looping. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19Parameter Sensitivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19Dependence and Variability. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20Advantages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-21

L.MODIFY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22

IF/ELSEIF/ELSE/IF.END . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23Conditional Operators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24Expression for Condition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24

ASSIGN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25

4 2000.2 Confidential and Proprietary xi


Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28Varying During Statement Looping. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29ASSIGN with Mathematical Expressions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29ASSIGN and Optimization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30Expansion of ASSIGNed Variable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30Reading the External Data File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31Reading the Array from a String . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31

INTERMEDIATE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32Advantages of INTERMEDIATES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32Value Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33Array Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34

Getting Array Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35Redefinition of Array Elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35Effect Due to Redefinition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35

Comparison to ASSIGN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36ECHO . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38

OPTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39Selecting a Graphics Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40Redirecting Graphics Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40Printed Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40Informational and Diagnostic Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40Echoing and Execution of Input Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40Version Compatibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-41Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-41

DEFINE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42Format and Syntax . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42Usage Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43

UNDEFINE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-45Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-45Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-45Redefined Parameter Names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-45

CPULOG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46Limitations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46

HELP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-47Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-47Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-47Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-47

3.2 Device Structure Specification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-49MESH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-50

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-51Grid Creation Methods. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-51

xii Confidential and Proprietary S4 2000.2


S

Horizontal Grid Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-52Vertical Grid Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-52Scaling the Grid Spacing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-531D Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-53Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-54

LINE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-55Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-55Placing Grid Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-55Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-56Additional Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-56

Structure Depth and Point Defect Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-56Maximum Number of Nodes and Grid Lines. . . . . . . . . . . . . . . . 3-56Default Regions and Boundaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-56

ELIMINATE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-57Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-57Reducing Grid Nodes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-58Overlapping Regions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-58Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-58

BOUNDARY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-60Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-60Limitations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-61Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-61

REGION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-62Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-63Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-63

INITIALIZE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-64Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-66Mesh Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-66Previously Saved Structure Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-66Crystalline Orientation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-66Specifying Initial Doping. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-67Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-67

LOADFILE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-68Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-68TSUPREM-4 Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-68

Older Versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69User-Defined Materials and Impurities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69Taurus-Lithography Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69

SAVEFILE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-71Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-74TSUPREM-4 Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-74

Older Versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-74TIF Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-74Medici Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-75Taurus-Lithography Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-75MINIMOS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76

4 2000.2 Confidential and Proprietary xiii


Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76

STRUCTURE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-77Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-79

Order of Operations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-79Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80

TSUPREM-4 Version Compatibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80

MASK . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-82Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-82Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-83

PROFILE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-84Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-84OFFSET Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-85Interpolation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-85IMPURITY Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-86Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-86

ELECTRODE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-87Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-87Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-88Additional ELECTRODE Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-88

3.3 Process Steps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-89DEPOSITION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-90

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92Polycrystalline Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93Photoresist . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93Deposition with Taurus-Topography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-93Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94Additional DEPOSITION Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94

EXPOSE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-95Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-95Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-96

DEVELOP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-97Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-97Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-97

ETCH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-98Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-100Removing Regions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-100Etching with Taurus-Topography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-101Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-102

IMPLANT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-103Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-108Gaussian and Pearson Distributions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-109Table of Range Statistics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-109Monte Carlo Implant Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-110Point Defect Generation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-111Extended Defects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-111

xiv Confidential and Proprietary S4 2000.2


S

Channeling Effects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-111Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-111TSUPREM-4 Version Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-112Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-112

DIFFUSION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-115Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-118Ambient Gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-118

Ambient Gas Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-118Oxidation Limitations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-119Reflow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-119Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-120

EPITAXY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-121Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-123Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-123

STRESS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-124Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-124Printing and Plotting of Stresses and Displacements. . . . . . . . . . . 3-124Reflecting Boundary Limitations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-125Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-125

3.4 Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-127SELECT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-128

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-128Solution Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-128Mathematical Operations and Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-130Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-131

PRINT.1D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-132Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-134

Layers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-134Interface Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-134Saving Profiles in a File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-134

Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-135PLOT.1D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-136

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-141Line Type and Color . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-142IN.FILE Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-142Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-143

PLOT.2D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-144Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-146Line Type and Color . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-147Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-147

CONTOUR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-148Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-148Line Type and Color . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-149Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-149Additional CONTOUR Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-149

COLOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-150Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-151

4 2000.2 Confidential and Proprietary xv


Plot Device Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-151Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-151

PLOT.3D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-152Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-153Line Type and Color . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-154Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-154Additional PLOT.3D Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-154

LABEL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-155Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-158Label Placement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-158Line, Symbol, and Rectangle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-158Color. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-159Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-159

EXTRACT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-160Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-165Solution Variables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-166Extraction Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-166Targets for Optimization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-168

File Formats . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-168Error Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-168

Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-169Optimization Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-171

ELECTRICAL. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-174Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-179Files and Plotting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-179Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-180

Optimization Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-181Quantum Effect in CV Plot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-181

Additional ELECTRICAL Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-183VIEWPORT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-184

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-184Scaling Plot Size . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-184Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-185

3.5 Models and Coefficients . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-187METHOD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-188

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-197Oxidation Models. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-197

Grid Spacing in Growing Oxide. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-197Rigid vs. Viscous Substrate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-198

Point Defect Modeling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-198PD.FERMI Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-198PD.TRANS Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-199PD.FULL Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-199Customizing the Point Defect Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-199

Enable/Disable User-Specified Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-199Adaptive Gridding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-200

Fine Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-201

xvi Confidential and Proprietary S4 2000.2


S

Initial Time Step. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-201Internal Solution Methods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-201

Time Integration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-201System Solutions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-202Minimum-Fill Reordering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-202Block Solution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-202

Solution Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-202Matrix Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-202

Matrix Refactoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-203Error Tolerances . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-203

Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-203EQUATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-204

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-205Additional Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-206

AMBIENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-207Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-217Oxidation Models. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-217ERFC Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-218ERFG Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-218VERTICAL Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-218COMPRESS Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-218VISCOELA Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-218VISCOUS Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-219

Stress Dependence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-219Coefficients . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-220

Chlorine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-220Examples. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-220

Parameter Dependencies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-221Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-221Oxidizing Species. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-221Specified Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-222Specified Units . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-222

Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-222Additional AMBIENT Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-222

MOMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-224Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-226Optional and Required Model Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-226Using the MOMENT Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-226Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-227Additional Note . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-227

MATERIAL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-228Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-236Viscosity and Compressibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-237

Stress Dependence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-237Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-237

IMPURITY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-239Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-251

4 2000.2 Confidential and Proprietary xvii


Impurity Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-251Solution Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-251

Other Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-251Multiplication to Diffusivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-252Further Reading . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-252Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-252

REACTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-254Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-256Defining and Deleting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-256Insertion of Native Layers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-256Reaction Equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-257

Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-257Effects. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-258

MOBILITY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-259Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-262Tables and Analytic Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-262

Analytic Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-262Tables or Model Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-263

Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-263INTERSTITIAL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-265

Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-274Bulk and Interface Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-274Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-275Additional INTERSTITIAL Notes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-275

VACANCY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-276Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-282Bulk and Interface Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-282Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-283Additional VACANCY Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-283

ANTIMONY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-284Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-288Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-289Additional ANTIMONY Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-289

ARSENIC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-290Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-294Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-295Additional ARSENIC Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-295

BORON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-296Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-300Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-301Additional BORON Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-301

PHOSPHORUS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-302Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-306Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-307Additional PHOSPHORUS Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-307

3.6 Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-309

xviii Confidential and Proprietary S4 2000.2


S

Chapter 4 Tutorial Examples 4-1

Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1Input File Syntax and Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1

One-Dimensional Bipolar Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2TSUPREM-4 Input File Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2Initial Active Region Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2Mesh Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2

Automatic Mesh Generation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3Adaptive Gridding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4

Model Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4Oxidation Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4Point Defect Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4

Processing Steps. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5Buried Layer Masking Oxide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5Buried Layer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5Epitaxial Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5Pad Oxide and Nitride Mask . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6

Saving the Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6Plotting the Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6

Specifying a Graphics Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6The SELECT Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6The PLOT.1D Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7

Printing Layer Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8The PRINT.1D Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8Using PRINT.1D LAYERS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8

Completing the Active Region Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9Reading a Saved Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9Field Oxidation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9

Final Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11Local Oxidation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12

Calculation of Oxide Shape . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12Mesh Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13Pad Oxide and Nitride Layers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14Plotting the Mesh . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14Model Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14Plotting the Results. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15Plotting Stresses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16

Contour Plots . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17Two-Dimensional Diffusion with Point Defects . . . . . . . . . . . . . . . 4-18

Automatic Grid Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19Field Implant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19Oxidation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19Grid Plot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20Contour of Boron Concentration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20

4 2000.2 Confidential and Proprietary xix


Using the FOREACH Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23Vertical Distribution of Point Defects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24Lateral Distribution of Point Defects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-25Shaded Contours of Interstitial Concentration . . . . . . . . . . . . . . . 4-25

Local Oxidation Summation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26Point Defect Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-27

Creating the Test Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29Automatic Grid Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29Outline of Example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29

Oxidation and Plotting of Impurity Profiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29Simulation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29PD.FERMI and PD.TRANS Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-30PD.FULL Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-30Printing Junction Depth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31Doping and Layer Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31

Point Defect Profiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31Commentary. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-32

Choosing a Point Defect Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-32

Chapter 5 Advanced Examples 5-1

Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1NMOS LDD Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2

Creating the Initial Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2Setting the Grid Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3Adaptive Gridding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4Masking Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4

Field Isolation Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4Displaying the Plot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5

Active Region Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7Modeling Polysilicon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7LDD Implant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8Oxide Spacer and Source/Drain Implant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9Source/Drain Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9Plots . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11

Formation of the Complete NMOS Transistor . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12Electrical Extraction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14

Threshold Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14MOS Capacitance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15Source/Drain Junction Capacitance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16Plotting Results of Electrical Extraction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17

Trench Implant Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18Structure Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18Analytic Implant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19Plotting the Results of the Analytic Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-20

xx Confidential and Proprietary S4 2000.2


S

Monte Carlo Implant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23Using the Monte Carlo Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23

Plotting the Results of the Monte Carlo Method . . . . . . . . . . . . . . . 5-23Boron Contours . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23Vertical Profiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24Sidewall Profiles. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-26

Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-26Poly-Buffered LOCOS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27

Structure Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27Using the VISCOEL Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-28Plotting the Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-28

CMOS Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-30Main Loop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-32Mesh Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-32CMOS Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34

Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34Channel Doping Plot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34Lightly Doped Drain Structure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34Saving the Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-35End of Main Loop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-35

Plotting the Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-350.8 Micron Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-37Final Mesh . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-37Arsenic Profiles in Gate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-371.2 Micron Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-38

DMOS Power Transistor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39Mesh Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

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IMPORTANT NOTICE For Users of TSUPREM-4 Version …amrel.bioe.uic.edu/docs/TSuprem4.pdf · TCAD Business Unit IMPORTANT NOTICE For Users of TSUPREM-4 Version 2000.2 Enhancements contained