11
Functionalized Cluster-Assembled Magnetic Nanostructures for Applications to High Integration-Density Devices** By Alain Perez,* VØronique Dupuis, Juliette Tuaillon-Combes, Laurent Bardotti, Brigitte PrØvel, Estela Bernstein, Patrice MØlinon, Luc Favre, Abdelkrim Hannour and Matthieu Jamet 1. Introduction The design and fabrication of magnetic nanostructures and nanostructured systems are playing an increasingly important role in modern science and technology. In the case of nanoscaled magnetic objects a large part of the interest is driven by the fundamental aspects of nano-magnetism as well as by appli- cations to information storage and magnetoelectronics de- vices. [1±7] For example, the areal density for magnetic hard-disk storage in recent years has been increasing at the very high rate of about 60 % per year. [3] At present the most advanced systems record at densities in the range 10±100 Gbits/in 2 . This remark- able progress naturally raises the question of how far the areal density in conventional recording can be increased before fundamental physics limitations such as the superparamagnetic limit begin to predominate. In fact, when decreasing the size of a magnetic particle down to the nanometric range, the anisotropy energy KV (where K is the anisotropy constant and V the volume of the particle) which acts to fix the magnetization along an easy axis is counterbalanced by the thermal energy (kT) responsible of magnetization fluctuations between easy axes. For isolated nanoparticles of conventional magnetic materials, the blocking temperature T B indicating the upper limit above which the particles behave superparamagnetic is of the order a few tens RESEARCH NEWS ADVANCED ENGINEERING MATERIALS 2005, 7, No. 6 DOI: 10.1002/adem.200400220 2005 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim 475 ± [*] Dr. A. Perez, Dr. V. Dupuis, Dr. J. Tuaillon-Combes, Dr. L. Bardotti, Dr. B. PrØvel, Dr. E. Bernstein, Dr. P. MØlinon, Dr. L. Favre, Dr. A. Hannour Laboratoire de Physique de la Matire CondensØe et Nanostructures UniversitØ Claude Bernard Lyon 1 and CNRS Domaine Scientifique de la Doua 69622 Villeurbanne cedex, France E-mail: [email protected] Dr. M. Jamet CEA DRFMC/SP2M/NM, 17 avenue des Martyrs 38054 Grenoble Cedex, France. [**] The authors are indebted to G. Guiraud, O. Boisron and C. Clavier for their technical assistances during the experiments using the cluster generators of the ªCentre Interlaboratoire Lyonnais de Recherche sur les AgrØgatsº. Fruitful collabora- tions/discussions with colleagues from the Laboratoire de Magnetisme Louis NØel ± CNRS, Grenoble, France, on magnetic studies (B. Barbara, W. Wernsdorfer et al.), and from the Laboratoire de Photonique et de Nanostructures ± CNRS, Marcoussis, France, for FIB experiments (J. Gierak et al.), have to be mentioned, as well as numerous collaborations in the framework of the EC Growth Project AMMARE (contract N G5RD-CT-2001-00478, Project N GRD1-2000-25838). This paper presents recent results on the preparation and characterization of original magnetic nanostructures from nanoclusters preformed in the gas phase. Magnetic binary-clusters (i.e. Co-Sm, Co-Pt, Co-Ag) with rather well controlled sizes, structures and compositions, are prepared in the gas phase using a combined laser vaporization-rare gas condensation source and subsequently deposited at low energy (LECBD : Low Energy Cluster Beam Deposition) on various functionalized substrates to grow cluster-assembled magnetic nanostructures exhibiting specific magnetic properties. Especially a high magnetic anisotropy and consequently a high magnetic blocking temperature compatible with future applications to high density memory devices and spin electronics are expected. In this context of applications, 2D-organized arrays of functionalized binary-cluster assembled dots are prepared by LECBD on FIB-functionalized substrates (FIB: Focussed Ion Beam) with the ultimate objective to reach areal densities in the range of the Tbits/in 2 .

Functionalized Cluster-Assembled Magnetic Nanostructures for Applications to high Integration-Density Devices

  • Upload
    a-perez

  • View
    212

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

������������ ������������������������������������ ��� ����������� �� ����������������������� ���������������� ����� � ������� ������ �������� ��������������� ������� ���������������� �� ��� ����� ��������� �����!� " ����� ��! #���� �����$��� %������ ���"���&��� �����

! ��������������� ������ �� ��� ���� � ������ ������� ����� ��

������� ����� ������� �� ������ � �� �������� ������������ �������� � ��� � �� �� �������� �� ��� �� � ���� ��������� ���� �� ���� ��� � ��� �������� �� ������ �� ����������� ��� �� � ������������ � ���� � �� ����� ����� �� ��������� ������ �� ��������� ����� � ����� �������� �� �!����" ��� ��� ������� �� ������ �������#������ ���� ������������� �� ������� ������������������� $%& ��� �����'� (� ������� ��� ���� ��� �� ��������� ��� � ��������� �� ��� ���� �%��%% )����*��+� ���� ����#���� �������� ������� ����� ��� ,������� � ��� � ��� ���������� �� ���������� �� ������ � �� �� ����� ������������� ����� � ���������� �� � � ��� ������������� ����� ����� �� ����������� �� �" ������ ������ ��� ��-� � ������ ���� �� ���� �� ��� �������� ����" ��� ����������������� .������ �� ��� ��������� ������ ��� ���������� ��� ���� ��/ ��� � �� �� �! ���������-���� ���� � ���!�� �� ��������� ������� ������������ .#�/ ������������������-���� �� ������� ������� ��� !��� �� �������������� ��� � ���������� ������ �������" ��� ��� #������������� �0 ���� ���� ��� ����� ����� ���� ��� � ������� ��� ����� ������������� �� � ��� ����� �� ����

��������

���

������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� � �%�& ���������������������� � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� '($

��1� ��� �� ��� ��� �� �� ���� ��� �� ������������������ �� ��������� ��� �� ������ ��� �� ����������� �� ������� ��� �� !���� ��� �� "������������������#$��%�� �� ���&���������'�������(����)�������� ����� ������ �$�� * ��� �'+,������ ,(����-�%� � �� ����./.00 ���������� (�1� !���(������2 � �3� �(��������$��*�-���� � ��������+! �4,�0 4' � *5 ���� �� ���$��6789: ;����� ��1� !���(�

�11� �# ���#��� �� ������ �� ;� ;������� <� ������� ��� �������� -�� �#�� �(#��(�� ��������(� �����= �# 1 ����������= �# (����� =������� �- �# >���� ?��������������$������ � +(#�(# ��� �� �=��=���@� !����-�� (��������������4���(������� A��# (����=�� -��� �# ���������� � �=����� ����� '�� B �'+,� ;������ !���(� ����=���(������ C�� �������� D� D������-� � ���E� ��� -��� �#���������� � �#�����%� � � '�������(���� B �'+,� ��(������� !���(� -�� !?� 1 ������ C�� ;���F � ���E� #���� � �������� �� A�� �� ������� (������������� �� �#-���A��F �- �# �� ;��A�# ���G(� � �+� C(�����(� 'H;9+�����088*�88:57� ���G(� 'H ;+�*�0888�09767E�

�#�� � � ������(�����������# � ����������(#���(���������-���=������=���(��������(����-��� ����(������ �-���� �� �# =�� #��� �=���( �����$�(������ C��� ���,�� ������ ����=E A��#���#�A�� (�������� ���� ����(���� ��� (�� ��������� �� � ��� �� �#=�� #������=� (������ ������ ������������ =�� (���������� ����( ��� ����%����$ � ����� �� ��A ��=$ C����� 2 ��A���=$������ ��� � �������E �� ������� -��(�������� ��������� �� =��A (������������� ��=���(��������(���� 1#������= � (�-�( ��=���( �� ����� �� (����$ � #�=# ��=���( �������� $ ���(���%����$ � #�=# ��=���( ���(F��= �� ����� (�� ����� A��# -���� � ��(������ �� #�=# �����$����$ ���(� ��� � �� �(�����(� �� 1 (��� ?� �#�� (���1� �- � ��(������� 0����=���� ����$� �--��(�������� �����$�(����� ������� ���� �� � ��� �$ ����� �� !?��-��(�������� ���������C!?�2 !�(���� ?�� ���E A��# �# ������� ��G(��� �� ��(# ���� ������� �� �# ���= �- �# �����4��0�

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

� 2��3� 4����,������" ���� ������� ����� �� ���� ����� ������� �� ����� � �� ������-�� ������� ��� �!�������� ����� ���������� ��������� ������� �� ����������� ����������� �� �� ���� ���������� �� ����� �� ���� ������ ����!�" ������ �� ����� �� ��������� ��� ����� � � �������������� ����������������������������� ����������-������� ������� ��� ���� ��������� ��-�" ���� ����*����������� �� ���������� �� �� � ������� ����� � ������#�����������5 ��� �����6 " �������������-����7�" �������� ��� #��� �����������0�(���������� ���� � .������������ ���� ���� � ���������/�+"8� �� ����� � .���� � ������� �� ���� ��� �����������" ���� ��� ������������� ���,���/��%��+� ������������������������ ���" ��� ���������� �� ���� �� ���� ���� �� ��� 9��:�����4������ 0��;��������� .9:40;/ ��� � �� ���� �� ������� ��������� ����� ��� ��� ���� �� ������ �������*���,�� ������� ������������ � ������� ����� .������ "�<"�"�'"�=� ������"��<"�$�

�������������/� ���� �� ���,�� ������� �� ��� ���������� ����������� �� ��������� ��������� � ��������� ��� ��������������� �� ��� �� ���� ����� ������� �����-������� ���������� ���� ��� �� ���� ��" ������ ���� � ���� ��%�% 2*� .������������� ���������-�������� �/��"3� �������������� ��� ����������� �������������� �������������� ����� �� ����������� 7�������" �� ��� ��� ������ ����������� ������ �� ������� � ��� 9:40; �� ���,�� .���� #����� ���������������� �������� ������ ���� �>/" ������������ �������� ���� ��� � �� ��� ����������3� ������ �� ��������������������������� �������� ���������������� ��� ���� ���� �� ���������� � ��� ��� �� ����� ��������

�� ���� ���� �� ������ �� ��� ��������� � ����� ������ ������� ����� ����� ��� ��� ������ ������ ��� ������������ ���,������� � �� ����� ���� ���� �������� �����������:��� ����" ������� �� ���� ��������� ���� ������� .����4�� �������/ ���� ������ �� �������� �������" �� ���� ������-�� ������� .���� ����� 4��?�" 4��@� �������/ �������� ������ ��������� �� ���� ����� �� ���� ������� �������� �������" �� ��������� �� ���� ��� ��" �������������� ��� ������ � ��� �� ������ �� ������ ��� ��� � ��������������� ���� �� �� ������-�� ��������� �� ������ +;�������-�� ���� ������� ������� ����� �� ��������� �� ������ ����-� ����� ������ ���� ���� ����������� ���� �� �� ��������*��+������ @���� �� ��� ����������� � ��� �!���������������� ��������� ����" ������������ ������ �� ������� �� � ������ ��������� �� ������ ��������� ����������� �������������� ������������ ��� ����������������� �� ������-��� ��� ������ ���������� � ������� ����

"! )������ *������ ���������� �������������������� �������������� ���# ������ ������� ���������� �� ���# �����

�� ��������� �������� �� ��� ��� ���� �� � ��������������� �� ����� ������������� ������� �� � � ���� ����.+;/" ����� .�;/ �� ������� .%;/" ������ �������� ��� ���� �� �� �!�� ���� �� ���� ����!�" ������������ ��������

��� ����� � � ��� ������ ��������� �� ������ ��� ��������� �� ����� ��������� �� 7� A��� �� ����8� :!�����������"� ������� ���� � ���� �� ������ ��������� �� ��?BC�;������������ .����������� � �%��� ���/ �� ��������� ������ � �� ����� ��� ������-���� ������� � ��� ������������� �� .���� ����'�4��� �/��+%� ���� ����� ��� �������� �������� � � ��� ���� ���� ���� ���� �� ��� ������� ��� ����� � ������ ������� � ������-����" ������ ����� ��� ?����� �� D������� .?D/ ����� �� ����������������+�� ��� ��� �!�������� � ������ ��������� �� ������ ������ �� ���� ��� 7�������" ������������� ����� � �� ��������� ��� ����� � ������ � ���� ����������� ���������� �� ���� ���" � �!������� � ���EF��������++�

�!��������� ���� �� ���� ��� �������� �� �������� ��������� ��� � ��������� �� ���� ��������

4�������� ����!������� ��� �� �� �������� � �� �� ������� ��� ������-���� ���� �� ��������� ����� ���� �� ���� ������ �� ��� �� � ��� ������� ������������� � �%%% ���� .������� � +�' ��/� 6�� � ��� �� ���#� ���� ���� �� � ������ ������� �� ���������� �� ����� � ��� 7����� �� ���� � ��� ������ ��� � �������� ���� ����,��� �� �� ��� ���� �� ���������� ������ ������ �����-� ��������� =%�<%&� ������ ������� ���� ����� ��� ��� � ����� ����� ���������� �� �� ��� ���#������� �������� ���#��� ����� ���� �� ���� ��� �*����� ������������� � �� ����������� �� ��� ��� � �� ������ ��������� �� �� ���� ���������� ���� �� ����� ���� ���� ���� #���� ��������� �� ���� ������ �� �� ������ ���� ���� ���� ����������� �� �������� ��� ������ ���������.@7(/��+'"+=� 6������" ���� ��������� ������ ���� ������ ����� ������� �� ����� � ��� ���� ��� �����������

4���������� ���� ���# ���������" �� �������� � ��������� ���� � ���� �� ���� ���� ���5 +�� ����� ��� � ���� ����� ������ ����� �� + �� ����� ��� � ������� ������� �������-���� �#�� �� ���+<� �� �������+�� ��+ ��" ���� ����� ������ ����� ��� ����� ������-���� �������� ������������ �����!��� ������+$� �� ����� ��������������������� ������ � �����! . ����������/� �� �!����" �� ��� ��� ���� 4� ������� .+�� G '= ��" + �� G �% ��/ �� � �������.+�� G $ ��" + �� G ��< ��/ ����� ����������� �� ���� �������� ��������� �� �������� 6������" ��� � �� �� ����� �������������� �� ������� ��������� ��� �������������-����� �������� ���� ����� �� ���� �������� ��� ��� ����� ��;���� �� ���+�� �� ;������� �� ���+3� H� ��� ���� � ������������ �� �� ���� ��� ��� ������-���� � ��� ��������������� �� ������ �������� E�� ������� ����� � I���������J �� ��� � �� ��� ���� ������ ������� .���� ������ � ����/ ����� ������ �� � � ������ 7�������" �� ������� �� ��� ��� �!������ ������� � ��� ?D ������+�� �� ��� ������� ���� ���� � ��� ������ �� ����� �����������

��� ������ ������ ������ � �� ������� �5

����� �"� � �%���� � �%� �����" .�/

D��� � �� ���� �� ��� ���� ��� ������ ������-�������� ����" �%" �� ��� ������ ������ ����" � �� � �� ���

��������

���

'(+ � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� +..45��666����"7�0$��%��� ������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� �

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

������ ������ �� ��� �������� ������-���� � ������� ��� �%� �� ��� ������ ��������� ������ .7(:/ ������� 5

�%������ � ���+ � �+�+

$ � �=��+1��

+$� ��+

1��+� ��+

$��+� �

��$�+1��

+$��

+� � ��� .+/

���� ������� � �!�������� �� ������ �� ��� ��� ���� �����# �������� �� ���������� �� ����� ������ � ��1�

�$�(

���� �G K�K G +"="$���������� ��� ����� � ��� �������������� �� �� ��������� ������� �� �4�6� �� ��� ���� ��" 1I"$I" �� I �� ��� ��%%�" �%�%�" �� �%%�� ���� ������ .1$/ �� �������� ������ ������ �� ��� ���� �� ���� �� �� ��������� ��� .1I$II/� �%� � ��� ����� ������� ���� ��5����" ������ ��������� �� ����������� ����������,#� �������� $ .��#� / ���� ��� ��� ��������� � ���

��������-��� ���� ������ ��� ���� ���� ������ ����� ����� �� ��� ���� ��� ?��� ��������� �� ,����� ��� � ���������-���� ���� �� � �� �������-�� �� ������� .1$/ �������� ������5

��#� ������ � ��#� ��+ � �

�#� +�+$ .'/

D���� 2�����L %" �� 2+

����M% �� ���� ��������� �������� ���� ������ �� ��� ���� ������ � �+

� �� ������� �� ��������� ��� ���� ���� ���� ��� � ��� ���� �� ����� ������� �� ���� ��� ��� ������-���� !�� �� ��� $���� ���� ���� ���� ��� ���� �� �� ��� �������� ��� ��� !��� �=���(�$������� �������� $ ����� ��� ��� ������� � ���

������-���� ���� ��� ����� ���� � ������� ��������������� ����� �� � ������� ��� �����" ��� �!�������� � ���������������8� ������ ���� ����� ����� ����� ��� � !N" �N �� -N���� �� �,������� ���� ������ 6������" � ��� ������ ��� �"��� ��� �������� �� ���#�� ��� � �������� �� ��� ����������� ���� ����������� �� ���� ��� � ������ ������������������ �� �� �� ������ �� ���� �� ��� � ����� �� ������ �������� ��7� A��� �� ����8� ����� ������������� ������ ������� �� ��� ����� � ���� ������� .� �%%% ����/"���� �� ��� EF�� ��������� ������ �� ����� ��� ������ !�� �� ��� � �� ���� ��������� �� ��� �� ��� ����6������" �! ��� �� �������� ��� ���" ���� �� ,���� ������� �=��������( �������� $ �� ��������� ���� ������� ��

������� � �!����� ��������� � ���!�� �� ������� �� ����������� ���� �� ����������� � ������ ��������� ��������� ���� ����������� ���������� � ���� ������ �� �������� "����������� ��������� ������ ���� ����� ����� �������������� �� ������ ���� �� ��� ����� ����� �� ��� �� ���!�� ������ �� ��� ���� ���� ���� ��� � ��� ������ ��������� E��� ��� �� ��� ��� �� �� � ��� ������ �������"���� ����������� ���� �� ����� �����+8�

�� �� ������" �� ��������� ��� ��� ������� .���� 4�"� �/" ��������� ��������� ������ :% .��/ �� ����� ��� ��� ���� ��������� ��� � �� �� ��� ����� ����� �� ��� ������ ��������� ��������� ��������� ������ ����� ������

C���� �,����� .+/ �� ��� �!�������� � ��� ���� ���� �����%"?D ����� ��� ��� ?������D������ ����� �!������ ������� �����������+��" 7� A��� �� ����8� ��� � ����� ��� �� ������� ';������ ���� ���� ������������� �� ���������������� ������������ �� ��� �� � ��� ������ ��� �������� ����� ������� ����� ���� ���� ������� ����� ���';������ ���� ���������������������������� ������������� .���� �� ��� ����� � ��� ������� ��������� �������������/ ����� ������������ ����� � ����� ������� � �� ������ �� ��� ������� ���� ������ �� ������ ������������� � ��� ���� �� ������� ��������� �� ��� ��������E��� ��� ���� ���� ���� � ��� ������� �� ��� ���� ������������ �� �������� �� ��� ��� �� ������ �� ����� ��� ���� ��������� �� ��� ��������� � �� ������-�������� ������� ��������� ��������������� ������������ ���� ���" �� ��� �� ������� ��� ������� �������� ����������� �� �� �������� ��� �� ������ ��� ������������� �������� .���� �� �������� ������� ���� ������ �����/"��� � ���� ��� ������ ����� ������ � �� ������������-���� ������������� ( ���� ������� ����� ����� ���� �� ���,�� ������� �� ������ ����� ������� ��� � ������ ���� �������������"�'%� ���� '��<� .4��@�/ �� ��������� �������� ����.4��?�/ �������" �� ���� �� ������� ������ ��� ��*����� � ������ �����������" � ��� ����� �� ���� �����

,! ����� -���������� �������������& .�� /0 1�.�����2��4������ �������� ������� ����� �� ������� �� �������

���� � ��������� ������� �������� �� ��� ������ .9:40;/����� ��� ���� �������� �,������� � ����� ��� ������������ �� ����� �� �� ��� �������" ������ �������� ���� �� ������� ���� �������������� �� ���������� ���� � ������ ��������� �� ����� � ������� ��������� ���� � ���� ������� ���� ��-�� ������ ��� �� ���� �� �� ��������� ���� .������� � � �� �� ��/" ���� ���� 0�����" O()���� .�G <'+ ��" ����� ������� � �� ��" ��,��� � �% 6-/"�� ���?������ ���� .�G �8% ��" ����� ������� � �� ��"��,��� � �% 6-/ �� ���� �� �����-� ��� ����� ��� ��������� ��� ���� � ����� . ��� �/� 4������� ���� ��� ����������" ���� �������� �������� .6�" ' �� $ ���" ����� ������� +%% ��<%% ��/ �� ���� ��� �� ��� ���� � �� ������ ��� ��� ������������ � ��� ����� ��� � �� �� �� ���� ������� ��� ��� �����,������ ��������� ����� �� ������-�� �� ������������ �!������ �#��� �� � � ��� �!�� ��--�� � ������� �� ��� ��� ����� � ���� ���� � ������ ���� � ������ �� ����� ���� �������� ���� .������" ����������/�� ����������� ������ ����� �� ���� �%�% 2*���� ����������� ������� � ������� ���� �� ������� �� �����,��������� ���������� ��� ��� #���������� � ��� ���� � .���� ������"�� ������* ��������� �� ���" ���� ������� ���� ������"�� ���������� � ��� �� ������ ����� �� ��� ���� � �� �����--��/" �� �� �������� �� ������ ��� ������ ��-� �������������������� �� ��� ���� ���������� ���� � ����� .�H / ����

��������

���

������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� � +..45��666����"7�0$��%��� � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� '((

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

��� �������� ������� ���������� ��� ��� �#����� . ��� �/��� ���� ��" ������ ������� �� ����������-�� ����� ��������! �������� ����" ���� ������� �� ������� � �������� � � ��� �H ������ (� ���� ����" ����������-���� ������������ �� ���������������� �!��������� � �� ��������� �� ��� ������� �� �� ����-� ����� ���� ����� ��������������'��

�� ��!��� ������ ����� ���� .���� �������� / �� ��� ������" ���������� ��� ���� ��������� ���� �� ��� ��� � ������� ����� ���� ��� ������� �� ��� ���� � �� ��� ������ � ���� ��� ����������� ������ ������������� ������-�� �� ��� ����������� ����� . ��� �/� D��� ����� ����� ���,�� ���� ������� �����" �� �� ���� ������� �������� ������ ������������� ������� .���� 4��?�"�'+�

4��@�"�''� 4��(��''"'=�/ ����� P0?������� .P�������� 0 #�� ������� ?�� �������� � + 7�> ������ ���/ ��� ��������� ������� �!����� ����� ��� ��� ����������� ��� ��� ��������� ����� E��� ��� ���� ������ ?�4�<" 4�1@���1 .���� 1G %�+<"%�<" �� %��</" �� 4�1(���1 .���� 1G %�</ ���#������� �������� �� ��� ������ ���� � �� ����� � ��� ����� ������� ���� ��������� ����������� ��� ����� �� ���� ����� 6������"��������� �� ���� ��� �� �� �� �� � � ����������" ���� � �� ��� ������������� ����������� ������ ��� ��������

(��� ��� ���� ���� � ��� ������ ������� �� �����"���������� �!��������� �� ���� ������� ����� ���� ���

������� �� ��������� �� 9:40;��!���������" ���� ������ ������� ����� ��� ���� ��� ������ ����� �� ��� ��������� �!������ � ��� �!�� � ��� ���� � .� ���%�+ �>��� ���/ ����������� �� ��������� �� ��� C6>����������� ������������ �� ���� ���� ��� ������ ����������H ���������. ��� �/� �� ���� ��" ��� ������� ������������� � ������ ������� .����� )����� �� ���� �� ����� ����� ��������� ��� ���� �����-���� ��������/ �� ���� ��� ����������� ��� ��������� �� ���� ����"��� � ����� �� �� � ����������������������� ���� .%�� ��*������ �� %"� ��*�� ���/ �� ��#���� � �������� 7�������" �� ������������ �� ��� ����������� � ���� ��� ������� �� ��� ����� ��������������� �� ��� ���������� ����� . ��� �/" �� �� �������� ������� � ���� � ������� �������� �� ������ ���� �� .���������� " ��������� �!�������/� �� ���� ��� ��" ��� � ���� ������ �� ���� ���� �� �����������" ��� �� ���,������� �������� �� #��� � ������*����! ������" ����������� ���� ��������" �� ���� ���� � ������ �� ��������� ����� ������� �����" �� ���� ��� �� ���� ���� �� ������ �� ����-�����" ���� � ������� ������� .������ �� ���������� � �� &/ �������� �� ������ ���� �� ���� ������������ ���� ������������ �� ���,��5 ���� ���� � 4��?� ��������������� �� �������"�'+� �� ���� � 4��@�"�''� �� 4��(��''" '=�

������� �������� �� ���� �� �� �� 7�H�

'! *�������� ��������������� �� ��� ��������� ������?��� ���� �� ����-����� � ��� ����� ������� ���������

�� ��������� ���� ���� ����� ���� �������� ����� ���������� �� ���� ���������� ����������� ��� ���� ��� ��� ��� .6P�:7/������������ �� ��� ��� ����" �� ���� �� ����� ��� ���" :;Q ������ .:����� ;��������� Q����/ ������������ �� ����� ��� ����������� � ��������� ��������� �������� ����� ���������� ����������� ���� ������������ �� P0?������� �� ���� ����� � ����� ������� �������� + 7�> ������ ��� ��� ����� �� �� >� �� )� �������� �� ���� ��� ��" ���� � ������� �������� �� ��������� ���� �� ���� ����� 4����������� ���� ��������������� ����� )�?(Q? .)�-��� �� ���� � ?��� (����Q���� ;�� ����/ �� )�D(Q? .)�-��� �� ���� � D���(���� Q���� ;�� ����/ �� ���,��� ���� �������� �� ���� ����� � ����� ������� �������� �� ��������� ����� ���''� � :?P �)������� .:������ ?�� ������� P������ �������/� (�� ��� ������� ������� �� 4��?�" 4��@� �� 4��(������ ������� �� ������-�� �� ���� ��?� �# (�� �- �# ���,� �$�����'+� � ��������� ������� ����

��� ������� � ���� ' �� = �� �!�������� � ��������*���������� ���� ���� �� ��������� ?�� � ��� ����� ����������� � ��� ��������� ������� .4�*?� � =�3/ �� ��������� ��� ��������� ��� .4�*?�G</" ���������� � ?������ ���� ������ ��� � ���� �� ��������������� ���������������� � ��� ���� ��� �� ����� �� ������� ��� ����������� ������������� � ��� ��������� �������" ���� ������� ���������� � ����������� �� �� 3=% 2 �� �������� �� ���� �� ���

��������

���

'(3 � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� +..45��666����"7�0$��%��� ������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� �

!�=� *� ,(#����( ��A �- �# (����� =������ ���� �� � (������ ���� �� ���������4���� =�� (���������� ����(� ����(���� �� � ��� �- -��=#� ���� � (������ -�� �#������ �- -� (������ ��� � )"��� ������� (#���� -�� (����� ������� -��� � ��������� �# ����( (�� � ��� A��# �� �� �A� ��� ���� ����4���=������=���� -�� �# ����(���� �- �� (������ �� A�� �� ��1� (������� ,��(#���(�������� �(#��%�� �- �# -���� �� �������� �� ���� �� )"�2 +"�����--��(�����$� ,� ��! ��� -��� ��(���(� $� J�,�?,, � (������$� �)"�������-� �$��� �� ��� -�� ��� � �����-�� �� 1����� %�� ����� �� �(�������� �� ������ �� ���� �� )"� �� ��� -�� (��� ������� 1 ������ �� ����( -���� �-(������ ����� �� ������� �����

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

C6> ������ �� ���� ��" ���� �������-�� ������� ���� ��� ������� � ���� < �� � �� �� �������� . ��� +/�C����������" ��� ��� ��� ���� ������ �� �� ��� ��� ����� ����� ��������� ��� ��������� ���� ��� � ��� ���� ��������� ���� �� ��� ��� ��� � ����� �� �������� ���������� 4��?� ����� .���� ?�4�<" ?�+4���" ?�4��/" ��� �� ��� �� ��!���� ���� ����� �� ������������ �����������?�" �� ����� ��� ����� �� ������������ �#�� �� � ������ ���� ����� ������� �� ���� ��� ���� � ��!���� ���� ����� ��� ���# ?�4�< �����?� �# (�� �- �# ����� �$����''� ���� �������-�� ��������

���� ��� ������ � ���� + �� �� ���� ��� �������� �� ���������� ������ . ��� '/ �� �� ������������ 7�������" ��� ����������� � ��� ����� ������� �� ���� �� ��� ������������� ���� �� �� ��� ������ ���� ����� �� ���� . �� &/ ��������� �� ���� �� 6������" ��������� �� ��� ������������� 4���� � �� @���� � ������� ��� ���� � ����� �� ���

���������� 4�%�<%@�%�<%" ��� (������ �� �������� . ��� '/����� ���� ��� ���������� ��������� �� ������� �� ��� ��������� � ��� 4��@� ������ � ���� ����������� �� ��� ��� ��� 4�%�+<@�%��< ������ �������" ��� � ��������� @�������� �������� ���� ���� ����� ������ ���������� � ������� ��� �� ����� ������� ���� � ��� ���������� �!��� �� ���� ���������� �� ��� ���� ����� � ��� ������ .(� �� 9�+�����/� �� ��� 4���� � ���������� 4�%��<@�%�+<" ����� ������� �!����� ��� ���� #���� 9�% ���������� ������������� ���� ����� ��� ������� ����� ���������� � ����������� .� 4�%�3+ @�%��3" ��� ��� �/ �� ������� �� ��� ��� ������������ �� ���� ������� ���� .4�%�<%@�%�<%/ �� ��� ����

��������

���

������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� � +..45��666����"7�0$��%��� � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� '(4

���� *� ,�����$ �- �# ����(����� (#���(��������� �- �� � ����� ������� �����$ (������� �#� (������ �� �-���� �� �#=�� #�� ����= � (������ ���� �� ������������� =�� (���������� ����( ��� ����%����$ � ����� �� �# �������=�� ��������� ��������� �� ���� �� ����� �� )"� (���������� �# (�� �������� �- �# ���F ���=������ ������ �� �# (���������( �� =��� �� A�� �� �# ��� ������� ��� �����( (�� �������� ������ �� �� � ����� �����$�(������� �#��� �- �#�����$�(������ ��� �=�=����� --(�� A#� ������ �� ���� ����(����

������ �� ��� ������� ���

������ ������������� �� �� ��

������

4�<?� '�$ 3'& ��& (��������

.?����� � ����������/

4�%��<@� %�+<4�%�<% @�%�<%4�%�+<@�%��<

+��+�%+�%

3+& �3&<3& =+&'%& �%&

9�%(�

@�

.@� ��� � ����������/

4�%�<% (�%�<% '�= <�& ='& 4� K (�

.(����� � ����������/

!�=� 0� C�E �� ����= �- ,���9 (������ � ����� �� ��� (���� (� � =��� �� ������ ����� ��� ����%����$ ������ -�� 68 ��� �� 578 �� C�E �� ������������� ��� C(E#�=# ��������� ��(��=�� # -��� �� =����� �# �(���� ��--��(���� ����� �� �#�A� ������ �� C�E�

!�=� 6� �� ����= �- ������� ��8�98��8�98 �����$ (������ � ����� �$ ����� �� ������ #����(����� (���� =��� �� ���� �� ����� C�E� ��� (���� �����= ���#����=��� C�E� �# ����� ��� �� C�E (���� ���� �� �# -���� ������������ ����= ���=������� �#� � �# ��� ������ �- �# (������ C��E ��� �������� ����������=�� ���(� -��� �#�� -���� ������������ �� ���(��$ ����(��� �� �# -�=�� C�E� �#�������������$ #�� C(���( �*� #��E �� ����(� -��� �# �(���� ��--��(���� �����C(E ��� �# "+�� ����=� �- ��� ��(�� (������ A��# �# (���� �����= ������������� ����� �� C�E�

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

����� � ��� 4��@� ������� ���� ���� �� �!������ �� �������������� ������������ � ���� ������ �� ������ �������� ��������� ���������� �� ��� ��� 9�% �����?� �# (�� �- �# ����= �$����''"'=� ������� ���������� �

(������ � ��� ������ ��� � �� �������� ������ �� ������������������� � ��� ����� ����������� � ���� �� ��� ������� ��� ���������� �� ������� . ��� =/� 6������" ��� ������������ ���������� � ��� ������ ������� �� ���� �� ��� ���������������� ������ ���� ����� �� ���� .� ��&" ������ �/� ���������� ��������� �� 4��@� �������� E��� ��� ���(����� � ���������� �� � �� �� �������� ���� ������������� ����� ������ �� �� � ����� �������

$!�������� -��������� �� ����������������������������;�������� �� ��� ���� �� �������� � ������ ������

������" ������ ���� ������ ����������� �� ���,��� .����?BC�;" >?7/ ���� ���� �� �� ����-� ��� ��� �� ������ ��������� � ��� 4��?�" 4��@�" �� 4��(� ������ �������������� � ��� ����� ���� �� ?� ���� '�?� �# (�� �- �# ���,� �����$ (����� �$���� ��� ������

���������� � ��� ���� ���� ������� ����� ����� ��>������� ?���� 7���������� .>?7/��'+� ��� ��������������� �� ������� � +%2 �� '%%2" ��� ���� ��� '& ?��4� �������*������� ����" � ��������� . ��� <.// �� ���������� �� ���� �� C6> � ��% 2" �� 3=% 2 . ��� <.�//� ��� ������ �� ��������� �� ����� ������ �� �� � ����� �������� ������������ �� ��� �� ��� ��� ����� . ��� +/" ��� �������� ����� ������� ������ ���� �� � �� � ������ ���� ����� ��� ��� ��� ������ ��-� �� ������� ����� ���� $ �� �� ��� ������ ���� �� ������ ������������ ���������� ����! �� ����� �� ���� �� �� ��� ���� ��������� ��� ��� ���� ���� ������� ?�� � ������ ���� ����������� � ��� ������ ��� � �� � ��������� ������ ���������� �� ?� ���� =" �� � �!�� � �� ����� ��� ����� ���� �� .���� ������� �� ��/ �� ��� �� � 4��?�*E� �����

P�������� ���� ������ ����������" ��� ���������������-���� .7� � �< ���* �'/" ��� ��� ��� ���� �� ���� ���� ��� #��� ���������� �0 ����� ��� ���� ����������" ��

�������� �� ?��4�� ������� �� � ��������� ������. ��� <.//�6������" ������ �� ������������ � ��������� ���������� �� �������� ��� ������� �� �� 3=% 2 . ��� <.�//"���� ������� �� ������ ���� �� �������-��� ��� ��������������-���� 7� � +% 2 �� ����� �� �� <% ���* �' . ��� $/��� ��� ��� ����" ��� ��� ��� ����6 �� ����� �� �� %�%3% � �+% 2 �� %�%<� � � ���� ���������� . ��� �/� ?� � �������������� ��������" ���� ��� ������ ���� ��� ���� ������������� �� ��� ������� ���� �������" �� ,���� � ��� ������ ��� ���# ��������� ?�4�<������

�'<� ���� �� �� ������������ ��� ���� �������� �:7�������� ������� ��� ����������� �������� � ?�4�<� ��������� ���� ���� � ��� ������� ����������� �� �� ���� #���� ��� ��� � �� ��� ���������� �������� �� � ������ � ����������� ��� �� ���������� ����������� 6������" ���� ���� ���� � ����� ���� ��������� ���� ���� �� ����� � ������ ���������" ��� ���� ��� #��� ���������� �0 � ������� ��!�� 4��?�

��������

���

'3# � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� +..45��666����"7�0$��%��� ������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� �

!�=� :� �� ����= �- ������� ��8�98�=8�98 �����$ (������ � ����� �$ ����� �� ������ #����(����� (���� =��� �� ���� �� ����� C�E� ��� (���� �����= ���#����=��� C�E� �# ����� ��� �� C�E (���� ���� �� �# -���� ������������ ����= � ��=������� �#� � �# ��� ������ �- �# (������ C��E ��� �������� �������� C��=��E���(� -��� �#�� -���� ������������ �� ���(��$ ����(��� �� �# -�=�� C�E� �# -((�� ����= (�$������� #��� �� ����(� -��� �# �(���� ��--��(���� ����� C(E �� �=����A��# �# �����= �=�=����� �- �=������ �� �# (����� ���-�( C�����$ (������ A��# �(����#�� ��� #���=$E

!�=� 9� �, ���=�������� ��������� �-���� �� 08 � C�E ��� �� ���� �� ����� C�E �� -���� �- ������� ,����(������ C����� (��(�������� � 6K ����E ����� �� �������� � ����� �� �� #�� ��������� �� ���� �� ������ C�E ��� ����� -���� ��� C�E �-�� �������= -�� 68 ��� �� 7:8 ��

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

��� ������� ����� �� �� ����� ��� ���� ������������� � ���! ������� �� �� � ���� ������ ���� ���� �� ��������"��� ������ ��� #��� ���������� � ���� 4�� ������� �� ������ ��-������ �� ����� +% �� '% 2"�3� ������-��� ���������� ���� � ��� ��� ���� ������� .?�/ �� ��� ��� ����� ��������?� �# (�� �- ����� �����$�(����� �$����� ?BC�;�

������-���� ����������� ���� �������� �� ����� ����� ������� �������� �� ���������� �� .���� E�"?�" 7�H/��3"''� �� �� ���" ��� �� ��������� � �������.� �� & ����/ ���� ����������� ���� ��� ����! ������� �� ����� ������� ������ ���� �� � �� ����� ������ �� �� ��� ����� ;���������� �� .������ " ������"�!���/ ���� ����� �� ���� ��� �������� ����� �� �� ���� ��� ������ ��������� .���� �������" �!�������� ��/� �� 4��@���!�� �������" � �������-���� �� �������� ��� '� 4� �� ��� <� @� ������� �� �!�� ��������� �� ���� ������-���� �� ������ ������������ ������ 7�������" )� @���� �� ���'%"'$�'8� �������� ���������� ��� ������ ���� ���� ������� .�?/" ������������� .�9/ ��7(:�4�7� ������� .7G@�"P�/" ����� ������# � ���� ��������� ������������� �� �������� ���� �������� ���� ����������� ��� ��� ����� � ���������� ����� ��� ���� ��� ���� ���� � �� � ���������� ������ � ��� ��� � �� ����������� ����� ���� ����� � ������ ������� �� � 7(: �������� ��� �������� ���� ������-�� ��� �������� �� � ���� ���� ���� �� ����-����� � ��������

���� �� ?� ���� =" ���� ������ ������ ����������� ����������� �����

?BC�;����������� �������� �� 4�%�<%@� %�<%*E� ������� ����� ������ �� �� ���� � ��� ������ ��� #�������������� �0 �� �� <% 2 . ��� 3.�//" ������ ���� ����0����� � ���� �+ 2 ���������� ������� �� ���� 4�� ������� ���� ��� ��� ��-� �������� �� ��� E������!��3�

6������" ��� ������ � ���� ���� ��� 4�%�<%@�%�<% ������ ������ .�������� + ��" (������" ��� ��� '/ �� � ��������� '%% ������ �� ���� �%%% ��� ���� 4�� ������ ���� ������ ��-� . ����� ��� � �������/���8� ���� ����� �������-�� ��� �������� ���� �@������ �� ��� �� ������ ��������� ������� ��� ������ ��������� �� ����,������ ������ #��� ����������� E��� ��� ��� ��� ��� ��� ���� 6 ��4�%�<%@� %�<%*E� ������ �� ����� �� �� �<% H� � ������������� �� 7�*7�G %�=' . ��� 3.//� 6������-���� ��� �� �������4� ��@� �� ������� � ��� ������ � ������ ������ ���� �� �� ��� ������� �� � ��� 7(: �� ������ ��� � ��� ������ � � ������ ���������� �������� D���4�%�<%@�%�<% ������ ������� �� �������� �� ����� ����� ����� �� .���� ?�" 7�H/"�''" =+� ��� ������ �������� .6 " �0"7�*7�/ ��� � �������� �� ���� +� 7�������" �� �������� �������� ������������� � �� ����� ������������� ���� ��� ����! �������� ���� ����� �� ���� �� ��� ��� �����������! ����� �� �� �� ������������� ������������� ������� ����! ���� E��� ��� ��� ������� �������� �� ���� + ������� ������� �� ������ ������� ���� ���������� ��� ���� ����! ������� � %�%� ��*�� (� ��������� ���� ��?� ���� '" ���������� �!��������� �� �������� �� C6> ���������" ������� �� ������� ��� ��� ������� ��������

��������

���

������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� � +..45��666����"7�0$��%��� � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� '3

!�=� .� ��������� �- �# ���������� ��=�������� � �� � -��(���� �- �# �� ����� �-�# ��� �������= ������� -�� �# ���,� 4'� -�����

!�=� 5� ��������� �- �# (��(�� -���"( �� �# �� ����� ���= *8B688 � �����,�4'�-���� �� � ����� ��� -���� ����%����$ ������ �� �� ������ � �� 958 H�

!�=� 7� ,L)?����=�������� ��������� �� -���� �- ������� ��8�98��8�98 �����$�(����������� �� � ������� �����1� C�E �#���(������( #$������ ��� ������ �� *8 �� ��� C�E M!����=�������� (��� ������ A��# � *8 �� � ��� ��=���( -���� ������ (��(��������� A����#� ��A �� ��� (��� C� � -A K ����E �� ���� �� ����� (������(����� (����(�( --(���

���� 0� �=���( ������� �- ������� �����(������4�����1 �$����� ,�� �� ������ �� �#��(�� A� � ��� ����= � � ������� ��� �- �# �����1 �������� �- 8�8* ��4��

�������������� ������ �� �� �� ��� �� �� �

4�%�<%@� %�<% *E� �<% H� %�=' <% 2

4�%�<%@� %�<%*7�H �%% H� %�+= '3 2

4�%�<%@� %�<%*?� =%% H� %�+= <% 2

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

�� � �!��� ����! .���� 7�H/" �!������ �� �� � ��� �����������! ����� � ���� �� ����� ��� ������ �� ��������� ������� ������� ��� ���������� ��� �� ��� �������������� �!��������� ��� � ���� ������� � ��� �������� ���� ������ ������� ���� ��� ������ ������ ������=%" =��

!�� �����$ ��8�98 �=8�984'� (��������� ����'=� ��� ������ �� ������� � �� ������ � �� ����� � ���� ���� �������������� ��� ������� .� ' ��" � �'%% ����/ �������� ���������" ����� �0 �� ��� ���� �%��< 2 �� ��� ��� ����� �� ������� � H������� ���� ������ ����� ������� �#������� ���� ��� ���� � '<& � 4������ �� ������ �� ����4�� �������*E� ������ .�� ��� � ��� 4��E� ������� �� �� ��� �����������! ����� � � ��� ������ � ��� ������� � ������ ��� ��� ����/"�+%� ������ �� ������� ������� �4������ ��� � ��������� �� ��� ������ ���������� �� ����4�(�*E� �� ���� 4�*E� ������ �������� E�����������" ���� ��� ��� �� � �� ����� ��� �� ��?BC�; ������������� ��������� ������� ���� ���� ��� =�������� ��������������� ����� ���� �� ��� 4�(�*E� ������ ��������� �� ������� ������ ��������� ��������� �������������3"�8�

(������� ��� (������ �������� � ��� ������ ��� ����������� ��� ���� � ��� � ������� ��� ������ ����� ��� ����������� ����! �� ��� ����� �������" ���4�*(�*E� ����� � �� �� �� ��������� ������ �� ���4�*E� ���� �� ���� ��" ���� �� ��� � ����������� �������� ������ �� �������� �� ��� ����� �������������������� =�� ����� ��������� ����� �� ����� ������ ���

( ������ �� �� ���� � ��� ������-���� �� ��� ������������ ����� 7�H � ��� ��������� ������'=� ���� ����������� ���� �� ������� ������ ���� �!������ �� �� ��� � ���� �#�� �� � �� ��� 4�� ��� ��� �� �!���� �������������� ��� (��������

+! ���� ������� "��%��������������� ������������ 1������ �������� ��1������������� *���������(���� ������ ������ ������ ������� �������" ��� 4��@�

��� ����� ��������� �� ���� ����� �� ���� ������� �������� �������� :��� ���� 4�%�<%@�%�<%� ������� ���� ��������� �� ��� 4��?� ���� �� ��� �������-�� ��� ������� ������ ��� ������� �� 9:40; �� ��� �� � ��� 4��@� ����������� �� ��� �� � 4��?� ��������� �������" ���� ���������������� �� �� ����� �� ������� ����� ����������� �� ��������� ��� #��� ����������� �� ���� ����!�" ��� ��� ���� ����� ������ ���������" ��� �� ��� ���� � ��� ������� ��������� �����-� �� � �� ������-�� ������ ������� ����� ���� ������-�� ��������� �� ������ +;������-�� ���� � ��������������� ������ ������� ����� ���� ���������� ���� � ��������" ���� ���� �� ��� ���� � ��� �����*��+

�� ������� � ��� ����� ��������� � �� ������ �������� ��� �������� �!��������� �� �������� � ������� �� ���

�� ������ �������� ��� ��� � ��������� ���������������������� ����� �� ���������� � ��� ������ ������� ���������� ��� �� ����" �� �� ����� ����������� ��� ������� ����

��-�� � ���� � ���������� �� �� �������� � ���� .� ��� �� �� �� �������/ � ����� ����� �� ��� ��� � ����� ��� ��������� .���� 6H@)�������� ��������/��==� 7��������" ��� ������� ��� ��� � �� ����� ���� ��������� ��������� ��������5 ��������������� ����� ���� ����������� ��� ����� � ��� ������ �� ��� ��������" �� ���������� ��������� .���� �� ����� ������ ��!" ���������� � �����������/� E������ ���� ������ ��� ��� ��� ������� �� ������� ����� �� ��� ������ ��� �� ��������� �� @� A������==� ������� #����� 7���� 4��� ;;(������ .;����������;�������(��������/ �������� �� ������� ��� ������� ����� ��������� ������������� H� ��� ���� � ����� �������� ��������� ������� � ������� �� ���,�� �� ������ +;������-������ � ������� ����� �� ������-�� ��������� ����������+;����� � ��� � ��� �� ��� � � � ���� �� ��� ������� �������� �� �������" ���� 9:40; �!��������� ���������� ������ ������� � 4�@�� ������� �� ����� �� 6H@) ��������� ����� ��� ��� �� ������� ������ ���������������������� �� ����� 8� ���� �� �������� �� ����� �� ��� ������ ���� �� �� ������-�� ��������� ����� ��� �����4��@� �� ������-�� ������ ������*6H@) �� ������-���������� ����� �� �� ���� ������ �� ��� ��������� ����� ������� ������ � ������ �����

�� ������-�� ��������� ������ �� ������� .6H@)/�������� �� ��� � ���� �� ��� �� .���� ��� �����" ���������/ ����� �� �0 . � ����� ��� 0��/�=<� � � ���� ����� ��������� ������� ��� � ������ ( �������� ����� ���� �0���� � ������������ �� 6H@) ��������� �� ����������� � �� ����� �����=$� ��� ������� �� ��� �� � �0���������� �!�������������� '% #�>)K����� �� ������-���� ����� �%� �� �� ��� ��� ���� ����� ��� ��� �0���� ������������� �� 6H@) � �� ����� ���� ��������� ��� ����!��������� ��������� .�����" ������" �� ��������� � ������ ���/" ����� � ��� �������� ��������� ��� � ��� ��� ������� 4�� ������� �!������ ��� �� �� ��� ��� � ��������� �� �������� �� ��� ��� �������� ���� . ������������ �� �������� ����*�����" ��� ����� �%.�" // ��� � ������� ��� ��� � ��� ����� �� ��� ���� �������� ���� .� +��%= ��+��%< ����*�����" ��� ��� �%.//� H ����� �� ��� 4�@�� ���������������� �!���������������� ����� �� ������-��6H@)�

��������

���

'3" � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� +..45��666����"7�0$��%��� ������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� �

!�=� /� C�E ,(�����= ��(���� �(���(� $ C,� E ���= �- ����-�� (�������������-���� �$ ��8�09��8�59 �����$�(����� � ������� ��� ��--����� �� �# "<�;��������� ��*88 H� �� )"�� �# � ������� ��� A�� !N 6�6 *8B0 ��4�� ��� �# ����� %�������� ����� �#�(F��� A�� 8�0 ��� C�E ������������ ��(���� �(���(� $ C�� E ���= �- �����-�� (������������ �#�A��= �# ��� #���=$ �- �# ����(#� -���� �$ G�1�� ��������- ���������� (�������

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

��������� ���� ��� ����� �0���� � �������� �� ����� �� �������� ����� �!������� � ��� ������ ��������������� ��������� �� ������� � ��� ������� ������� � ����� ��� �������" ��� ���� ��������� ������� ��� ����� ����� �!�������� ��� �0���� � �� ��� ������� �� ��� � �� ��� ������� ������� �� �� �� �!����������� �����������

�����" �� �������� ���� #�������� ��������� �� ������������ � 4�@���� ������-�� ������ ������� �� ������������ � �0��� ������-�� 6H@) ��������� �� ���������� �� ����� � +;������-�� ���� � ������ �������������� ���� � ����� �� ����� ��� 7��� �� ���� ��� � ������ ��������������� ���� ���� �����-�� �� ����� ���� �������� ��� � � ��� 6H@)���������.� %�� R %�� ��+/ �� ������� ����� ���� �� ���,��� 6������"���� ������� ������� �� ��� ������� ��� ���� �� ������������� �� ��� �!���� ��������� �� ����� ��.�/� ������������ �� ������� ��� �� ������� ������ �� ����� �������� �� �!������ �� ���6H@) ��� � ���� �� ���� �!����������� ���� ��" �� ����� �� ������� ��� ,����� � ��� ����������� ��������� � ��� ���������*������ �����*��� ������ ����������" �� ���� �� C6>" �� �� ���������

;�������� �� ��� ������� ����������" �� ������� ������� ������ ��������� ���� � ������� � ��� ������� ������� �� ��� ������� ��� �0���� �� �� �����,����������� ����� �� ����� ��� �� .�� ����� ��������� ��� ������ �/" ����� ��������������� ���� �������� ������ � ��� �0���� �� �� ��� ����� ��� � ��� . ��� ��. //� ?������ ���� ������ ���������� � ��� +;������-�� ���� ������������ ���������������� �� ���,���" ���� 7 7 .7����� �� �7� ��� ���/"�=�� :6: .:!��������� 6�� :� �/"�=3� Q74; .Q�P� 7����� 4�� ��� ;� ������/"�<� 7H2: .Q��� 7������H��� � 2��� :� �/"�<� �� �� ���������

(! ��������H� ��� �!��������� ����� � ����" �� ������-��������

������� ����� ������� ����� ���� ������ ���������������� .9:40;/ � ������ ������� �������� �� ��� �-���� ����� ���������� 4�����! ������� ���� �� �������������� �������� ���� .�7�P:/ ������� .���� 4��?�/" ���7������ ���� .���� 4��@�" 4��(�/ ������� �� �� �������

��������

���

������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� � +..45��666����"7�0$��%��� � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� '3,

!�=� *8� � �! ���=� C0�9 �� O 0�9 ��E �#�A��= ��� 1�� �� �- ��=���� ����$� �- �-(�� (���� �$ !?�C68 F� ;�P���� ���E �� "<�; ���������� �# �����(��$ C������( ��A� �-(��E �� 688 �� �� ��� (��� ��� �#;�P���� ���� � ���� �� C�E 98888 ����4 ����Q C�E *8888 ����4 ����Q ��� C(E 9888 ����4 ����� ?��=� �- �����������-(�� ������ �� #�=#���=��-�(����� �� =��� �� ������ �#���(������(� �-(���� #���=�� -���������� � �� �#��A ������� ���= CC�E� C(EE �� ����(����� �� �# #�=# �����������= C�E �� (����$ �������

!�=� **� � �! ����=�2 C�E 6�9 �� O 6�9 ��� ��� C�E 0 �� O 0 ��� �- ��8�98��8�98 �����$�(������ � ����� �� !?��-��(�������� "<�; �������� �� 956 �� �# %������� �#�(F��� � ����� �� 8�0 ��� �# �����(��$ �- �# !?���-(� ����$ ��688 ��� ��� �# ������� �� *�*8: 68 F�;�P�����4 ����� "�=#� ��=��-�(����� ���= C8�9 ��O8�9 ��E �� =��� �� ���� �� C�E� �� (�� �(� (������������� ���� �� ������ �� C(E C0 �� O 0 ��� ��� 8�9 ��O 8�9 �� �� ����E �-�� �������= �� ���� ��)"� �� � �� ����� �- /98 ��

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

������� ���� ����� ���� ������ ��-��" ���� �����" �� ������������ 7����� �� ����-����� � ��� ������ ���� ����� ��� ���� ������ ��������� �� ������� � ������� �� ������ � �������� ��� ���� �� ��� ������ �������.���� 4��?�" 4��@�/" ������ �� ���� ��� #��� ����������� �������� ���� ����� ���� ����� �� ���� ������� �������� ������� �� ��������� �� �� ���� ����!� � ���� �����"������� ������� �� ������� �� ��� ��������� � ����������-������� � �� ������-�� ������������ ����������� ���� � ���� �� 9:40; � ����� ��� ��������������� �� ��� �� ���� �� �0��� ������-�� 6H@)���������� ���� �� ���� ��� ������� � ������ �������� ����������� ����� ���������� �������� ���� �� ��� �������� ����� �� ���� ����� �� ��� ���� � �������� ������� �������� ������� .� �����*��+/� �� ��� ���� ��� �� � ���9:40;�������" ���,�� ������������� �� ����� �� ��� ������ .�� ��� �,��������� ���������/ �� �� ������-� ��������7�������" ���� �������� ����� �� ������ +;������-������5 .�/ ������ ������ ��������� �� ��� �� ����" �� .��/ �0��� ������-���� � ��� ��������� �� ��������� ������������ ������� ���� ���������� �� ��� ��� �� � ������� ����������� ����������

4����������� �!��������� �� �������� � ������� ���� �����" ���� ���� �� ,����� ��� �������� � � ��������� �������" ������ �����" �� ������ ��������������� .7(:/ � �����! ������� �� ��� ������� ��������"� ���� � �� ���# �� �������� ������ ��� � ��� �� �������������� � ��� ������ ���������� � �� � �������� (���������� �� ������-� ��� ���������� �� ��� ��� � �� ������� ���� ���� ������ � ��� ����� ����� ������� ������������� ������ �������� ������ ����� ����� �� � �������������

+(���2 �(��� 0*� 088:!���� ������2 ������$ *5� 0889

���� >� ?#������" ?� ?������" )� O��� S���" )� 6�����

����" ;� )�����" A� E�����" '���� !��"" :06" 3<%��+� ?� ?��" 4� 0� 7����" �� � �� �#$�� �###" 79" ='+<��'� ;� A� ?�������" 7� O�" P� ;� 2����" '�������(�� ��� �###"

*0" �%+���=� ?� ?��"4� 0�7����";�D�����" 9� ��#�"(�7����",(��(

!���" 075" �838��<� A� 0�����" ?� 6� 0#��" 4� 0����" A� (� 0� #��" A� @�

0� ���" A� ;�������;���" >� ;�����" 9� ���" ;� 2�� ��#��" (� 2�������" 2� 6� 7������0����" )� 7� @����"(� @���-" H� ����������" 2� E� ��������" A� �������"O� Q��" ,��-� ,(�� + � !��$" �� ������

�$� D� D���������" �� ��� ������� �� ,��-�(�2 ,���(����L������ ��� ����� �#$��(�� �#�����$ .���5 2� 6�7������0����/" ?������� ?����� �� 4������ @���� �"?��������>����" 0�����" !���" +���

��� (� @���-" >� ;�����" A� �������"�4�����" 9� 0������"0 )� @�F���" @� 7F�����" 7� A���" D� D���������"0� 0���" �� '����(�� ������� .:��5 9��� 7� 9�-

7�-�" @����� >� 2��/" 2����� ( ���� @���";����� ��" ��� E���������" !��"" '���

�3� >� ;�����" 7� A���" A� ��������4�����" 9� ���" ?� ?����� �" 7� ��������!" :� 0��������" @� 7F�����" (� @���-" ��+(��+���(# ������� ���� �� �=�������� �=���( �������"���������P���� �E�����#"!��""*"�%��

�8� � ;�������" 0� 4������" 4� (�����" 7� 4� �����"7� A� 4�����" @� P����" @� S�� ���" ��=A� �#�� ?���!��!" :*" =+3$�

��%� A� )���#" ;� 7����" )� ���" A� 9� @������" @� ;��#" � @���" A� O� 7�-��" (� ?������" )� ? ����" A� ����"P� 6����" 4� 4������" A� �� �����" 0� )���" A� 7�)����" �(���(�����( ��=�����= !���" 95B97" 3$<�

���� 4� P� 2� 7����" :� ?� ?���" �(���(�����( ��=�����=�##%" 60" ��'�

��+� 4� 9�������" S� S� D��" � �� �#$�� � �##&" .." ������'� 4� 0����" ,��-� ,(�� + � !���" ::C*B0E" ��=8���=� 2� ?�����" �� 6���" ;� 9� @���" ?� O�����" ��

��($(�� ��� �- '����(��( ��� '����(#����=$ .:�� 6� ?�E��/" (���� � ? ������ @���������" !��$" *8" =���

��<� @�7F�����" 0�7�������" (� @���-"7� @������"7� 0�����"�� +� �#$��%� !��!" 6" +�'�

��$� ;�;�����" 9�4������" @�7����")� 0�����#"�#$�� +������ �###" 76" ��$�

���� :� 0�������" �� E� 2�������" @� @�����" 4� ;� ��" 4� :�0�����" @� 7����" � �� �#$�� ���� !��!" 7*" '%<+�

��3� 6� 6������" S� �������" 7� 7������" �#$�� +�� � �##'"9*" ��%$��

��8� 7� A���" D� D���������" 4� �������" >� ;�����"@� 7F�����" (� @���-" ;� 7����" �#$�� +�� � !��$" ./"+==%��

�+%� 7� A���" D� D���������" 4� �������" ;� 7����" >� ;������" @� 7F�����" (� @���-" �#$�� +�� ���� !���" 7." =$�$�

�+�� (� ��������" �#$�� +�� � !���" .*" �+++���++� 9� EF��" �� �#$�� +����� �#'$" *9" '�$��+'� 4� 4������" @� 0����" �� � �� �#$�� �#&&" .:" <�'$��+=� 0� 6��������" A� P� ;�� ���" �#$�� +�� � �##"" :5" $�+$��+<� P� ?#���#�" A�7�;� 4���" �� ������� ��=������ ,�����

�� ������� ���� �#$��(�" ��������� � @���� � @����������" 9����� � C2" �###�

�+$� D� D���������" �#� �#���" C��������F A����� ������")�������" �� �" �##%�

�+�� 7� ;����" 6� 2 �# ��" ����� ��*%�%8=����+3� ;� (� ;�������" )� 7� D����" �#$�� +�� � �##$" 98" '%����+8� >� ;�����" 7� A���" 9� ���" A� ��������4�����"

@� 7F�����" (� @���-" �� ��(� ,(�� �(#���� � !��"" 0*" �<�8��'%� ?� ;������" A� 7������" )� 7� @����" �� �#$�� �������

���� !��$" *." ?++$'��'�� 7�@������"0�0������" A� 9�>����" A�9���F"7� 0�����"

A� 7�����" (� @���-" �#�� �#$�� ���� �##$" 0*5" '=8��'+� A� ��������4�����" 7� EF�����" 0� 0���" D� D�����

�����" 7� ��������!" @�7F�����" H� 0������" (� @���-" ?����� �- '����(��( !��"" 0" �<�

�''� 9� ���" �#� �#���" C��������F 4���� 0����� 9��� �">����������" �� �" !��$�

��������

���

'3' � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� +..45��666����"7�0$��%��� ������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� �

,�$�- �. �%��/0�1.*���%*-�� %02.�$"�22��'%�� ��&��.*1 ���2.$01.0$�2 3�$ �44%*1�.*��2

�'=� 9� ���" ?� ?���� �" >� ;�����" :� 0��������" �� :�� ���"@�7F�����" (�@���-" � �� ,��-� ,(�� !��$" 00." +$<�

�'<� ?� ?� 7�����" O� 9��" S� ?� ?��" ?� 6� 9���" ;� 4�?����" ;� A� ?�������" �� � �� �#$�� �##%" 5/" <8<3�

�'$� ?� ;������" A� 9� P� ����4���-" A� 7������" )� 7� @����"���� �#$�� �� � !��"" 0:" +'��

�'�� P� )������9���-" A� ;�������;���" )� 7� @����" �����#$�� �� � !��"" 0:" �'�

�'3� A� ;�������;���" 6� ;�����F" )� 7� @����" �#$�� +������ !��"" /*" �8�+%$�

�'8� 7� 7���-�E��" @� >���������)��-��-" A� ;�������;���")� 7� @����"��� ��������� ������� ,(��( !��$"�� ������

�=%� >� @�����" 7� 4� 4�������" )� )����" :� 0��������"�� �=�� �=�� ���� �###" */74*//" '�<�

�=�� (� :� 0��#����-" 2� �#��" �� �=�� �=�� ���� �###"088" <<+�

�=+� >� ;�����" 9� ���" ?� ?���� �" A� ��������4�����":� 0��������" (� @���-" �� �#$��2 ������� ���� !��$" *.C00E" ++'��

�='� � A� (� ;�� 0������" D� 6�����" @� A� 6� 0������" �� �=�� �=�� ��� �##�" /6" <$+�

�==� @� A�����" +�� ��� �#$�� �###" 5* C9E" �$8<��=<� A� )���#" ;� 7����" @� 6�#��" P� A���" 9� 0�� ��

���" 9� 0������" 0� @�F���" @� 7F�����" (� @���-"P� 6�����" A� @� A���" A� ���F" (� 7�����" 4� 4�������" >� 7����" @� D���" A� 4����" � �� �#$�� �!��'" 78" �3��

�=$� 0� @�F���" 9� 0������" ?� ����" (� 6�����" @� 7F�����"(� @���-" A� )���#" )� ���" :� 0������" ;� 7����" � ��,��-� ,(�� !��$" 00." ��'�

�=�� 7� >� P����" P� 7� #����� #" A� @� 0� ���" :� ;���!"��� :������" � �� �#$�� ���� !��$" 79" +%<%�

�=3� (� )�����" (� 7�����" A� ��������4�����" 7� EF�����"H� 0������" @� 7F�����" (� @���-" �� �=�� �=�� ����!��!" 0:*" '=%�

��������

���

������ �� ��� � ����� ��� "##$� '� �� � +..45��666����"7�0$��%��� � ���� ��!"�# ��$%�& ��'# ( �� )���� �*�+�*� '3$

����������������������