Upload
others
View
8
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号84
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
概略仕様、特長など 製品イメージ写真 製品番号 ページ
小型ステージステージ面 30㎜×30㎜移動量15㎜~ 50㎜
ALD-301-HM 86
ハイグレードステージステージ面 40㎜×40㎜移動量15㎜
ALD-4011-G0M
88ALD-4011-G1M
ALD-4011-G1M-S
ALD-4011-G0M-R
90ALD-4011-G1M-R
ALD-4011-G1M-RS
ハイグレードステージステージ面 50㎜×50㎜移動量20㎜
ALD-5012-G0M
92ALD-5012-G1M
ALD-5012-G1M-S
ALD-5012-G0M-R
94ALD-5012-G1M-R
ALD-5012-G1M-RS
ハイグレードステージステージ面 60㎜×60㎜移動量25㎜
ALD-6012-G0M
96ALD-6012-G1M
ALD-6012-G1M-S
ALD-6012-G0M-R
98ALD-6012-G1M-R
ALD-6012-G1M-RS
ハイグレードステージステージ面 70㎜×70㎜移動量30㎜
ALD-7013-G0M
100ALD-7013-G1M
ALD-7013-G1M-S
ALD-7013-G0M-R
102ALD-7013-G1M-R
ALD-7013-G1M-RS
中精度タイプ移動量40㎜~ 150㎜
ALD-604-E1P
104ALD-906-E1P
ALD-115-E1P
中精度、長作動タイプ移動量200㎜~ 300㎜
ALD-220-C2P
108ALD-220-C5P
ALD-230-C2P
ALD-230-C5P
高精度タイプ移動量40㎜~ 150㎜
ALD-904-H1P
106ALD-106-H1P
ALD-510-H1P
ALD-215-H1P
超高精度、高剛性タイプ移動量30㎜~ 100㎜
ALD-903-H1S
112ALD-105-H1S
ALD-510-H1S
ALD-903-H1S-S
114ALD-105-H1S-S
ALD-510-H1S-S
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 85
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
全レイヤーを表示した場合
寸法線のレイヤーを非表示にした場合
中央精機の2DCADデータは多くのCADソフトで利用できるDXF形式です。お手持ちのCADソフトで読み込み、組み込みや寸法確認などに利用することができます。2DCADデータは5つのレイヤーを設け、中心線や寸法線もレイヤーに割り当てられていますので必要のないレイヤーを非表示にすることで装置組み込みなどの確認が容易に行えます。
COLUMN 中央精機の2D CADデータ
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号86
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
X・Yステージ V - C R方 式
20㎜角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。
移動ガイドにV溝とクロスローラを採用し非常に高精度な移動が可能です。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
製 品 番 号 ALD-301-HM製 品 名 X・Yステージ価 格 ¥190,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±7.5㎜ス テ ー ジ 面 30㎜×30㎜使 用 モ ー タ PK513PB相当(5線式ペンタゴン結線、0.35A/相)分 解 能 0.001㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜移 動 ガ イ ド V溝とクロスローラ移 動 精 度 真直度0.008㎜(水平・垂直)位 置 決 め 精 度 0.015㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜X Y 直 交 度 0.010㎜耐 荷 重 14.7N(1.5kgf)質 量 0.32㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ -原 点 前 セ ン サ -リ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホール IC適 合 ケ ー ブ ル ACB-STS2RoHS指 令 対 応 状 況
ALD-301-HM
センサ動作倫理とタイミングチャート
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 87
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
φ18
ステッピングモータ
手動ハンドル
コネクタ
23
13
(150)
2
1818
20
92.5
30
1212
ステッピングモータ
手動ハンドル
6-M2深5
97
30
24
φ18
4-2.5キリ4.3深ザグリ
24
24
接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
ACB-STS2(2m)
ACB-STC-D3(3m)
切り離し
接続ケーブル
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側
ALD-301-HM
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号88
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
ハイグレードXYステージ HG-VCR方 式
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
製 品 番 号 ALD-4011-G0M ALD-4011-G1M ALD-4011-G1M-S製 品 名 ハイグレードXYステージ送 り ね じ 仕 様・ 型 精密ねじ仕様(標準型) ボールねじ仕様(標準型) ボールねじ仕様 スケール付(標準型)価 格 ¥200,000 ¥256,000 ¥676,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±7.5㎜ス テ ー ジ 面 40㎜×40㎜使 用 モ ー タ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.001㎜ 0.002㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜ 1㎜移 動 ガ イ ド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移 動 精 度真直度0.002㎜(水平・垂直)
ヨーイング20sec、ピッチング30sec ヨーイング15sec、ピッチング25sec位 置 決 め 精 度 0.01㎜ 0.006㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ ±0.0003㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜ 0.001㎜運 動 の 平 行 度 0.04㎜ 0.03㎜X Y 直 交 度 0.006㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.5sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.6sec/N・㎝、ロール剛性 0.6sec/N・㎝耐 荷 重 39.2N(4kgf)質 量 0.64㎏ 0.7㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STM2、ACB-STM3ス ケ ー ル 型 式 - GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)ス ケ ー ル 分 解 能 - 5µm~0.05µmス ケ ー ル 精 度 - ±60nm/0.02㎜RoHS指 令 対 応 状 況 -
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
ALD-4011-G0M ALD-4011-G1M ALD-4011-G1M-S
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側ACB-STM2(1.5m)
ACB-STM-D3(3m)
切り離し
ACB-STM3(3m)
接続ケーブル
メカストッパ
原点センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点センサフォトセンサ(N.C.) CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 89
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
30.5
3240111
17
16.525
25
28
1118.5
3240
φ20
φ20
32
2 2432
24
55.541.5
28コネクタ
コネクタ
4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ
手動ハンドルステッピングモータスケールケーブル
手動ハンドル
ステッピングモータ
スケールケーブル4-M3深サ6
ALD-4011-G1M-S
30.5
40111
18.5
2525
16.5
2
28
1118.5 40
32
32
φ20
φ20
24 32
3224
41.555.5
28
4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ6手動ハンドル
ステッピングモータ
コネクタ4-M3深サ8
コネクタ手動ハンドル
ステッピングモータ
ALD-4011-G1M
30.5
40111
18.5
2525
16.5
2
28111
8.5 4032
32 φ20
φ20
24 32
3224
41.555.5
28手動ハンドル
ステッピングモータコネクタ
4-M3深サ8 コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ4-M3深サ6 4-3.5キリ,6深ザグリ
ALD-4011-G0M
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号90
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
ハイグレードXYステージ HG-VCR方 式
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
ALD-4011-G0M-R ALD-4011-G1M-R ALD-4011-G1M-RS
製 品 番 号 ALD-4011-G0M-R ALD-4011-G1M-R ALD-4011-G1M-RS製 品 名 ハイグレードXYステージ送 り ね じ 仕 様・ 型 精密ねじ仕様(対称型) ボールねじ仕様(対称型) ボールねじ仕様 スケール付(対称型)価 格 ¥200,000 ¥256,000 ¥676,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±7.5㎜ス テ ー ジ 面 40㎜×40㎜使 用 モ ー タ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.001㎜ 0.002㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜ 1㎜移 動 ガ イ ド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移 動 精 度真直度0.002㎜(水平・垂直)
ヨーイング20sec、ピッチング30sec ヨーイング15sec、ピッチング25sec位 置 決 め 精 度 0.01㎜ 0.006㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ ±0.0003㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜ 0.001㎜運 動 の 平 行 度 0.04㎜ 0.03㎜X Y 直 交 度 0.006㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.5sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.6sec/N・㎝、ロール剛性 0.6sec/N・㎝耐 荷 重 39.2N(4kgf)質 量 0.64㎏ 0.7㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STM2、ACB-STM3ス ケ ー ル 型 式 - GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)ス ケ ー ル 分 解 能 - 5µm~0.05µmス ケ ー ル 精 度 - ±60nm/0.02㎜RoHS指 令 対 応 状 況 -
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側ACB-STM2(1.5m)
ACB-STM-D3(3m)
切り離し
ACB-STM3(3m)
接続ケーブル
メカストッパ
原点センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点センサフォトセンサ(N.C.) CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 91
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
30.5 28
16.5
φ20
2525
1114032
8.5
174032
111
φ20
2
32 24
32
24
55.5
2841.5
4-3.5キリ,6深ザグリ
コネクタ
4-M3深サ8
手動ハンドル
ステッピングモータ
スケールケーブル
コネクタ
手動ハンドル
スケールケーブル
ステッピングモータ4-M3深サ6
ALD-4011-G1M-RS
40
18.5
111
φ20
2816.530.5
252
25
3240
1118.5
32
φ20
3224
32 24
55.541.5
28
4-3.5キリ,6深ザグリ 4-M3深サ6
手動ハンドル
ステッピングモータコネクタ
コネクタ 4-M3深サ8
手動ハンドル
ステッピングモータ
ALD-4011-G1M-R
40
18.5
111
φ20
2816.530.5
25
2
25
3240
1118.5
32
φ20
3224
32 24
55.541.5
28
コネクタ
4-3.5キリ,6深ザグリ 4-M3深サ6
コネクタ手動ハンドル
ステッピングモータ
4-M3深サ8
手動ハンドル
ステッピングモータ
ALD-4011-G0M-R
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号92
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
ハイグレードXYステージ HG-VCR方 式
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
ALD-5012-G0M ALD-5012-G1M ALD-5012-G1M-S
製 品 番 号 ALD-5012-G0M ALD-5012-G1M ALD-5012-G1M-S製 品 名 ハイグレードXYステージ送 り ね じ 仕 様・ 型 精密ねじ仕様(標準型) ボールねじ仕様(標準型) ボールねじ仕様 スケール付(標準型)価 格 ¥220,000 ¥260,000 ¥680,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±10㎜ス テ ー ジ 面 50㎜×50㎜使 用 モ ー タ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.001㎜ 0.002㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜ 1㎜移 動 ガ イ ド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移 動 精 度真直度0.002㎜(水平・垂直)
ヨーイング20sec、ピッチング30sec ヨーイング15sec、ピッチング25sec位 置 決 め 精 度 0.012㎜ 0.008㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ ±0.0003㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜ 0.001㎜運 動 の 平 行 度 0.03㎜ 0.02㎜X Y 直 交 度 0.006㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.3sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.4sec/N・㎝、ロール剛性 0.4sec/N・㎝耐 荷 重 39.2N(4kgf)質 量 0.8㎏ 0.86㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STM2、ACB-STM3ス ケ ー ル 型 式 - GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)ス ケ ー ル 分 解 能 - 5µm~0.05µmス ケ ー ル 精 度 - ±60nm/0.02㎜RoHS指 令 対 応 状 況 -
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側ACB-STM2(1.5m)
ACB-STM-D3(3m)
切り離し
ACB-STM3(3m)
接続ケーブル
メカストッパ
原点センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点センサフォトセンサ(N.C.) CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 93
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
16.5 30.5
4050121.5
17
252
25 28
121.58.5
4050
φ20
φ20
32 40
3240
55.541.5
28ステッピングモータスケールケーブル
手動ハンドル
コネクタ
コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ
スケールケーブル
4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ8
ALD-5012-G1M-S
16.5 30.5
121.5
13.5
50
225
25
28
121.58.5
4050
40 φ20
φ20
41.555.5
32 40
3240
28
4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ8手動ハンドル
ステッピングモータ
コネクタ4-M3深サ8
手動ハンドル
ステッピングモータコネクタ
ALD-5012-G1M
16.5
30.5
121.5
13.5
50
225
25
28121.5
8.54050
40 φ20
φ20 2841.5
55.5
32 40
3240 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ8
コネクタステッピングモータ
手動ハンドル
4-M3深サ8 コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ
ALD-5012-G0M
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号94
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
ハイグレードXYステージ HG-VCR方 式
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
ALD-5012-G0M-R ALD-5012-G1M-R ALD-5012-G1M-RS
製 品 番 号 ALD-5012-G0M-R ALD-5012-G1M-R ALD-5012-G1M-RS製 品 名 ハイグレードXYステージ送 り ね じ 仕 様・ 型 精密ねじ仕様(対称型) ボールねじ仕様(対称型) ボールねじ仕様 スケール付(対称型)価 格 ¥220,000 ¥260,000 ¥680,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±10㎜ス テ ー ジ 面 50㎜×50㎜使 用 モ ー タ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.001㎜ 0.002㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜ 1㎜移 動 ガ イ ド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移 動 精 度真直度0.002㎜(水平・垂直)
ヨーイング20sec、ピッチング30sec ヨーイング15sec、ピッチング25sec位 置 決 め 精 度 0.012㎜ 0.008㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ ±0.0003㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜ 0.001㎜運 動 の 平 行 度 0.03㎜ 0.02㎜X Y 直 交 度 0.006㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.3sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.4sec/N・㎝、ロール剛性 0.4sec/N・㎝耐 荷 重 39.2N(4kgf)質 量 0.8㎏ 0.86㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STM2、ACB-STM3ス ケ ー ル 型 式 - GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)ス ケ ー ル 分 解 能 - 5µm~0.05µmス ケ ー ル 精 度 - ±60nm/0.02㎜RoHS指 令 対 応 状 況 -
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側ACB-STM2(1.5m)
ACB-STM-D3(3m)
切り離し
ACB-STM3(3m)
接続ケーブル
メカストッパ
原点センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点センサフォトセンサ(N.C.) CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 95
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
40 50121.5
φ20
16.5 28
30.5
2525
4050
121.5 8.5
17
φ20
3240
32402
55.541.5
28
コネクタ
4-M3深サ8
4-3.5キリ,6深ザグリ
コネクタ手動ハンドル
ステッピングモータスケールケーブル
4-M3深サ8
手動ハンドル
ステッピングモータ
スケールケーブル
ALD-5012-G1M-RS
13.5
50121.5
2816.5
121.5
30.5
φ20
225
25
4050 8.5
40
φ20
55.5
28
3240
3240
41.5手動ハンドルステッピングモータ
コネクタ
4-M3深サ8
ステッピングモータ
手動ハンドル
4-3.5キリ,6深ザグリ 4-M3深サ8
コネクタ
ALD-5012-G1M-R
13.5
50121.5
2816.5
121.5
30.5
φ20
225
25
4050 8.5
40
φ20
3240
3240
41.555.5
28
4-3.5キリ,6深ザグリ
コネクタ手動ハンドルステッピングモータ
4-M3深サ8コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ 4-M3深サ8
ALD-5012-G0M-R
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号96
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
ハイグレードXYステージ HG-VCR方 式
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
ALD-6012-G0M ALD-6012-G1M ALD-6012-G1M-S
製 品 番 号 ALD-6012-G0M ALD-6012-G1M ALD-6012-G1M-S製 品 名 ハイグレードXYステージ送 り ね じ 仕 様・ 型 精密ねじ仕様(標準型) ボールねじ仕様(標準型) ボールねじ仕様 スケール付(標準型)価 格 ¥220,000 ¥260,000 ¥680,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±12.5㎜ス テ ー ジ 面 60㎜×60㎜使 用 モ ー タ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.001㎜ 0.002㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜ 1㎜移 動 ガ イ ド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移 動 精 度真直度0.002㎜(水平・垂直)
ヨーイング20sec、ピッチング30sec ヨーイング15sec、ピッチング25sec位 置 決 め 精 度 0.014㎜ 0.01㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ ±0.0003㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜ 0.001㎜運 動 の 平 行 度 0.03㎜ 0.02㎜X Y 直 交 度 0.006㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.2sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.2sec/N・㎝、ロール剛性 0.2sec/N・㎝耐 荷 重 39.2N(4kgf)質 量 1.0㎏ 1.1㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STM2、ACB-STM3ス ケ ー ル 型 式 - GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)ス ケ ー ル 分 解 能 - 5µm~0.05µmス ケ ー ル 精 度 - ±60nm/0.02㎜RoHS指 令 対 応 状 況 -
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側ACB-STM2(1.5m)
ACB-STM-D3(3m)
切り離し
ACB-STM3(3m)
接続ケーブル
メカストッパ
原点センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点センサフォトセンサ(N.C.) CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 97
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
2
φ20
325060
8.5 134
2825
16.5
25
17
φ20325060
134
30.5
2841.555.5
4050
40 50
4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5手動ハンドル
スケールケーブル
ステッピングモータ
コネクタ
スケールケーブルステッピングモータ
手動ハンドル
コネクタ
4-M4深サ104-M3深サ8
ALD-6012-G1M-S
φ20
φ20
8.5
325060
2
2816.5 30.5
2525
325060134
134
2841.5
55.5
4050
40 50
コネクタ
手動ハンドルステッピングモータ
4-M3深サ84-M4深サ10 コネクタ
ステッピングモータ
手動ハンドル4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ深サ
ALD-6012-G1M
φ20
φ20
8.5
325060
2
2816.5 30.5
2525
325060134
134
2841.555.5
4050
40 50
手動ハンドルステッピングモータ
4-M3深サ84-M4深サ10 コネクタ
コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ
4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ深サ
ALD-6012-G0M
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号98
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
ハイグレードXYステージ HG-VCR方 式
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
ALD-6012-G0M-R ALD-6012-G1M-R ALD-6012-G1M-RS
製 品 番 号 ALD-6012-G0M-R ALD-6012-G1M-R ALD-6012-G1M-RS製 品 名 ハイグレードXYステージ送 り ね じ 仕 様・ 型 精密ねじ仕様(対称型) ボールねじ仕様(対称型) ボールねじ仕様 スケール付(対称型)価 格 ¥220,000 ¥260,000 ¥680,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±12.5㎜ス テ ー ジ 面 60㎜×60㎜使 用 モ ー タ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.001㎜ 0.002㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜ 1㎜移 動 ガ イ ド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移 動 精 度真直度0.002㎜(水平・垂直)
ヨーイング20sec、ピッチング30sec ヨーイング15sec、ピッチング25sec位 置 決 め 精 度 0.014㎜ 0.01㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ ±0.0003㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜ 0.001㎜運 動 の 平 行 度 0.03㎜ 0.02㎜X Y 直 交 度 0.006㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.2sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.2sec/N・㎝、ロール剛性 0.2sec/N・㎝耐 荷 重 39.2N(4kgf)質 量 1.0㎏ 1.1㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STM2、ACB-STM3ス ケ ー ル 型 式 - GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)ス ケ ー ル 分 解 能 - 5µm~0.05µmス ケ ー ル 精 度 - ±60nm/0.02㎜RoHS指 令 対 応 状 況 -
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側ACB-STM2(1.5m)
ACB-STM-D3(3m)
切り離し
ACB-STM3(3m)
接続ケーブル
メカストッパ
原点センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点センサフォトセンサ(N.C.) CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 99
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
φ20
3250
8.560
134
16.5 28
2525
17
φ20 32 50
134
30.5
2
2841.555.5
4050
50 40
4-M4深サ8.5
4-4.5キリ,7.5深ザグリ
4-M3深サ84-M4深サ10
コネクタ
手動ハンドルステッピングモータスケールケーブル
コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ
スケールケーブル
ALD-6012-G1M-RS
φ20
8.5
325060
252
2528
φ20
134
32 50 60134
16.530.5
2841.5
55.5
4050
4050
手動ハンドルステッピングモータ
4-M3深サ8
4-M4深サ10
コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ 4-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5
コネクタ
ALD-6012-G1M-R
φ20
8.5
325060
2522528
φ20
134
32 50 60134
28
16.530.5
41.555.5
4050
4050
4-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5
コネクタ手動ハンドルステッヒ°ングモータ
4-M3深サ84-M4深サ10コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ
ALD-6012-G0M-R
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号100
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
ハイグレードXYステージ HG-VCR方 式
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
ALD-7013-G0M ALD-7013-G1M ALD-7013-G1M-S
製 品 番 号 ALD-7013-G0M ALD-7013-G1M ALD-7013-G1M-S製 品 名 ハイグレードXYステージ送 り ね じ 仕 様・ 型 精密ねじ仕様(標準型) ボールねじ仕様(標準型) ボールねじ仕様 スケール付(標準型)価 格 ¥260,000 ¥290,000 ¥710,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±15㎜ス テ ー ジ 面 70㎜×70㎜使 用 モ ー タ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.001㎜ 0.002㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜ 1㎜移 動 ガ イ ド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移 動 精 度真直度0.002㎜(水平・垂直)
ヨーイング20sec、ピッチング30sec ヨーイング15sec、ピッチング25sec位 置 決 め 精 度 0.016㎜ 0.012㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ ±0.0003㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜ 0.001㎜運 動 の 平 行 度 0.03㎜ 0.02㎜X Y 直 交 度 0.006㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.12sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.16sec/N・㎝、ロール剛性 0.16sec/N・㎝耐 荷 重 39.2N(4kgf)質 量 1.2㎏ 1.3㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STM2、ACB-STM3ス ケ ー ル 型 式 - GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)ス ケ ー ル 分 解 能 - 5µm~0.05µmス ケ ー ル 精 度 - ±60nm/0.02㎜RoHS指 令 対 応 状 況 -
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側ACB-STM2(1.5m)
ACB-STM-D3(3m)
切り離し
ACB-STM3(3m)
接続ケーブル
メカストッパ
原点センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点センサフォトセンサ(N.C.) CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 101
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
2
28
55.5
φ20
324060
8.5 146.5
2816.5
17
2525
324060146.5
φ20
30.5
41.5
5060
50 60
4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5手動ハンドル
ステッピングモータ
スケールケーブル
コネクタ
コネクタ手動ハンドルステッピングモータスケールケーブル
4-M4深サ108-M3深サ8
ALD-7013-G1M-S
2841.555.5
φ20コネクタ
32406070
8.5 146.5
28
2
16.525
2532406070
146.5
φ20
30.5
5060
50 60
4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5手動ハンドル
ステッピングモータ
コネクタ8-M3深サ84-M4深サ10
手動ハンドルステッピングモータ
ALD-7013-G1M
φ20
32406070
8.5 146.528
2
16.525
2532406070
146.5
φ20
30.5
2841.5
55.5
5060
50 60
手動ハンドルステッピングモータ
コネクタ8-M3深サ8
4-M4深サ10
コネクタ
手動ハンドル
ステッピングモータ4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ
ALD-7013-G0M
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号102
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
ハイグレードXYステージ HG-VCR方 式
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
ALD-7013-G0M-R ALD-7013-G1M-R ALD-7013-G1M-RS
製 品 番 号 ALD-7013-G0M-R ALD-7013-G1M-R ALD-7013-G1M-RS製 品 名 ハイグレードXYステージ送 り ね じ 仕 様・ 型 精密ねじ仕様(対称型) ボールねじ仕様(対称型) ボールねじ仕様 スケール付(対称型)価 格 ¥260,000 ¥290,000 ¥710,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±15㎜ス テ ー ジ 面 70㎜×70㎜使 用 モ ー タ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.001㎜ 0.002㎜送 り ね じ リ ー ド 0.5㎜ 1㎜移 動 ガ イ ド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移 動 精 度真直度0.002㎜(水平・垂直)
ヨーイング20sec、ピッチング30sec ヨーイング15sec、ピッチング25sec位 置 決 め 精 度 0.016㎜ 0.012㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0005㎜ ±0.0003㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.005㎜ 0.001㎜運 動 の 平 行 度 0.03㎜ 0.02㎜X Y 直 交 度 0.006㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.12sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.16sec/N・㎝、ロール剛性 0.16sec/N・㎝耐 荷 重 39.2N(4kgf)質 量 1.2㎏ 1.3㎏最 高 速 度(8,000pps時) 8㎜ /s 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/黒アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STM2、ACB-STM3ス ケ ー ル 型 式 - GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m)ス ケ ー ル 分 解 能 - 5µm~0.05µmス ケ ー ル 精 度 - ±60nm/0.02㎜RoHS指 令 対 応 状 況 -
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側ACB-STM2(1.5m)
ACB-STM-D3(3m)
切り離し
ACB-STM3(3m)
接続ケーブル
メカストッパ
原点センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点センサフォトセンサ(N.C.) CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 103
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
コネクタφ20
コネクタ
手動ハンドルステッピングモータスケールケーブル
324060
8.570
146.5
2528
25
17
4-M4深サ104-M3深サ8
32 40 60 70146.5
φ20
28
55.5
手動ハンドル
ステッピングモータ
30.5
16.5
スケールケーブル2
41.5
5060
4-4.5キリ,7.5深ザグリ
4-M4深サ8.5
5060
ALD-7013-G1M-RS
φ20
コネクタ
ステッピングモータ
4-M4深サ108-M3深サ8
コネクタ手動ハンドル
324060
8.570
146.5
22528
2532 40 60 70φ20
16.530.5
手動ハンドル
ステッピングモータ
146.5
2841.5
55.5
50604-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5
5060
ALD-7013-G1M-R
φ20
コネクタ
ステッピングモータ
4-M4深サ108-M3深サ8
コネクタ手動ハンドル
324060
8.570
146.522528
2532 40 60 70
146.5
φ20
16.530.5
手動ハンドル
ステッピングモータ
2841.5
55.5
50604-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5
5060
ALD-7013-G0M-R
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号104
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
XYステージ
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
製 品 番 号 ALD-604-E1P ALD-906-E1P ALD-115-E1P製 品 名 XYステージ価 格 ¥340,000 ¥400,000 ¥520,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±20㎜ ±30㎜ ±75㎜ス テ ー ジ 面 60㎜×60㎜ 90㎜×90㎜ 125㎜×125㎜使 用 モ ー タ PK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.002㎜送 り ね じ 仕 様 ボールねじ送 り ね じ リ ー ド 1㎜移 動 ガ イ ド ボールブッシュ移 動 精 度 真直度0.05㎜(水平・垂直) 真直度0.08㎜(水平・垂直)位 置 決 め 精 度 0.05㎜(無負荷時)、0.15㎜(4㎏負荷時) 0.10㎜(無負荷時)、0.60㎜(10㎏負荷時)繰 り 返 し 精 度 ±0.003㎜ ±0.015㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.01㎜ 0.03㎜X Y 直 交 度 0.06㎜耐 荷 重 39.2N(4kgf) 78.4N(8kgf) 98N(10kgf)質 量 2.4㎏ 5㎏ 11㎏最 高 速 度(8,000pps時) 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/白アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ原 点 前 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STD2、ACB-STD3
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
ALD-604-E1P ALD-906-E1P ALD-115-E1P
接続ケーブル
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側
ACB-STD-D3(3m)
切り離し
ACB-STD2(1.5m)
ACB-STD3(3m)メカストッパ原点センサ
原点前センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V)入光時(0V);検出
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点前
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点前
モータ1回転 原点検出点
原点センサ(スリット検出)フォトセンサ(N.O.)
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点前センサフォトセンサ(N.C.)
CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 105
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
2550
92125
135
406
92 125 135406
25 50 25
φ114
5555
110
5 28 52.542
φ36
φ36
100
100
8342
手動ハンドル
コネクタ
20-M4深6
ステッピングモータコネクタ
手動ハンドルステッピングモータ
4-4.5キリ7.5深ザグリ
25
ALD-115-E1P
ステッピングモータ
47
4590
87276
27645 90 87
2525
φ114
3248
4896
5 2642
25 2532
φ36
φ36
φ114
7442
手動ハンドル
コネクタ
12-M4深74-M3深7
ステッピングモータコネクタ
手動ハンドル
4-4.5キリ7.5深ザグリ
ALD-906-E1P
ステッピングモータ35
6081
230
2525
23035 60 81
25 2532
3838
76
532
45.5
24.542
φ36
φ36
50
100
62.583.5
42
コネクタ
8-M4深64-M3深6
ステッピングモータコネクタ
手動ハンドル
手動ハンドル
4-4.5キリ7.5深ザグリ
ALD-604-E1P
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号106
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
XYステージ V - C R方 式
ALD-904-H1P ALD-106-H1P ALD-510-H1P ALD-215-H1P
移動ガイドにV溝とクロスローラを使用した高精度の自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
製 品 番 号 ALD-904-H1P ALD-106-H1P ALD-510-H1P ALD-215-H1P製 品 名 XYステージ価 格 ¥500,000 ¥620,000 ¥900,000 ¥1,000,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±20㎜ ±30㎜ ±50㎜ ±75㎜ス テ ー ジ 面 90㎜×90㎜ 125㎜×125㎜ 150㎜×180㎜ 200㎜×250㎜使 用 モ ー タ PK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) PK545NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.002㎜送 り ね じ 仕 様 ボールねじ送 り ね じ リ ー ド 1㎜移 動 ガ イ ド V溝とクロスローラ移 動 精 度 真直度0.003㎜(水平・垂直) 真直度0.004㎜(水平・垂直)位 置 決 め 精 度 0.005㎜ 0.006㎜ 0.010㎜ 0.015㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.0006㎜ ±0.0005㎜ ±0.0007㎜ ±0.0008㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.001㎜X Y 直 交 度 0.006㎜ 0.008㎜ 0.01㎜ 0.012㎜
モ ー メ ン ト 剛 性ヨー剛性 0.6sec/N・㎝、
ピッチ剛性 0.4sec/N・㎝、ロール剛性 0.4sec/N・㎝
ヨー剛性 0.2sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.15sec/N・㎝、ロール剛性 0.15sec/N・㎝
ヨー剛性 0.04sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.03sec/N・㎝、ロール剛性 0.03sec/N・㎝
耐 荷 重 166N(17kgf) 343N(35kgf) 392N(40kgf) 343N(35kgf)質 量 5.5㎏ 9.6㎏ 16㎏ 29㎏最 高 速 度(8,000pps時) 16㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 鋼材/カニゼンメッキ(テーブル)、塗装(ベース)原 点 セ ン サ ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ原 点 前 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STD2、ACB-STD3RoHS指 令 対 応 状 況
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
接続ケーブル
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側
ACB-STD-D3(3m)
切り離し
ACB-STD2(1.5m)
ACB-STD3(3m)メカストッパ原点センサ
原点前センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V)入光時(0V);検出
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点前
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点前
モータ1回転 原点検出点
原点センサ(スリット検出)フォトセンサ(N.O.)
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点前センサフォトセンサ(N.C.)
CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 107
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
12-M4深8M16P1深10
手動ハンドル
手動ハンドル
コネクタ
コネクタ
ステッピングモータ
ステッピングモータ4-M3深6
φ114
4545 5
90
1
1259025
42
90
□3225
1220
25
φ36
2201
φ36
23
4268
4-4.5キリ7.5深ザグリ
4-M4深8 □50
φ114
ALD-904-H1P
20-M4深8M16P1深10
ステッピングモータ
手動ハンドルコネクタ
2550 5
10050
251
1 25
12550
4225
2512550
260
1
φ114
φ36
1
260
φ36 4275
4-M4深8
4-4.5キリ7.5深ザグリ □100
φ114
手動ハンドル
ステッピングモータ
コネクタ
ALD-106-H1P
327
180
25 50 25130
15 150 15327
φ114
5050
100
525
5025
130
2542
φ36
φ36
130
130
42 75
手動ハンドルステッピングモータ
コネクタ
20-M4深84-M6深8
コネクタ
ステッピングモータ手動ハンドル
4-7キリ11深ザグリ
ALD-510-H1P
250
422
25130
25
25 50 2525 130 25
25 200 25422
φ114
5050
100
525
5025
2542
φ36
φ36
180
180
7542
手動ハンドルステッピングモータ
コネクタ
8-M6深820-M4深8
コネクタ
ステッピングモータ手動ハンドル
4-7キリ11深ザグリ
ALD-215-H1P
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号108
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
XYステージ
ALD-220-C2P ALD-220-C5P ALD-230-C2P ALD-230-C5P
移動ガイドにボールウェイを使用した中精度の長作動自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
製 品 番 号 ALD-220-C2P ALD-220-C5P ALD-230-C2P ALD-230-C5P製 品 名 XYステージ XYステージ(ねじリード5㎜) XYステージ XYステージ(ねじリード5㎜)価 格 ¥720,000 ¥720,000 ¥800,000 ¥800,000移 動 方 向 XY軸2方向移 動 量 ±100㎜ ±150㎜ス テ ー ジ 面 200㎜×200㎜使 用 モ ー タ PK545NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分 解 能 0.004㎜ 0.01㎜ 0.004㎜ 0.01㎜送 り ね じ 仕 様 ボールねじ送 り ね じ リ ー ド 2㎜ 5㎜ 2㎜ 5㎜移 動 ガ イ ド ボールウェイ移 動 精 度 真直度0.02㎜(水平・垂直) 真直度0.03㎜(水平・垂直)位 置 決 め 精 度 0.08㎜ 0.1㎜繰 り 返 し 精 度 ±0.002㎜ロ ス ト モ ー シ ョ ン 0.002㎜ 0.005㎜ 0.002㎜ 0.005㎜X Y 直 交 度 0.04㎜ 0.06㎜モ ー メ ン ト 剛 性 ヨー剛性 0.04sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.04sec/N・㎝、ロール剛性 0.04sec/N・㎝耐 荷 重 392N(40kgf)質 量 18㎏ 21㎏最 高 速 度(8,000pps時) 20㎜ /s 50㎜ /s 20㎜ /s 50㎜ /s主 要 材 質 / 表 面 処 理 アルミ合金/白アルマイト梨地原 点 セ ン サ ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ原 点 前 セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサリ ミ ッ ト セ ン サ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適 合 ケ ー ブ ル ACB-STD2、ACB-STD3RoHS指 令 対 応 状 況
センサ動作倫理とタイミングチャート 接続方法 ─ 接続ケーブルとコントローラ・ドライバ
接続ケーブル
コントローラ・ドライバ
オリエンタルモーター(株)社製のドライバなど
ステージ側
ACB-STD-D3(3m)
切り離し
ACB-STD2(1.5m)
ACB-STD3(3m)メカストッパ原点センサ
原点前センサ
CCWリミット
CWリミット
CW方向(反モータ側) CCW方向(モータ側)
遮光時(5V)入光時(0V);検出
遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)遮光時(5V);検出入光時(0V)
CW CCW端面原点前
リミットメカ
リミットメカ
リミット リミット反端面原点前
モータ1回転 原点検出点
原点センサ(スリット検出)フォトセンサ(N.O.)
CWリミットフォトセンサ(N.C.)原点前センサフォトセンサ(N.C.)
CCWリミットフォトセンサ(N.C.)
※掲載製品の外観図面(2D/3D)データはホームページ《http://www.chuo.co.jp》Web製品カタログよりダウンロードできます。
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jpCONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT
[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号 109
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
製品の外観図
506
180
100
200
100
100 200 100506
18025 50 25
φ114
120
6060
525
5025
3442
φ36
180
100 180 100
9442
手動ハンドル
コネクタ
4-M6深1020-M4深8
ステッピングモータ
コネクタ
ステッピングモータ手動ハンドル
8-7キリ11深ザグリ
φ36
ALD-220-C2P
506
180
100
200
100
100 200 100506
18025 50 25
φ114
120
6060
525
5025
3442
φ36
180
100 180 100
9442
手動ハンドル
コネクタ
4-M6深1020-M4深8
ステッピングモータ
コネクタ
ステッピングモータ手動ハンドル
8-7キリ11深ザグリ
φ36
ALD-220-C5P 180
160
200
160
626
18025
5025
160 200 160626
180
6060
120
5
25 50 25
34
42
φ114
φ36
φ36
120 180 120
9442
手動ハンドル
コネクタ
20-M4深8
4-M6深10
コネクタ
ステッピングモータ
ステッピングモータ
手動ハンドル
8-7キリ11深ザグリ
ALD-230-C2P
180
160
200
160
626
18025
5025
160 200 160626
180
6060
120
5
25 50 25
34
42
φ114
φ36
φ36
120 180 120
9442
手動ハンドル
コネクタ
20-M4深8
4-M6深10
コネクタ
ステッピングモータ
ステッピングモータ
手動ハンドル
8-7キリ11深ザグリ
ALD-230-C5P
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
ユニット製品総合カタログ 38号110
CONTACT [東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915
[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp CONTACT[東京]TEL:03(3257)1911・FAX:03(3257)1915[大阪]TEL:06(6306)1911・FAX:06(6306)1912 E-mail:[email protected] URL:www.chuo.co.jp
パルス
ステージ
顕微鏡用
自動化製品
アクチュ
エータ
Xステージ
接続ケーブル
ドライバ
コントローラ
ドライバ
傾斜ステージ
回転ステージ
Zステージ
XYステージ
自動ステージ
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
メカニカルステージ / 自動ステージ / パルスステージ / XYステージ
高精度高剛性ステージは、当社の技術を結集して開発された超高精度の自動ステージです。
送りねじとガイドを使用した機構で、果たしてどれだけの高い性能が出せ、量産機で保証出来るのか?をコンセプトに性能を極限まで 突き詰めた究極のステージです。
部品単体の仕様・精度からこだわり、当社の熟練スタッフが丹精込めて組み立てています。そのため、組立・調整には匠の技が随所に生かされています。
全てのラインアップにおいて真直度1μm以下の超高精度を実現。モーメント剛性は従来品の2倍。繰り返し精度±0.5μm以下。�