색 표시식 디지털 플로스위치 - SMCKOREA · 2018-09-18 · 배관방향: 밑면 배관타입에는 장착할 수 없습니다. t 패널 마운트 어댑터 (유량조정밸브

®

RoHS

PFM Series

2색 표시식 디지털 플로스위치

유량조정 밸브

이상 값을 한 눈에 알 수 있음

2색 표시식2색 표시식

건조공기,N2, Ar, CO2

유 체유 체

유량범위 : 10, 25, 50,100L/min.설정최소단위 : 0.01L/min.(유량범위 25, 50, 100L/min의 경우는 0.1L/min)

반복정도 : ±1%F.S.그리스 무도포

유량조정 밸브 일체화(배관절약, 공간절약)

응답시간 : 50msec·0.5sec·1sec·2sec에서 선택 가능

207

유량특성

0 니들 회전수

유량

전원·출력 접속용 커넥터

e-con 커넥터센서접속용 커넥터

원터치 피팅, 암나사, 스트레이트 배관, 밑면 배관의 선택이 가능.

배관공수 삭감, 공간 절약 설치가 가능.특수설계로 니들 회전수에 따른 원활한 유량조절이 가능.

유량에 따라서 점멸속도가 변합니다.또한, 정격유량을 넘으면 녹색에서 적색 점멸로 변합니다.간이 모니터로써 사용 가능.

배선 접속, 분리가 용이.

PFM7 Series

PFM5 Series

PFM3 Series

SET SET SET

OUT1 OUT2OUT1 OUT2OUT1 OUT2

34.5

패널 개구부

패널 개구부는 1개로 OK.패널 커트 공수 삭감 및 공간 절약 설치를 가능하게 하였습니다.

2색 표시식 디지털 플로 스위치2색 표시식 디지털 플로 스위치

풍부한 배관 구성

유량조정밸브를 일체화

인디케이터 기능

커넥터 종, 횡, 밀착 설치가 가능(패널마운트)

점멸속도

빠르다

느리다

유량

크다

적다

점멸

( )안은 유체 CO2의 경우

PFM710PFM725PFM750PFM711

PFM510PFM525PFM550PFM511

0.2～10（0.2～5）0.5～25（0.5～12.5）

1～50（1～25） 2～100（2～50）

PFM3

일체형

측정유량범위(L/min)

분리형

형식형식

센서부 모니터부

208

암나사：Rc 1/8, 1/4・NPT 1/8, 1/4・G 1/8, 1/4원터치 피팅：ø4, ø6, ø8, ø1/4밑면 방향

1 2S

IN

1

1 2S

IN

1

스트레이트 방향밑면 방향스트레이트 방향

1 2S

IN

1 2S

IN

1 2S

IN

1 2S

IN

1 2S

IN

1

1 2S

IN

1

116

1834

68

（PFM711）（PFM711）（PFM711）(원터치 피팅 부착, 유량조정 밸브 없음의 경우) 67

43

기존기종 PF2A711(10〜100L/min)과의 비교

직결배관부48

241.6

88

기존기종 PF2A711(10〜100L/min)에 ø6 원터치 피팅을 부착한 상태에서의 비교.

각 유량 범위(10, 25, 50, 100L/min)모두 같은 크기입니다.

기존 기종 PF2A711：290g

직결배관부 길이※가 불필요하기 때문에 좁은 장소에서 설치가 가능※기존 기종의 경우, 배관 지름 8배의 직결배관부를 마련할 필요가 있습니다.

PFM SeriesPFM SeriesPFM Series

소형소형

경량 : 55g경량 : 55g

배관 공간 삭감배관 공간 삭감

소형

경량 : 55g

배관 공간 삭감

설치방법

배관구성

유량조정없음

유량조정부착

패널 마운트

브라켓

DIN 레일

관통구멍설치

209

표시단위 기준의 선택 사용유체에 따라 ANR과 NL/min의 선택 가능.[ANR]표준상태 : 20°C, 1기압(대기압), 65%RH의 체적으로 환산한 유량표시[NL/min]기준상태 : 0°C, 1기압(대기압)의 체적으로 환산한 유량표시

외부 입력 기능 적산 값 외부 리셋, 오토 시프트, 오토 시프트 제로 중에서 선택 가능.

표시 분해능력 설정최소단위 : 1L/min, 0.1L/min, 0.01L/min의 선택 가능.기종에 따라 다릅니다. 상세한 내용은 사양(P.216,244)을 확인해 주십시오.

클립

원터치 피팅

유량조정밸브

암나사

교환 후에는 정도가 2~3% 변동할 가능성이 있습니다.(반복 정도는 변하지 않습니다.)

설치조건에 따라서 유량조정 밸브의 유무,피팅 종류 및 배관방향을 변경할 수 있습니다. 상세 ⇒ P.242 압축공기의 경우

IDFIDU

AF ARIR

AMDAFD

PFM

상세사항 및 기타 기능에 관해서는 P.248을 참조하십시오.

건조공기, 질소(N2), 아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2)를 누름 버튼 조작으로 선택 가능.

비밀번호를 입력하지 않으면 잠금 모드를 해제할 수 없습니다. 특정한 관리자 이외에는 조작할 수 없도록 기능합니다.

표시를 소등하여 소비전력을 절약합니다.

주요 기능

재조립 가능 추천 공기압 회로 예

사용 유체의 선택

비밀번호 설정기능

전력절약 모드

전력절약 모드 작동시에는 소수점이 점멸하고 있습니다.

점멸 점멸

드라이어 에어 필터 레귤레이터 마이크로

미스트

세퍼레이트

플로

스위치

금선의 텐션 관리

흡착확인

• 적산 표시에 의한 가스통(N2 등)의 사용유량 또는 질량의 확인.

검출카메라

• 리드 프레임 산화 방지용 N2 가스의 유량 관리.

• 카메라의 화면 흐려짐 방지용 N2 블로.

용접기 아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2) 혼합 가스 대응품도 구비하고 있습니다. 상

세는 P.251을 참조하십시오.

적용예

210

・・・・・・・・

・・・・・・・・

보는 각도에 따라읽는 값이 달라집니다.

설치 자세에 제한이 없습니다.

수직방향만 가능

옵션으로광전 스위치 등이 필요

불가하루의 에어 소비량 등 전체적으로 어느 정도 소비했는지 확인 가능.(최대 999999L) 적산펄스 출력도 내장

ON

OFF

ON

OFF

스위치 출력,아날로그 출력 부착

출력 기능 없음

스위치 출력, 아날로그 출력 부착디지털 표시

압력의 영향을 받지 않습니다.

자유로운 설치자세

적산 유량 표시

플로트식 유량계와의 비교

센서 출력에 의한 관리 눈으로 관리

어디에 설치해도 같은 값을 표시합니다.(환산할 필요 없음)

설치 장소에 따라 표시 값이 달라집니다.(환산할 필요 있음)

설정유량에 비해 많은지 적은지의 검출이 가능.유량 상태를 항상 관리할 수 있습니다.

유동자가 통과할 때만 검출 가능.설정 유량에 비해 많은지 적은지의 검출은 불가.

소 유량 소 유량대 대

211

212

특징 P.208～211

압력손실, 유량특성 P.240각부 명칭 P.241유체접촉부 구조도 P.241검출원리 P.241구성부품 P.242

형식표시방법 P.228사양 P.230배관사양／질량 P.231아날로그 출력 P.231내부회로와 배선 예 P.231외형치수도 P.232

PFM7 Series　표시 일체형

PFM5 Series　분리형 센서부

PFM3 Series　유량센서 플로 모니터

주문제작사양

PFM7, PFM5 Series　공통사양

IN측과 OUT측의 배관방향의 조합을 변경 P.249아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2) 혼합가스 대응 P.251

형식표시방법 P.243사양 P.244아날로그 출력 P.244내부회로와 배선 예 P.245외형치수도 P.246기능 해설 P.248

형식표시방법 P.214사양 P.216배관사양／질량 P.217아날로그 출력 P.217내부회로와 배선 예 P.218외형치수도 P.219

2색 표시식 디지털 플로 스위치

213

형식표시방법

PFM7 10 C4 A

단위사양

주1) 고정단위 순간유량 : L/min 적산유량 : L, m3, m3 x 103

주2) 신계량법상(일본에서는 SI단위), 일본외에서만 판매됩니다.

SI단위 고정 주1)

단위전환 기능 부착 주2)M

무기호

M타입

표시 일체형7

유량조정밸브

무기호

S없음

있음

교정 증명서교정 증명서 없음

교정 증명서 첨부무기호

A※또한 서식은 일어, 영어만 병기되어 있습니다. 일어·영어 이외의 언어는 특주가 됩니다.

취급설명서취급설명서 첨부(일어, 영어 병기)

취급설명서 없음

무기호

N

주3)적산 외부 리셋, 오토시프트, 오토시프트 제로 선택 가능.

출력사양

ABCDEFGH

NPN 2출력

PNP 2출력

NPN 1출력 + 아날로그(1 ~ 5V)NPN 1출력 + 아날로그(4 ~ 20mA)PNP 1출력 + 아날로그(1 ~ 5V)PNP 1출력 + 아날로그(4 ~ 20mA)NPN 1출력 + 외부입력 주3)

PNP 1출력 + 외부입력 주3)

배관 취출방향

무기호

L스트레이트

밑면

원터치 피팅 부착(C4, C6, C8, N7) 암나사(01, 02, N01, N02, F01, F02)스트레이트(무기호)

유량조정밸브없음

(무기호)

유량조정밸브부착(S)

밑면(L) 스트레이트(무기호) 밑면(L)

1 2S

IN

1 2S

IN

1

1 2S

IN

1 2S

IN

1

1 2S

IN

1 2S

IN

1 2S

IN

1

1 2S

IN

1

배관구성

관접속구경

기호 내용유량범위

10

25

50

11

0102

N01N02F01F02C4C6C8N7

ø4(5/32") 원터치 피팅

ø6 원터치 피팅

ø8(5/16") 원터치 피팅

ø1/4 원터치 피팅

Rc1/8Rc1/4

NPT1/8NPT1/4G1/8※

G1/4※

※ISO228-1준거

0.2 ~ 10(5)L/min0.5 ~ 25(12.5)L/min1 ~ 50(25)L/min2 ~ 100(50)L/min

10255011

※( )는 유체가 CO2인 경우

정격유량범위(유량범위)

표시일체형

옵션 1 (P.215를 참조하십시오.)


주문제작품 (P.215,249를 참조 하십시오.)

※IN측·OUT측 배관방향의 조합은 주문제작 사양입니다. (P.249 참조)

PFM7 Series

®

RoHS2색 표시식

디지털 플로 스위치 표시 일체형

214

옵션 2

DIN 레일 설치금구(별도주문품)

ZS-33-JZS-33-M ZS-33-MS

ZS 33 R연수

1연

2연

3연

4연

5연

12345

무기호

없음

V패널 마운트 어댑터

(유량조정밸브 부착용)

R브라켓

(유량조정밸브 없음용)

S브라켓


배관방향: 밑면 배관타입에는 장착할 수 없습니다.

T패널 마운트 어댑터


ZS-33-JS

주문제작사양

X693X694

X731

배관 취출방향의 조합 변경

아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2)혼합가스 대응

사양/내용표시기호

상세한 것은 P.249〜251을 참조 하십시오.

장착금구

패널 마운트어댑터 B

패널 마운트어댑터 A

패널


패널


장착금구

장착나사(부속품)


·각 옵션은 제품에 조립되어 있지 않습니다. 동봉 출하 됩니다.

옵션 1무기호

커넥터 부착 리드선 부착(2m)Z

커넥터 부착 리드선 없음

ZS-33-D1 2

S

IN

리드선 길이 2m

W커넥터 부착 리드선 부착(2m) +

커넥터부용 고무커버(실리콘 고무)

ZS-33-F

ZS-33-D1 2

S

IN

리드선 길이 2m

• DIN레일은 고객님께서 준비하시기 바랍니다.• 관접속구경 F02 : G1/4는 DIN 레일을 설치는 할 수 없습니다.

2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM7 Series

215

PFM7 Series

사양

주1) 10L/min 타입에서 최소설정단위 0.01L/min을 선택한 경우는 표시 상한은 [9.99L/min]가 됩니다. 100L/min 타입에서 최소설정단위 0.1L/min을 선택한 경우는 표시 상한은 [99.9L/min]가 됩니다.주2) PFM710은 0.01L/min과 0.1L/min을, PFM711은 0.1L/min와 1L/을 선택할 수 있습니다. 표시단위에서 “CFM”을 선택한 경우는 설정최소단위를 변경 할 수 없습니다. 공장출하시 PFM710은 0.1L/min, PFM711은 1L/min으로 설정되어 있습니다.주3) 제품출하시는 <ANR>입니다. <ANR>이란 표준상태를 나타내며 20°C, 1atm, 65%R.H.를 기준으로 하고 있습니다. NL/min이란 기준상태를 나타내며 0°C, 1atm을 기준으로 하고 있습니다. 단위전환 기능부착의 경우(단위전환기능이 없는 타입에 관해서는 SI 단위(L/min 또는 L)로 고정됩니다. 주4) 전원 OFF시 클리어 됩니다. 유지기능을 선택할 수 있습니다.(2분 간격 또는 5분 간격으로 선택가능) 5분 간격을 선택한 경우, 기억소자(전자부품)의 수명 100만회(24시간 통전한 경우, 5분 x 100만회 = 500만분 = 9.5년)로 제한되므로, 유지기능을 사용하는 경우는 사용조건 에서 수명을 계산하여 수명 범위 내에서 사용하십시오.주5) 1.5s(90%)로 설정되어 있으며, 100ms의 선택도 가능합니다.주6) 출하시에는 히스테리시스 모드로 되어 있습니다. 누름버튼 조작으로 윈도우 분할모드를 선택할 수 있습니다.주7）배선 및 나사의 규격에 대해서는 당사 홈페이지(http://www.smckorea.co.kr)에서 취급설명서의 내용을 확인해 주십시오.주8）품질 향상에 노력하고 있습니다만, 성능에 지장이 없는 외관의 가벼운 긁힘, 오염, 표시색, 밝기 얼룩 등은 양품으로 하고 있습니다.

규격

형식 PFM710 PFM725 PFM750 PFM711

적용유체

압력특성

반복정도

사용압력범위

정격압력범위

내압력

적산유량범위

스위치 출력

적산펄스출력

외부입력

표시방식

동작표시등

전원전압

소비전류

내환경

표시단위 주3)

설정최소단위 주2)

적산 펄스의 유량 환산값


건조공기, N2, ArCO2

최대부하전류

최대인가전압

내부강하전압

응답시간

출력보호

보호구조

사용유체온도

사용온도범위

사용습도범위

내전압

절연저항

히스테리시스 모드

윈도우 분할모드

응답시간

표시가능범위 주1)

설정가능범위 주1)



건조공기, N2, Ar, CO2

(공기의 품질등급은 JIS B8392-1 1.1.2 ~ 1.6.2, ISO8573-1 1.1.2 ~ 1.6.2.)0.2 ~ 10 L/min0.2 ~ 5 L/min0.2 ~ 10.5 L/min0.2 ~ 5.2 L/min 0 ~ 10.5 L/min 0 ~ 5.2 L/min

0.5 ~ 25 L/min0.5 ~ 12.5 L/min0.5 ~ 26.3 L/min0.5 ~ 13.1 L/min 0 ~ 26.3 L/min 0 ~ 13.1 L/min

±5%F.S.(0.35MPa 기준)

–100 kPa ~ 750 kPa–70 kPa ~ 750 kPa

1 MPa최대 999999L 주4)

NPN 또는 PNP 오픈 콜렉터 출력

80mADC28V(NPN 출력시)

NPN출력 : 1V 이하(80mA일 때) PNP출력 : 1.5V 이하(80mA일 때)1s(50ms, 0.5s, 2s를 선택 가능)

단락보호

NPN 또는 PNP 오픈 콜렉터 출력(스위치 출력과 동일)1.5 s 이하(90% 응답)

가변

가변

무전압 입력(유접점 또는 무접점) 입력 30ms 이상

3digit, 7세그먼트 표시기 2색표시(적색/녹색) 갱신주기 : 10회/1sOUT1 : ON시 점등(녹색), OUT2 : ON시 점등(적색)

DC24V ±10%55mA 이하

IP400 ~ 50°C(동결 및 결로 없어야 함)

동작시 : 0 ~ 50°C 보존시 : –10 ~ 60°C(동결 및 결로 없어야 함)동작시, 보존시 35 ~ 85%R.H.(결로 없어야 함)

AC1000V, 1분간 외부단자와 케이스사이

50MΩ 이상(DC500V mega계에서) 외부단자와 케이스사이

CE　UL,CSA　RoHS

순간유량 L/min, CFM x 10-2

적산유량 L, ft3 x 10-1

±2%F.S.(15 ~ 35°C)±5%F.S.(0 ~ 50°C)

출력전압 : 1 ~ 5V출력 임피던스 : 1kΩ출력전류 : 4 ~ 20mA

최대 부하 임피던스 : 600Ω, 최소 부하 임피던스 : 50Ω

정도

온도특성

아날로그 출력 주5)

응차 주6)

1 ~ 50 L/min1 ~ 25 L/min1 ~ 52.5 L/min1 ~ 26.2 L/min0 ~ 52.5 L/min0 ~ 26.2 L/min

2 ~ 100 L/min2 ~ 50 L/min2 ~ 105 L/min2 ~ 52 L/min0 ~ 105 L/min0 ~ 52 L/min

전압출력

전류출력

0.01 L/min0.1 L/pulse



0.1 L/min1 L/pulse

±1％F.S. （유체：건조공기에서）아날로그 출력：±3％F.S.

표시정도：±3％F.S. （유체：건조공기에서）아날로그 출력정도：±5％F.S.

플로스위치 공통주의사항에 대해서는 P.202,203을, 제품개별 주의사항에 대해서는 당사 홈페이지의 「취급 설명서」를 확인해 주십시오. 상세 내용은 여기를 클릭해 주십시오.

216

http://www.smckorea.co.kr/homepage/ver3/download/manual.asp

2색 표시식／디지털 플로스위치 PFM7 Series

정격유량 범위내의 값으로 유량 설정을 하십시오.설정가능범위라는 것은 스위치로 설정 가능한 유량범위를 의미합니다.정격유량범위라는 것은 스위치의 제품사양(정도, 직선성 등)을 만족하는 유량범위를 의미합니다.정격유량범위를 초과한 값이라도 설정가능 범위 이내이면 설정이 가능하나 사양을 보증하는 것은 아닙니다.사용유체가 CO2인 경우는 ( )안의 유량범위가 됩니다.

정격유량범위

설정가능범위 표시가능범위

센서0.2L/min 0.5L/min 1L/min 2L/min 10L/min 25L/min 50L/min 100L/min

유량 범위

PFM710PFM510

PFM725PFM525

PFM750PFM550

PFM711PFM511

0.2L/min

0

0

0

0

100L/min（50L/min）

105L/min（52L/min）105L/min（52L/min）

50L/min　（25L/min）52.5L/min　（26.2L/min）52.5L/min　（26.2L/min）

10L/min　（5L/min）0.2L/min

10.5L/min　（5.2L/min）

25L/min　（12.5L/min）

26.3L/min　（13.1L/min）

PFM5 시리즈의 경우는 플로모니터 PFM3 시리즈의 표시유량범위, 설정유량범위와 동일합니다.

1L/min1L/min

0.5L/min0.5L/min

2L/min2L/min

10.5L/min　（5.2L/min）

26.3L/min　（13.1L/min）

설정유량범위와 정격유량범위

배관사양/질량

아날로그 출력 주) CO2 선택 시의 최대정격유량 값에서의 아날로그 출력은 전압 출력 타입이 3[V], 전류출력 타입이 12 [mA] 입니다.

품번 01

관접속구경

질량

유체접촉부 재질

스트레이트 오리피스 없음 : 125g밑면 오리피스 없음 : 135g스트레이트 오리피스 부착 : 165g밑면 오리피스 부착 : 175g



LCP, PBT, 황동(무전해 니켈도금), HNBR (+ 불소 코팅), FKM (+ 불소 코팅), 실리콘, Au, SUS304

Rc1/8

02

Rc1/4

N01

NPT1/8

N02

NPT1/4

F01

G1/8 G1/4

C4F02ø4

(5/32")원터치피팅

C6ø6

원터치피팅

C6ø8


N71/4

원터치피팅

10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)

PFM710--C/EPFM725--C/EPFM750--C/EPFM711--C/E

아날로그 전압 출력(1 ~ 5V)

형식최대정격

유량[L/min]

10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)

PFM710--D/FPFM725--D/FPFM750--D/FPFM711--D/F

아날로그 전류 출력(4 ~ 20mA)

형식최대정격

유량[L/min]

최대정격 유량값0

4

20

아날로그

출력

[V]

아날로그

출력

[mA]


0 0

1

5

※( )안은 유체 CO2일 경우※( )안은 유체 CO2일 경우

217

ｰB/E/F/H

ｰA/C/D/G

적산 펄스 출력 배선 예

ｰANPN（2출력）

ｰBPNP（2출력）

ｰGNPN（1출력）＋외부 입력

ｰE/FE：PNP（1출력）＋아날로그 전압출력F：PNP（1출력）＋아날로그 전류출력

ｰC/DC：NPN（1출력）＋아날로그 전압출력D：NPN（1출력）＋아날로그 전류출력

ｰHPNP（1출력）＋외부 입력

갈색 DC（＋）

흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

DC24V메인회로

메인회로

메인회로

메인회로

메인회로

U

U

＋−

갈색 DC（＋）

흑색 OUT1

백색 外部入力

청색 DC（−）

DC24V

메인회로

갈색 DC（＋）

흑색 OUT1

백색 아날로그 출력

청색 DC（−）

DC24VU ＋−

U

U

＋−

갈색 DC（＋）

흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

DC24V

U U

＋−

갈색 DC（＋）

흑색 OUT1

백색 아날로그 출력

청색 DC（−）

DC24V

U

＋−

갈색 DC（＋）

흑색 OUT1

백색 외부 입력

청색 DC（−）

DC24V

U

U

＋−

흑색 OUT1

백색 OUT2（PFM7--A-만 해당）

청색 DC（−）

Max.28V80mA

부하

부하

갈색 DC（＋）

흑색 OUT1

백색 OUT2（PFM7--B-만 해당）

Max.80mA부하

부하

또는0V

50msec 50msec

또는0V

50msec 50msec

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

내부회로와 배선 예

PFM7 Series

218

외형치수도

PFM7-C4/C6/C8/N7（mm）

원터치 피팅적용튜브외경

ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4"

A

64.264.668 64.6

PFM7-C4L/C6L/C8L/N7L（mm）


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4"

A

10.110.312 10.3

18

48

A

1 IN

OUT1

DC（−）

OUT2

DC（＋）

2×원터치 피팅

1 IN

2×원터치 피팅

OUT1

DC（−）

OUT2

DC（＋）

18

48

88

18

68

10.2

3（34

.2）

143

A

2×3.4 OUTIN

18

10.2

143

3

13

（34

.2）

2×3.4

IN OUT

28

8

2×2.5 깊이5

28

8

2×2.5 깊이5

22

14.8

9.4

커넥터부용 고무커버 부착


219

외형치수도

PFM7-(N)01/(N)02/F01

PFM7-(N)01L/(N)02L/F01L

48

70

육각대변

17

18

1 IN

2×관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8

DC(＋)DC(−)

OUT2OUT1

2×3.4

18

143

13

10.2

3

(34.

2) IN OUT

88

48

18

1 IN

육각대변 17

DC(＋)DC(−)

OUT2OUT1

2×관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8

68

3

(34.

2)

18

43

10.2

113

2×3.4IN OUT

28

8

2×2.5 깊이5

8

28

8

2×2.5 깊이5

PFM7 Series

220

외형치수도

PFM7-F02

PFM7-F02L

1 IN

18

OUT1

DC（−）

OUT2

DC（＋）

2×관접속구경

G1/418

10.2

13

（34

.2）43

1

3

2×3.4

IN OUT

48

78

육각대변

21

1 IN

육각대변 21

DC（＋）

OUT2

2×관접속구경

G1/4

OUT1

DC（−）

88

48

18

18

2×3.4

68

1743

1

3（34

.2）

10.2

IN OUT

2×2.5 깊이5

8

28

8

28

2×2.5 깊이5


221

외형치수도

PFM7S-C4/C6/C8/N7（mm）

원터치 피팅적용 튜브 외경

ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4"

A

92.292.696 92.6

PFM7S-C4L/C6L/C8L/N8L（mm）

원터치 피팅적용 튜브 외경

ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4"

A

10.110.312 10.3

18

4858

88

1 IN

DC（＋）DC（−）

OUT2OUT1

2×원터치 피팅

10.2

3

（34

.2）

A43

1

18

68

51.5（

Max

.58.

5）

2×3.4IN OUT

1 IN

DC（−）

OUT1

DC（＋）

OUT2

2×원터치 피팅

18

48

58

76

A

51.5（

Max

.58.

5）

13

（34

.2）

310.2

431

18

2×3.4

IN OUT

28 20

8

3×2.5 깊이5

2×2.5 깊이5

28

8

PFM7 Series

222

외형치수도

PFM7S-(N)01/(N)02/F01

PFM7S-(N)01L/(N)02L/F01L

1 IN

육각대변 17

DC(＋)DC(−)

OUT2OUT1

2×관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8

48

58

88

18

10.2

3

(34.

2)

18

68

1343

1

51.5

(Max

.58.

5)

2×3.4IN OUT

1 IN

DC(−)

OUT1 OUT2

DC(＋)

2×관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8

18

48

5876

98

육각대변

17

18

13

(34.

2)431

10.2

51.5

(Max

.58.

5)

3

2×3.4

IN OUT

28 20

8

3×2.5 깊이5

2×2.5 깊이5

28

8


223

외형치수도

PFM7S-F02

PFM7S-F02L

1 IN

육각대변 212×관접속구경

OUT2


OUT1

G1/4

18

88

58

48

51.5（

Max

.58.

5）

68

2×3.4

181743

3（34

.2）

1

10.2

IN OUT

1 IN

2×관접속구경

G1/4

OUT2

DC（＋）

OUT1

DC（−）

육각대변

21

106

76

58

48

18

2×3.4

51.5（

Max

.58.

5）

10.2

18

431

13

（34

.2）

3IN OUT

28 20

8

3×2.5 깊이5

28

8

2×2.5 깊이5

999

PFM7 Series

224

외형치수도

패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 없음/스트레이트 패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 부착/스트레이트

패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 없음 패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 부착

（mm）원터치 피팅적용튜브외경

ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4

A

92.292.696 92.6


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4

A

64.264.668 64.6

A58

2829.9

OUT

패널

두께

1～

3.2

42.5

3

IN

78

2829.9

3

패널

두께

1～3.

2

51.5（

Max

.58.

5）

76

A42

.53

93

78

182829.9

42.5

3

패널

두께

1～3.

2

51.5（

Max

.58.

5）

29.9 28 18

88

58

342

.5

패널

두께

1～

3.2

주) 배관취출방향 : 밑면인 경우의 최소값입니다. 스트레이트 배관인 경우는 배관재,튜브를 고 려한 다음 설계 하시기 바랍니다. 모서리부를 라운드 처리할 경우는 R3 이하로 하십시오.

패널 컷 치수

패널 두께 1～3.2mm주) 배관취출방향 : 밑면인 경우의 최소값입니다. 스트레이트 배관인 경우는 배관재,튜브를 고

려한 다음 설계 하시기 바랍니다. 모서리부를 라운드 처리할 경우는 R3 이하로 하십시오.

패널 컷 치수

패널 두께 1～3.2mm

94 이상 주）

74 ＋0.5　0

34 이

상

24＋

0.5

　0

94 이상 주）

54 ＋0.5　0

34 이

상

24＋

0.5

　0

4×R3 이하

4×R3 이하4×R3 이하

4×R3 이하 4×R3 이하4×R3 이하


225

18×n개＋34.418

48

11IN1 IN IN

4352

.4

34 26 18

24 28

76

4×3.4

36

431.

2

48

18

1.2

51.5（

Max

.58.

5）18

4348

483628

34 26 18

4×3.4

외형치수도

• DIN 레일은 고객께서 준비하시기 바랍니다.• 관접속구경 F02 : G1/4은 DIN레일 장착이 불가능합니다.

브라켓 장착/유량조정 밸브 없음 브라켓 장착/유량조정 밸브 부착

DIN 레일 장착

5±2

6.5

＋21−

2020 ＋50　0

20 　0−5

30±3

커넥터부착 리드선

ZS-33-D갈색

백색

흑색

청색 끝단 세미 스트립 처리

절연체

완성품 외경

공칭 단면적

외경

외경

색상

재질

도체

피복

AWG26약 0.50mm약 1.00mm

갈색, 백색, 흑색, 청색

내유성 PVCø3.5

커넥터 부착 리드선의 케이블 사양

PFM7 Series

226

227

형식표시방법

유량조정밸브없음

(무기호)

유량조정밸브부착(S)

밑면(L) 밑면(L)

배관구성

PFM5 10 C4 1타입

분리형 센서부5

유량조정밸브

무기호

S없음

있음

교정 증명서교정 증명서 없음


A※또한 서식은 일어, 영어만 병기된 것입니다. 일어·영어 이외의 언어는 특주가 됩니다.



무기호

N

출력사양무기호

12

내용

아날로그 출력(1 ~ 5V)아날로그 출력(4 ~ 20mA)

적용 표시부

PFM30PFM31

배관 취출방향

무기호

L스트레이트

밑면

관접속구경

※IN측·OUT측 배관방향의 조합은 주문제작사양입니다. (P.249 참조)

0.2 ~ 10(5) L/min0.5 ~ 25(12.5) L/min1 ~ 50(25) L/min2 ~ 100(50) L/min

10255011

※( )는 유체가 CO2인 경우




주문제작품（P.229, 249를 참조 하십시오.)

기호 내용유량범위

10

25

50

11

0102

N01N02F01F02C4C6C8N7

Rc1/8Rc1/4

NPT1/8NPT1/4G1/8※

G1/4※

※ISO228-1 준거

ø4(5/32") 원터치 피팅

ø6 원터치 피팅

ø8(5/16") 원터치 피팅

ø1/4 원터치 피팅

원터치 피팅 부착(C4, C6, C8, N7) 암나사(01, 02, N01, N02, F01, F02)스트레이트(무기호) 스트레이트(무기호)

분리형 센서부

PFM5 Series

®

RoHS2색 표시식

디지털 플로 스위치 분리형 센서부

228

DIN 레일 설치금구(별도주문품)

ZS-33-JZS-33-M ZS-33-MS

ZS 33 R연수

1연

2연

3연

4연

5연

12345

무기호

없음

V패널 마운트 어댑터


옵션 1무기호

커넥터 부착 리드선 부착(2m)

R브라켓


S브라켓


배관방향: 밑면 배관타입에는 장착할 수 없습니다.

T패널 마운트 어댑터


Z커넥터부착 리드선 없음

옵션 2

ZS-33-D

ZS-33-JS

장착금구



패널


패널


장착금구



리드선 길이 2m 리드선 길이 2m

· 각 옵션은 제품에 조립되어 있지 않습니다. 동봉 출하됩니다.

주문제작사양

X693X694

배관 취출방향의 조합 변경

사양/내용표시기호

상세한 것은 P.249, 250을 참조 하십시오.

W커넥터 부착 리드선 부착(2m) +

커넥터부용 고무커버(실리콘고무)

ZS-33-F

ZS-33-D

• DIN레일은 고객님께서 준비하시기 바랍니다.• 관접속구경 F02 : G1/4는 DIN 레일을 설치할 수 없습니다.


229

사양

주1) 유량단위는 표준상태(20, 1atm, 65%R.H.)를 기준으로 하고 있습니다.주2）배선 및 나사의 규격에 대해서는 당사 홈페이지(http://www.smckorea.co.kr)에서 취급설명서의 내용을 확인해 주십시오.주3）품질 향상에 노력하고 있습니다만, 성능에 지장이 없는 외관의 가벼운 긁힘, 오염, 표시색, 밝기 얼룩 등은 양품으로 하고 있습니다.

형식 PFM510 PFM525 PFM550 PFM511

적용유체

압력특성

반복정도

사용압력범위

정격압력범위

내압력

동작표시등

전원전압

소비전류

내환경

규격

정격유량범위 주1)

(유량범위)건조공기,N2,ArCO2

응답시간

보호구조

사용유체온도

사용온도범위

사용습도범위

내전압

절연저항

전압출력

전류출력

건조공기,N2,Ar,CO2

(공기의 품질등급은 JIS B8392-1 1.1.2～1.6.2,ISO8573-1 1.1.2～1.6.2）0.2～10L/min0.2～5L/min

0.5～25L/min0.5～12.5L/min

±1％F.S.（유체: 건조공기에서)±5％F.S.（0.35MPa 기준)

−100kPa～750kPa−70kPa～750kPa

1MPa 50msec 또는 1s (응답시간 선택기능 부착: 무전압 입력시에 1s 입니다.)

±2％F.S.（15～35）±5％F.S.（0～50）

출력전압: 1 ~ 5 V출력 임피던스: 1 kΩ

출력전류: 4 ~ 20 mA최대부하 임피던스: 600Ω, 최소부하 임피던스: 50Ω

전원 ON 인디케이터 : 전원 투입 상태에서 점등(녹색)유량 인디케이터 : 유량 인가 상태에서 점멸(녹색)

정도

온도특성

아날로그 출력

±3％F.S.（유체: 건조공기에서)

1～50L/min1～25L/min

2～100L/min2～50L/min

DC24V±10％35mA 이하

IP400 ~ 50°C(동결 및 결로 없어야 함)

동작시 : 0 ~ 50°C 보존시 : –10 ~ 60°C(동결 및 결로 없어야 함)동작시, 보존시 35 ~ 85%R.H.(결로 없어야 함)

AC1000V, 1분간 외부단자와 케이스사이

50MΩ 이상(DC500V mega에서) 외부단자와 케이스사이

CE　UL,CSA　RoHS

PFM5 Series


230


아날로그 출력

품번 01

관접속구경

질량

유체접촉부 재질




LCP, PBT, 황동(무전해 니켈도금), HNBR (+ 불소 코팅), FKM (+ 불소 코팅), 실리콘, Au, SUS304

Rc1/8

02

Rc1/4

N01

NPT1/8

N02

NPT1/4

F01

G1/8 G1/4

C4F02ø4


C6

ø6원터치피팅

C6ø8


N7

1/4원터치피팅

10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)

PFM510--1PFM525--1PFM550--1PFM511--1

아날로그 전압 출력(1 ~ 5V)형식

최대정격유량값[L/min]

10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)

PFM510--2PFM525--2PFM550--2PFM511--2

아날로그 전류 출력(4 ~ 20mA)형식

최대정격유량값[L/min]


4

20


0

0

1

5

※( )안은 유체 CO2일 경우

※( )안은 유체 CO2일 경우

주) CO2 선택시의 최대정격유량 값에서의 아날로그 출력은, 전압 출력 타입이 4.57[V], 전류출력 타입이 18.28 [mA] 입니다.

배관사양/질량

아날

로그

출력

[V]

아날

로그

출력

[mA]


231


ｰ1/21：아날로그 전압출력2：아날로그 전류출력

메

인

회

로

부하

갈색 DC（＋）

흑색 아날로그 출력

백색 응답시간 선택 입력

청색 DC（-）

DC24VU

U

＋-

외형치수도

PFM5-C4/C6/C8/N7（mm）


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4"

A

64.264.668 64.6

PFM5-C4L/C6L/C8L/N7L（mm）


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4"

A

10.110.312 10.3

1 IN

OUT1

DC（−）

OUT2

DC（＋）

2×원터치 피팅

1 IN

2×원터치 피팅

OUT1

DC（−）

OUT2

DC（＋）

18

68

10.2

3（34

.2）43

A

2×3.4 OUTIN

18

10.2

43

3

13

（34

.2）

2×3.4

IN OUT18

48

A

FLOW SENSORPOWER FLOW

18

48

88


28

8

2×2.5 깊이5

28

8

2×2.5 깊이5

22

14.8

9.4

커넥터부용 고무커버 부착

PFM5 Series

232

외형치수도

PFM5-(N)01/(N)02/F01

PFM5-(N)01L/(N)02L/F01L

1 IN

2×관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8

DC(＋)DC(−)

OUT2OUT1

2×3.4

18

43

13

10.2

3

(34.2) IN OUT

1 IN

육각대변 17

DC(＋)DC(−)

OUT2OUT1

2×관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8

68

3

(34.2)

18

43

10.2

13

2×3.4IN OUT

48

70

육각대변

17

18


88

48

18


28

8

2×2.5 깊이5

28

8

2×2.5 깊이5

8


233

외형치수도

PFM5-F02

PFM5-F02L

1 IN

18

OUT1

DC（−）

OUT2

DC（＋）

2×관접속구경

G1/418

10.2

13

（34

.2）43

3

2×3.4

IN OUT

1 IN

육각대변 21

DC（＋）

OUT2

2×관접속구경

G1/4

OUT1

DC（−）

18

2×3.4

68

1743

3（34

.2）

10.2

IN OUT

48

78

육각대변

21


88

48

18


2×2.5 깊이5

8

28

8

28

2×2.5 깊이5

PFM5 Series

234

외형치수도

PFM5S-C4/C6/C8/N7（mm）


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4"

A

92.292.696 92.6

PFM5S-C4L/C6L/C8L/N8L（mm）


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4"

A

10.110.312 10.3

1 IN


OUT2OUT1

2원터치 피팅

1 IN

DC（−）

OUT1

DC（＋）

OUT2

2원터치 피팅

51.5（

Max

.58.

5）

13

（34

.2）

310.2

43

18

23.4

IN OUT

18

4858

76

A


10.2

3

（34

.2）

A43

18

68

51.5（

Max

.58.

5）

23.4IN OUT

18

4858

88


28 20

8

32.5 깊이5

22.5 깊이5

28

8


235

외형치수도

PFM5S-(N)01/(N)02/F01

PFM5S-(N)01L/(N)02L/F01L

1 IN

육각대변 17

DC(＋)DC(−)

OUT2OUT1

2×관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8

10.2

3

(34.

2)

18

68

1343

51.5

(Max

.58.

5)

2×3.4IN OUT

1 IN

DC(−)

OUT1 OUT2

DC(＋)

2×관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8

18

13

(34.

2)43

10.2

51.5

(Max

.58.

5)

3

2×3.4

IN OUT

18

48

5876

98

육각대변

17


48

58

88

18


28 20

8

3×2.5 깊이5

2×2.5 깊이5

28

8

PFM5 Series

236

외형치수도

PFM5S-F02

PFM5S-F02L

1 IN

육각대변 212×관접속구경

OUT2


OUT1

G1/4

51.5（

Max

.58.

5）

68

2×3.4

181743

3（34

.2）

10.2

IN OUT

1 IN

2×관접속구경

G1/4

OUT2

DC（＋）

OUT1

DC（−）

2×3.4

51.5（

Max

.58.

5）

10.2

18

43

13

（34

.2）

3IN OUT

육각대변

21

106

76

58

48

18


18

88

58

48


28 20

8

3×2.5 깊이5

28

8

2×2.5 깊이5


237

OUT

패널

두께

1～

3.2

42.5

3

IN

3

패널

두께

1～3.

2

51.5（

Max

.58.

5）

76

A42

.53

42.5

3

패널

두께

1～3.

2

51.5（

Max

.58.

5）

342

.5

패널

두께

1～

3.2

주) 배관취출방향 : 밑면인 경우의 최소값입니다. 스트레이트 배관인 경우는 배관재,튜브를 고 려한 다음 설계 하시기 바랍니다. 모서리부를 라운드 처리할 경우는 R3 이하로 하십시오.

패널 컷 치수

패널 두께 1～3.2mm주) 배관취출방향 : 밑면인 경우의 최소값입니다. 스트레이트 배관인 경우는 배관재,튜브를 고

려한 다음 설계 하시기 바랍니다. 모서리부를 라운드 처리할 경우는 R3 이하로 하십시오.

패널 컷 치수

패널 두께 1～3.2mm

94 이상 주）

74 ＋0.5　0

34 이

상

24＋

0.5

　0

94 이상 주）

54 ＋0.5　0

34 이

상

24＋

0.5

　0

외형치수도

패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 없음/스트레이트 패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 부착/스트레이트

패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 없음 패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 부착


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4

A

92.292.696 92.6


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4

A

64.264.668 64.6

78

2829.9 FLOW SENSOR

POWER FLOW

A58

2829.9 FLOW SENSOR

POWER FLOW

29.9 28 18

88

58


93

78

182829.9 FLOW SENSOR

POWER FLOW

4×R3 이하

4×R3 이하

4×R3 이하 4×R3 이하

4×R3 이하

4×R3 이하

PFM5 Series

238

11IN1 IN IN

4352

.4

431.

2

48

18

1.2

51.5（

Max

.58.

5）18

4348

외형치수도

브라켓 장착/유량조정 밸브 없음 브라켓 장착/유량조정 밸브 부착

DIN레일 장착

5±2

6.5

＋21−

2020 ＋50　0

20 　0−5

30±3

커넥터부착 리드선ZS-33-D

483628

34 26 18

4×3.4


34 26 18

24 28

76

4×3.4

36


18×n개＋34.418

48

FLO

W S

ENSO

RPO

WER

FLO

W

FLO

W S

ENSO

RPO

WER

FLO

W

FLO

W S

ENSO

RPO

WER

FLO

W


갈색

백색

흑색

청색 끝단 세미 스트립 처리

※PFM3시리즈와 접속

AWG26약 0.50mm약 1.00mm

갈색, 백색, 흑색, 청색

내유성 PVCø3.5

절연체

완성품 외경

공칭 단면적

외경

외경

색상

재질

도체

피복

커넥터 부착 리드선의 케이블 사양

• DIN 레일은 고객께서 준비하시기 바랍니다.• 관접속구경 F02 : G1/4은 DIN레일 장착이 불가능합니다.

239

PFM7/PFM5 Series

공통사양

압력 손실(0.35[MPa] 압력일 때)

유량특성

PFM710, 510/10（L/min）용

압력손실

(kPa

)

0.35

0.30

0.25

0.20

0.15

0.10

0.05

유량(L/min)1 2 4 6 8 100

PFM750, 550/50（L/min）용

압력손실

(kPa

)

4

3

2

1

유량(L/min)5 10 20 30 40 500

PFM711, 511/100（L/min）용

PFM725, 525/25（L/min）용

압력손실

(kPa

)

1.0

0.8

0.6

0.4

0.2

유량(L/min)5 10 15 20 250

압력손실

(kPa

)14

12

10

8

6

4

2

유량(L/min)10 20 40 60 80 1000

PFM725, 525/25（L/min）용

PFM711, 511/100（L/min）용

PFM710, 510/10（L/min）용

PFM750, 550/50（L/min）용60

40

20

05 10 150

유량

(L/m

in)

니들 회전수

0.75MPa0.3MPa

0.1MPa

유량

(L/m

in)

니들 회전수

120

100

80

60

40

20

5 10 150

0.75MPa

0.3MPa

0.1MPa

유량

(L/m

in)

니들 회전수

30

20

10

5 10 150

0.75MPa 0.3MPa

0.1MPa유량

(L/m

in)

니들 회전수

15

10

5

05 10 15

0.75MPa 0.3MPa

0.1MPa

240

!1

!5 !2

!3

!6

!7

!4

q w

w

qoire uy!0 ot

유체접촉부 구조도

구성부품

배관 피팅

O-ringO-ring정류 모듈

몸체

센서 하우징

센서 칩오리피스

패킹

Mesh밑면 배관 어댑터

O-ring유량조정밸브 Ass'y몸체 B니들

O-ringO-ring

No. 명칭 비고

1234567891011121314151617

무전해 니켈도금

불소 코팅

불소 코팅


불소 코팅

불소 코팅



불소 코팅

불소 코팅

재질

황동

FKMHNBR

PBTLCP

실리콘

황동

FKM

PBTHNBRPBT황동

황동

HNBRHNBR

SUS304

SUS304

검출원리

멤브레인 상에 제작된 백금의 얇은 막으로 된 히터(Rh)를 중심으로 대칭으로 배치된 상류 측온 센서

(Ru) 및 하류 측온 센서(Rd) 및 기체의 온도 측온용으로써 주위온도 센서(Ra)로 본 MEMS 센서 칩은 구성됩니다.원리는 오른쪽 그림과 같이 (a)기체가 정지된 상태에서는 Rh를 중심으로 가열된 기체의 온도분포는 균일한 상태가 되고, Ru·Rd 모두 같은 저항 값을 나타냅니다.또한, (b)기체가 왼쪽에서부터 흐른 경우는 뜨거워진 기체의 온도 분포는 밸런스를 잃게 되고 Ru보다

도 Rd의 저항 값 쪽이 커집니다.Ru와 Rd의 저항 값 차는 흐르는 기체의 유속에 비례하므로, 그 저항 값을 측정하여 연산처리 함으로써 기체의 흐름방향과 유속을 알 수 있습니다.Ra는 기체 온도 또는 주위온도의 보상용으로 이용됩니다.

RaRu Rh Rd

RaRu Rh Rd

Flow

(b) 기체가 왼쪽에서부터 흐른 상태

(a) 기체가 정지된 상태

2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM7/PFM5 Series

241

PFM7/PFM5 Series

q배관포트를 분리하거나 교환하면, 정도가 2～3%변동할 가능성이 있습니다.동일한 사이즈로 교환하는 경우에는 반복정도 ±1 ％ F.S. 이내의 변동이 있습니다만, 사이즈를 변경하거나 스트레이트에서 엘보, 엘보에서 스트레이트 등으로 교환하면 2～3 ％ 변동할 가능성이 있습니다.

주의

y i

o

i

o

u

qew

i

o

r

t

o

i

o

i

o

i

스트레이트 배관

밑면 배관

유량조정밸브부착스트레이트 배관

유량조정밸브부착밑면 배관

구성부품

본체

커넥터 부착 리드선 (2m)커넥터부용 고무 커버(실리콘 고무)IN측 밑면 배관 어댑터(핀 부착)OUT측 밑면 배관 어댑터(핀 부착)

부품명 품번No.

ZS-33-DZS-33-FZS-33-P1LZS-33-P2LZS-33-10NZS-33-25NZS-33-50NZS-33-11NZS-33-10NLZS-33-25NLZS-33-50NLZS-33-11NLZS-33-C4ZS-33-C6ZS-33-C8ZS-33-N7ZS-33-01ZS-33-N01ZS-33-F01ZS-33-02ZS-33-N02ZS-33-F02

10L/min용

25L/min용

50L/min용

100L/min용

10L/min용

25L/min용

50L/min용

100L/min용

ø4（5/32"）ø6ø8（5/16"）ø1/4"Rc1/8NPT1/8G1/8Rc1/4NPT1/4G1/4

12345

6

7

8

9

스트레이트 배관용유량조정밸브 A'ssy(핀 부착)

밑면 배관용유량조정밸브 A'ssy(핀 부착)

원터치 피팅

암나사 배관

242

PFM3 00 M

012345

M3×5L

M3×5L

E

B

D

L

형식표시방법

출력사양NPN 2출력 + 1 ~ 5V 출력

NPN 2출력 + 4 ~ 20mA 출력

NPN 2출력 + 외부입력 주)

PNP 2출력 + 1 ~ 5V 출력

PNP 2출력 + 4 ~ 20mA 출력

PNP 2출력 + 외부입력 주)교정 증명서

교정 증명서 없음


A※서식은 일어, 영어만 병기된 것 입니다. 일어·영어 이외의 언어는 특주가 됩니다.



무기호

N

주) 적산 외부 리셋, 오토 시프트, 오토 시프트 제로 선택 가능.

3

단위전환기능 부착 주1)

SI 단위 고정 주2)무기호

M

단위사양

타입분리형 모니터

기호

01

내용

전압 입력

전류 입력

적용 분리형 센서부

PFM5(S)--1-PFM5(S)--2-

주1) 신계량법에 따라 일본 내에서 단위전환기능 부착을 사용할 수 없습니다.

주2) 고정단위 순간유량: L/min 적산유량: L

입력사양

옵션 1없음

전원·출력접속 케이블

무기호

L 전원·출력접속 케이블

ZS-28-A

주) 케이블은 접속되어 있지 않습니다. 동봉 포장됩니다.

옵션/부품품번

명칭 품번

ZS-28-AZS-28-B

ZS-28-C-1ZS-27-CZS-27-D

비고

M3 x 5L(2개) 부착

1개M3 x 8L(2개) 부착

M3 x 8L(2개) 부착

전원·출력 접속 케이블(2m)브라켓

센서 접속용 커넥터

패널 마운트 어댑터

패널 마운트 어댑터 + 앞면 보호 커버

옵션 2없음

브라켓

무기호

브라켓

패널


앞면 보호 커버

설치나사(M3 x 8L)

패널


설치나사(M3 x 8L)

옵션 3없음

센서 접속용 커넥터부착

무기호

F센서 접속용 커넥터

(e-con 커넥터)ZS-28-C-1

주) 커넥터는 접속되어 있지 않습니다. 동봉 포장됩니다.

주) 옵션품은 장착되어 있지 않습니다 . 동봉 포장됩니다.



PFM3 Series®

RoHS

유량센서 플로 모니터

243

주1) 접속할 센서는 초기 설정에서 선택합니다. 사용유체 CO2를 선택한 경우는 최대측이 1/2 입니다.주2) 접속센서 10L/min, 최소설정단위 0.01L/min를 선택한 경우, 표시상한은 [10.50L/min] 입니다.

접속센서 100L/min, 최소설정단위 0.1L/min를 선택한 경우, 표시상한은 [105.0L/min] 입니다.공장 출하시에는 접속센서 10L/min, 최소설정단위 0.1L/min로 설정되어 있습니다.

주3) 단위전환기능 부착의 경우(단위전환기능이 없는 타입에 관해서는 SI 단위(L/min 또는L)로 고정됩니다.)주4) 적산유량 값은 전원을 OFF하면 클리어 되고 0으로 복귀합니다. 클리어되지 않도록 적산값을 유지하는 기능을 선택할 수 있습니다.(2분 간격 혹은 5분간격으로 적산 값을 유지하는 것이 선택 가능합니다.) 5분

간격을 선택한 경우, 기억소자(전자부품) 수명인 기입 횟수가 100만회(24시간 통전의 경우, 5분×100만회=500만분=9.5년)이 한도가 되므로 유지기능을 사용하는 경우는 사용조건에서 수명을 계산하고 수명의 범위 내에서 사용 하십시오. 단위전환 기능부착의 경우(단위전환기능이 없는 타입에 관해서는 SI 단위(L/min 또는 L)로 고정 됩니다.

주5) 출하 시에는 히스테리시스 모드로 되어 있습니다. 누름 버튼 조작으로 윈도우 분할 모드를 선택할 수 있습니다. 주6) 출하 시에는 적산 외부 리셋 기능으로 되어 있습니다. 누름 버튼 조작으로 오토시프트, 오토시프트 제로 기능도 선택할 수 있습니다.주7) 배선 및 나사의 규격에 대해서는 당사 홈페이지(http://www.smckorea.co.kr)에서 취급설명서의 내용을 확인해 주십시오.주8）품질 향상에 노력하고 있습니다만, 성능에 지장이 없는 외관의 가벼운 긁힘, 오염, 표시색, 밝기 얼룩 등은 양품으로 하고 있습니다.

PFM3 Series

형식 PFM3

응차 주5)

스위치 출력

아날로그 출력

표시정도

표시방식

동작표시등

외부입력 주6)

보호구조

사용온도범위

사용습도범위

내전압

절연저항

규격

온도특성

접속방식

재질

질량

적산 펄스 출력

응답시간

반복정도

순간유량 L/min, CFM x 10-2

적산유량 L, ft3 x 10-1

1999999LDC 24V±10% 이하 (역접 보호 부착)

50mA 이하

히스테리시스 모드: 가변, 윈도우 분할 모드: 가변

NPN 또는 PNP 오픈 콜렉터 출력 (스위치 출력과 동일)1s (50ms, 0.5s, 2s도 선택 가능)

±0.1%F.S., 아날로그 출력은 ±0.3%F.S. 이하

±0.5%F.S. ± 1 digit3+1/2-digit, 7세그먼트 표시기, 2색 표시(적색/녹색) 샘플링 주기: 10회/sec

OUT1: ON시 점등(녹색). OUT2: ON시 점등(적색).무전압 입력(유접점 또는 무접점), LOW 레벨 입력 30msec 이상, LOW 레벨 0.4V 이하

IP40동작시: 0 ~ 50°C 보존시: –10 ~ 60°C (단, 동결 및 결로 없어야 함)

동작시, 보존시: 35 ~ 85%R.H. (단, 동로 없어야 함)AC 1000V 1분간 충전부와 케이스 사이

50MΩ 이상 (DC 500V mega에서), 충전부와 케이스 사이

±0.5%F.S.(25°C 기준)CE　UL,CSA　RoHS

전원, 출력접속: 5P 커넥터, 센서접속: 4P 커넥터

앞면 케이스, 뒷면 케이스: PBT30g (케이블 포함하지 않음) 85g (케이블 포함)

PFM30: 전압입력 DC 1 ~ 5V (입력 임피던스: 1MΩ)PFM31: 전류입력 DC 4 ~ 20mA (입력 임피던스: 250Ω)

NPN 또는 PNP 오픈 콜렉터 출력: 2출력최대부하전류: 80mA, 최대부하전압 DC 30V (NPN 출력시),

잔류전압 1V 이하 (부하전류 80mA일 때), 단락보호 부착

전압출력: DC 1 ~ 5V (0L/min ~ 정격유량의 최대값)출력 임피던스 약 1kΩ, 정도: ±1%F.S.(대표 표시값)

전류출력: DC 4 ~ 20mA (0L/min ~ 정격유량의 최대값)최대 부하 임피던스: 600Ω (DC 24V), 최소 부하 임피던스: 50Ω

정도: ±1%F.S.(대표 표시값)




0.1 L/min1 L/pulse

설정최소단위 주2)

적산 펄스의 유량 환산값

표시단위 주3)

적산유량범위 주4)

전원전압

소비전류

센서 입력

입력수: 1



표시가능범위 주1)

설정유량범위 주1)



0.2 ~ 10 L/min0.2 ~ 5 L/min0.2 ~ 10.5 L/min0.2 ~ 5.2 L/min 0 ~ 10.5 L/min 0 ~ 5.2 L/min

0.5 ~ 25 L/min0.5 ~ 12.5 L/min0.5 ~ 26.3 L/min0.5 ~ 13.1 L/min 0 ~ 26.3 L/min 0 ~ 13.1 L/min

1 ~ 50 L/min1 ~ 25 L/min1 ~ 52.5 L/min1 ~ 26.2 L/min0 ~ 52.5 L/min0 ~ 26.2 L/min

2 ~ 100 L/min2 ~ 50 L/min2 ~ 105 L/min2 ~ 52 L/min0 ~ 105 L/min0 ~ 52 L/min

사양

아날로그 출력 주의: CO2 선택시의 최대정격유량 값에서의 아날로그 출력은 전압 출력 타입이 3[V], 전류출력 타입이 12 [mA] 입니다.

1

0최대정격 유량값 최대정격 유량값

5

DC 1 ~ 5V

0

4

0

20

DC 4 ~ 20mA

0

0.2 ~ 10 L/min0.5 ~ 25 L/min 1 ~ 50 L/min 2 ~ 100L/min

정격유량범위최대정격유량값

[L/min] 10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)

※( )안은 유체 CO2일 경우아날

로그

출력

[V]

아날

로그

출력

[mA]


244


적산 펄스 출력 배선 예

U

U

갈색 DC（＋）

회색 아날로그 출력

흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

＋−

DC24V

U

U

갈색 DC（＋）


흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

＋−

DC24V

U

U

갈색 DC（＋）

회색 외부 입력

흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

＋−

DC24V

U

U

갈색 DC（＋）


흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

＋−

DC24V

U

U

갈색 DC（＋）


흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

＋−

DC24V

U

U

갈색 DC（＋）

회색 외부 입력

흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

＋−

DC24V

흑색 OUT1

백색 OUT2

청색 DC（−）

Max.30V80mA

부하

부하 갈색 DC（＋）

흑색 OUT1

백색 OUT2

Max.80mA부하

부하

또는0V

50msec 50msec

또는0V

50msec 50msec

메인회로

메인회로

메인회로

메인회로

메인회로

메인회로

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

부하

ｰ0NPN（2출력）＋아날로그 전압출력

ｰ3PNP（2출력）＋아날로그 전압출력

ｰ1NPN（2출력）＋아날로그 전류출력

ｰ4PNP（2출력）＋아날로그 전류출력

ｰ2NPN（2출력）＋외부 입력

ｰ0/1/2 ｰ3/4/5

ｰ5PNP（2출력）＋외부 입력


유량 센서 플로 모니터 PFM3 Series

245

외형치수도

1.5

나사 깊이42×M3×0.5

20±0.1

8.2

3.21.5

331

전원·출력 접속용 커넥터

센서 접속용 커넥터

1.6

40

브라켓

26.5

30

20

31.5

A

41A표시부

4.2

10

15

46

22

35

7.2

브라켓 장착

패널 마운트 어댑터 부착 패널 마운트 어댑터 부착 + 앞면 보호 커버

센서 접속용 커넥터（ZS-28-C-1）

42.4


34.5 2411


34.5 23.87.2

8.5패널 두께 치수 0.5～6

PIN번호

1234

단자명

DC（＋）N.C.

DC（ー）IN※

30

10

※1～5V 또는 4～20mA

PFM3 Series

246

외형치수도

패널 컷 치수

1개 장착

2개 이상 n개 밀착 장착(수평)

2개 이상 n개 밀착 장착(수직)

31 0−0.4 31×n개＋3.5×（n개−1）

24 이

상

31 0 −0.4

31 0 −0.4

31×n

개＋

3.5×（

n개−1）

24 이상31 0−0.4

202020

4×R2 이하 4×R2 이하

4×R2 이하

주) 모서리부R을 라운딩 처리할 경우는 R2 이하로 하십시오.

DC (+) 갈색 5OUT1 흑색 4OUT2 백색 3

아날로그 출력 또는 오토시프트 입력 회색 2DC (–) 청색 1

전원·출력접속 케이블(ZS-28-A) 케이블 사양

도체

시스

완성품 외경

공칭 단면적

외경

외경

색상

재질

0.2mm2

0.58mm약 1.12mm

갈색, 흑색, 백색, 회색, 청색

내유성 PVCø4.1

절연체

유량 센서 플로 모니터 PFM3 Series

247

PFM Series

기능해설

표시색출력상태에 따라 표시색을 설정할 수 있습 니다.표시색을 설정함으로서 이상값 등을 시각적 으로 식별할 수 있게 됩니다.(표시색은 OUT1 설정에 의존합니다.)

사용유체 선택사용유체를 선택할 수 있습니다.아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2)를 사용하는 경우, 설정변경이 필요합니다.주) CO2를 선택한 경우는 측정유량범위의 상한값이 다른

유체의 1/2이 됩니다.

표시모드순간유량을 표시하거나 적산유량을 표 시하거나 선택할 수 있습니다.

순간 유량표시

적산 유량표시

건조공기, N2

아르곤

CO2

ON시 녹색, OFF시 적색

ON시 적색, OFF시 녹색

항상 적색

항상 녹색

0.05초

0.5초

1초

2초

응답시간 설정밸브의 ON - OFF(열림 - 닫힘)에 의해 순간 과도하게 유량이 변화하는 경우가 있습니다. 그 순간의 변동을 검출할 수 없도록 하는 것 입니다.<원리>설정된 시간분만큼 ON 영역이 접속했을 때에 출력 ON이 되도록 처리 하고 있습니다.(OFF일 때도 동일)

표준상태 : 20°C, 1기압(대기압)의 체적으로 환산한 유량표시

기준상태 : 0°C, 1기압(대기압)의 체적으로 환산한 유량표시

위 조치방법대로 해도 복귀되지 않는 경우는 당사에서의 조사가 필요합니다.

에러 명칭 내용 조치 방법

유량 에러

유량표시범위의 상한을 넘는 유량이 흐르고 있습니다.

유량을 줄여 주십시오.

–5% 상당 이상의 역류가 흐르고 있습니다.

유량을 올바른 방향으로 흐르게 하십시오.

과전류 에러

시스템 에러

제로 클리어에러

유량 에러

스위치 출력(OUT1)에 부하전류 80mA 이상이 흐르고 있습니다.

공장 조정 전의 상태, 내부회로 파손의 가능성이 있습니다.

즉시 사용을 정지하고, 당사 담당영업에게 연락하십시오.

시스템 에러입니다.데이터 기억 실패 또는 내부회로파손의 가능성이 있습니다.

리셋 조작하여, 다시 각종 설정을 하십시오.

스위치 출력(OUT2)에 부하전류 80mA 이상이 흐르고 있습니다.

전원을 OFF해서 과전류가 발생한 요인을 제거하고, 다시 전원을 투입하십시오.

유량이 멈춰있는 상태에서 제로 클리어 조작을 하십시오.

유량이 흐르고 있는 상태에서 제로 클리어( 와 버튼을 동시에 누르고 1초 이상)를 하 면 “Er4”를 1초간 표시합니다.

적산유량 범위를 넘고 있습니다.적산유량을 클리어 하십시오.(적산유량을 사용하지 않는 경우는 특히 문제는 없습니다.)

표시단위 기준의 선택표시단위를 표준상태나 기준상태로 선택할 수 있습니다.

외부 입력기능외부 입력기능을 적산값 외부리셋, 오토시프트, 오토시프트 제로 중에 서 어느 것이든 선택할 수 있습니다.(입력신호 : 입력선을 30ms 이상의 GND에 접속한다.)외부리셋 : 입력신호를 가하면 적산 값이 “0”으로 리셋하는 기능입니다.오토시프트 : 신호입력시의 순간유량을 기준으로 상대적인 변화량에 대

해 출력동작을 하는 기능입니다.오토시프트 제로 : 위의 오토시프트 기능 플러스 신호 입력 시의 순간유량 을 제로로 표시하는 기능.상대적으로 마이너스측 유량표시 및 설정값은 가장 좌측의 소수점을 점 등해서 표현하고 있습니다.

표시 분해능PFM710, 711 시리즈는 표시분해능을 변경하여 보다 세밀한 간격으로 표시할 수 있습니다.

100 분할PFM710 0.1 L/min 단위로PFM711 1 L/min 단위로

1000 분할PFM710 0.01 L/min 단위로PFM711 0.1 L/min 단위로

출력동작순간유량에 대한 출력(히스테리시스 모드, 윈도우 분할모드)적산유량에 대한 출력, 적산출력 펄스출력어느 것이든 선택할 수 있습니다.출하시에는 히스테리시스 모드, Normal 출력으로 설정되어 있습니다.

에러 표시기능이상이나 에러가 발생했을 때에 오류 장소나 종류를 표시합니다.

상한값/하한값 표시기능전원 투입시부터 현재까지의 최고(최저) 유량을 검지하여 갱신하고 있습 니다. 상한값(하한값) 표시모드에서는 그 유량을 표시합 니다.

Key Lock 기능잘못해서 설정값을 바꾸어 버리는 등의 오조작을 방지하는 것이 가능합 니다.공장 출하 상태에서 ±7%F.S. 범위내에서 보정 가능합니다.

제로 클리어 기능측정 유량의 표시를 제로로 조정하는 것이 가능합니다.공장 출하 상태에서 ±10%F.S. 범위내에서 보정 가능합니다.

비밀번호 입력 설정Key Lock시에는 비밀번호 입력의 유무를 선택할 수 있습니다.비밀번호가 불필요한 상태로 설정되어 있습니다.

전력절약 모드의 선택전력절약 모드를 선택 할 수 있습니다.30초간 버튼조작을 하지 않으면 전력절약 모드로 이행하는 기능입니다.통상 모드(전력절약 모드 OFF)로 설정되어 있습니다.(작동 시에는 소수점이 점멸하는 상태가 됩니다.)

아날로그 출력 필터의 선택아날로그 출력 부착의 제품을 사용하는 경우는 사용 가능합니다.아날로그 출력 필터를 OFF 함으로써 응답이 빠른 신호를 출력하는 것 이 가능하게 되었습니다.

적산값 유지기능전원을 OFF해도 적산값이 클리어 되지 않도록 할 수 있습니다.측정 중에 2분 또는 5분 간격으로 기억시키고, 전원투입 후에는 기억하 고 있는 값에서부터 적산을 계속합니다.기억소자 수명은 기입횟수 100만회이므로 이것을 감안하여 사용 하십 시오.

외부입력의 배선예

PFM32외부입력부착 NPN 오픈콜렉터 출력:2출력

PFM35외부입력부착PNP 오픈콜렉터 출력:2출력

−＋

부하

부하

청색 DC（−）

DC24 V백색 OUT2

흑색 OUT1

회색 외부입력

갈색 DC（＋）

플로스위치−

＋부하

부하

청색 DC（−）

DC24 V백색 OUT2

흑색 OUT1

회색 외부입력

플로스위치

갈색 DC（＋）

248

PFM7/PFM5 Series

주문제작사양q상세 사양이나 납기, 가격에 대해서는 당사로 확인 하십시오.

OrderMade

외형치수도

PFM -C4/C6/C8/N7--X694

PFM -01/02--X693 PFM -01/02--X694

PFM 7 X693

X693X6945

7

IN

2×3.4

13

A43

1（

34.2）

3

OUT

B184820

10.2

IN

OUT2×3.4

10.2

143

（34

.2）

133

B 48 2018

A

IN

OUT

2×3.4

C

A

204818

B

313（

34.2）43

1

10.2

OUT

2×3.4

B4818

20IN

13

3A43

（34

.2）

1

10.2

C

원터치피팅적용튜브외경

C4C6C8N7

ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4

A

10.110.312 10.3

B

8.1 8.310 8.3

관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4

G1/8G1/4

A

13

17

B

11

15

C(육각대변)

17

21

PFM -C4/C6/C8/N7--X69375

75

75

75

X693, X6941 IN측과 OUT측 배관방향의 조합을 변경

배관 취출방향주) 무기호입니다.

IN측 : 스트레이트/OUT측 : 밑면

IN측 : 밑면/OUT측 : 스트레이트

배관 취출방향 조합변경

분리형 센서부

표시 일체형

타입

형식표시방법의 상세한 것은P.214,228을 참조하십시오.

표시기호

249

외형치수도

PFM S-C4/C6/C8/N7--X693 PFM S-C4/C6/C8/N7--X694

PFM S-01/02--X693 PFM S-01/02--X694

OUT

IN

2×3.4

51.5（

Max

58.5）

13

B4820

18

3（

34.2）43

1A

10.2

OUT

IN

2×3.4

A51

.5（M

ax58

.5）

2048

18

B

313（

34.2）43

1

10.2


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4

A

10.110.312 10.3

B

8.1 8.310 8.3


ø4（5/32"）ø6

ø8（5/16"）ø1/4

A

10.110.312 10.3

B

36.136.337 36.3

관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4

G1/8G1/4

A

13

17

B

11

15

C（육각대변）

17

21

관접속구경

Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4

G1/8G1/4

A

13

17

B

39

43

C（육각대변）

17

21

IN

OUT

2×3.4

51.5（

Max

58.5）

13

B4820

18

3（

34.2）43

1A

10.2

COUT

IN

2×3.4

A51

.5（M

ax58

.5）

2048B18

313（

34.2）43

1

10.2

C

75

75

75

75

PFM7/PFM5 Series

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OrderMade

250

PFM7/PFM5 Series

주문제작사양e상세 사양이나 납기, 가격에 대해서는 당사로 확인 하십시오.

OrderMade

아르곤(Ar) , 이산화탄소(CO2) 혼합가스 대응2

PFM 7 X731

표시 일체형7

X731표시기호

가스의 혼합비는 Ar：CO2＝92：8, 90：10, 80：20, 70：30, 60：40을 버튼 조작으로 선택할 수 있습니다. 외형치수는 표준품과 동일합니다.

혼합비형식 정격유량범위 표시가능범위 설정가능범위

아날로그 최대출력

전압(Vmax) 전류(Imax)

PFM710

Ar92％90％80％70％60％92％90％80％70％60％92％90％80％70％60％92％90％80％70％60％

8％10％20％30％40％8％

10％20％30％40％8％

10％20％30％40％8％

10％20％30％40％

0.2～7.0L/min

0.5～25.0L/min

0.5～20.0L/min

1.0～50.0L/min

1.0～40.0L/min

2～100L/min

2～90L/min

2～80L/min

0.2～7.4L/min

0.5～26.3L/min

0.5～21.0L/min

1.0～52.5L/min

1.0～42.0L/min

2～105L/min

2～95L/min

2～84L/min

PFM725

PFM750

PFM711

CO2

0～7.4L/min

0～26.3L/min

0～21.0L/min

0～52.5L/min

0～42.0L/min

0～105L/min

0～95L/min

0～84L/min

3.80V

5.00V

4.20V

5.00V

4.20V

5.00V

4.60V

4.20V

15.2mA

20.0mA

16.8mA

20.0mA

16.8mA

20.0mA

18.4mA

16.8mA

5

Vmax

1

00 0

20

Imax

4

0

형식표시방법의 상세한 것은P.214,228을 참조하십시오.

아날로그 전압출력(1 ~ 5V)

건조공기 선택시최대정격 유량값

혼합가스 선택시최대정격 유량값

아날로그 전류출력(4 ~ 20mA)

건조공기 선택시최대정격 유량값

혼합가스 선택시최대정격 유량값

혼합 가스 선택시의 출력특성

아날로그

출력

[V]

아날로그

출력

[mA]

251

252

Documents

색 표시식 디지털 플로스위치 - SMCKOREA · 2018-09-18 · 배관방향: 밑면 배관타입에는 장착할 수 없습니다. t 패널 마운트 어댑터 (유량조정밸브