富士クリーンルーム機器

局所クリーン化・装置対応用

薄型ＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）

F-Stage シリーズ

！ 安全に関するご注意*ご使用の前に、「取扱説明書」や「仕様書」などをよくお読みいただくか、当社またはお買い上げの販売店にご相談のうえ、正しくお使いください。*取扱いは当該分野の専門技術を有する人が行ってください。

FF--Stage Stage 外形寸法図外形寸法図

富士電機システムズ株式会社

FF--Stage Stage 標準装備品標準装備品

FF--Stage Stage オプションオプション

① 本体

② フィルタ

③ プレフィルタ

④ 取付金具

⑤ 本体～ｺﾝﾄﾛｰﾗBOX間接続ｹｰﾌﾞﾙ 2m 【F-Stage40のみ】

① 差圧計・チューブ（3m）・ピトー管

② 異常表示ランプ

③ ＣＥマーキング対応 【F-Stage61・F-Stage122】

④ 本体～ｺﾝﾄﾛｰﾗBOX間延長ｹｰﾌﾞﾙ 4m 【F-Stage40のみ】※本体～ｺﾝﾄﾛｰﾗBOX間のｹｰﾌﾞﾙは、全長で6m以内としてください。

AA

B B

75

25

（40）

（115） 75

25

（40）

（115）

Y

X

50

50 35 35

◆F-Stage40・50・61 ◆F-Stage122 ◆開口寸法

4-φ7

F-Stage40 F-Stage50 F-Stage61 F-Stage122

A 400 500 610 1220B 400 500 610 610X 370 470 580 580Y 370 470 580 1190

富士電機システムズ株式会社

第一営業本部 第三統括部営 業第一部TEL. 03-5435-7012FAX. 03-5435-7415

西日本支社 Ａプロジェクト推進部TEL. 06-6455-9841FAX. 06-6455-7190

中部支社 第一営業部TEL. 052-231-8506FAX. 052-231-2205

K604-3a

インターネットで、富士電機クリーンルームのホームページにアクセスしてみませんか。

http://www.fesys.co.jp/sougou/seihin/CleanRoom/index.html

注）F-Stage40は、ｺﾝﾄﾛｰﾗBOXが別置となります。

本資料の内容は製品改良などのために変更することがありますのでご了承ください。

FF--Stage Stage 型式の見方型式の見方

FF--Stage Stage 標準仕様表標準仕様表

FF--Stage Stage 仕様表（仕様表（CECE対応）・・オプション対応）・・オプション

ＷＬＦ A2 1 D H 6 １ １ 0 0 0 - 0

最近のクリーンルームにおいては、製造コスト削減、省エネルギーの要求から、従来の部屋全体クリーン化から局

所的なクリーン化が主流となってきています。

製造装置、搬送装置などに搭載されるファン・フィルタ・ユニットにも薄型、コンパクト、高機能が求められています。

F-Stageシリーズは、局所クリーン化・装置対応型の超薄型ファン・フィルタ・ユニットとして、これらのご要望にお応

えします。

F-Stage61（CE)

F-Stage122（CE)

A0 ： 400×400×75A1 ： 500×500×75A2 ： 610×610×75A3 ： 1220×610×75

本体ｻｲｽﾞ本体ｻｲｽﾞ

電源電源

1 ： AC 200V

ﾓｰﾀ種別ﾓｰﾀ種別

D ： DCﾌﾞﾗｼﾚｽﾓｰﾀ

ﾌｨﾙﾀ種別ﾌｨﾙﾀ種別

H ： HEPAﾌｨﾙﾀU ： ULPAﾌｨﾙﾀ ﾌｨﾙﾀｻｲｽﾞﾌｨﾙﾀｻｲｽﾞ

4 ： 400×4005 ： 500×5006 ： 610×6101 ： 1220×610

1 ： 40mm2 ： 50mm

ﾌｨﾙﾀ厚さﾌｨﾙﾀ厚さ

ｹｰｼﾝｸﾞ材質ｹｰｼﾝｸﾞ材質

1 ： ZAM2 ： SUS430

異常ﾗﾝﾌﾟ異常ﾗﾝﾌﾟ

0 ： 無し1 ： 有り

0 ： 無し1 ： 有り

製品改定番号製品改定番号

（）内はHEPA（t=40mm）の場合

外観

品名 F-Stage40 F-Stage50 F-Stage61 F-Stage122

型式 （WLF-） A01D□4□□□□0-0 A11D□5□□□□0-0 A21D□6□□□□0-0 A3１D□1□□□□0-0

寸法 【mm】 Ａ 400 500 610 1220

Ｂ 400 500 610 610H 75

電源 1φ200V／3φ200V電動機 DCﾌﾞﾗｽﾚｽﾓｰﾀ

風量 【m3/min】 3.8（2.7） 6.3（4.4） 9.4（6.6） 15.1（12.2）

風速 【m/s】 0.5（0.35） 0.5（0.35） 0.5（0.35） 0.37（0.3）本体材質 ZAM／SUS430速度制御方式 ボリューム（0～100％）騒音 【ｄB（A)】 52（51） 51（50） 53（49） 54（54）消費電力 【W】 38（31） 44（38） 65（45） 73（77）質量（ﾌｨﾙﾀ含む） 【kg】 8.5 9.6 11.6 16.5環境規制 RoHS対応

フィルタ HEPA（t＝40mm／50mm） 99.99％（0.3μm）

ULPA（t＝50mm） 99.999％（0.1μm）※1 風量は、機外静圧 0Pa の場合の目安です。

※2 騒音値は、HEPAﾌｨﾙﾀ、機外静圧0Pa、ﾌｨﾙﾀ直下1.5mでの値です。

※3 消費電力は、HEPAﾌｨﾙﾀ、機外静圧0Pa、3Φ200V電源の場合の値です。

※4 F-Stage40は、ｺﾝﾄﾛｰﾗBOXが別置となります。（標準付属ｹｰﾌﾞﾙ 2m）

※5 吸込み側が一般大気等の場合には、塵埃保持量の大きなt=50mmのﾌｨﾙﾀｰを選定してください。

（）内はHEPA（t=40mm）の場合

品名F-Stage61

（CE）F-Stage122

（CE)

型式 （WLF-） A21DU61□□□1-0 A3１DＵ11□□□1-0

寸法 Ａ 610 1220

Ｂ 610 610H 75

電源 3φ200V電動機 DCﾌﾞﾗｽﾚｽﾓｰﾀ

風量（最大） 【m3/min】 9.4（6.6） 15.1（12.2）

風速（最大） 【m/s】 0.5（0.35） 0.37（0.3）速度制御方式 ボリューム（0～100％）騒音 【ｄB（A)】 53（49） 54（54）消費電力 【W】 65（45） 77（73）質量 【kg】 11.6 16.5本体材質 ZAM／SUS430環境規制 RoHS対応CEマーキング CE対応

フィルタ HEPA（t＝40mm／50mm） 99.99％（0.3μm）

ULPA（t＝50mm） 99.999％ （0.1μm）※1 風量は、HEPAﾌｨﾙﾀ、機外静圧 0Pa の場合の目安です。

※2 騒音値は、HEPAﾌｨﾙﾀ、機外静圧0Pa、ﾌｨﾙﾀ直下1.5mでの値です。

※3 消費電力は、機外静圧0Pa、3Φ200V電源の場合の値です。

※4 吸込み側が一般大気等の場合には、塵埃保持量の大きなt=50mmのﾌｨﾙﾀｰを選定してください。

クリーンルームシステムにおける豊富な実績と確かな技術が、富士クリー

ンルーム機器の随所に生かされています。

富士電機システムズは、お客様のクリーン化に関するあらゆる課題の解決

をお手伝いできます。

FF--Stage Stage の特長の特長

0 ： 無し1 ： 有り

プロセスに直結するパーティクル対策、気流制御、温度制御、ケミカル汚染対策

気流シミュレーション・気流可視化などの充実したエンジニアリングツール

豊富な製品群

富士電機システムズならではの試作・試験、分析・評価技術

・・・ クリーンのことなら富士電機システムズのTotal Solution！

●超薄型115mm （最小） 新開発HEPAフィルタ（厚み40mm）と組合せた場合

●更なる省エネを実現 最大機種で約34％の省エネルギー。（当社F-Cubeとの比較）

●低騒音化の実現 最大機種で約10ｄB低下。（当社F-Cubeとの比較）

●RoHS指令標準対応 ※中国向けの場合はご指定ください。

●CEマーキング対応可能 （オプション対応）F-Stage50

ＣＥ対応ＣＥ対応

差圧計ｾｯﾄ差圧計ｾｯﾄ

※ﾌｨﾙﾀ厚さ 40mmはHEPAﾌｨﾙﾀのみ