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2013-2 Printed in Japan
2013
此目錄使用再生紙。
☎（03）5435-7114〒141-0032 東京都品川區大崎1-11-2 （GATE CITY OHSAKI East Tower）
首頁URL http://www.fujielectric.co.jp
本資料的內容會因產品改良等變更，敬請諒解。
全力支援創造理想的潔淨室
潔淨室的解決方案
http://www.fujielectric.co.jp/products/cleanroom/富士電機潔淨室的首頁。
安全注意事項使用前，請仔細閱讀“操作說明書”或“規格書”或請洽製造商或原購買銷售公司諮詢並正確使用。由該領域的專業技術的人員進行處理。
潔
淨
室
的
解
決
方
案
TK613
1 2C L E A N R O O M
S o l u t i o n
C L E A N R O O M
Field
1
Field
Field
Solution
2
3
富士電機的潔淨室技術開始於1970年代初期的潔淨機器的開發是契機，1980年代建設本公司的半導體工廠潔淨室。自此與大規模潔淨室的顧客，以二人三腳同心協力，促進生產環境的改善，累積潔淨化的豐富經驗與技術。遇需要解決的課題時，在基於電機製造廠廣泛的要素技術與開發高功能機器的能力基礎下，實現解決方案。
OST PERFORMANCE
ARGE SCALE
COLOGY
CCURACY
EW TECHNOLOGY
提供潔淨化不可或缺的最先進局部設備等低成本的最適合解決方案。
領先業界的生產體制與實績，可以很迅速地對應大規模潔淨室。
FFU是利用多年培育的水力發電水車技術轉用於空氣風扇，並加上自在操縱電力控制技術，實現業界最高水準的效率。
充分利用氣流分析等及工程力，確實地實現潔淨環境的正確空間設計。
活用製造廠的綜合能力，根據微粒感測器FFU可主動控制，此外風向風速感測器，超精密溫調等技術也隨時間進步發展。
C
L
E
A
N
實現與顧客一起創造最適合的環境。富士電機的Air環境創造
解決方案事例・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・p7 FPD 半導體 醫藥·食品 汽車·精密零件·鋰離子電池
FFU選擇方法・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・p11 標準型[WLFA] 大風量型[WLFB] 單相型[WLFC] AC馬達型[WLFD] 單機型[WLFE] 薄型[WLFF] 控制器規格表 設備用FFU選擇方法 耐熱FFU[WLFI] [WLFJ] 化學FFU[WLFK]
FFU監控系統・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・p31 FFU監控系統選擇方法 功能一覽 F-SITE-FMR500 F-SITE-FMC500 F-SITE-FMV300 F-SITE-FMC200 F-SITE-FMC100 LSI LCI
潔淨室材料・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・p47 產品線 系統天花板框架 照明器具/盲板 側道面板(濾網) 建具類(氣密門·窗) 隔間庫板 維護出入口·維護通路 活動高架地板 配電機器
節能對策・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・p57 節能與替換的建議 節能與替換的實現 富士電機潔淨室的發展史 工程工具
Replace
3 4C L E A N R O O M
S o l u t i o n
C L E A N R O O M
潔淨室的定義 需要潔淨室的產業及等級
空氣中的微粒塵埃的量被控制在一定等級並維持的空間
因空氣污染引起的各種的障礙
清淨度等級的標準
潔淨室的清淨度，是以一定空間內的微塵粒子數量的顯示。因此，清淨度等級較低者是為清淨度高（微塵少）的潔淨室。作為清淨度的規格，主要採用美國聯邦規格（FS-209D·E）,不過根據ISO14644制定(2000年)已經被廢止。可是，現今潔淨室的現場，依舊廣泛地使用FS-209D的清淨度等級。微粒濃度以1立方英呎中的個數（個/ft3）表示。另外，FS-209D規格是以粒徑0.5μm為標準,不過目前現場多以0.3μm和0.1μm為基準，等級的確認需要注意對象粒徑與單位面積（m3・ft3）。
0.3μm
1
10
100
1,000
10,000
100,000
0.1μm
1
10
100
1,000
10,000
100,000
FS-209D
0.5μm
1
10
100
1,000
10,000
100,000
FS-209E
0.5μm
M1
M1.5
M2
M2.5
M3
M3.5
M4
M4.5
M5
M5.5
M6
M6.5
JIS/ISO
0.1μm
1
1.5
2
2.5
3
3.5
4
4.5
5
5.5
6
6.5
7
7.5
8
規 格
基準粒徑
慣用的清淨度（個/ft3）
LSI製造晶圓工程LSI裝配·試驗工程矽單結晶光罩光阻印刷電路板材料液晶顯示器OLED半導體製造設備LSI製造用化學藥品太陽能板精密電子部品磁頭磁碟照片膠卷光纖小型軸承鏡片精密測量儀製造抗生素注射藥製劑包裝線醫療器具·處理無菌病房手術室藥劑室牛乳·乳製品肉類·肉類加工釀造酒製糖·麵包屏障系統隔離蘑菇栽培化妝品
清淨度（ISO等級）
清淨度（慣用表現，個 / ft3）
推薦方式
半導體・FPD
精密機器
醫療·製藥
食 品
其 他
Class 1 Class 2 Class 3 Class 4 Class 5 Class 6 Class 7 Class 8
0.1μmclass 10
0.1μmclass 1
0.3μmclass 1
0.3μmclass 10
0.3μmclass 100
0.5μmclass 100
0.5μmclass 1000
0.5μmclass 10000
醫療·製藥領域
工業領域
食品領域
故障·不良品的增加良率降低
院內感染細菌混入
FFU方式的潔淨室 潔淨冷卻設備
潔淨室不只要去除空氣中的微粒細菌,同時進行溫濕度、壓力、氣流等的控制，實現潔淨無菌的潔淨空間。
為了確保產品的高品質和信賴性，防止微粒的附著是非常重要的課題。醫院的防止院內感染，製藥工廠的防止細菌混入及食品工廠的防止食品變質等的應用,
使潔淨室被廣大且持續地應於各種產業。
異物混入食品變質
可經由導入潔淨室的方法解決
清淨度等級
5 6C L E A N R O O M
S o l u t i o n
C L E A N R O O M
FFU方式潔淨室是在鋁框盲板的系統天花板架構，設置維持必要清淨度台數的FFU（風機濾網設備）潔淨空間。
適用於要求單一方向流的高清淨度潔淨室，被廣泛採用於半導體·液晶面板產業的大型潔淨室。
吊架天花板材料
FFU
FFU監控系統
節能效果實現比大型空調機需要的加壓方式更節能。此外，控制每台FFU的運轉/停止可調整風速，沒有浪費的運用潔淨室。
1 「能源比較（本公司估算例）」
加壓室方式 FFU方式
100908070605040302010
0
［kW］
78.7
19.3
靈活性根據FFU的追加與變更位置，可以調整區域的潔淨度。也可以靈活的應對，生產線的變更。
32 無洩漏
對潔淨室來說，天花板上方為負壓，所以不必擔心天花內的微粒洩漏到潔淨室。
4 簡單的維護
由於無洩漏的方式，可滿足FFU運行中可以進行維護，且不需擔心影響潔淨度。
5
P.47
P.7優 勢
天花板上方
潔淨室內部
長久性即使有幾台FFU故障，也可以保持潔淨室的功能。系統來說耐久性高。
P.11
環境感測器
FFU方式的潔淨室構成要素
可以建構解決所有問題的理想潔淨室
特殊環境工作棚
構成潔淨室的機器
溫調設備
氣流控制設備
提供吊架天花板用大風量型和空間限制的倉儲用薄型等的廣泛產品線。也提供設備上使用，可依照功能和風量等選擇的各樣FFU。
提供對應潔淨室環境用的各種用途感測器F-Planet，風向和風速感測器等，依據趨勢分析及環境變化，可以讓您迅速反應。
實施即時監控，可以穩定生產與提高產量。監控系統“F-SITE系列”是以實現“從大型到小型潔淨室的可視化”的產品線。
P.31
以提高潔淨室的功能,維護效率等,我們提供一切所需的如從Ceiling Grid天花板到照明設備，庫板等材料。
我們提供考慮效率高、節能、低噪音的各種不同的潔淨室設備，如空氣淋浴，潔淨衣櫃等。
我們提供各種不同的溫度控制設備，從高精度的溫濕度環境到晶圓或玻璃基板的溫控，可提高品質及縮短製造時間等。也可以對應顧客需求的客製品。
我們提供空氣幕、百葉風口FFU、通風室、排氣設備等各種控制氣流的設備。
我們可以提供滿足各種要求的潔淨棚，如對應高潔淨度，化學污染控制措施及預防輻射照射等。也可以配合指定的場所，需求的大小，必要的性能等的客製品。
concept catalog
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你也可以從第7頁的解決方案中選擇，滿足您的目的和用途。
7 8C L E A N R O O M
S o l u t i o n
C L E A N R O O M
潔淨冷卻設備
乾燥及檢查區域的潔淨化1
維護區域空氣幕
不同的清淨度的區劃 2 3
維護/生產區域化學FFU
配合裝載設備的形狀與規格，放置設備內潔淨化。以獨創的材料和結構,內置化學濾網，可減少晶圓的化學污染。
光阻塗佈/顯影設備的潔淨化1
黃光製程耐熱FFU
小型耐熱馬達的採用，可設置在升溫的小空間。安裝位置彈性大。
熱氧化設備的潔淨化2
成膜工程
設備用FFU
FOUP和設備間的壓力調整,可減少EFEM(Equipment Front End Module)微粒的附著。
EFEM的潔淨化3
輸送
光阻塗佈等需要溫溼度管理的使用環境，使用本公司專有控制器可控制於±0.01℃，±0.3％的精度。實現光阻膜厚的均一化。
光阻塗佈部分的精密溫濕度調整4
黃光製程
設備用FFU
由於配合設備結構的設計，能降低設備整體高度。
洗淨設備的潔淨化5
洗淨製程
檢出設備內外的微差壓6
F-Planet
透過清淨度和溫濕度的即時監測，確定影響產量變化的原因。
製造環境即時監視7
生產線
透過環境感測器與搭配最適風量的FFU，節能操作不浪費。
潔淨室的節能運用8
潔淨室潔淨室監控系統
風向·風速感測器製造設備
解決方案事例 FPD 解決方案事例 半導體
Solution
精密溫濕調設備
確保在大空間內部必要的風速
大風量FFU維護/生產區域 P.11 P.12
P.12
P.12
P.31
P.12
倉儲內防止異物附著4
倉儲區域化學清洗
化學成分的去除5 6
外氣處理P.11
玻璃基板的急速冷卻
基板急速冷卻設備黃光製程
外氣
潔淨空氣
薄型FFU
玻璃基板的空氣冷卻7
黃光製程
玻璃基板恆溫化設備
曝光前基板的溫度均一化8 9
黃光製程
G10用大型空氣浴塵室
大型空氣浴塵室驗 收
烘烤後的基板於卡匣內以空氣冷卻。於短時間內表面溫度均勻的冷卻。
在玻璃基板進入曝光機前，使基板表面溫度高精度的均一。減少因溫度不均勻使圖案複製偏差。
G10尺寸大型玻璃基板用大型空氣浴塵室。
G10用大型潔淨棚
檢 查冷卻盤管
CR整體的溫度控制11
潔淨室整體
以W8000×D6000×H3500大型潔淨棚實現G10尺寸的檢查設備的class 10。
利用冷水線圈控制潔淨室整體的溫度。
大型潔淨棚
玻璃基板冷卻設備
concept catalog
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如倉儲區域高度大於10m高的天花板，確保吹出0.8m/s的必要path line高風速。
從前使用庫板區分不同清淨度區域,現在你可以利用高風速空氣來分區。
不需要構築系統天花板,也可潔淨從1,000至10萬的清淨度等級的區域。
薄型且大風量的FFU可使倉儲區域有效率的潔淨化。
去除FPD製造工程中產生的,如氨NH3・SOx・NOx等的化學污染物質。
從特殊的噴嘴有效率地使冷空氣吹到玻璃上面，烘烤後的玻璃基板可以急速冷卻。
超聲波式的微風速檢出，設備內壓力可適當控制。抵禦化學和微粒的侵入。
concept catalog
concept catalog
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9 10C L E A N R O O MC L E A N R O O M
S o l u t i o n
輻射屏蔽1 醫療器具的殺菌·乾燥2
殺菌·乾燥
醫療機器的品質安定化3
防爆空氣浴塵室
防爆區域對應的潔淨機器4
防 爆
溫風乾燥棚
醫藥溶液的潔淨乾燥5
乾 燥空氣幕
食品的防止異物混入6
潔淨室
通風室
不在室內擴散有害物質和有害微生物等，也能排放潔淨氣體。也對應防爆規格。
有害試劑用的安全空調7
測試室
潔淨區域的簡單構築8
潔淨室潔淨冷卻系統
塗裝生產線防止灰塵附著1
塗 裝高精度溫度控制設備
鏡片檢查工程的高精度溫度控制2
檢 查
F-Planet
生產線的環境管理3
生產線
生產線的局部潔淨化4
解決方案事例 醫藥·食品 解決方案事例 汽車・精密零件・鋰離子電池
輻射屏蔽的鉛棚產品填充
除濕恒温棚低濕度
低露點乾燥房間
LED・太陽能電池・鋰離子電池5
電解質注入製程
潔淨棚生產線
熱風乾燥殺菌工作檯 附擴散板的FFU
微塵収集設備
透過連接吸入軟管更有效地吸微塵。
去除潔淨室內的發塵6
潔淨室
如從抗癌藥物試劑所發出的輻射,以內置鉛保護板防止。
隱形眼鏡製造等，濕度影響的製程環境由冷凍機方式做除濕和溫度調整。
由於高速吹熱風，可使從前很花費時間的溶液到乾燥可以短時間完成。
食品工廠的一般區域和潔淨區域可利用空氣幕區劃。給排氣平衡可使室內的發塵能很快地去除。
防爆必要的製藥工廠和化學工廠等的危險區域也需考慮安全的設計對應。
注針筒等需要殺菌產品的乾燥，隔絕內外熱源可增加效率。由於耐熱濾網為內建型不需擔心熱風引起的污染。
特殊擴散板的大送風區的FFU可有效的防止，汽車塗裝前的產線捲起的灰塵。
各製程的趨勢監視，可管理為溫濕度和清淨度等製造環境。 加工塵屑多的製程及異物附著問題的製程可以簡便地潔淨化。
Solution
光學機器的鏡片製造等，需要精度高的溫度控制的製程環境溫度, 本公司專有的多段控制方式可於±0.005的精度。
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能簡單地構築在醫藥品工廠和食品工廠多利用的清淨度等級10萬左右的潔淨區域。
鋰離子電池製造等避免空氣中濕度的製程環境以乾燥劑冷卻(desiccant cooling)方式低濕化。
11 12
F F U
Field
1
F F U為吊架天花板準備各種類型，提升整體的清淨度。
標準型■3Φ200V■充實的通信功能
大風量型■50CMM大風量
單相型■1Φ200V
AC馬達類型■簡約結構■簡單操作
單機型■潔淨棚等■最適合單獨使用
薄 型■最適合於倉儲側面安裝
設備用FFU符合國際標準,在有限的空間下可達到最佳性能。
F FU
P.18 P.19 P.20
P.15 P.16 P.17
F-Cube-N■1Φ100V 對應普通插座■濾網一體型■通信功能
P.25 P.27
化學FFU■最適合用塗佈機·顯影装置等 製造設備的化學污染對策■容易交換的化學濾網
P.30
F-Stage■1Φ200V / 3Φ200V■超薄型■RoHS對應
耐熱FFU（超薄型）■高溫環境(50℃)可以使用■高度105～120mm薄型
P.29
耐熱FFU（高風速型）■高溫環境(50℃）可以使用■高靜壓風機達風量0.65m/s
P.29
區分用途，功能和特長，再加上風量・・・。可從各種的角度做選擇，具多樣化產品線。
C L E A N R O O MC L E A N R O O M
WLFA WLFB WLFC WLFG WLFH
WLFD WLFE WLFF WLF I WLFJ WLFK
13 14C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U
Field
1
F F UF i e l d 1
由用途選擇
單相
有
無
無無
無
有
※異常信號可外部輸出為選項
有 有
單相
三相
三相
型 式 Grid尺寸（括號內是可以製造的範圍） 電源規格 適合的控制器
DC210W
DC600W
DC210W
AC200W
DC170W
DC100W×2
3Φ200V
3Φ200V
1Φ200V
3Φ200V
3Φ200V
3Φ200V
D750×W1500（D:500～）（W:～1800）
D750×W1500（D:500～）（W:～1800）
D610×W1220（D:500～）（W:～1800）
D610×W1220（D:500～）（W:～1800）
D610×W1220（D:500～）（W:～1800）
D1200×W1500（D:500～）（W:～1800）
SDR3204-2R-TD（4C4M）
BFFU750
BFFU250-1P
－
BDR170T
SDR3204-2R-TD（4C4M）
馬達
可
可
可
不可※
不可※
可
上位通信
RS485
CAN
CAN
CAN
－
－
RS485
通信方法
大規模系統100～數10,000台
小規模系統10～數100台
潔淨棚
製造設備搭載
用倉儲系統側面安裝
專用設計
電源規格
可變風量
可變風量
專用設計
F-Stage［WLFG］ F-Cube-N［WLFH］
※1. 40mm濾網使用時本體厚度 ※2. 僅F-Stage 61，F-Cube 122
1Φ200V／3Φ200V可以選擇HEPA,ULPA無115mm※1
RoHS（選項可對應CE）※2
1Φ100V 普通插座／1Φ200V（選項）／DC24V（選項）內建ULPA為標準（僅特定尺寸可以選擇HEPA）選項方式可遠端調整風量，監視故障150mmRoHS（選項）／CE（選項）
正確的選擇適合各自用途地的系統
標準型WLFA
薄型WLFF
大風量型WLFB
單相型WLFC
AC馬達類型WLFD
單機型WLFE
設備用客製型
WLFI WLFJ WLFK
設備用標準型
標準型 WLFA
標準型WLFA
大風量型WLFB
單相型WLFC
AC馬達型WLFD
單機型WLFE
薄型WLFF
電源規格
P.15
P.16
P.17
P.18
P.19
P.23
P.23
P.20
BFFU250（1C1M）BFFU1000（1C4M）
BFFU500（1C2M）BFFU1000（4C4M）
耐 熱 化 學
F-StageWLFG
F-Cube-NWLFH
FFU規格表
設備用FFU的比較
電 源濾 網通信功能厚 度規 格
安心的實績
富士FFU的特點
本公司作為潔淨機器的供應商已有40年以上的經驗，到現在為止已有500,000台以上的FFU實績。
選擇材質把耐蝕性及成本效益高的電鍍鋼板作為箱體的標準材料,依照使用用途，可以選擇如不銹鋼等的各種材質。
減輕工程負擔使用多台運轉控制器，可降低電纜連接點（傳統的1/4）,降低施工成本, 縮短工期也可以提早潔淨室的啟動時間。
信賴性提高減輕電纜接觸不良造成的通信異常的發生與外來噪音的影響。
多樣性尺寸可以製造配合Gaid尺寸及設置空間的各種尺寸FFU。
特點
1特點
2
特點
3
特點
5
特點
4
豐富的產品線準備業界最高級的大風量型和倉儲側面最適合的薄型等的多種類型。
多台運轉控制器我們自行開發的控制系統可使單一控制器控制多台FFU運轉。電纜施工變的簡單，適用於使用大量FFU的潔淨室。
電力電纜 通信電纜 母機－子機 連接電纜
翼型高效率風扇風扇設計是應用本公司傳統事業的水力發電經驗和技術。由於為風機形狀採用翼斷面實現著效率提高。
可以調整最合適的風量利用本公司核心技術的電力控制技術，可高精度的控制速度。能配合使用環境，設定最適合的風量。業界最高等級的大風量產品線。
低噪音根據流暢的風扇入口及裝置內的整流構造，實現最高水準的低噪音。同時考慮到防震動設計，所以對周圍不會造成影響。
業界最高節能馬達採用比感應誘導馬達效率佳的DC無刷馬達為標準。實現業界最高水準的節能。
母機FFU 子機FFU
子機FFU子機FFU
FFU控制器多台運轉控制器取得專利 控制器(1C4M)
※1台控制器：4台馬達
※本公司自1980年世界首先於FFU採用渦輪風機。 現在全世界以渦輪風機為主流。
SDR3204-2R-TD
各種DC-FFU已安裝控制器。欲了解更多內容，請參考21頁至22頁。
高效率轉換(AC-DC-AC)控制性(PWM內建控制電路)遠端操作性(CAN/RS485通信系統)電流限制電路低電壓保護電路 無感測器BLDC馬達檢出轉速
控制FFU的控制器是利用本公司發展變頻器的核心技術。
主要特點
15 16C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U
標準型 WLFA 大風量類型 WLFB
控制盒尺寸圖
尺寸圖尺寸圖
Field
1
額定銘版
（1469.6包括鉚釘頭）
（719.6，包括鉚釘頭）
1464
1467
1464
1467
18
10220
（30）
1460（濾網尺寸）
（1）
（2） （1.5）
220
10
電力電纜VCTF2.0Sq4芯x 2m, 2條 通信電纜
屏蔽電纜0.2Sq 2芯RS485 x 2m, 2條
714 ±1
714 ±1
1464 ±1
1464 ±1
載入機連接埠（模塊化）
電源/運轉/異常燈電源開關1464
風扇維護的方向
（濾網尺寸：1460* 710）
120
210
63
1.6（1.2）
鉚釘
濾網（1460）（2）
FFU8
② ①
270
365
255
91245
259
47.4
性能曲線
●輸入功率 ●電 流
1450rpm
1400rpm
1300rpm
1200rpm
1100rpm
1000rpm
900rpm
800rpm
1.0
0.9
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0.0
電流[A]
300
250
200
150
100
50
0
輸入功率[W]
0 5 10 15 20 25 30 35 40 5045風量[m3/min]
0 5 10 15 20 25 30 35 40 5045風量[m3/min]
●風量・靜壓450
400
350
300
250
200
150
100
50
0
全靜壓（風機靜壓）[Pa]
0 5 10 15 20 25 30 35 40 5045
風量[m3/min]
性能曲線
2.0
1.5
1.0
0.5
0.0
電流[A]
輸入功率[W]
600
500
400
300
200
100
00 10 20 30 40 50 60
風量[m3/min]0 10 20 30 40 50 60
風量[m3/min]
1400rpm
1300rpm
1200rpm
1100rpm
1000rpm
900rpm
●輸入功率 ●電 流
600
500
400
300
200
100
00 10 20 30 40 50 60 70
風量[m3/min]
●風量・靜壓
全靜壓（風機靜壓）[Pa]
5555 5959 5858 6060 616166dB(A)66dB(A)
4646 4848 5151 5353 5555 5757 58dB(A)58dB(A)
4343
旋轉方向
17 18C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U
WLF00単相 WLF0170W單相類型 WLFC AC馬達類型 WLFD
Field
1
尺寸圖 尺寸圖
（1229.6包括鉚釘頭）
（619.6包括鉚釘頭）
電力電纜VCTF2.0Sq3芯x 2m, 2條
通信電纜屏蔽電纜0.2Sq 2芯RS485 x 2m, 2條
614 ±1
1224 ±1
載入機連接埠（模塊化）
電源/運轉/異常燈電源開關
1224
（濾網尺寸：1220*610）
120
210
63
鉚釘
濾網
（1220） （2）
FFU
電線夾具
額定銘版
M4端子台
1227
1224
1227
18
（10）
220
（30）
1220（濾網尺寸）
（1）
（2） （1.5）
220
10
614
1224
端子台護蓋
1224 ±1 1.6（1.2）
8
性能曲線
●輸入功率 ●電 流
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45風量[m3/min]
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45風量[m3/min]
0.9
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0.0
電流[A]
160
140
120
100
80
60
40
20
0
輸入功率[W]
1100rpm
1000rpm
900rpm
800rpm
300
250
200
150
100
50
0
全靜壓（風機靜壓）[Pa]
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45風量[m3/min]
性能曲線
●輸入功率 ●電 流
AC200V60Hz
AC200V50Hz
0.8
0.7
0.6
電流[A]
170
160
150
140
130
120
110
100
90
80
70
輸入功率[W]
0 5 10 15 20 25 4030 35風量[m3/min]
0 5 10 15 20 25 4030 35風量[m3/min]
●風量・靜壓
全靜壓（風機靜壓）[Pa]
300
250
200
150
100
50
00 5 10 15 20 25 4030 35
風量[m3/min]
●風量・靜壓
47475252
5454
55dB(A)55dB(A) 51dB(A)51dB(A)
4747
19 20C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U
單機型 WLFE 薄形類型 WLFF
Field
1
尺寸圖 尺寸圖
端子台護蓋
1227
1224
1227
18
（10）
220
（30）
1220（濾網尺寸）
（1）
（2） （1.5）
220
10
614
額定銘版1224
1493
1445
300
300
300
300
1193
1145
300 300 30018 ‒ 鉚螺母（濾網接合用）
法蘭凸緣（1.6t）FFU固定金具（施工者準備）
把手 900
子機馬達電纜1
子機馬達電纜2（L＝400）
（L＝400）
150額定銘版
1460（濾網尺寸）
1423
16.5
354
120
6
M4鉚螺母
性能曲線
●輸入功率 ●電 流
100％
90％
80％
70％
60％
50％
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0.0
電流[A]
250
200
150
100
50
0
輸入功率[W]
風量[m3/min]0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50
風量[m3/min]0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50
性能曲線1500rpm
1400rpm
1300rpm
1200rpm
1100rpm
1000rpm
900rpm
800rpm
●風量・靜壓300
250
200
150
100
50
00 5 10 15 20 25 30 35 40 45
風量[m3/min]
全靜壓（風機靜壓）[Pa]
4444 4646 54545454 5656 5757
525259dB(A)59dB(A)
●電 流1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0.0
電流[A]
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45風量[m3/min]
●風量・靜壓400
350
300
250
200
150
100
50
0
全靜壓（風機靜壓）[Pa]
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50風量[m3/min]
37374343
47475151
5454 55dB(A)55dB(A)
●輸入功率
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45
250
200
150
100
50
0
輸入功率[W]
風量[m3/min]
21 22C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U
控制器規格表 控制器規格表
Field
1
額定功率額定電壓額定電流容許過載電流主電源電壓・頻率的容許變動電壓間的不平衡額定輸入電流損失壓降耐壓值
額定轉速（rpm）速度控制範圍速度精度載波頻率
速度設定方法
速度設定分辨率速度檢知
控制方法
旋轉方向停止剎車啟動特性（加減速）通信協定通信方法同步方法通信速度電源（通電）動作（運轉/停止）故障
直接操作
遙控
諧波含有率洩漏電流軸電壓耐電壓
突波耐壓
絕緣電阻EMC(電磁兼容性)平均預期壽命
額定輸出
額定輸入
速度控制
運轉控制
上位通信
顯示
操作
信頼性
適用的馬達型號連接的馬達數量馬達容許的配線長度
類 型類 型
輸出額定
輸入電源
速度控制
運轉控制
通信規格
顯示・操作
額定電壓 額定電流 允許的過載電流 主電源 電壓・頻率允許的變異 相之間的電壓不平衡 額定輸入電流 所需電源容量 速度控制範圍 速度精度 載波頻率 速度設定方法
速度設定分辨率
控制方法
旋轉方向
瞬間壓降耐壓值
加速・減速時間
電氣規格 通信方式 同步方式 通信速度控制器連接的台數故障輸出（外部I / O）充電指示燈（電源基板）狀態顯示
通信請求通信應答確認通信檢 查
電 源運 轉
故障復歸開關
適用馬達型號馬達額定輸出連接的馬達台數馬達的容許配線長度
控制基板
保護
EMC 濾網RoHS指令諧波含有率控制器的效率控制器計算壽命浪湧電流質量
RS485通信類型 CAN通信類型
3相200V（公稱） 0.9A（每1台馬達） 額定電流的110％-30S
2％之內 3.1A（參考值） 1.1kVA 500～1450min-1 最高速度設定的±3％ 約15kHz 上層通信指令或Handy Loader(手寫器)上層通信指令：1min-1Handy Loader(手寫器)：10min-1
正弦波PWM控制，磁極位置檢測到無感測器，V/F恆速控制，四台個別運轉控制
自停止狀態到啟動是60秒以內（實機組合時）。自運轉到停止是自由運轉停止。
EIA RS-485 2線式半雙工通信 不同步方式 38,400bps最多31台（馬達最多124台） 通過連接外部I / O連接器、LED可用於故障指示器紅色：LED1（直流中間電壓超過約50V時亮燈）－綠色：LED1（訊號接收中：亮燈，無訊號接收：燈滅）綠色：LED2（訊號傳輸中：亮燈，無訊號傳輸：燈滅）紅色：LED3（正常時：燈滅，異常時：亮燈）橙色：LED9（正常時：不亮，異常時：閃爍)綠色：LED8（自動模式：亮燈，手動模式：閃爍） 綠色：L ED4-7：（逆變器輸出：亮燈，逆變器停止：燈滅, 故障：閃爍）SW1 按鈕開關
過電流，過電壓，低電壓，控制器過熱，過載，電源欠相，馬達不同步，通信異常，記憶體異常，CPU異常
超過10萬小時（在30℃環境溫度）6A0峰值以下約2.1公斤
GCG21155-TL8FE21210W / 1450min-1
1～4台最大12米
200～230V3相，50/60HZ電壓：±10％ 頻率：±5％
僅正旋轉方向
從165V以上持續運轉的額定電壓狀態降到不滿165V時，約15ms繼續運轉（相當85%負荷）
3相200V（公稱）0.87A額定電流的130％-30S
3％之內0.9A310VA250～1350min-1
最高速度設定的±4％約16kHz內部可變電阻器，外部可變電阻器或外部設定電壓
最大速度設定1/256
正弦波PWM控制
參數設定（出廠時：20秒）
－－－－－繼電器的C接點紅色：LED5（直流中間電路電壓約超過50V時亮燈）橙色：LED2～4（正常時：顯示轉速，異常時：顯示異常內容） －－－橙色：LED2-4（正常時：閃爍，異常時：亮燈）紅色：LED5（通電時：亮燈）綠色：LED1（正常時：亮燈，異常時：不亮）SW2 按鈕開關
過電流，過電壓，低電壓，控制器過熱，過載，霍爾感測異常，速度異常，記憶體異常，CPU異常
10年以上(在40℃環境溫度)7A0峰值以下約0.9公斤
GCG2954-T8TD17B-c170W / 1350min-1
1台－
內 建對 應
THD：35％以下（電源電壓200V，額定輸出運轉時，諧波次數40次以內）95％（電源電壓200V，最大額定輸出運轉時）
SDR3204-2R-TD BDR170-T BFFU250-1P（1C1M）1台運轉
BFFU250（1C1M）1台運轉
BFFU500（1C2M）2台同步運轉
BFFU750（1C1M）1台運轉
BFFU1000（1C4M）4台同步運轉
BFFU1000（4C4M）4台個別運轉
UGBTEF-12SKMK07／GCG21155-TL8FE21 UGBTEF-12MKMK05AUGBTEF-12SKMK07／GCG21155-TL8FE211台 1～4台（可切換）1台1～2台（可切換）
－ Max 9m －
－
－－
Max 12m750W500W(250W×2台)250W 1000W（250W×4台）
3相200V（公稱）1.0Arms 1.0Arms 1.0Arms×2台 3.3Arms 1.0Arms×4台
額定電流的150％－1分鐘3相 200/220V, 50/60Hz1相 200/220V, 50/60Hz
電壓：±10% 頻率：±5%2%之内
1.07Arms以下 1. 17Arms以下 2. 14Arms以下 3. 51Arms以下 4. 3Arms以下6％以下（額定運轉時）
不足165V-15msec之內（超過165V的時繼續運轉）
500～1100min-1 500～1260min-1 500～1450min-1 500～1300min-11260min-11450min-11260min-11100min-1
設定速度（轉數） ±1％ 最大轉數 ±1％以下10kHz
上層通信指令Handy Loader(手寫器)速度調整鈕※High / Low速度切換開關※
上層通信指令Handy Loader(手寫器)
有（依無感測方式的速度檢出）有（依霍爾感測器的速度檢出）
從軸端看逆時針旋轉
最大轉速：1min-1 轉速控制：1％
無加速：至設定值60秒（從停止狀態開始） 減速：自由運轉
CAN（ISO11898）Ver.2.0B主動式2線式差動電壓方法
不同步125 kbps
有（LED：亮黃燈）有（LED：亮綠燈 /不亮燈）有（LED：亮紅燈）
ON-OFF開關 速度調整鈕※
ON-OFF開關 Handy Loader(手寫器)
上位裝置間的通信操作（CAN）速度高/低切換開關※ 上位裝置間的通信操作（CAN）
35％以下2.0mA以下（每4台馬達）0.5mA以下（每1台馬達）
3.5V峰值以下（預期值） 5.0V峰值以下（預期值） 3.5V峰值以下（預期值）AC1500V1分鐘AC1800V1秒鐘
輸入：依據2kV IEC61000-4-5標準：EN61000-6-2表4 線路-接地之間：2kV線路-線路之間：1KV
10MΩ以上（DC500V絕緣測試器）易感性：EN61800-3：2004第2Env/發射：EN61800-3：2004C3
超過10萬小時（電解電容器@30℃壽命）過電流，過電壓，低電壓， IGBT過熱， IGBT內部短路，過載，電源欠相，馬達電纜斷線，速度異常，啟動失敗，馬達接地故障，DSP異常，設定參數異常
基板編號順序的啟動時間差停電→到電源恢復，將自動復歸為斷電前的運轉狀態
對應對應
240×145×50約0.8kg
240×145×63約0.8kg
260×190×63約1.5kg
240×145×50約1.9kg 約1.8kg
※分別成為必要模組零件
3相120°通電－矩形波PWM控制恆速控制
3相120°通電－矩形波PWM控制恆速控制
無感測器方法
340×190×65 260×220×65
保護突入電流抑制功能運轉情報的記憶功能RoHSCE尺寸（寬×深×高）mm重量
23 24C L E A N R O O MC L E A N R O O M
設 備 用 F F U
Field
1
設備用FFU的特點
從功能・特點來選擇 由風量・風速選擇
特點
1 薄型考慮在有限的空間安裝，實現業界最高水平的薄型（MIN115mm）
特點
3 依據RoHS·CE·SEMI可對應海外的各項規格。又可發行出口貿易管理的該非判斷書（自主判斷書）
特點
4 抗釋氣對策嚴選本體，吹出口、濾網、密封材等構成部件降低釋氣發生
特點
5 通信功能為了完全發揮DC無刷馬達優越的控制性，利用通信可經由可變速馬達控制風量
特點
2 節能·風量可變全系列採用DC無刷馬達，依馬達變速可以提供最適風量的節能運轉。比從前FFU比較約降低30%的電力(本公司產品比)
依功能和特長，或風量能尋找最適合的回答。
設備用FFUF i e l d 1
設備用FFU為了安裝於製造設備上，會視為生產設備被要求各種功能。本公司的設備用FFU可具體實現顧客的各種各樣的要求。
1φ200V·3φ200V即時交貨※1濾網，可以選擇
1φ100V即時交貨※1通信功能
高溫環境（50℃），抗釋氣對策
高溫環境（50℃）,風速0.65m/s的抗釋氣對策
裝載化學濾網的抗釋氣對策的通信功能
115mm※2
150mm
105mm
190mm
230mm
※1 即時交貨是指下單後約三個星期時間。※2 使用40mm濾網時※3 F-Stage61, F-Stage122僅對應3φ200V
耐熱（超薄型）
耐熱(高風速型)
化學
F-Stage（HEPA t=50mm）
F-Stage（HEPA t=40mm）
F-Cube-N（ULPA）
F-Cube-N（HEPA）
風速[m/s]
風量[CMM]
系列
F-Cube-N
F-Stage
耐熱FFU（超薄形）
耐熱FFU（高風速）
化學FFU
功能・特點 厚 度 標 準
0.9
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
00 1.2 2.4 3.6 4.4 5.6 6.8 8.0 9.2 10.4 11.6 12.8 14.0 15.2 16.4 17.6 18.8 20 21.2
P.25
P.27
P.29
P.29
P.30
WLFG
WLFH
WLFI
WLFJ
WLFK
RoHSCE※3
符合RoHS（選項）符合CE（選項）
RoHS
RoHS
-
25 26C L E A N R O O MC L E A N R O O M
設 備 用 F F U
Field
1
F-Stage 高度115mm的超薄型FFU
超薄型實現與新開發濾網組裝後115mm高度。※使用HEPA（厚度40mm）時
節約能源從前的產品比較，約節能34%。（本公司最大尺寸機種）
低噪音從前產品比較，約降低10dB。（本公司最大尺寸機種）
限制對應RoHS指令是標準對應CE認證可選項。
WLF G2 1 D H61 1 0 0 0 - 0
HEPAH41H42H51H52H61H62H11H12
尺寸
400×400
500×500
610×610
1220×610
厚度4050405040504050
ULPA-U42-U52-U62-U12
尺寸-
400×400-
500×500-
610×610-
1220×610
厚度-50-50-50-50
※厚度40mm僅HEPA濾網
0 ： 無1 ： 有
0 ： 無1 ： 有
F-Stage122G31D□1□□□□0-0
1220610
15.1（122）0.37（0.3）
54（54）77（73）16.5
※1 風量在HEPA濾網機外靜壓0Pa為基準。※2 噪音值在HEPA濾網・機外靜壓力0Pa・時，濾網下方1.5m處量測值。※3 耗電量在HEPA濾網・機外靜壓0Pa·3Φ200V時。
※4 F-Stage40的控制盒是分別放置。（標準配備2m電纜）● （ ）內部是HEPA（t =40mm）時。● 吸入側為一般大氣時，請選擇微塵粒大的T =50mm濾網。
對應CE（選項）品 名
型式（WLF-）電 源CE認證
F-Stage61（CE）G21D□6□□□□1-0
※1 僅適用於F-Stage61,F-Stage122。※2 其他規格同上述標準。
外形尺寸圖
DWXY
F-Stage40400400370370
F-Stage50500500470470
F-Stage61610610580580
F-Stage12212206105801190
※F-Stage40的控制箱另外放置。
標準配備■ 本體（附電源・異常信號輸出端子，RUN / STOP開關，附速度控制鈕）■ 濾網■ 本體～控制器箱之間的連接電纜2米（僅F-Stage40）■ 前置濾網 ■ 安裝金具
■ 差壓表 ■ 管（3米） ■ 皮托管
■ 本體～控制箱之間的延長電纜4米（僅F-Stage40） ※本體～控制箱之間的電纜，全長6m以內。
■ CE認證對應（F-Stage61·F-Stage122）
產品改版號碼
CE對應
差壓計組
異常燈0 ： 無1 ： 有
箱體材質1 ： ZAM2 ： SUS430
本體尺寸
濾 網
電 源AC 200V
馬達類別DC無刷馬達
品 名型式(WLF-)
尺寸[mm]
電 源馬 達
風量 [m3/min] ※1風速 [m/s]本體材質速度控制方式噪音 [dB(A)] ※2耗電量 [W] ※3質量 [kg]境環限制
濾 網
F-Stage40 ※4G01D□4□□□□0-0
400400
3.8（2.7） 0.5（0.35）
52（51）38（31）8.5
F-Stage50G11D□5□□□□0-0
500500
6.3（4.4）0.5（0.35）
51（50）44（38）9.6
F-Stage61G21D□6□□□□0-0
610610
9.4（6.6） 0.5（0.35）
53（49）65（45） 11.6
125 (115)※本體75mm+濾網厚度1Φ200V ／3Φ200V
DC無刷馬達
RoHS對應HEPA（t=40mm／50mm） 99.99%（0.3μm）ULPA（t=50mm） 99.999%（0.1μm）
ZAM／SUS430旋轉鈕(0～100%)
3Φ200V對 應
F-Stage122（CE）G31D□1□□□□1-0
開口尺寸
Y
x
4-φ7
35 35
50
50
H（115）（40）
75
25
■ 異常顯示燈（附顯示燈時，異常信號不輸出）
選 項
型式說明例
例
WLFG
G0 400×400×75G1 500×500×75G2 610×610×75G3 1220×610×75
D
W
規 格 表
DWH
27 28C L E A N R O O MC L E A N R O O M
設 備 用 F F U
Field
1
F-Cube-N 用1Φ100V普通插座可以使用的小型FFU
WLF H 40 U D
外形尺寸圖
標準配備 選 項類型說明例
狀態斷電異常時正常時
輸出××○
〔○：導通,×：非導通〕
記號UH
濾網ULPA(標準)HEPA※1
記號-PDKACHT
選項※2無
前置濾網差壓管+皮托管僅皮托管異常信號輸出懸吊金具(4個)水平金具
FFU監控系統※3※1 HEPA規格僅對應61和122※2 選擇為複數時請並列標示。※3 F-Cube-N-30和40無通信功能。
內含濾網構造裝有著高性能ULPA濾網，實現高精度的潔淨環境。因為濾網表面付保護網，於安裝時不會擔心損壞濾網。不須要電源工程
以普通插座電源(1φ100V)能運轉，完全不麻煩的電氣工程。運轉從插座供應電源，就像打開開關一樣簡單。（選項的1φ200V或DC24V皆可）
經統合小規模FFU監控系統，可以FFU風量可變·監視故障。※F-Cube-N-30及40無通信功能。
異常信號輸出使用異常信號輸出的電纜（選項）的話，可以輸出故障信號。
風量調整簡單風量是以調整刻度盤可連續的調整。顯示燈能確認運轉狀態。 （選項，調整刻度盤可設置在外面）
識別30405061122
尺寸300×300400×400500×500610×610610×1220
F-Cube-N-30UWLFH-30U□
300300
270270
2.20.52450
5
F-Cube-N-40UWLFH-40U□
400400
370370
4.10.53755
6.4
F-Cube-N-50UWLFH-50U□
500500
470470
6.60.56355
11.5
F-Cube-N-61UWLFH-61U□
610610150580580
10.10.58758
13.5
RoHS（選項）/ CE（選項）
F-Cube-N-122UWLFH-122U□
6101220
5801190
100W DC無刷馬達
16.60.510359
20.5有(選項)
F-Cube-N-61HWLFH-61H□
610610
580580
10.10.56851
13.5
F-Cube-N-122HWLFH-122H□
6101220
5801190
16.60.57657
20.5
DWHXY
產品名稱類 型濾 網集塵效率
尺寸[mm]
安裝和開口尺寸 [mm]
電 源馬 達
風量[m3/min]風速[m/s]耗電量[W]噪音[dB(A)]本體材料質量[kg]通信功能
環保法規·CE認證
ULPA99.999%以上 （0.1μm）
1Φ100V50/60Hz/：1Φ200V（選項）/ DC24V（選項）87W DC無刷馬達
鋁(側面)+ SUS(入口部分)
無
HEPA99.99%以上 （0.3μm）
■ 電源線(2.0m) ■ 固定金具(4個)
（括號內是選項識別號碼）
■ 前置濾網(P) ■ 異常信號輸出（A）
■ 差壓計+皮托管（D） ■ 天吊金具（C） ■ 水平金具（H） ■ 皮托管（K）
■ 本體
F-Cube-N-30～61 F-Cube-N-122電源開關風量控制鈕外部信號端子電源插座
防脫落配件金具(安裝式或懸掛式)
150
7.5
●安裝和開口尺寸[mm] 30 30
40
40
4- 7
電源開關風量控制鈕外部信號端子電源插座 防脫落配件金具
(安裝式或懸掛式)
150
7.5
●安裝和開口尺寸[mm]
40 40
30
30 4- 7
CAN
例
規 格 表
WLFH
D
Y
Y
HH
D
W
X
X
■ FFU監控系統 FMC100/200（T）
FFU監控系統FMC100/200
通信功能（個別控制/群組控制/高速·低速轉換/批次故障輸出）
FMC200連接台數：最多254台(4埠 )FMC100連接台數：最多100台(1埠 )
W
29 30C L E A N R O O MC L E A N R O O M
設 備 用 F F U
Field
1
耐熱FFU 化學用FFU可以使用在高溫環境(50℃)適合規格RoHS·SEMI(基準)抗釋氣對策用可變變阻器的風量可調整並附故障輸出繼電器
可以使用在高溫環境可以使用擴散爐等的高溫環境 (50℃)的設計。
抗釋氣對策本體材料：聚酯樹脂漆吹出口：SUS304 BA（沖孔板）濾網：無硼濾網（PTFE：聚四氟乙烯）密封材料：低分子矽氧烷類型。
對應RoHS·SEMI(基準)。考慮出口歐洲也可對應RoHS規格生產設備的規格也適用SEMI。
超薄型採用高靜壓風扇實現105～120mm超薄厚度。
高風速型採用多台高靜壓風機實現10.65m/s風速。
考慮收在設備裡面的薄型（本體高度=230mm+化學用高度=150mm）最適合向塗佈機、顯影装置等的製造設備的化學污染對策抗釋氣對策具通信功能可以改變風量·監視故障
抗釋氣對策本體材質:SUS430BA濾網：無硼濾網（PTFE）密封材料：低分子矽氧烷酸類型
通信功能（個別控制/群體控制/高速·低速轉換/整批故障輸出）由組合小規模FFU監控系統，可以監視FFU風量·故障。
超薄型 高風速型(0.65m/s)
230mm薄型透過開發薄型風機的，實現了高度230mm。
230mm
化學FFU P-Q特性
空氣量(CMM)0.00 5.00 10.00 15.00 20.00 25.00
200.00180.00160.00140.00120.00100.0080.0060.0040.0020.000.00
N=1420rpm N=1300rpm N=1200rpm N=1100rpm N=1000rpm N=900rpmN=800rpm N=700rpm N=600rpm N=500rpm N=化學的濾網壓損
外蓋夾結構
規 格 表內 容項 目
產品名稱型 式濾 網集塵效率
FFU外形寸法[mm]
電 源風 量[m3/min]機外靜壓[Pa]噪 音[dB(A)]本體材質質 量[公斤]
耐熱FFU（超薄型）WLFIULPA高效過濾材料：PTFE(聚四氟乙烯)99.9999％以上0.1微米1453W×481D×105H（風扇部160mm）1φ115V 50/60Hz6.0（0.32m/s）070鋼板（聚酯樹脂漆）38
耐熱FFU（高風速型）WLFJULPA高效過濾材料：PTFE(聚四氟乙烯) 99.9999％以上0.1微米
1000W×350D×190H
1φ115V 50/60Hz11.3（0.65m/s)073鋼板（聚酯樹脂漆）24
規 格 表內 容項 目
產品名稱型 式濾 網集塵效率FFU外形寸法[mm]電 源風 量[m3/min]全靜壓[Pa]最大耗電量[W]噪 音[dB(A)]本體材質質 量[公斤]
化學FFUWLFKULPA濾網 濾網材料：PTFE 99.9999％以上0.1微米1050W×750D×230H3φ200V 50/60Hz16.0（0.45m/s)16014065±2SUS430BA65
化學濾網除去化學的污染物的化學的濾網是，採用著短時間能容易地交換的外蓋夾結構。
WLF I WLFJ WLFK
CAN
FFU監控系統FMC100/200
FMC200連接台數:最多254台(4個埠)FMC100連接台數:最多100台(1個埠)
Field
2
31 32C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U 監 控 系 統
P.43 P.43
F-SITE系列從系列中選出FFU監控系統
■Windows7裝載型FFU監視PC■環境感測器（F-PLANET）的監視■與風向·風速感測器的連接■與溫度·濕度感測器的連接■與PLC的連接■多種的軟體可對應各種I/F
■Windows7裝載FFU監視PC■與PLC的連接
■本公司標準MONITOUCH 是內附軟體FFU監視設備■標準裝備RS-485通信埠
■本公司專有的CAN接口裝載 FFU監視設備■標準裝備CAN通信埠
■本公司專有的CAN接口裝載 FFU監視設備■標準裝備CAN通信埠
FFU 監控系統F-S I TE 系列
P.37 P.39 P.41
從大規模複合的需要到小規模的特定需要都能選擇需要的監控系統。
小規模FFU顯示·操作器F-MONITOR
小規模FFU監控系統ICIU
小規模FFU監控系統S-ＩＣＩＵ
潔淨機器統合監控系統 FFU監控系統FANET
Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ１００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ２００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＶ３００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ５００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＲ５００
大型監控系統(大規模)
區域監控系統(小規模)
33 34C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U 監 控 系 統
是FFU的運轉狀態和各處的溫度、濕度、潔淨度、風向、風速等各種感測器的測量值的統合監控系統。實現潔淨室的可視化，創造最適合的製造環境的節能。
・溫度控制・節能控制・排煙連動控制・對其他系統的傳送
31×4×2系統
31×4×3系統 最多254台(4埠)
最多100台(1埠)
情報收集設備
溫度調節計
FFU
Ｆ-SITE-FMR500 Ｆ-SITE-FMC500
・RS-485通信轉換為LAN。
Max31
FFU
・溫度調整對應・F-SITE對應
・溫度調整對應・F-SITE對應
ＰＬＣMICREX-SX
Ｆ-SITE-FMV300
LSI
・CAN通信轉換為LAN。
・通過瀏覽器，進行各種感測器的監視。
LCI
Ｆ-SITE-FMC200
環境監控系統 Ｆ－ＳITE
Ｆ－ＰＬＡＮＥＴ
2 FFU監控系統F i e l d
P.11
P.11
P.37
P.45 P.46
P.39
P.43
P.41
P.39P.37
Ｆ-SITE-FMC100
Ethernet RS485 CAN
P.43P.43
P.41
最大連接FFU台數
概 念
大型監控系統區域監控系統FMR500FMC500
・大規模系統 ・客製品對應
ＣＡＮ＆ＲＳ４８５ＣＡＮ
～到65,000台～到65,000台 通信類型FMV300
FMC200FMC100
不使用RS-485通信及CAN通信變流器的直接連接
ＲＳ４８５ＣＡＮＣＡＮ
～到372台～到254台～到100台
通信類型
功 能
FFU台數
客製
簡易型60,000台
連接規模和通信類型的選擇
Field
2
以連接規模或選擇最適合的通信系統
Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＶ３００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ２００
Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ１００
Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＲ５００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ５００
潔淨室感測器
風向·風速感測器
Ethernet
Ethernet
RS485
RS485
RS485
CAN
CAN CAN
370台
大型監控系統(大規模)
區域監控系統(小規模)
concept catalog
concept catalogconcept catalog
詳細是請參照富士統合控制器系列 SPH3000的目錄(LH992a)。http://www.fujielectric.co.jp/products/plc/lineup/sph/index.html
環境監視傳感系統
concept catalog
區域監控系統(小規模)
大型監控系統(大規模)
35 36C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U 監 控 系 統
FFU 監控系統功能一覽
Field
2
系 列 規 格
RS-485
RS-485轉換Ethernet
可 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
○○○○○○○
○ ○ ○ ○
○ ○
○ ○
○ ○
○ ○
○ ○
○
○
○ ○
○ ○ ○ ○○○○○ ○
○ ○ 選項
選項
－－－－－
選項
選項
選項
－－－－－－－－－－－
－○ － －－－
－ －－
○
－
－ －
－
－
－－－－
選項
選項
選項 ○ － －－ － ○
○
4台獨立
－
－－－－－－－
－
選項 ○ 選
項選項
選項
選項
－ －
－
－
－
－
－
－
－
－
－－－－－－－－－－－－－－－
－－
－－－
－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－
－選項
選項
選項 －
選項
選項
選項
選項
XP/Window
s7XP/Window
s7
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
○
4台獨立
○
4台獨立
○
不可
不可
不可
不可
FFU 65,000台
FFU 65,000台
LSI(LA
N Serial Interface)～
監視PC
RS-485
FFU 372台/F-螢
幕
RS-485 ～ F-M
ONITER
CAN轉換Ethernet
LCI(LAN-CAN-Interface)～ S.W.HUB～監視PC
CAN
FFU 254台
CAN ～ ICIU
CAN
FFU 100台
CAN ～ S-ICIU
RS-485
CAN
通信方法
形 態
機器構成
連接可能台數
通信基板
AC
FFU
Windows
版本
DCBL馬達控制器基板規格
CAN
CAN
CAN
FFU監控系統
FMR500
FFU監控系統功能監 視 控 制 記 錄 安全性 其 他
FFU監控系統功能
可以對應節能型FFU溫
度控制系統
與製造設備用控制系統
PC連動監視
測量值顯示
FFU基板電流·溫度
可以更容易地和上位系統
連接
馬達多台運轉·獨立運轉
雙重化
傾向功能
環境感測器等的連接
與上位系統的傳輸
可與2台以上的系統並列
警報等的輸出
密碼
進入
操作權限
操作履歷
警報履歷
最新警報顯示
火災控制
排煙控制
其他設備PLC的控制
日程
運轉·停止
個別控制運轉·停止
緊急停止
強制運轉
系統條件畫面
通信機器異常
通信錯誤
PLC異常
FFU異常
FFU監視
控制狀態
運轉速度
每一個樓面的控制運轉·停止
每區域的控制運轉·停止
每群組的控制運轉·停止
存儲
調整FFU轉速後，會記憶
轉速
FMV300
FMC500
FMC200
FMC100
大型監控系統
區域監控系統
區域監控系統
區域監控系統
大型監控系統
電源規格：・EIA RS-485通信方法：・2線式半雙工通信同歩方法：・不同步式通信速度：FFU間・38400 bps傳輸距離300m(RS-485)
型號：ＳＤＲ３２０４－２Ｒ－ＴＤ電源電壓：3φ 200V-230V 50/60Hz馬達額定輸出：210W/330W適用馬達：GCG21155-TL8FE21 GCG21155-TL8FE33控制方法：正弦曲線PWM控制保護電路： ・過電流・過電壓・低電壓・控制器過熱・過載・電壓欠相・馬達接地故障
・輸出短路・馬達不同步・通信錯誤・記憶體異常・CPU異常・重試功能
型號：ＳＤＲ３２０４－２Ｒ－ＴＤ電源電壓：3φ 200V-230V 50/60Hz馬達額定輸出：210W/330W適用馬達：GCG21155-TL8FE21 GCG21155-TL8FE33控制方法：正弦曲線PWM控制保護電路：・過電流・過電壓・低電壓・控制器過熱・過載・電壓欠相・馬達接地故障
型號：BFFU250※其他（FFU系列控制器規格參照）電源電壓：3φ 200V-230V 50/60Hz耗電量：200W(最大)適用馬達：GCG2954-T8FF控制方法：PWM控制保護電路：・過電流・過電壓・冷卻對價熱・記憶體異常・CPU異常・馬達感測器斷線・轉速異常
型號：BFFU250※其他（FFU系列控制器規格參照）電源電壓：3φ 200V-230V 50/60Hz耗電量：200W(最大)適用馬達：GCG2954-T8FF控制方法：PWM控制保護電路：・過電流・過電壓・冷卻對價熱・記憶體異常・CPU異常・馬達感測器斷線・轉速異常
型號：BFFU250※FFU系列控制器規格參照電源電壓：3φ 200V-230V 50/60Hz耗電量：200W(最大)適用馬達：GCG2954-T8FF控制方法：PWM控制保護電路：・過電流・過電壓・冷卻對價熱・記憶體異常・CPU異常・馬達感測器斷線・轉速異常
・輸出短路・馬達不同步・通信錯誤・記憶體異常・CPU異常・重試功能
電源規格：・EIA RS-485通信方法：・2線式半雙工通信同歩方法：・不同步式通信速度：FFU間・38400 bps傳輸距離300m(RS-485)
CAN傳輸協定方法（ISO11898）資料框64位速度可變輸出255等級通信速度:FFU間・125 kbps傳輸距離300m(RS-485)
CAN傳輸協定方法（ISO11898）資料框64位速度可變輸出255等級通信速度:FFU間・125 kbps傳輸距離300m(RS-485)
CAN傳輸協定方法（ISO11898）資料框64位速度可變輸出255等級通信速度:FFU間・125 kbps傳輸距離300m(RS-485)
※1
※2
※1 連接PLC的選項時 ※2 系統單位
（
）
G/W
37 38C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U 監 控 系 統
潔淨機器統合監控系統
溫度調節計的電源個別供給AC100V～240V
系統配置Ｆ-SITE-FMR500
LSI LCI
溫度調節計
特點
1 多樣且同時顯示的監控畫面根據DC-FFU的轉速控制，確保最適合的潔淨度能節能。
特點
2 FFU樓面畫面因為FFU配置顯示可以建築CAD圖面，以實際位置的顯示進行監視·操作。
F-SITE-FMR500的特點
統合監視FFU的運轉狀態和各處的溫度、濕度、潔淨度、風向、風速等各種感測器的測量值的系統。使實現潔淨室的可視化，可以創造最適合的製造環境來節能。
實現可視化
特點
3 系統畫面監測「PC和FFU接口」「PC和PLC」的通信狀態，FFU運轉總數。
能切換為樓面單位。
FFU轉速操作，能個別，群組，樓面，任意區域範圍的操作。
根據FFU的轉速5等級的顏色調換顯示及故障，通信錯誤等FFU符號的顏色調換。
顯示用這個系統管理的FFU總數FFU運轉總數，故障總數。
顯示DC-FFU接口的通信狀態，FFU登記數，運轉台數，故障台數。
顯示控制用PLC的通信狀態，FFU登記數，運轉台數，故障台數和PLC故障內容。
特點
4 日程功能有效率地運用設備（CR日程運轉），能降低適當的契約容量。
拖放操作週程
手動控制的群組
被選擇的群組的控制履歷（最新1,000件）
特點
5 警報監控畫面顯示FFU，通信設備的故障履歷。檢索功能能縮小相關數據。
特點
6 操作履歷管理自動保存最大3,000件操作履歷。履歷能條件檢索，容易維修管理。
根據警報重度，「重故障 」「中 」「輕 」管理。「重」是FFU停止的故障。
FFU監視環境感測器（F-PLANET）的監視與風向、風速感測器的連接與溫度、濕度感測器的連接與PLC的連接
Field
2
操作履歷最多3,000件數據中，可檢索FFU ID,Group等的條件。
能記錄最大3,000件履歷。超過3,000件的話，從舊數據按順序被刪除。
警報履歷最大10,000件數據中，可檢索FFU ID,Group等的條件。
Ethernet
RS485 CAN
系統
操作履歷警報履歷
顯示FFU名單
維護模式畫面
樓面監視
運轉畫面目錄登記用戶
變更密碼
設定音調
大型監控系統(大規模)
4台運轉型FFU
最大30台
潔淨室溫度調節控制■ 本系統是經由RS485通信，進行溫度調節計的遠端控制系統。上位電腦在LAN經由溫度指示調節計網絡系統的結構下，可經由螢幕同時進行設定。
系統停止
從樓面全部顯示到擴大顯示, 自由地能放大/縮小。能以左右上下的滾動等CAD操作感覺的監測。
現在被群組適用的運轉模式
39 40C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U 監 控 系 統
FFU監控系統(FANET)
FFU監控與PLC的連接
■ 在硬碟裡保存FFU的數據（運轉/停止,轉速設定值）。
■ 使FFU運轉。
■ 變更FFU的轉速。
■ FFU的運轉停止及轉速設定鎖住操作。 被鎖住時需解除鎖定。（需輸入密碼）
■ 顯示LCI(Lan Can Interface)的通信連接狀態。 顯示內容是IP號碼，埠與PC的連接狀態。
Ｆ-SITE-FMC500
LCI
特點
2特點
1 樓面監視畫面可以監控每個潔淨室樓面。
特點
3 簡單操作用圖可簡單地操作。
FFU配置畫面可以容易地依照實際施工狀態FFU配置。完成後的配置變更、追加等的是以顧客自己可以對應的應用軟體。（不需要軟體的知識）
F-SITE-FMC500的特點靈活的操作性
LCI LCI
系統構成
Field
2
■ 使FFU停止。
■ 如果FFU有異常解除異狀原因之後，再按Reset鍵可以再運轉。
■ 讀出硬碟內的FFU數據。
■ 顯示「FFU Parameters」被選擇的區域內FFU的狀態。 顯示內容是轉速，控制電流，狀態。
Ethernet
CAN CANCAN
大型監控系統(大規模)
1台運轉型FFU 2台運轉型FFU 4台運轉型FFU
是以顧客自己設計畫面和容易變更的應用軟體。不需要軟體和PLC等的複雜的知識。
如果有故障FFU該樓面的樹狀顯示畫面的符號會顯示紅色。
41 42C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U 監 控 系 統
FFU監控系統
F-MONITOR
Ｆ-SITE-FMV300直接連接RS-485
F-SITE-FMV300的特點
採用本公司POD MONITOUCH系列，為FFU用裝載監視、操作畫面。觸控式面板的可視性高，操作簡易內附軟體可立即使用。
簡易操作性
■ 主要畫面…轉換為各操作畫面
規 格 表
功 能
■ 狀態·設定畫面…轉換為異常顯示一覽 ■ 異常顯示一覽畫面…掌握FFU的異常狀態
■ 系統控制畫面…轉換向各系統(迴路) ■ 全部控制畫面…批次操作全線路的FFU ■ 運轉轉速一覽畫面…掌握FFU的轉速
■ 系統控制畫面…批次操作A線路的FFU ■ 個別控制畫面…被各線路連接的FFU ■ 個別控制畫面…操作單台FFU
4台運轉型FFU
系統配置
RS485 RS485
FFU監視
CN1 MJ2 MJ1
A系統
B系統
C系統
全 部 系 統 個 別
一覽顯示全部數FFU的狀態 連接(正常)時：藍色顯示 異常時：橙黃色顯示異常項目 通過顯示觸摸移動群組指令畫面異動 無顯示非連接FFU每系統數值顯示個別FFU的轉速無顯示非連接FFU通過數值輸入設定5等級運轉的轉速 附設初始化功能運轉指令 5等級運轉 指定轉速運轉停止命令復歸指令運轉指令 5等級運轉 指定轉速運轉停止命令復歸指令轉速顯示運轉狀態顯示運轉指令 指定轉速運轉停止命令
異常狀態一覽顯示
一覽顯示運轉轉速
多級運轉轉速設定
全體控制
系統控制（每A·B·C系統）
個別控制
個別設備形式
使用本體
適用FFU
通信方法通信電纜長度系統
連接埠形狀
WLZCNS-SSS型式： V810C 10.4英吋TFT彩色液晶觸螢幕 電源AC100～240V 60VA富士電機製DCBL-FFU 控制器型式： SDR3204-2R-TD ※事前需要設定IPRS485最長300m/埠3系統A系統連接埠 ： MJ1(RJ45)B系統連接埠 ： MJ2(RJ45)C系統連接埠 ： CN1（D-SUB 9 PIN）
內 容項 目
內 容項 目
外形尺寸圖
FFU A-01 FFU A-31
FFU B-31FFU B-01
FFU C-31FFU C-01
各系統連接台數
通用功能切換
蜂鳴器
背光
各系統母機31台（31群組×4台=124台）最多124台×3系統＝372台
F1：移動到主要畫面F2：移動到狀態顯示選擇畫面F3：移動到全部控制畫面F4：移動向系統控制選擇畫面F5：無 F6：移動向個別控制選擇畫面F7：關閉背光
2種（間歇短音，間歇長音）
自動熄燈180秒
內 容項 目
F1
F2
F3
F4
F5
F6
F7
303.8 69
288
231
7
31.47
215.2
區域監控系統(小規模)
Field
2
（max.300m）
（max.300m）
（max.300m）
43 44C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U 監 控 系 統
FFU監控系統
FFU監控系統
外形尺寸圖
規 格 表
功 能
是本公司最輕量型，FFU操作·監控設備。個別或群組可控制及監視。還有，用CAN直接通信可連接簡單的操作·的監視設備。
內附軟體能簡單操作，個別或在群組FFU的控制及監視。還有，用CAN直接通信可連接簡單操作·的監視設備。
一看就知道的異常LED點燈
FAULTPOWER
本機器在連接/被登錄的FFU發生異常時本機器在通電狀態時
STATE MONITORGROUP MONITORFAULT MONITORFFU SETTINGGROUP SETTINGSUMMARY
模 式 內 容被登錄 FFU的狀態顯示及個別控制的功能按照群組別的狀態顯示及群組個別控制的功能顯示FFU發生的異常內容的功能設定FFU的可否控制的功能設定FFU為群組單位的功能確認被登錄 FFU的功能
STATE MONITORGROUP MONITORFAULT MONITORFFU SETTINGGROUP SETTINGHIGH/LOW SWITCH SETSUMMARY
模 式 內 容是被登記的 FFU的狀態顯示及個別控制的功能按照群組的狀態顯示及群組個別控制的功能顯示FFU發生的異常內容的功能設定FFU的可否控制的功能設定FFU為群組單位的功能設定高·低速運轉數值的功能確認被登錄的 FFU的功能
項目(本體顯示) LED點燈條件
CAN通信埠規格
CAN（ISO 11898） Ver. 2.0B Active125kbps（High Speed）CAN傳輸協定專用連接器推薦AWM2919 VW-15P*24AWG (11/0.16TA)※1
標準格式max.300m
內 容項 目 備 考通 信 規 格傳 輸 速 度通信傳輸協定連 接 器連 接 電 纜
※1：KDC公司(韓国)製造：AWM2919 VW-180℃30V 24AWG*1PR SHIELDED LOW VOLTAGE COMPUTER CABLE
WLF-ICIUAC80～250V 50/60Hz
5W
4
最多254台（對ICIU 1台的FFU的連接台數）
170×320×62mm2.5kg
通信規格傳輸速度埠數埠形狀FFU連接台數通信電纜長度ICIU電源(通電)FFU異常檢測FFU狀態情報
FFU批次控制FFU個別控制使用環境使用溫度範圍使用濕度範圍固定方法尺寸重量
F-SITE-FMC200WLF-S-ICIU
DC 5V Adapter（AC100～240V 50/60Hz）2W
1
最多100台（對1台S-ICIU可以的FFU連接台數）
147×140×34mm1kg
CAN（ISO 11898） Ver. 2.0B Active125kbps
專用連接器
最長300m/埠LED-綠LED-紅
LCD-4Line. 20Character電源開關(ON/OFF)各種操作按鈕可能可能
室內（直射日光，無散熱器等的熱源，過大振動等的事）0 ～ 40°C
90%RH 以下（無結露）側面金具固定本體（使用螺絲： M3）
F-SITE-FMC100項 目型 式額定輸入功率耗 電 量通 信 I / F
顯 示
操 作
速 度 控 制
環 境
其 他120
170
25
XXXXXX XXX XXX
XXXXXX XXXXXX XXXX
300
320
4.05
10
61.20
25020
ICIU
S-ICIU
146.60
62.50
φ1.75×7
15 140
Page Change
FAULT
Independent CANInterface Unit
OFF ON DC IN
POWER
Next RUN
SET / ESC Previous STOP
33.80
140
110
128
簡單的LCD被登錄在FFU的各種控制情報顯示在LCD上面，可選擇模式控制FFU。
S-ICIU
S-ICIU
ICIU
ICIU
ICIU S-ICIU
操作簡易的按鈕本機器的操作(FFU的設定等)全部用按鈕進行
Page ChangeSET/ESCNextPreviousRUNSTOP
轉移畫面功能的選擇和確定各項設定值
在畫面向下項移動，速度等的數值設定計數倒數在畫面向前項移動，速度等的數值設定計數倒數FFU的運轉開始 使用其他FFU的運轉停止 使用其他
內 容按鈕名稱
區域監控系統(小規模)
區域監控系統(小規模)
Field
2
45 46C L E A N R O O MC L E A N R O O M
F F U 監 控 系 統
規 格 表
外形尺寸圖
外形尺寸圖
LSI概要
內 容項 目型 式使用溫度使用濕度存儲溫度存儲濕度絕緣耐壓耐雜訊（測試條件）耐振動（測試條件）耐衝擊（測試條件）使用環境冷卻方法設置位置R A M週邊I/F
動作顯示 電源電壓外形尺寸質 量
RS-485通信部的規格
TIA 568A CAT. 5 Cable(電纜尺寸：24AWG 4P 單線，屏蔽電纜)
規格： 阻抗100Ω
RJ45（shield）
RS-485半雙工,不同步式38400bps數據位元 ： 8位 同位位元 ： 偶數終止位元 ：1位流量控制：無不可模組化插孔 RJ-45形式×1頻道
100Ω阻抗內藏
內 容項 目通信模式通信方法傳送速率
字符構成
流量控制熱插拔(hot swap)連接器
終端電阻
12345678
信號名N.C.N.C.N.C.RS-RS+N.C.N.C.N.C.
功 能未連接未連接未連接
發送・接收數據(-)發送・接收數據(+)
未連接未連接未連接
方向－－－
輸入輸出輸入輸出－－－
終端號碼
動 作通信顯示 8 1
LSI與上位監視控制用個人電腦通過Ethernet連接，使潔淨室內的FFU控制器以RS-485通信，進行FFU的速度控制及運轉狀態的監視。需要FMR500（FFU監控系統）的G/W。
LCI概要車載網絡CAN(Controller Area Network)轉換為乙太網路，控制系統間可迅速的連結。需要作為FMR500·FMC500（FFU監控系統）的G/W。
裝載最大2埠RS-485，每1埠與31台控制器能連接，即總數62台控制器可以連接。控制器為了能4台FFU控制，可以最大248台FFU的監視控制。
※終端阻値：LSI方面內藏100Ω，最後一台FFU接終端電阻。
30
171
319
309
45
180
TIA 568A CAT. 5電纜(推薦)
Specification of Pin
付屏蔽
140
36
170
LSI Lan Sereal Interface LCI Lan Can Interface
LSI0～50℃(本體)20～90%RH（無結露）－20～70℃20～90%RH（無結露）AC500V,1分種： Ethernet部起動時1500V1ns, 5分種（雜訊模擬器）依據JIS C0040依據JIS C0041無腐蝕性氣體自然對流室內閃存1 MByte 系統/應用軟體用RS-485, Ethernet動作中/錯誤顯示連結及發送/接收AC100～230V 50～60Hz 180×170×36 [mm]735ｇ
規 格 表 電纜規格
連接器規格
電纜規格 連接器規格
Ethernet
CANRS485
LCI單相100/200V 50/60Hz最大 200mA（220V 電源使用時）10BASE-T /100BASE-TX（自動檢測）10Mbps / 100Mbps1RJ-45最多254台（對監視PC1台的LCI的連接台數）max. 100mCAN（ISO 11898） Ver. 2.0B Active125kbps4專用連接器最多254台（對LCI 1台的FFU的連接台數）最長300m/埠有(LED)有(LED)有(LED)電源開關(ON/OFF)室內（無直射日光，散熱器等的熱源，過大振動等）5 ～ 40°C85%RH 以下（無結露）連接專用PC設定用側面金具固定本體（使用螺絲： M4）319×171×45mm1.6kg
通信規格傳輸速度埠數埠形狀連接台數通信電纜長度通信規格傳輸速度埠數埠形狀連接台數通信電纜長度電源(通電)LAN電纜連接通信狀態顯示
使用環境使用溫度範圍使用濕度範圍MAC位址設定固定方法尺寸重量
內 容項 目型 式額定輸入功率耗 電 量通信I/F上位方面[監視PC]
通信I/F下位方面［FFU］
顯 示
操 作環 境
其 他
S.W.HUB
LSI
1迴路
4台運轉類型 共計62個的ID從1台到4台運轉類型 共計254的ID
2迴路
Ethernet
S.W.HUB
LCI
1迴路
2迴路
3迴路
4迴路
從1線路到4線路與總數254台控制器可以連接。
⑧ ： Blown ■ ⑦ ： White/Brown □/■⑥ ： Orange ■⑤ ： White/Blue □/■④ ： Blue ■ ③ ： White/Orange □/■② ： Green ■ ① ： White/Green □/■
1st Pair : ④&⑤2nd Pair : ③&⑥3rd Pair : ①&②4th Pair : ⑦&⑧
RJ45（shield）
Specification of Pin⑧ ： Blown ■ ⑦ ： White/Brown □/■⑥ ： Orange ■⑤ ： White/Blue □/■④ ： Blue ■ ③ ： White/Orange □/■② ： Green ■ ① ： White/Green □/■
1st Pair : ④&⑤2nd Pair : ③&⑥3rd Pair : ①&②4th Pair : ⑦&⑧
連接器PIN
連接器配置圖
*藍色：藍色接頭, 白：白色接頭 *藍色：藍色接頭, 白：白色接頭 *藍色：藍色接頭, 白：白色接頭 *藍色：藍色接頭, 白：白色接頭
5051-045159
5051-035159
5557-04R5556
5559-04P5558
1 2 3 4 1 2 3
3
1
4
2
4
2
3
11藍色白色 -屏蔽
2 3 4 1 2 3 1
-
2 3 4 1
-
2 3 4
5051-04 5557-04R
5559-04P5051-03
熱收縮套管
熱收縮套管
0.3sq 2芯 屏蔽 RS485*1500mm橡皮絕緣軟電纜(灰色)
0.3sq 2芯 屏蔽 RS485*1500mm橡皮絕緣軟電纜(灰色)
FMR500 FMC500FMR500
※Molex製造
FFU FFU
FFU FFU
FFU #1
FFU
FFU
FFU #254FFUFFU
FFU FFU
FFU #31FFU #2
FFU #31FFU #2
FFU #1
FFU #1
Field
2
藍色白色 屏蔽 藍
色白色 屏蔽 藍
色白色 屏蔽
系統配置 系統配置
47 48
潔 淨 室 材 料
Field
3
Field
系統天花板框架 照明燈具、盲板 側道面板(濾網)
建具類(氣密門、窗) 維護出入口維護通道
隔間庫板
潔淨室材料
P.53 P.55P.54
P.51 P.52 P.53
配電機器
P.56 P.56
活動高架地板
做潔淨室總合解決方案的產品線需要的材料。
提高潔淨室機能及提高維護效率的材料
C L E A N R O O MC L E A N R O O M
49 50C L E A N R O O MC L E A N R O O M
潔 淨 室 材 料
活用大規模FPD工廠等的豐富的施工經驗，將無釋氣、短工期、安全為關鍵的各種建材商品化。從潔淨室的設計到施工，對應使用高性能機器的總合解決方案。
照明燈具
配電機器
維護通道考慮安全性的通道專用面板。
維護出入口考慮氣密性的天花板出入門。
P.56
P.55
安心在面板上通行，設計結實的風量調整面板。
FFU P.11
搭配天花板格架尺寸及安裝空間，可以製造各種尺寸的FFU。
Field
3
潔淨室材料F i e l d 3
P.55
門、窗 P.53
活動高架地板開孔率與佈局靈活調整，上方容易連接廠務(水電氣)設施。
P.56
與吊架天花板一體化的照明。 還可於天花板上維護。
P.52
隔間庫板為考慮釋氣污染，使用低散發氣體的非密封材料。
P.54
乾盤管
P.51
考慮耐震性，兼備柔軟性和功能性的框架。
P.53側道面板(濾網)
系統天花板框架
更充實、安全，讓潔淨室發揮的高功能機器的產品線
concept catalog
51 52C L E A N R O O MC L E A N R O O M
潔 淨 室 材 料
考慮耐震性，兼備柔軟性和功能性的框架。
平緩的天花板上施工。日光燈從天花板內交換，維護容易。不須維護也準備不含水銀的環保的LED照明。
按照用途，能選鋼板或鋁合金。
項 目材 質定 尺承 重
主框架拉伸鋁材6000mm90kg/㎡
副框架拉出鋁材料0～6000mm90kg/㎡
材 質基本尺寸承 重施工性
複合面板750×1500一 般良
鋼 板750×1500
良一 般
主框架部 副框架
LED照明
鋁複合板類型 鋼板折彎類型
特 點
特 點
接合部概略圖
照明燈具
盲板
規 格 表
規 格 表
規 格 表
LED
Hf日光燈
類 型
LED ×48
FHF32EX-N-H*2支
光源·燈管AC100～240V50/60Hz
AC100～242V50/60Hz
電 源
4800 lm
7040 lm（9900 lm）
光通量
64W
65W（88W）
耗電量
外形尺寸圖
懸掛螺栓
主框架
主框架
主框架的接合 套筒接合
套筒接合
邊框架
副框架
副框架
托架M6螺栓
燈具上面承重可耐重輕緩通行
*( )內是高效率類型
燈數[
台]
照度[lx]
※計算條件W=25m D=10m H=5m·反射率 天花板50% 牆30% 地板10%・計算高度H=0m
LED燈具詳細
Field
3
◆照度·燈數
維護簡單。明亮、寬廣、舒適的空間預防準備耐震強化的框架
鍍鋁鋅鋼板聚乙烯芯材鋁材（表面樹脂塗層）
系統天花板框架 照明燈具·盲板
100 200 300 400 500 600 700 800
1009080706050403020100
Hf螢光燈(65W)LED(64W)
吊架天花板內
潔淨室內
天花板上可通行 從天花板上維護（確保室内潔淨度）
1798.00±1
14.514.5 65
23
748.00±1
65
2020
30
5020
20100
30
225
27.5
◆點燈時間·照度
照度[
％]
照度[%]
1000 10000 100000
1101051009590858075706560
點燈時間[Hr]
※測試條件/電流：0.7A 環境溫度：85℃ 半導體接合溫度：125℃
53 54C L E A N R O O MC L E A N R O O M
潔 淨 室 材 料
Field
3
潔淨室用門，單開、雙開、母子門、高氣密規格等。
材 質ZAM
質 量9kg
尺 寸□750
考慮釋氣污染的無密封規格。氣密材料使用低釋氣材料。
外形尺寸圖 壓損特性
表面材料規格表外形尺寸圖
風量(CMM)
壓損(Pa)
配合為佈局及用途準備最適合的尺寸。
可確保風量並可於天花板上行走
※尺寸範例
※尺寸範例
※尺寸範例
安裝濾網可調整流量佈局靈活度高
標 準40,509008400
彩色鋼板，溶融鍍鋅鋼板聚氨酯泡沫凹凸骨崁合一般0.5一般
項 目 絕 熱40,50-
4000-
絕熱聚氨脂樹脂-高0.2高
不 燃40,50-
4000-
金屬蜂窩構造-一般2.1一般
耐 火80-
8000-
岩 棉-高0.5高
面 板 厚 度面 板 寬 度牆 板 最 大 長 度表 面 材芯 材接 合 方 法破 壞 強 度絕熱性能(W/m2·K)隔 音 性 能
中自我耐蝕功能
中中無一般
項 目 高耐蝕鍍鋅鋼板 鍍鋁鋅鋼板 彩色鋼板
稍高無中高無稍高
高高高中有高
耐 蝕 性切斷部的耐蝕性耐 藥 性耐 指 紋 性散 發 氣 體價 格
控制吹出口的風量，而且結實安全側道面板(濾網)
貫徹釋氣對策的規格。表面材有三種類型可以選擇隔間庫板
按照寬度尺寸和用途，設置門窗建具類(氣密門·窗)
20 40 60 80 100 120 1400.0
20181614121086420
750
有效W3,510
有效W810
有效H4,200
750
有效H2,060
上層框(雙層)鋁押出形材6063-T5
鋁押出形材6063-T5
鋁押出形材6063-T5
各種
各種
密封填料EPDM
TPO
庫板嵌合材
密封接縫材庫板框材
鋁押出形材6063-T5
下層框
卸載接縫材
表面材
芯材在保持需要風量，同時確保面板上能安全步行的強度。以低成本進行安全對策。
規 格 表
規 格 表
特 點
特 點
特 點
55 56C L E A N R O O MC L E A N R O O M
潔 淨 室 材 料
Field
3
開孔率與佈局靈活調整，上方容易連接廠務(水電氣)設施。
外形尺寸圖
外形尺寸圖
外形尺寸圖
維護出入口
配電盤
配電盤
配合天花板格架尺寸，安裝計劃容易。
天花板維護出入口 側面維護出入口
維修通道
沖孔類型 SUS類型 狹縫類型
FFU，照明，冷卻盤管的流量調節閥和溫調計等，是以1區域設備全部供電的電源設備。
沖孔類型鋁壓鑄
□500～□600中劣輕
16～60%鎳鉻電鍍環氧塗裝SUS鋼板
耐藥品，晶鬚對策
項 目 狹縫類型鋁壓鑄
□500～□600高良中0%
鎳鉻電鍍環氧塗裝
耐藥品，晶鬚對策
SUS類型SUS304
□500～□600高劣重50%
無
-
狹縫類型鋁壓鑄
□500～□600低良輕
17～54%
鎳鉻電鍍環氧塗裝
耐藥品，晶鬚對策
材 質尺 寸承 重加 工 性質 量開 孔 率
表 面 處 理
特 殊 規 格
從設計階段使用考慮使用便利性。實現更容易的維護維護出入口·維修通道
按照開孔率、分布及承重等目的準備四種類型活動高架地板
以1區域使用電源的供電配電機器
1798600
600
1200
600
2890
785 785 785535
3670
1835
1835
動力盤配電盤
FFU
照明
溫度調節器
流量調節閥
不需要另外花費成本設置維護通道，從設計時設計容易不行的盲板，能進行安全、容易的維護。
748
規 格 表
特 點
特 點
特 點
特 點
57 58C L E A N R O O M
R e p l a c e
C L E A N R O O M
Replace
是否對節能對策感到困擾嗎？
更換高效率機器可以實現節能。
例)
※本公司估算例範例
年度FFU 1,000台交換，
整年度2,000MWh的節能
1,700萬日元的成本削減
加壓室的工程程序 FFU的系統程序
再一個建議/ 更換是有效地節能
系統變更＋
機器交換OAOA
設備設備
乾盤管 乾盤管
高效率 FFU過濾網
大型送風機
59 60C L E A N R O O MC L E A N R O O M
R e p l a c e
更 換
削減潔淨機器能源的
比率高
熱負荷減輕
可以分次的投資
在半導體、液晶面板工廠內按使用用途來分類電力的話，空調設備佔約40%，所以可理解潔淨機器的節能可以很顯著。
通過重新評估潔淨室方法，由使用高效率的潔淨機器能減少排熱，工廠整體的熱負荷也能降低，冷凍機的電力也能削減。
原 因
生產設備40％
加壓室方法
依據潔淨室方法的差異，去除風機發熱能源的比較
FFU方法
各種配管12％
純水·排水4％
空調設備40％
照明其他4％
0
0.02
0.04
0.06
0.08
0.1
0.12
0.089
0.021
［kW/m2］
可以分幾年實施FFU的更換，能控制1年必要的投資預算，可以更柔軟的進行節能計劃。
1
2
3
再一個建議
有效削減潔淨機器能源有三個要點 ！
在
這
裡
要
更
換
！
Replace
馬 達
風 機
控制基板
更換是有利的 機器的壽命
潔淨機器的壽命是大約10年。
原因
控制基板上面使用鋁電解電容作為平滑濾網，通常是電容器壽命決定基板壽命。壽命是會因為環境溫度高而變得較短，根據使用條件也會影響,不過一般交換建議為5年。※參考「通用變頻器定期測試的推薦(汎用インバータ定期点検のおすすめ)」日本電機工業會
馬達壽命是根據各種要素決定,不過，大部分多由軸承來決定壽命。軸承壽命是由機械和潤滑脂壽命來顯示,不過多認為因潤滑脂影響壽命較大，所以由潤滑脂壽命決定馬達壽命。一般馬達廠的保證壽命成為20,000小時。
A
FFU的構成
潔淨室的年溫度在23℃左右安定，在使用環境良好的狀態，幾乎大部分實際使用期間比保證壽命長的情況,不過，
就電子零件的壽命為2～5年，所以說以10年左右進行機器的更換是比較理想的。
控制基板
馬 達
61 62C L E A N R O O MC L E A N R O O M
R e p l a c e
風扇效率
Replace
非同歩馬達
對迴轉方向為後方彎曲的扇葉
在寬廣的風量範圍能穩定運轉效率好
實現採用翼斷面，其效率更加提升
溫度·濕度
潔淨度
風向·風速
利用AutoCAD為基礎的圖面監視畫面
用顏色顯示運轉/停止/故障/速度
從FFU LIST可以批次控制運轉·停止及轉速
警鈴聲可通知警報
個別保存最大10,000件的操作履歷和警報履歷
△ ◎
馬達效率
損失比較
△ ◎
多翼式風機
多翼式風機 渦輪風扇
感應馬達 DC無刷馬達（永久磁鐵使用）
低壓損吸入口
流路形狀的優化
DC無刷馬達 高效率渦輪風扇
DC-FFU
DC-FFU
環境感測器
回覆
DC-FFU
DC-FFU
DC-FFU DC-FFU
DC-FFU
DC-FFU
要是富士電機更有效順暢地實現節約能源 1
根據旋轉磁場誘導電流向轉子流動,此時轉子會發生電阻損耗
因為轉子使用永久磁鐵，由轉子誘導電流部會發生銅損
與本公司的環境感測器使得連動，依照溫溼度和潔淨度的反饋行動, 可以實現FFU的最優化的節能。
綜合效率
FFU效率的比較 潔淨室節能運用系統
風扇的比較
馬達比較
DC-FFU與本公司開發的FFU監控系統(F-SITE系列)連結使用，能由中央批次管理FFU的運轉/停止與轉速，警報履歷等，於 節能的觀點，更加有效率運用潔淨室。
個別風量控制
環境情報
舊型FFU
13%新型FFU
52%
FFU監控系統（F-SITE系列）
FFU監控系統（F-SITE系列）
多數迴轉方向的彎曲扇葉
在離心送風機中能產出大的風量
製造費用相對便宜
63 64C L E A N R O O MC L E A N R O O M
R e p l a c e
Replace
節能效果的估算,從施工到調整測試等全部可以委託富士電機。
系統配置的確認構成機器的確認基礎設施的確認
s t e p
系統優化設計機器的選擇節能效果的估算圖面製作
譬如，變更現在使用的AC-FFU 1,000台為DC-FFU的話可以有這麼多的節約能源。
概 要謀求節能效果，將「AC馬達+多翼式風機」的FFU更換為「DC馬達+渦輪風機」FFU交換台數：約5,000台
節約能源效果計劃數 7,100MWh（FFU節能量）實際數 7,150MWh（FFU節能量）
富士電機更能夠有效且順利的實現節能 2更換的流程 節約能源效果的範例
實施更換的例子
現場調查
1
s t e p
2
s t e p
3
s t e p
4
設 計
機器安裝配線工程
動作確認調整測試潔淨度測試
現場調整
現場施工
考慮性能和效率的話，耗電量280W的AC-FFU和耗電量65W的DC-FFU可以調換。（※本公司計算）
以電費為9,000日元/MWh計算的話1,883MWh×9,000日元
(280W-65W)×24小時×365日×1,000台
年間 約1,900MWh 的節能
A公司
整年度 約可減少1,700萬日元 的運行成本
65 66C L E A N R O O MC L E A N R O O M
R e p l a c e
Replace
富士電機是40年來，持續為最尖端潔淨室系統的供應商，經常挑戰著技術和安全的革新。
最新技術的領域，總有富士電機的潔淨室。
具豐富實績和經驗的富士電機可以提供完善的工程方案並解決顧客的課題。
潔淨室實驗室 評價設備 分析和評價技術 氣流模擬 微粒動態模擬
富士CR技術關鍵
半導體製程規則
液晶母玻璃基板世代
富士CR業績
1970年代 1980年代 1990年代 2000年代 2010年代
1500nm 800nm 600nm 350nm 250nm 180nm 130nm 90nm 65nm 45nm 32nm 22nm
系統天花板方式CR DC無刷馬達FFU
AC類型FFU
半導體工廠CR系統 液晶工廠CR系統 化學污染對策CR系統 局部化對應系統
推進潔淨室節約能源化 磁碟片媒體工廠CR系統 PDP工廠CR系統 OLED工廠潔淨系統
利用氣流模擬 搬送設備用CR系統
環境監控系統
多台運轉FFU無密封方法隔間庫板
大風量FFUCR監控系統
擁有潔淨室實驗室，實施新產品的驗證和評價及系統設計的驗證等
藉由風洞實驗機和無響室等的設備，能實施特性、噪音、振動、輻射雜訊等的各種測量和評價。
針對客戸的潔淨室的微塵、氣流、溫濕度、化學氣體等實施分析與評價，可提供進行改善的建議。
根據模擬，預測設備內部或潔淨室的氣流狀況，溫度分佈等。
在動態環境下，可以模擬微粒動態。預測設備在稼動時微塵的動態，能提供設備和系統設計時使用。
富士電機更能夠有效且順利的實現節能 3
富士電機的潔淨室開發的進程
工程方案
第3代 第7, 8代 第10代第4代 第6代
第5代
開始潔淨機器的開發與製造
潔淨工作檯
2013-2 Printed in Japan
2013
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全力支援創造理想的潔淨室
潔淨室的解決方案
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潔
淨
室
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解
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方
案
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