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Dispositivos para Sistemas Ópticos. Micro-Espelhos. fixos e móveis horizontais e verticais. Chaveamento Óptico. Estrutura mecânica ressonante. Micro-Estruturas Mecânicas. Estrutura Comb Drive. massa móvel. acelerômetro filtro mecânico atuadores ressonantes. parte fixa. y. x. - PowerPoint PPT Presentation
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Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
Dispositivos para Sistemas ÓpticosDispositivos para Sistemas Ópticos
Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
Micro-EspelhosMicro-Espelhos
• fixos e móveis• horizontais e verticais
Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
Chaveamento ÓpticoChaveamento Óptico
Estrutura mecânica ressonante
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Micro-Estruturas MecânicasMicro-Estruturas Mecânicas
Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
Estrutura Comb Drive
x
ypartefixa
massamóvel • acelerômetro
• filtro mecânico• atuadores ressonantes
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(Micro-) Motores e Engrenagens
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Micro-Fluídica
• Válvula (surface / back-side bulk
micromachining)
fechada
aberta
fluxo
fluxo
• Bomba de Propulsão (processo híbrido)
fluxo entrada
saída
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Componentes paraComponentes paraCircuitos MicroondasCircuitos Microondas
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Linha de TransmissãoLinha de Transmissão
plano de massa
linha metálica
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Indutor Espiral PlanarIndutor Espiral Planar
OSS
S
SoS
S
S CCLL
RCCR
LQ 2
2
1
2
21
2
1
S
S
OSSRes
L
R
CCLF
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Indutor Espiral Planar...Indutor Espiral Planar...
• Membrana
• Linhas Isoladasopen areas
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Transformadores PlanaresTransformadores Planares
• Cp = Cs 40fF 15fF
• Cm 200fF 80fF
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lGGG
llGGITGNT
SLA
SLeABB
coth
sinhcoth 1
lGGG
llGGITGNT
SLA
SLeABB
coth
sinhcoth 1
Formulação MatemáticaFormulação Matemática
Circuito Elétrico EquivalenteCircuito Elétrico Equivalente
Método de Elementos FinitosMétodo de Elementos Finitos
Modelagem e CADModelagem e CAD
Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
LIBRARY conserved_systems;USE conserved_systems.nature_pkg.ALL;
ENTITY piezopress_equ IS GENERIC (h: real := 17e-6; -- plate thickness a: real := 1e-3; -- plate side length r0: real; -- nominal resistance rs: real); -- sensitivity PORT (TERMINAL fp: fluid; -- fluidic pin TERMINAL ep: electrical); -- electrical pinEND ENTITY piezopress_equ;
ARQUITECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT e0: real := 146.9e9; -- Si elasticity [N/m**2] CONSTANT v0: real := 0.1846; -- Si Poisson’s ratio CONSTANT df: real := e0*h**3/(12*(1-sqr(v0)); -- rigidity QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground; QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd; QUANTITY w11: real; -- deflection coefficientBEGIN (w11/h)**3 + 0.2522*w11/h == 0.000133*p*a**4/(df*h); i == v/(r0 + rs*2.5223*1.5895e9*w11);END ARQUITECTURE equ;
Linguagem de DescriçãoLinguagem de Descrição
de Hardware Analógicode Hardware Analógico
HDL-AHDL-A
Spectre-HDLSpectre-HDL
VHDL 1076.1VHDL 1076.1
VHDL-AMSVHDL-AMS
Sensor de pressão Sensor de pressão piezo-resistivopiezo-resistivo
Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
Simuladores de UsinagemSimuladores de Usinagem
Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
Conclusão
• Área de desenvolvimento promissora
• Identificação de aplicações potenciais
• Criatividade na criação de dispositivos
• Equipes de trabalho multi-disciplinares
Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
Fotos :• Sandia National Laboratories• MCNC MEMS Technology Applications Center• TIMA Laboratory - INPG• University of Wisconsin - Madison• Journal of Microelectromechanical Systems
Fotos :• Sandia National Laboratories• MCNC MEMS Technology Applications Center• TIMA Laboratory - INPG• University of Wisconsin - Madison• Journal of Microelectromechanical Systems