真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。

真空搬送ロボット / プラットフォーム

多彩なアーム構成： ハンドの数や回転半径、ストロークなど装置仕様に応じたアームを選択できます。 高精度搬送：

剛性の高いアームと信頼性に優れたアクチュエータを採用し、安定した搬送が行えます。 高真空対応：

10-6Paまでの高真空に対応します。（ELEC-RZ/COVOT） 真空搬送プラットフォームも提供：

ロボットおよびコアチャンバー /ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームも各種ラインアップしています。

特 長

各種半導体向け製造装置でのウェーハ自動搬送 各種真空実験装置での基板搬送

用 途

ELEC-RZ

Vacuum Process Tools

VacuumProcess Tools

高真空対応ロボット ELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応）

高真空対応ロボット COVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応）

真空搬送ロボット / プラットフォーム

コンパクトで汎用性に優れた次世代ロボット

ダイレクトドライブ方式により高精度な基板搬送を実現

特　　長

真空シールに磁性流体シールを採用し、高真空まで対応

マルチファンクションディスプレイ方式のティーチングペンダントを標準装備

コンパクト設計で設置が容易

特　　長

360°エンドレス旋回のため、取付方向が自在

RS232CとDI/Oのコネクタを装備

コントローラ一体型でコンパクト

基板位置補正機能（AWS）をオプション設定

＊1 アームは各種ストロークを取り揃えております。＊2 ハンドは仕様に含まれておりません。

＊1 アームは各種ストロークを取り揃えております。＊2 ハンドは仕様に含まれておりません。

仕　　様

仕　　様

外 形 寸 法 図

外 形 寸 法 図

R軸 θ軸 Z軸

動作範囲 最大1050mm ＊1 ±210° 50mm

搬送速度 フルストローク/ 2.5sec 180°/ 3sec 1.5mm / 20sec

再現精度 ±0.1mm ±0.2mm ±0.2mm

R軸 θ軸 Z軸

動作範囲 最大1050mm ＊1 360°エンドレス 50mm

搬送速度 フルストローク / 1.4sec 180°/ 2.2sec フルストローク / 2.3sec

再現精度 ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm

85

65.820

349

351

172

162

260

245

φ296

φ198

1180

1050390

φ220φ29

6

＊2

＊1

25

Z Ax

isEx

tens

ion

50m

m

1958

035

93.5

φ274φ280

463166629

R320

φ200

＊1

＊2

単位：mm

単位：mm

ELEC-RZ

COVOT

高真空対応ロボット COVOT-LC（φ200mm/300mm ウェーハ対応）

中真空対応独立4本アームロボット COVOT-6（φ300mm ウェーハ対応）

ベーシックな2軸ロボット

高スループットを実現する独立4本アームの搬送ロボット

特　　長

Z軸（昇降機構）を廃したシンプルな構造

コントローラ一体型でコンパクト

特　　長

上下 2本ずつのアームで 2枚同時入替が可能

4本のアームそれぞれにティーチングが可能

基板位置補正機能（AWS）を標準装備

＊1 アームは各種ストロークを取り揃えております。＊2 ハンドは仕様に含まれておりません。

仕　　様

仕　　様

外 形 寸 法 図

外 形 寸 法 図

R軸 θ軸

動作範囲 最大880mm ＊1 360°搬送速度 フルストローク/ 2.5sec 180°/ 2.5sec

再現精度 ±0.2mm ±0.2mm

R軸 θ軸 Z軸

動作範囲 880mm 360°エンドレス 90mm

搬送速度 フルストローク/ 2.5sec 180°/ 3.0sec 20mm / 2.0sec

再現精度 ±0.5mm ±0.5mm ±0.5mm

（302） （439.9）（741.9）

R310

（166.5）

107 .

5

1954

3

φ280

φ300

＊1

＊2

1815

080

4

245

860

φ416

245

A-Arm

B-Arm

253.45

R490

φ300

単位：mm

単位：mm

COVOT-LC

COVOT-6

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

国内販売： アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011（代） ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL+81-467-89-2261

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真空搬送ロボット / プラットフォーム

真空搬送プラットフォーム NCH シリーズ（φ200mm/300mm ウェーハ対応）

φ300mm対応モデルでは最も省スペース

特　　長

デュアルエンドエフェクタでは最大 200mm

25段カセット昇降機付ロードロックを標準装備

仕　　様

外 形 寸 法 図

標準仕様 オプション

基板サイズ 最大300mmウェーハ ガラス基板接続ポート数 4～ 8 －搭載ロボット ELEC COVOT

1100

（17

20）

4103801186

700

350

φ300

単位：mmNCHシリーズ

真 空 搬 送 ロ ボ ッ ト 仕 様

型式 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6

使用圧力領域 大気圧～ 10-6Pa 大気圧～ 10-6Pa 大気圧～ 10-5Pa 大気圧～ 10-1Pa

ウェーハサイズ 200mm/300mm 200mm/300mm 200mm/300mm 200mm/300mm

ウェーハ保持枚数 1枚/2枚 1枚/2枚 1枚/2枚 4枚最大到達位置 ＊1 最大1050mm 最大1050mm 880mm 880mm

回転角度 ±210° 360°エンドレス －15°～ 375° 360°エンドレス昇降ストローク 50mm 50mm 無し 90mm

最小旋回直径 ＊1 最大944mm 最大944mm 最大802mm 980mm

可搬重量（ハンド含む） 1kg 1kg 1kg 1kg

動作速度 R軸（伸縮） 最大2.5sec /フルストローク 最大2.5sec /フルストローク 最大2.5sec /フルストローク 最大1.5sec /フルストロークθ軸（旋回） 最大3.0sec / 180° 最大2.5sec / 180° 最大2.5sec / 180° 最大2.0sec / 180°Z軸（昇降） 最大1.5sec / 20mm 最大1.5sec / 20mm － 最大1.5sec / 20mm

繰り返し位置精度 R軸（伸縮）±0.1mm ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm

θ軸（旋回） ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm

Z軸（昇降） ±0.2mm ±0.2mm 無し ±0.2mm

真空シール 磁性流体シール 磁性流体シール 接触シール 接触シールティーチングペンダント 付属 付属 オプション 付属コントローラ 別置き 内蔵 内蔵 別置き

＊ 排気系、真空計については別途オプションになります。

＊1 取付アームおよびハンドにより異なります。