Afnamerapport van een Zeiss MC 550 3D-meetmachine,eigendom van KEMA, ArnhemCitation for published version (APA):Schellekens, P. H. J., Gilde, de, A. G., & Vliet, van, W. P. (1991). Afnamerapport van een Zeiss MC 550 3D-meetmachine, eigendom van KEMA, Arnhem. (TH Eindhoven. Afd. Werktuigbouwkunde, VakgroepProduktietechnologie : WPB; Vol. WPA1113). Technische Universiteit Eindhoven.

Document status and date:Gepubliceerd: 01/01/1991

Document Version:Uitgevers PDF, ook bekend als Version of Record

Please check the document version of this publication:

• A submitted manuscript is the version of the article upon submission and before peer-review. There can beimportant differences between the submitted version and the official published version of record. Peopleinterested in the research are advised to contact the author for the final version of the publication, or visit theDOI to the publisher's website.• The final author version and the galley proof are versions of the publication after peer review.• The final published version features the final layout of the paper including the volume, issue and pagenumbers.Link to publication

General rightsCopyright and moral rights for the publications made accessible in the public portal are retained by the authors and/or other copyright ownersand it is a condition of accessing publications that users recognise and abide by the legal requirements associated with these rights.

• Users may download and print one copy of any publication from the public portal for the purpose of private study or research. • You may not further distribute the material or use it for any profit-making activity or commercial gain • You may freely distribute the URL identifying the publication in the public portal.

If the publication is distributed under the terms of Article 25fa of the Dutch Copyright Act, indicated by the “Taverne” license above, pleasefollow below link for the End User Agreement:www.tue.nl/taverne

Take down policyIf you believe that this document breaches copyright please contact us at:openaccess@tue.nlproviding details and we will investigate your claim.

Download date: 08. Aug. 2020

Afnamerapport van een ZEISS

MC 550 3D-meetmachine,

eigendom van KEMA,

Arnhem.

Rapportnr.: WPA 1113, juni 1991.

Prof.dr.ir. P.HJ. Scheltekens

A.G. de Gilde

Ir. W.P. van Vliet

- 1 -

1. InleicliDJ

In dit rapport zijn de gegevens vastgelegd van afname-metingen verricht aan een ZEISS

MC 550 portaal-meetmachine geïnstalleerd in de meetkamer van KEMA- Arnhem.

De metingen zijn uitgevoerd volgens een meetplan en meetprocedures opgesteld in het

Laboratorium voor Geometrische Meettechniek van de TU-Eindhoven.

De meetprocedures zijn conform het plan voor afnameprocedures 3D-meetmachines

zoals dat thans binnen de Nederlandse Kalibratie Organisatie is ontwikkeld.

Het meetplan volgt zoveel mogelijk de aanbevelingen zoals deze zijn vastgelegd in

VDI 2617.

De afnamemetingen zijn uitgevoerd door eigen personeel van de TU-Eindhoven.

De afname is uitgevoerd via meting van de lineariteitsafwijkingen, terwijl daarnaast

extra metingen zijn uitgevoerd om de resteffecten van afwijkingen van de machine te

analyseren, dit nadat softwarecorrectie van een aantal geomtrie-afwijkingen is

uitgevoerd door de leverancier.

- 2 -

2. Het meetplan

2.1 Inleid.i.ng

De Zeiss MC 550 meetmachine bezit de meetassen X, Yen Z met de volgende

meet bereiken:

X-as: 550 mm

Y-as: 500 mm

Z-as: 450 mm

De lD-meetonnauwkeurigheid is vastgelegd volgens (U95):

L öL1D i 2,9 + !50 [/lm], L in mm

De 3D-meetonnauwkeurigheid is vastgelegd volgens (U95):

L óL3D i 3,6 + ~ [/lm], L in mm

Zoals reeds is opgemerkt zijn deelmetingen uitgevoerd om daarmee de grootte van

enkele foutenbronnen vast te leggen. De volgende meetinstrumenten en meetmiddelen

zijn bij deze metingen ingezet:

- HP-laserinterferometer, type 5528A met automatische compensatie voor

brekingsindexinvloeden en uitzettingseffecten van de meetmachine;

- eindmaat 9 mm, pasring 17 mm en een kalibratiekogel van 30 mm diameter;

- gekalibreerde eindmaten van nominaal 500 mm lengte voor het

van kalibratiemetingen langs vlakken en ruimtediagonalen;

uitvoeren

- temperatuursmeetopstelling, eigenbouw TUE, waarmee de temperaturen van de

meetsystemen van de meetmachine én eindmaat zijn vastgesteld tijdens de metingen

met de eindmaten.

Bovenstaande meetinstrumenten vallen onder de erkenning zoals deze door de NKO

voor het lab voor Geometrische Meettechniek yan TU-Eindhoven onder

erkenningsnummer 014 is afgegeven. De eindmaat, pasring en kogel, die niet onder de

erkenning vallen, zijn alleen voor specifieke metingen toegepast.

Zij zijn echter wel op specifieke eigenschappen d.i. rondheid gecontroleerd.

- 3 -

2.2 Qvenicht van het meetprogramma

In het uiteindelijk uitgevoerde meetprogramma zijn een aantal deelmetingen uitgevoerd

die zijn onder te verdelen in de volgende hoofdgroepen:

*Translatie-afwijkingen Tij met i,j =X, Y, Z

De afwijkingen Tii zijn bepaald tegen de liniaire laserinterferometer met automatische

compensator. De metingen voor Txx en Tyy zijn op de positie van kleinste en grootste

comparatorafwijking uitgevoerd, die voor Tzz op de positie van de kleinste

comperatorafwijking.

* Om de effecten van resterende rotatie- en haaksheidsafwijkingen vast te stellen, na

softwarecorrectie van deze afwijkingen, zijn eindmaatmetingen langs alle

vlakkendiagonalen uitgevoerd op posities van de kleinste en grootste

comparatorafwijkingen. Daarnaast zijn langs alle ruimtediagonalen eindmaatmetingen

uitgevoerd.

* Het gedrag van het tastsysteem is geanalyseerd via meting van een kleine eindmaat

(lD), een ring (2D), en een kogel (3D).

-4-

3. Resultaten

De meetresultaten van de deelmetingen zijn uitgebreid weergegeven in de bijlagen via

numerieke en grafische presentatie.

Hierna wordt een samenvatting van de belangrijkste meetresultaten gegeven, waarbij de

bovengrenswaarde, in absolute zin, van de bijbehorende systematische afwijking is

vermeld.

Translatie-afwijkingen:

1. Txx 1 0,6 J.UTI, meting op positie van de kleinste comparatorafwijking.

2. Txx 1 2,1 J..tm, meting op positie van de grootste comparatorafwijking.

3. Tyy 1 0,7 J.U!l, meting op positie van de kleinste comparatorafwijking.

4. Tyy 1 1,4 J.UTI, meting op positie van de grootste comparatorafwijking.

5. Tzz .s. 0,5 J..tm

- 5-

6. Eindmaatmetingen op de vlakkendiagonalen.

Deze metingen zijn uitgevoerd op de grenzen van het meetvolume waarvan de

hoekpunten in onderstaande schets zijn aangegeven. Het machinenulpunt bevindt

zich inH.

H J G

I I

E j_D_ L -·- c / z /

/

L:\ /

/

A I

Figuur: schematische weergave van het meetvolume.

-6-

7.1. Meetresultaten van de vlakkendiagonalen:

(met correctie voor systematische afwijkingen van de eindmaten en temperatuur).

X- Z vlak:

X- Yvlak:

Y- Z vlak:

ÄF = 499,9994 mm

SE = 500,0006 mm

ÄC = 500,0015 mm

Sö = 499,9969 mm

AR = 500,0014 mm

DË = 500,0025 mm

7.2. Eindmaatmetingen op de ruimtediagonalen.

DG = 499,9978 mm

en = 500,0004 mm

~G = 500.0018 mm

FH == 499,9990 mm

CF= 500,0014 mm

BG = 500,0008 mm

De eindmaten zijn hierbij opgesteld langs de vier ruimtediagonalen aangegeven

met AG, BH, CE en DF (zie schets onder 6).

Meetresultaten:

ÄG = 500,0007 mm

BH = 500,0015 mm

:D.F = 499,9988 mm

CE = 499,9994 mm

8. Berekening gemiddelde haaksheidsafwijking uit eindmaatmetingen.

X- Yvlak: öä = -1,6"

X- Z vlak: öä = 0,8"

Y - Z vlak: öä = 0,1 "

-7-

9. Controle van het tastsysteem.

De afwijkingen ten gevolge van het tastsysteem bij metingen in 1D, 2D en 3D:

1D-meting met eindmaat 9 mm:

x-as T 10 .s. 0,5 J..Lm

y-as T 10 i 0,5 J.lffi

z-as T 10 i 0,5 J.lm

- 2D-meting met ring 17 mm diameter:

x-y vlak T 20 i 0,5 J.lffi

x-z vlak T ZD i 0,5 J..Lm

y-z vlak T 20 i 0,5 IJm

- 3D-meting met bol met diameter 30 mm:

Fluctuaties in diametermetingen:

bolmeting T 30 i 1,0 IJm

Onnauwkeurigheid van de metingen:

* Laserinterferometer

Onnauwkeurigheid voor deze metingen: 6L i 0,1 [1Jm] + 10-ó * L

* Eindmaatmetingen

500 mm: systematische afwijking :

6L i 1 ,5 J..Lm.

-1,5 J..Lm;

* Bepaling haaksheidsafwijking }ler meetpositie:

- 8 -

6a i 0,5 11

4. Bepaling van de meetonnauwkeurigheid

Zoals eerder is venneld wordt de onnauwkeurigheid apart gespecificeerd voor 1D- en

3D-metingen.

* 1D-meetonnauwkeurigheid.

Het betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen langs deze assen.

X -richting: öL 1 x 2,1 J.Lm

Y -richting: öL 1 y 1,4 J.Lm

Z-richting: óLz 1 0,5 J.lm

* 3D-meetonnauwkeurigheid.

Het betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen in het meetvolume. Deze is

vastgesteld via metingen van een eindmaat van 500 mm lengte waarbij het

temperatuurscorrectiesysteem voor de meetsystemen en eindmaat met de hand is

uitgevoerd (zonder deze correctie is de afwijking groter). De meetresultaten vallen

ruimschoots binnen de specificaties (zie punt 7.2.).

- 9-

5. Conclusies

Ten aanzien van de deelmetingen kan gesteld worden dat geen van de

afwijkingsbronnen extreem grote afwijkingen vertoont.

Samenvattend kan worden geconcludeerd:

ID-meetonnauwkeurigbeid:

Zowel óLx' óL'y als óLz vallen binnen de specificaties opgegeven als:

L óLx, óLY, óLz 1 2, 9 + Z5Q [/lm], L in mm

2D-meetonnauwkeurigbeid:

Geen opgave aanwezig.

3D-meetonnauwkeurigbeid:

De 3D-meetonnauwkeurigheid óL3 valt binnen de specificaties, opgegeven als:

L óL3 1 3,6 + zou [/lm], L in mm

Uit de eindmaatmetingen in de vlakken en de ruimte kan worden vastgesteld dat,

tezamen met de resultaten van de 1D-metingen, de resulterende onnauwkeurigheid

ruimschoots binnen de specificaties valt.

Invloed tastsysteem:

Uit de separate tests van het tastsysteem is gebleken dat de reproduceerbaarbeid van de

meetresultaten beter is dan 1,0 11m voor zowel1D-, 2D- als 3D-metingen.

- 10-

6. Bij1aien: Meetresultaten

Hierna worden de meetresultaten van de deelmetingen gegeven met de bijbehorende

grafische representaties.

In bijlage 1 worden de resultaten betreffende de translatiemetingen Tii gepresenteerd.

Zowel de heen-, retour- en gemiddelde meetresultaten worden weergegeven.

In bijlage 2 worden de resultaten van de eindmaatmetingen in de lD-, 2D- en 3D-ruirnte

weergegeven. Tenslotte zijn de meetresultaten van de tastedcalibratie opgenomen.

- 11-

BULAGEl

Linearlteitsmetingen

Ze i ss MC 550 mtA Arnhem

Type meting : TXX K.K.F. Startpositie : y = Omm Meetmiddel : Laserinterferometer z = 450 mm Datum/Tijd : 26-3-1990 15:46 Temperatuur = 21.65 oe

Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine

X-AS HEEN HEEN HEEN X-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [ #Jlll] [mm] [mm] [ #Jlll] [ #Jlll]

1.0010 1.0010 0.0 0.9990 0.9997 -0.7 -0.3 49.9985 49.9984 0.1 50.0003 50.0007 -0.4 -0.2

100.0000 100.0000 0.0 99.9996 100.0002 -0.6 -0.3 150.0000 150.0002 -0.2 149.9985 149.9990 -0.5 -0.4 200.0000 200.0003 -0.3 200.0000 200.0007 -0.7 -0.5 250.0000 250.0003 -0.3 250.0010 250.0017 -0.7 -0.5 300.0000 300.0003 -0.3 300.0014 300.0019 -0.5 -0.4 350.0000 350.0003 -0.3 349.9995 350.0001 -0.6 -0.5 400.0000 400.0001 -0.1 399.9996 400.0000 -0.4 -0.3 449.9989 449.9984 0.5 450.0010 450.0013 -0.3 0.1 499.9985 499.9979 0.6 500.0012 500.0013 -0.1 0.3 549.1005 549.0999 0.6 549.0985 549.0979 0.6 0.6

ZEISS MC 550 KEMA ARNHEM 1.5 Type meting: TXX KoKoFo Datum: 26-3-1990 Tijd: 15:46

1.

,......,

~ 0.5 ,.-.4

0 0 0 0 ...__,

t:: 0 ..... t:: ~ s:: o...,j ~ 0~ 0 ..... -0.5

~ -1.

-1.5 +----+----t----+---l---+---+-----+-----t----+---t-----1

Oo 500 1000 1500 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500. 550. X-AS [mm]

x= HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD

Ze i ss MC 550 KEMA Arnhem

Type meting : TXX G.K.F. Meetmiddel : Laserinterferometer Datum/Tijd : 26-3-1990 16:22

Positie machine

X-AS HEEN [mm]

1.0001 50.0000

100.0000 150.0000 200.0000 249.9986 299.9985 350.0000 400.0007 450.0004 499.9987 550.0000

Aflezing Afwijking meetmiddel machine

HEEN HEEN [mm] [JDD]

1.0001 49.9998

100.0005 150.0009 200.0015 250.0008 300.0006 350.0019 400.0021 450.0021 500.0002 550.0023

0.0 0.2

-0.5 -0.9 -1.5 -2.2 -2.1 -1.9 -1.4 -1.7 -1.5 -2.3

Startpositie : y = 0 mm z = 0 mm

Temperatuur = 21.63 oC

Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine

X-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [JDD] [JDD]

0.9990 49.9996 99.9997

150.0000 200.0000 250.0006 300.0007 349.9996 399.9997 450.0004 500.0013 549.9988

0.9989 49.9998

100.0003 150.0010 200.0013 250.0025 300.0027 350.0015 400.0013 450.0023 500.0030 550.0007

0.1 -0.2 -0.6 -1.0 -1.3 -1.9 -2.0 -1.9 -1.6 -1.9 -1.7 -1.9

0.1 0.0

-0.5 -1.0 -1.4 -2.0 -2.0 -1.9 -1.5 -1.8 -1.6 -2.1

ZEISS MC 550 KEMA ARNHEM 0.5 Type meting: TXX G.K.F. Datum: 26-3-1990 Tijd: 16:22

-0.5

,_..., -1.

ê '1""'4 -1.5 0 0 . 0 -2. "'--'

c:: •1""4

c:: -2.5 (1) 00 c::

•1""4 ,.!il:l -3. ·~

] < -3.5

-4.

-4.5

-5. 0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500. 550.

X-AS [mm]

x= HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD

Zei ss MC 550 KEMA Arnbem

Type meting : TYY K.K.F. Startpositie : x = 550 mm Meetmiddel : Laserinterferometer z = Omm Datum/Tijd : 26-3-1990 13:47 Temperatuur = 20.45 oC

Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine

Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [pro] [mm] [mm] [pro] [pro]

0.0000 0.0000 0.0 0.0001 0.0011 -1.0 -0.5 50.0000 49.9991 0.9 50.0007 50.0003 0.4 0.7

100.0000 99.9997 0.3 100.0005 100.0006 -0.1 0.1 150.0002 150.0003 -0.1 150.0003 150.0005 -0.2 -0.2 200.0000 200.0000 0.0 200.0009 200.0009 -0.0 -0.0 250.0000 249.9999 0.1 250.0000 250.0002 -0.2 -0.1 300.0000 299.9996 0.4 300.0000 300.0002 -0.2 0.1 350.0000 349.9996 0.4 350.0000 350.0003 -0.3 0.1 399.9997 399.9997 0.0 400.0004 400.0006 -0.2 -0.1 450.0000 449.9999 0.1 450.0004 450.0009 -0.5 -0.2 490.0004 490.0007 -0.3 490.0016 490.0017 -0.1 -0.2

ZEISS MC 550 KEMA ARNHEM 2. Type meting: TYY K.K.F. Datum: 26-3-1990 Tijd: 13:47

1.5

1. ,.......

ê ........ 0.5 0 ~ 0 ~

= ..... = ~ = .....

-0.5 ~ ·~ .....

~ -1.

-1.5

-2. +----+---t----t-----+--t----+----+-----+---+----i

0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500. Y-AS [mm]

x= HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD

Ze i ss MC 550 KEMA Arnhem

Type meting : TYY G.K.F. Startpositie : x = Omrn Meetmiddel : Laserinterferometer z = 450 mrn Daturn/Tijd : 26-3-1990 14:58 Temperatuur = 20.58 oe

Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine

Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mrn] [mm] [Jllll] [mrn] [mm] [ Jllll] [Jllll]

0.0012 0.0012 0.0 0.0020 0.0014 0.6 0.3 50.0000 49.9991 0.9 50.0007 49.9996 1.1 1.0

100.0000 99.9992 0.8 100.0005 99.9995 1.0 0.9 150.0000 149.9997 0.3 150.0004 150.0002 0.2 0.3 200.0004 200.0006 -0.2 200.0010 200.0011 -0.1 -0.2 250.0000 250.0000 0.0 250.0012 250.0014 -0.2 -0.1 299.9998 299.9987 1.1 300.0012 300.0004 0.8 0.9 350.0000 349.9983 1.7 350.0009 349.9998 1.1 1.4 400.0000 399.9993 0.7 400.0013 400.0013 -0.0 0.3 450.0002 450.0004 -0.2 450.0015 450.0020 -0.5 -0.3 489.9992 489.9996 -0.4 490.0014 490.0020 -0.6 -0.5

ZEISS MC 550 KEMA ARNHEM 3.5 Type meting: TYY G.K.F. Datum: 26-3-1990 Tijd: 14:58

3.

2.5

1 2. ,......

~ 1.5 0 .........,

c:: ·~ 1 . c::

~ 3'2 0.5 =~

~ 0. - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

-0.5

-1.

-1.5 +----+----+---~--+----t----+--+------1----t------i 0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500.

Y-AS [mm]

x= HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD

Ze i ss MC 550 KEMA Ambem

Type meting : TZZ K.K.F. Startpositie : x= Omm Meetmiddel : Laserinterferometer y = Omm Datum/Tijd : 26-3-1990 17:35 Temperatuur = 21.87 oC

Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine

Z-AS HEEN HEEN HEEN Z-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [ Jllll] [mm] [mm] [ Jllll] [Jllll]

0.4995 0.4995 0.0 0.4995 0.5002 -0.7 -0.4 25.0000 24.9996 0.4 24.9995 24.9999 -0.4 0.0 50.0000 49.9998 0.2 49.9997 50.0003 -0.6 -0.2 75.0000 74.9993 0.7 74.9997 74.9997 -0.0 0.3

100.0000 99.9997 0.3 99.9985 99.9989 -0.4 -0.0 125.0000 124.9996 0.4 124.9986 124.9989 -0.3 0.0 150.0000 149.9999 0.1 149.9998 150.0004 -0.6 -0.3 175.0000 174.9996 0.4 174.9994 174.9995 -0.1 0.2 200.0000 200.0000 0.0 199.9998 200.0004 -0.6 -0.3 224.9997 224.9998 -0.1 224.9993 224.9995 -0.2 -0.2 250.0000 250.0002 -0.2 249.9984 249.9991 -0.7 -0.5 274.9996 274.9998 -0.2 274.9966 274.9967 -0.1 -0.2 299.9997 300.0002 -0.5 299.9963 299.9968 -0.4 -0.5 324.9995 324.9996 -0.1 324.9971 324.9972 -0.1 -0.1 344.9996 344.9996 0.0 344.9996 344.9998 -0.2 -0.1

1.5

1.

1 0.5 'l"'"'4 0 c: 0 "'--'

.s

-1.

ZEISS MC 550 KEMA ARNHEM Type meting: TZZ K.K.F. Datum: 26-3-1990 Tijd: 17:35

-1.5 -1-----+-----+-----+-----+-----+-----+-----1 0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350.

Z-AS [mm]

x=HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD

BULAGE2

Eindmaatmetin&en en tastennetingen

Directe meetresultaten zonder correctie voor temperatuurseffecten en systematische afwijkingen van de eindmaat.

Gemiddelden:

Gemiddelden:

Ylakdia&ooalen van het x-y vlak

AC [mm]

500,0059 500,0064 500,0065 500,0066 500,0063 500,0067 500,0058 500,0062 500,0064 500,0060 500,0063

BD [mm]

500,0016 500,0022 500,0021 500,0024 500,0019 500,0016 500,0010 500,0008 500,0013 500,0013 500,0016

FH [mm]

500,0046 500,0047 500,0050 500,0042 500,0042 500,0038 500,0038 500,0038 500,0035 500,0039 500,0042

EC [mm]

500,0074 500,0072 500,0071 500,0071 500,0075 500,0069 500,0071 500,0071 500,0064 500,0072 500,0071

Ylakdia&onal~n van h~l x-z vlak

AF [mm]

499,9950 499,9953 499,9956 499,9960 499,9956 499,9957 499,9961 499,9957 499,9958 499,9959 499,9957

BE [mm]

500,0001 499,9993 499,9990 499,9990 499,9986 499,9990 499,9989 499,9986 499,9991 499,9988 499,9990

CH [mm]

499,9994 499,9996 499,9996 499,9996 499,9993 499,9997 499,9994 499,9994 499,9999 499,9996 499,9996

DG [mm]

499,9977 499,9976 499,9977 499,9979 499,9976 499,9977 499,9977 499,9977 499,9976 499,9980 499,9977

Gemiddelden:

Gemiddelden:

Vlakdiagonalen van het y-z vlak

AH [rnm]

500,0021 500,0017 500,0012 500,0016 500,0021 500,0020 500,0012 500,0018 500,0019 500,0014 500,0017

AG [rnm]

500,0045 500,0042 500,0040 500,0038 500,0040 500,0042 500,0047 500,0048 500,0046 500,0051 500,0044

DE [rnm]

500,0035 500,0034 500,0032 500,0028 500,0026 500,0037 500,0029 500,0031 500,0040 500,0038 500,0033

CF [mrn]

500,0025 500,0027 500,0022 500,0025 500,0025 500,0026 500,0027 500,0030 500,0031 500,0032 500,0027

Ruimt~diagonalen

CE [rnm]

500,0049 500,0051 500,0054 500,0054 500,0052 500,0052 500,0054 500,0057 500,0059 500,0057 500,0054

BH [rnm]

500,0031 500,0037 500,0036 500,0039 500,0037 500,0036 500,0034 500,0038 500,0039 500,0042 500,0037

BG [mrn]

500,0024 500,0026 500,0023 500,0026 500,0027 500,0032 500,0031 500,0029 500,0029 500,0028 500,0028

DF [rnm]

500,0038 500,0040 500,0034 500,0034 500,0032 500,0036 500,0032 500,0029 500,0029 500,0027 500,0033

Meetresultaten tasterkalibratie

* 1D-metingen aan 9 mm eindmaat. x-as: 9,0001 y-as: 8,9999 z-as:

9,0001 8,9999 9,0000 8,9999

9,0001 8,9999

9,0001 8,9999 9,0001 8,9999 9,0001 8,9999 9,0001 8,9999 9,0001 8,9999 9,0000 8,9999 r 10 i 0,5 llffi T10 i 0,5 llffi

* 2D-meting aan ring van 17 mm diameter.

x-y vlak: nxy = 17.0000;

x-z vlak: nxz = 17,0000;

y-z vlak: U = 17,0000; yz

* 3D-meting aan een bol van 30 mm diameter: 29,972 29,972 29,973 29,973 29,973 29,973 29,973 29,973 29,973 29,973 T30 i 1,0 llffi

T20 i 0,5 llffi

T20 i 0,5 llffi

T20 i 0,5 llffi

9,0000 9,0000 9,0000 9,0000 9,0000 9,0000 9,0000 9,0000 9,0000 9,0000 T10 i 0,5 llffi