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真空晨会报告. 2009-06-13. 目前真空系统状态. 内真空： 2 台主分子泵 +3CP ； 外真空： 2 台分子泵； 低杂波： 1 套分子泵机组； 目前烘烤： 感应烘烤： 0 内衬烘烤： 20 A 管道烘烤： 100 V. 主要工作. He GDC 05:20 - 07:00 0.6 Pa ， 2 A. 装置各处真空度演变. 内真空 质谱. - PowerPoint PPT Presentation
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ASIPP
真空晨会报告
2009-06-13
ASIPP目前真空系统状态
内真空： 2 台主分子泵 +3CP ；外真空： 2 台分子泵；低杂波： 1 套分子泵机组；
目前烘烤：– 感应烘烤： 0– 内衬烘烤： 20 A– 管道烘烤： 100 V
ASIPP主要工作
He GDC– 05:20 - 07:00
– 0.6 Pa ， 2 A
ASIPP装置各处真空度演变
内真空 1# 1.1E-5
外真空 3.7E-4
ASIPP内真空 质谱
AMUP.P (Pa)
2 2.06E-06
4 1.69E-06
18 5.71E-06
28 1.1E-06
32 0
44 1.98E-07
Ar 3.3E-08
56 1.43E-07
