LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用で CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスでは ECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約 70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種 CE 対応可能（オプション）です。

ドライ真空ポンプ【LR/HR/UR シリーズ】

通信機能： ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し､コンピュータ通信を行えば集中監視が可能。

CE対応可能： CE対応はご発注時のご指定によるオプションになります。

活性ガス排気（CVD、ドライエッチング等）

不活性ガス排気（スパッタ、蒸着、熱処理等）

仕込み取り出し室の排気時間短縮（LR シリーズ）

粉体の発生するプロセスでの排気（Si 単結晶引き上げ等）

補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気）

低温領域で均熱化（LRシリーズ）： PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適。

高温領域で均熱化（HRシリーズ・URシリーズ）： CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能。

URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能。

ヘリウムタイト： キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全。

瞬停対策： 500msec以内の瞬停対策を施しています。

優れた耐食性： 主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減。

特 長

用 途

LR180

LR90LR60

低真空ポンプ

低真空ポンプ

ドライ真空ポンプ【LR/HR/UR シリーズ】

仕 　 　 様

運転モード サイレンサ（オプション）

型式 LR/HR60 LR/HR90 LR180 LR421 LR421-T UR421-T LR/HR300 LR/HR600 → � → UR600 LR/HR1200 UR1200 LR1800 UR1800 LR3601 LR3601-T(TT) LR3601-R LR3601-TR(TTR) UR3601-TT使用ポンプ DRP LR/HR60 LR/HR90 LR180 LR421 LR421-T UR421-T LR/HR60 LR/HR90 → → UR90 LR/HR90 UR90 LR180 UR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T UR421-T

MBP － PRC-003A PRC-006A → → PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C PRC-036C(-T) PRC-036C-R PRC-036C-R(TR) PRC-036C-T最大排気速度

m3/h50hz 62 112 183

440 440 410359 653 → →

6531012

10121701

1701 3200 270060hz 80 126 237 365 701 → → 1051 1784

L/min50hz 1030 1860 3100

7333 7333 68335980 10900 → →

1088316900

1686728350

28350 53333 4500060hz 1333 2100 3950 6080 11700 → → 17500 29700

到達圧力 Pa 5.0 0.67 → → 0.67最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 ＊ → → 大気圧 ＊最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧 → → 1Pa～大気圧吸気口（CE仕様） VG50（NW40） VG80（NW50） VG100 VG80（NW80） → → VG80（NW80） VG100（NW100） VG150（NW100） VG150排気口 NW40 VG50 NW40 → → NW40 NW50DRP表面処理 ○ → → ○MBP表面処理 － ○ ＊ → → ○ ○ ＊ ○ ○ ＊ ○ × T：×　TT：○ × TR：×　TTR：○ ○質量 kg 180 245 335 415 251 371 → → 371 403 553 660 720 660 720電力 三相 VAC (Hz) 200（50/60）　220（60） 180～ 240/380～ 440（50/60） 200（50/60)　220（60） → → 200（50/60)　220（60） 180～ 240/380～ 440（50/60）電流値 定常時 A 6.9/7.1 11.2 18.9 20.8 23.0 7.0/7.8 12.3/12.9 → → 16.4 13.7/15.4 18.9 21.4 29.2 31.0 35.4 39.8

最大値 A 7.0/7.3 11.8 20.6 48.5 52.5 9.6/8.1 19.0/13.8 → → 17.3 24.2/18.9 22.4 39.8 34.9 58.4 82.0 68.3冷却水一次圧力 MPa 0.1～ 0.3 0.2～ 0.5 0.1～ 0.3 → → 0.1～ 0.3 0.2～ 0.5冷却水出入口差圧 MPa ＞ 0.1 ＞ 0.2 ＞ 0.1 → → ＞ 0.1 ＞ 0.2冷却水流量 L/min ＞ 5.0 ＞ 4.0 ＞ 5.0 → → ＞ 5.0 ＞ 4.0 ＞ 5.0パージガス 一次圧力 MPa 0.1～ 0.5 → → 0.1～ 0.5

二次圧力 MPa 0.05～ 0.1 → → 0.05～ 0.1N2パージ 軸 SLM 5 → → 5

ガスバラ SLM 0～ 45 なし 0～ 45 0～ 195 0～ 45 → → 0～ 45 0～ 195 なし 0～ 45 なし 0～ 45 0～ 195

＊ LRは低温均熱化仕様。HRは高温均熱化仕様となり、排気配管ヒータが標準装備されます。さらに高温用途が必要な場合はＵＲシリーズにて対応します。仕様一覧に掲載のないURシリーズのご用命は別途ご確認をお願いします。＊ HR300、HR600、HR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。ポンプ温度の異常によりインターロックが動作することがあります。＊ LR3601-R/TR/TTRは高圧力時の排気速度性能を向上させたモデルになります。＊ LR300、LR600、LR1200、LR1800のMBPは表面処理の有無を選択可能です。

＊ 運転方式はご注文時にご指定ください。（標準設定　LR：2 HR：3）＊ LR421、LR3601、LR3601-Rでは運転方式3の設定はできません。

運転方式 1 2 3

N2流量 SLM 0 5 5～ 50

モデル 材質 表面処理 質量（kg） 接続フランジ

RS-01 SUS304 GBB処理 4.1 NW40

RS-02 SUS304 GBB処理 8.3 NW40

RS-03 SUS304 磨き板 12.5 NW50

外 形 寸 法 図

LR/HR60

ヒーターはHRシリーズに取り付けられます。

279

(VG50)

吸気口

(NW40)

排気口

480

370900824694

478

530

318

284 579

378

140

216

4013

7

N2パージガス口冷却水注入口冷却水放水口

電力・電源遠隔操作RS485 or RS232C

ブレーカースイッチ

LR/HR90

(VG80)

吸気口

(NW40)

排気口

368420

754888967

122

4020

1

165

264

519

523

579

304 626

428

LR180

(VG80)吸気口

(NW40)

排気口

468520

585

590

645

8209591036

264

142

4022

1

215

317 682

528

279

831

774

771

140

216

4013

7

900

694318370 824

284 579910

378

LR/HR300

(VG80)吸気口

(NW40)

排気口

LR421LR421-T (VG100)

吸気口(VG50)排気口

608660

682

685

742

1154

81610111106

175

4025

5

370 737198 12770.5

668

吸気口 LR421吸気口 LR421-T

単位：mm

注意： ポンプのフランジに直接荷重が掛からないようにしてください。

仕 　 　 様

サイレンサ／モデル適合表

型式 LR/HR60 LR/HR90 LR180 LR421 LR421-T UR421-T LR/HR300 LR/HR600 → � → UR600 LR/HR1200 UR1200 LR1800 UR1800 LR3601 LR3601-T(TT) LR3601-R LR3601-TR(TTR) UR3601-TT使用ポンプ DRP LR/HR60 LR/HR90 LR180 LR421 LR421-T UR421-T LR/HR60 LR/HR90 → → UR90 LR/HR90 UR90 LR180 UR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T UR421-T

MBP － PRC-003A PRC-006A → → PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C PRC-036C(-T) PRC-036C-R PRC-036C-R(TR) PRC-036C-T最大排気速度

m3/h50hz 62 112 183

440 440 410359 653 → →

6531012

10121701

1701 3200 270060hz 80 126 237 365 701 → → 1051 1784

L/min50hz 1030 1860 3100

7333 7333 68335980 10900 → →

1088316900

1686728350

28350 53333 4500060hz 1333 2100 3950 6080 11700 → → 17500 29700

到達圧力 Pa 5.0 0.67 → → 0.67最大排気圧力（吸入圧力） 大気圧 ＊ → → 大気圧 ＊最大排気口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧 → → 1Pa～大気圧吸気口（CE仕様） VG50（NW40） VG80（NW50） VG100 VG80（NW80） → → VG80（NW80） VG100（NW100） VG150（NW100） VG150排気口 NW40 VG50 NW40 → → NW40 NW50DRP表面処理 ○ → → ○MBP表面処理 － ○ ＊ → → ○ ○ ＊ ○ ○ ＊ ○ × T：×　TT：○ × TR：×　TTR：○ ○質量 kg 180 245 335 415 251 371 → → 371 403 553 660 720 660 720電力 三相 VAC (Hz) 200（50/60）　220（60） 180～ 240/380～ 440（50/60） 200（50/60)　220（60） → → 200（50/60)　220（60） 180～ 240/380～ 440（50/60）電流値 定常時 A 6.9/7.1 11.2 18.9 20.8 23.0 7.0/7.8 12.3/12.9 → → 16.4 13.7/15.4 18.9 21.4 29.2 31.0 35.4 39.8

最大値 A 7.0/7.3 11.8 20.6 48.5 52.5 9.6/8.1 19.0/13.8 → → 17.3 24.2/18.9 22.4 39.8 34.9 58.4 82.0 68.3冷却水一次圧力 MPa 0.1～ 0.3 0.2～ 0.5 0.1～ 0.3 → → 0.1～ 0.3 0.2～ 0.5冷却水出入口差圧 MPa ＞ 0.1 ＞ 0.2 ＞ 0.1 → → ＞ 0.1 ＞ 0.2冷却水流量 L/min ＞ 5.0 ＞ 4.0 ＞ 5.0 → → ＞ 5.0 ＞ 4.0 ＞ 5.0パージガス 一次圧力 MPa 0.1～ 0.5 → → 0.1～ 0.5

二次圧力 MPa 0.05～ 0.1 → → 0.05～ 0.1N2パージ 軸 SLM 5 → → 5

ガスバラ SLM 0～ 45 なし 0～ 45 0～ 195 0～ 45 → → 0～ 45 0～ 195 なし 0～ 45 なし 0～ 45 0～ 195

キット名 適合モデル クランプ アウターリング 接続配管 ステーRS-01キット A LR60,LR90,LR300 1 1 － －RS-01キット B LR600,LR1200 2 2 1 1RS-02キット A LR180(LR60,LR90,LR300) 2 2 1 1RS-02キット B LR1800(LR600,LR1200) 2 2 1 1RS-03キット A LR421(-T) 1 1 1 1RS-03キット B LR3601(-T/TT/R/TR/TTR) 3 3 1 1

外 形 寸 法 図

951

894

888

201

4012

2

891

754420368

165

967

264

304 626987

470

LR/HR600

(VG80)吸気口

(NW40)

排気口

951

894

888

201

4012

2

891

754420368

165

967

264

304 626987

470

LR/HR1200

(VG100)吸気口

(NW40)

排気口

1037

215

980

977

264

1036959820

142

40

221

468520

392 6821213

528

LR1800

(VG150)吸気口

(NW40)

排気口

1263

1274

1207

1203

755

11061111

1011816608

660668

LR3601370 742

687

1159

(VG150)吸気口

(NW50)排気口 インバータカバー

R型専用

175

4025

5単位：mm

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック�規格品事業部

国内販売： アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5769-5511（代） ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック　規格品事業部 ■海外営業部 TEL+81-467-89-2261

ポンプ本体サーモグラフィ

CVD、エッチングプロセスにおける代表的なプロセスガスの蒸気圧特性

右図にHRシリーズポンプ運転時の温度分布（表面温度：℃）を示します。ガスが通過するポンプ本体部を空冷すると、表面温度110℃付近の高温領域で均熱化されます。尚、ポンプ内部のガス温度は更に高温になっています。SiH2Cl2を使用するSiN-LPCVDで発生するNH4Clや、Alエッチングで発生するAlCl3等の昇華性物質の排気に最適です。また、運転温度切り換えバルブの操作により、ポンプ本体を水冷すると、熱負荷のかかるプロセスや高温で反応するガスの排気に最適なポンプに変身します。

CVD、エッチングプロセスにおける排気物質の蒸気圧曲線とHRシリーズ（高温型）の温度分布を示します。図中に示すポンプのシリンダ段数（1

～ 6）の各ポイントは、CVD、エッチングプロセスで発生する様々な排気物質の蒸気圧曲線より下側（気体の領域）に位置しています。すなわち、ポンプに吸引される様々な排気物質を気体の状態で通過させることが可能です。また、ポンプを通過する気体の分圧を変化させ、御社のプロセスに最適な条件を設定します。ぜひ、お問い合わせください。

CVD、エッチングプロセスにおける代表的なガスの蒸気圧曲線とHRシリーズのポンプ温度分布1. 各々の蒸気圧曲線の左側が固体（液体）、右側が気体の状態を示します。

2. 希釈ガスを流しポンプの分圧を変えることにより、プロセスガスが気体の状態でポンプを通過します。

3. －－－ 配管ヒータ・トラップ等が必要 - - - - 配管ヒータ・トラップ等が不要4. 各物質が発生するプロセス名 a. NH4Cl（塩化アンモニウム） ……シリコンナイトライド（窒化膜）CVD b. AlCl3（塩化アルミニウム） ……アルミニウム膜エッチング c. TaF5（5フッ化タンタル） ……タンタル酸エッチング d. Si（OC2H5）4（TEOS、テオス） ……シリコンオキサイド（酸化膜）CVD e. MoF6（6フッ化モリブデン） ……モリブデン膜エッチング

f. SiCl4（4塩化ケイ素）、SiF4（4フッ化ケイ素） ……シリコン膜エッチング g. WF6（6フッ化タングステン） ……タングステン膜エッチング h. HCl（塩化水素、塩酸）、HF（フッ化水素、フッ酸）

……CVD、エッチングプロセスにおいて塩素及びフッ素ガスを使用し、水分等が介在する場合に発生

5. 沸点（大気圧）…Si（シリコン）：1,665℃ 　　　　SiO2（酸化シリコン）：2,426℃

ドライ真空ポンプ【LR/HR/UR シリーズ】

Solid

Gas

105

SiF

4 (s

ilico

n te

tra�

ourid

e)

SiF

4 (s

ilico

n te

tra�

ourid

e)S

iCl4

(sili

con

tetr

achl

orid

e)

SiC

l4 (s

ilico

n te

trac

hlor

ide)

H2O

(wat

er)

H2O

(wat

er)

TaF5

(tan

talu

m p

enta

�our

ide)

TaF5

(tan

talu

m p

enta

�our

ide)

AlC

l3 (a

lum

inum

tric

hlor

ide)

AlC

l3 (a

lum

inum

tric

hlor

ide)H

CI (

hyd

roge

n ch

lorid

e, c

hlor

ine)

HC

I (hy

dro

gen

chlo

ride,

chl

orin

e)H

F (h

ydro

gen

�uor

ide,

�uo

rine)

HF

(hyd

roge

n �u

orid

e, �

uorin

e)

WF6

(tun

gste

n he

xa�u

orid

e)

WF6

(tun

gste

n he

xa�u

orid

e)

Si (O

C2H

5)4 (T

EOS)

Si (O

C2H

5)4 (T

EOS)

NH

4Cl (

amm

oniu

m c

hlor

ide)

NH

4Cl (

amm

oniu

m c

hlor

ide)

MoF6 (

molybd

enum

hexa

�uori

de)

MoF6 (

molybd

enum

hexa

�uori

de)

104

103

102

10-1

10-2

－200 －100 0 100 200 300 400（℃）10-3

1

10

(Pa)

圧　力

温　度

Gas partial pressure and cylindertemperature of each stageGas partial pressure and cylinder

Exhaust temperatureof 6th stageExhaust temperatureof 6th stage

temperature of each stage1 2

3

4

5

6

1 23

4

5

6

排 気 速 度 曲 線

LR60, 90, 180, 421 LR300, 600, 1200 LR1800, 3601

0

500

1000

1500

2000

2500

3000LR60(50Hz)LR60(60Hz)LR90(50Hz)LR90(60Hz)LR180(50Hz)LR180(60Hz)LR421(-T)

LR300(50Hz)LR300(60Hz)LR600(50Hz)LR600(60Hz)LR1200(50Hz)LR1200(60Hz)

LR1800(50Hz)LR1800(60Hz)LR3601(-T/TT)LR3601(-R/TR/TTR)

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

1.E+00 1.E+01 1.E+02 1.E+03 1.E+04 1.E+05

排気速度（m3 /h）

排気速度（m3 /h）

排気速度（m3 /h）

圧力（Pa）1.E+001.E-00 1.E+01 1.E+02 1.E+03 1.E+04 1.E+05

圧力（Pa）1.E+001.E-01 1.E+01 1.E+02 1.E+03 1.E+04 1.E+05

圧力（Pa）

0

200

400

600

800

1000

1200

1043J-3/2017030000TL