A1-74

精度の決定 精度規格 LMガイドの精度は、走り平行度、高さ・幅の寸法許容差、1軸に数個のLMブロックを使用する場合や、同一平面上に数軸取付ける場合に必要となる高さ・幅のペア相互差を各形番ごとに規定しています。 詳細は A1-76 ～ A1-86 各形番の精度規格をご参照ください。

【走り平行度】 LMレールを基準ベース面にボルトで締付けた状態で、LMブロックをLMレールの全長にわたり走行させたときの、LMブロックとLMレール基準面部同士の平行度誤差。

基準面

図11　 走り平行度

【高さMのペア相互差】 同一平面上に組合わされる各々のLMブロックの、高さ（M）寸法の最小値と最大値の差。

【幅W 2 のペア相互差】 1本のLMレールに組合わされる各々のLMブロックとLMレール間の幅（W 2 ）寸法の、最大値と最小値の差。 注1） 同一平面上に2軸以上並列使用する場合、幅（W 2 ）の寸法許容差、ペア相互差は基準側のみ適用されます。基準側LMレール

の番号末尾には、KBと印字されています。ただし、並級については印字されておりません。

基準側マーク

製造番号

図12　 基準側LMレール（例. HSR-A形） 注2） 精度測定値はLMブロック中心点または中心部の平均値を示します。 注3） アルミベースのような剛性のない箇所に取付けて使用する場合には、LMレールの曲がりが機械精度に影響しますので、

あらかじめ真直度を規定する必要があります。

513J

A1-75

LMガイド

選定のポイント精度の決定

使用機種による精度等級の目安 使用機種に合わせたLMガイドの精度等級の選定目安を 表13 に示します。

表13 　 使用機種別精度等級目安

機種名 精度等級

並 H P SP UP

工作機械

マシニングセンタ ● ● 旋盤 ● ● フライス盤 ● ● 中ぐり盤 ● ● ジグボーラ ● ● 研削盤 ● ● 放電加工機 ● ● ● パンチングプレス ● ● レーザ加工機 ● ● ● 木工機 ● ● ● NCボール盤 ● ● タッピングセンタ ● ● パレットチェンジャ ● ATC ● ワイヤカット ● ● ドレッサ装置 ● ●

産業用

ロボット

直交座標型 ● ● ●

円筒座標型 ● ●

半導体製造装置

ワイヤボンダ ● ●

プローバ ● ●

電子部品挿入機 ● ●

プリント基板穴明機 ● ● ●

その他の機器

射出成形機 ● ● 三次元測定機 ● ● 事務機器 ● ● 搬送装置 ● ● XYテーブル ● ● ● 塗装機 ● ● 溶接機 ● ● 医療機 ● ● デジタイザ ● ● ● 検査装置 ● ● ●

並 ：並級 H ：上級 P ：精密級

SP ：超精密級 UP ：超超精密級

513J

A1-76

各形番の精度規格 ● SHS形、SSR形、SVR/SVS形、SHW形、HSR形、SR形、NR/NRS-X形、NR/NRS形、HRW形、NSR-TBC形、HSR-M1形、HSR-M1VV形、SR-M1形、HSR-M2形、SRG形、SRN形の精度は、 A1-77 表15 のように形番ごとに並級（無記号）、上級（H）、精密級（P）、超精密級（SP）および超超精密級（UP）に分類されます。

B

M

W2

C

D

A

図13

表14 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値

こえる 以下 並級 上級 精密級 超精密級 超超精密級

50 5 3 2 1.5 1 50 80 5 3 2 1.5 1 80 125 5 3 2 1.5 1 125 200 5 3.5 2 1.5 1 200 250 6 4 2.5 1.5 1 250 315 7 4.5 3 1.5 1 315 400 8 5 3.5 2 1.5 400 500 9 6 4.5 2.5 1.5 500 630 11 7 5 3 2 630 800 12 8.5 6 3.5 2 800 1000 13 9 6.5 4 2.5 1000 1250 15 11 7.5 4.5 3 1250 1600 16 12 8 5 4 1600 2000 18 13 8.5 5.5 4.5 2000 2500 20 14 9.5 6 5 2500 3090 21 16 11 6.5 5.5

513J

A1-77

LMガイド

選定のポイント精度の決定

表15 　 SHS形、SSR形、SVR/SVS形、SHW形、HSR形、SR形、NR/NRS-X形、NR/NRS形、HRW形、NSR-TBC形、HSR-M1形、HSR-M1VV形、SR-M1形、HSR-M2形、SRG形、SRN形精度規格

単位：mm

形番 精度規格 並級 上級 精密級 超精密級 超超精密級 項目 無記号 H P SP UP

8 10 12 14

高さMの寸法許容差 0.07 0.03 0.015 0.007 高さMのペア相互差 0.015 0.007 0.005 0.003 幅W 2 の寸法許容差 0.04 0.02 0.01 0.007 幅W 2 のペア相互差 0.02 0.01 0.006 0.004 A面に対する C面の走り平行度 A1-76 表14 による B面に対する D面の走り平行度 A1-76 表14 による

15 17 20 21

高さMの寸法許容差 0.07 0.03 0

‒0.03 0

‒0.015 0

‒0.008 高さMのペア相互差 0.02 0.01 0.006 0.004 0.003

幅W 2 の寸法許容差 0.06 0.03 0

‒0.02 0

‒0.015 0

‒0.008 幅W 2 のペア相互差 0.02 0.01 0.006 0.004 0.003 A面に対する C面の走り平行度 A1-76 表14 による B面に対する D面の走り平行度 A1-76 表14 による

25 27 30 35

高さMの寸法許容差 0.08 0.04 0

‒0.04 0

‒0.02 0

‒0.01 高さMのペア相互差 0.02 0.015 0.007 0.005 0.003

幅W 2 の寸法許容差 0.07 0.03 0

‒0.03 0

‒0.015 0

‒0.01 幅W 2 のペア相互差 0.025 0.015 0.007 0.005 0.003 A面に対する C面の走り平行度 A1-76 表14 による B面に対する D面の走り平行度 A1-76 表14 による

40 45 50 55 60

高さMの寸法許容差 0.08 0.04 0

‒0.05 0

‒0.03 0

‒0.015 高さMのペア相互差 0.025 0.015 0.007 0.005 0.003

幅W 2 の寸法許容差 0.07 0.04 0

‒0.04 0

‒0.025 0

‒0.015 幅W 2 のペア相互差 0.03 0.015 0.007 0.005 0.003 A面に対する C面の走り平行度 A1-76 表14 による B面に対する D面の走り平行度 A1-76 表14 による

65 70 75 85 100 120 150

高さMの寸法許容差 0.08 0.04 0

‒0.05 0

‒0.04 0

‒0.03 高さMのペア相互差 0.03 0.02 0.01 0.007 0.005

幅W 2 の寸法許容差 0.08 0.04 0

‒0.05 0

‒0.04 0

‒0.03 幅W 2 のペア相互差 0.03 0.02 0.01 0.007 0.005 A面に対する C面の走り平行度 A1-76 表14 による B面に対する D面の走り平行度 A1-76 表14 による

注1） SRG35～65形は上級以上、その他の形番は精密級以上となります。（並級の設定はありません。） 注2） SRN形は、上級以上となります。（並級の設定はありません。）

513J

A1-78

● HMG形の精度は、 表16 のように形番ごとに定められています。

W2 B

D C

A

M

図14

表16 　 HMG形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 並級 項　　目 記号なし

15

高さMの寸法許容差 0.1 高さMのペア相互差 0.02 幅W 2 の寸法許容差 0.1 幅W 2 のペア相互差 0.02 A面に対する C面の走り平行度 表17 による

B面に対する D面の走り平行度 表17 による

25 35

高さMの寸法許容差 0.1 高さMのペア相互差 0.02 幅W 2 の寸法許容差 0.1 幅W 2 のペア相互差 0.03 A面に対する C面の走り平行度 表17 による

B面に対する D面の走り平行度 表17 による

45 65

高さMの寸法許容差 0.1 高さMのペア相互差 0.03 幅W 2 の寸法許容差 0.1 幅W 2 のペア相互差 0.03 A面に対する C面の走り平行度 表17 による

B面に対する D面の走り平行度 表17 による

表17 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値 こえる 以下 並級 125 30 125 200 37 200 250 40 250 315 44 315 400 49 400 500 53 500 630 58 630 800 64 800 1000 70 1000 1250 77 1250 1600 84 1600 2000 92

513J

A1-79

LMガイド

選定のポイント精度の決定

● HCR形の精度は、 表18 のように形番ごとに並級および上級に分類されます。

M

C

A

図15

表18 　 HCR形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 並級 上級 項　　目 無記号 H

12 15 25 35

高さMの寸法許容差 0.2 0.2 高さMのペア相互差 0.05 0.03 A面に対するLMブロックC面の走り平行度 表19 による

45 65

高さMの寸法許容差 0.2 0.2 高さMのペア相互差 0.06 0.04 A面に対するLMブロックC面の走り平行度 表19 による

表19 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値 こえる 以下 並級 上級 125 30 15 125 200 37 18 200 250 40 20 250 315 44 22 315 400 49 24 400 500 53 26 500 630 58 29 630 800 64 32 800 1000 70 35 1000 1250 77 38 1250 1600 84 42 1600 2000 92 46

● JR形の精度は、 表20 のように形番ごとに定められています。

M

C

A 図16

表20 　 JR形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 並級 項　　目 無記号

25 35

高さMのペア相互差 0.05 A面に対するC面の走り平行度 表21 による

45 55

高さMのペア相互差 0.06 A面に対するC面の走り平行度 表21 による

表21 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値

こえる 以下 並級 50 5 50 80 5 80 125 5 125 200 6 200 250 8 250 315 9 315 400 11 400 500 13 500 630 15 630 800 17 800 1000 19 1000 1250 21 1250 1600 23 1600 2000 26 2000 2500 28 2500 3150 30 3150 4000 33

513J

A1-80

● SCR形、CSR形の精度は、 表22 のように形番ごとに精密級、超精密級および超超精密級に分類されます。

C D F

B A

M

E

図17

表22 　 SCR形、CSR形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 精密級 超精密級 超超精密級 項　　目 P SP UP

15 20

高さMのペア相互差 0.01 0.007 0.005 B面に対する D面の直角度 0.005 0.004 0.003

B面に対する E面の走り平行度 表23 による

D面に対する F面の走り平行度 表23 による

25

高さMのペア相互差 0.01 0.007 0.005 B面に対する D面の直角度 0.008 0.006 0.004

B面に対する E面の走り平行度 表23 による

D面に対する F面の走り平行度 表23 による

30 35

高さMのペア相互差 0.01 0.007 0.005 B面に対する D面の直角度 0.01 0.007 0.005

B面に対する E面の走り平行度 表23 による

D面に対する F面の走り平行度 表23 による

45

高さMのペア相互差 0.012 0.008 0.006 B面に対する D面の直角度 0.012 0.008 0.006

B面に対する E面の走り平行度 表23 による

D面に対する F面の走り平行度 表23 による

65

高さMのペア相互差 0.018 0.012 0.009 B面に対する D面の直角度 0.018 0.012 0.009

B面に対する E面の走り平行度 表23 による

D面に対する F面の走り平行度 表23 による

表23 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値

こえる 以下 精密級 超精密級 超超精密級

50 2 1.5 1 50 80 2 1.5 1 80 125 2 1.5 1 125 200 2 1.5 1 200 250 2.5 1.5 1 250 315 3 1.5 1 315 400 3.5 2 1.5 400 500 4.5 2.5 1.5 500 630 5 3 2 630 800 6 3.5 2 800 1000 6.5 4 2.5 1000 1250 7.5 4.5 3 1250 1600 8 5 4 1600 2000 8.5 5.5 4.5 2000 2500 9.5 6 5 2500 3090 11 6.5 5.5

513J

A1-81

LMガイド

選定のポイント精度の決定

● HR形の精度は 表24 のように並級、上級、精密級、超精密級および超超精密級に分類されます。

W0

B

A

M

図18

表24 　 HR形精度規格 単位：mm

精度規格 並級 上級 精密級 超精密級 超超精密級 項　　目 無記号 H P SP UP

高さMの寸法許容差 0.1 0.05 0.025 0.015 0.01

高さMのペア相互差 注1） 0.03 0.02 0.01 0.005 0.003

総幅W 0 の寸法許容差 0.1 0.05

総幅W 0 のペア相互差 注2） 0.03 0.015 0.01 0.005 0.003

A, B面に対する転動面の平行度 表25 による

注1） 高さMのペア相互差は、同一平面に使用される1セットに対して適用されます。 注2） 総幅W 0 のペア相互差は、1本のLMレールに組合わせるLMブロックについて適用されます。 注3） 精密級以上の総幅W 0 の寸法許容差およびペア相互差は、1セットの内の基準側にのみ適用されます。基準側には製造番号

末尾には「KB」と印字されています。

表25 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値 こえる 以下 並級 上級 精密級 超精密級 超超精密級 50 5 3 2 1.5 1 50 80 5 3 2 1.5 1 80 125 5 3 2 1.5 1 125 200 5 3.5 2 1.5 1 200 250 6 4 2.5 1.5 1 250 315 7 4.5 3 1.5 1 315 400 8 5 3.5 2 1.5 400 500 9 6 4.5 2.5 1.5 500 630 11 7 5 3 2 630 800 12 8.5 6 3.5 2 800 1000 13 9 6.5 4 2.5 1000 1250 15 11 7.5 4.5 3 1250 1600 16 12 8 5 4 1600 2000 18 13 8.5 5.5 4.5 2000 2500 20 14 9.5 6 5 2500 3000 21 16 11 6.5 5.5

513J

A1-82

● GSR形の精度は、 表26 のように形番ごとに並級、上級および精密級に分類されます。

M

C

D

B A

図19

表26 　 GSR形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 並級 上級 精密級 項　　目 無記号 H P

15 20

高さMの寸法許容差 0.02 A面に対するC面の走り平行度 表27 による

B面に対するD面の走り平行度 表27 による

25 30 35

高さMの寸法許容差 0.03 A面に対するC面の走り平行度 表27 による

B面に対するD面の走り平行度 表27 による

表27 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値 こえる 以下 並級 上級 精密級 50 5 3 2 50 80 5 3 2 80 125 5 3 2 125 200 5 3.5 2 200 250 6 4 2.5 250 315 7 4.5 3 315 400 8 5 3.5 400 500 9 6 4.5 500 630 11 7 5 630 800 12 8.5 6 800 1000 13 9 6.5 1000 1250 15 11 7.5 1250 1600 16 12 8 1600 2000 18 13 8.5 2000 2500 20 14 9.5 2500 3000 21 16 11

● GSR-R形の精度は、 表28 のように形番ごとに並級、上級に分類されます。

M

C

D

B A

図20

表28 　 GSR-R形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 並級 上級 項　　目 無記号 H

25 30 35

高さMの寸法許容差 0.03

A面に対するC面の走り平行度 表29 による

B面に対するD面の走り平行度 表29 による

表29 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値 こえる 以下 並級 上級 50 5 3 50 80 5 3 80 125 5 3 125 200 5 3.5 200 250 6 4 250 315 7 4.5 315 400 8 5 400 500 9 6 500 630 11 7 630 800 12 8.5 800 1000 13 9 1000 1250 15 11 1250 1600 16 12 1600 2000 18 13

513J

A1-83

LMガイド

選定のポイント精度の決定

● SRS形、RSX形、RSR形、RSR-M1形、RSR-W形の精度は、 表30 のように形番ごとに並級、上級および精密級に分類されます。

D

B A W2

M

C

図21

表30 　 SRS形、RSX形、RSR形、RSR-M1形、RSR-W形精度規格

単位：mm

形番 精度規格 並級 上級 精密級 項　　目 無記号 H P

3 5

高さMの寸法許容差 0.03 0.015 高さMのペア相互差 0.015 0.005 幅W 2 の寸法許容差 0.03 0.015 幅W 2 のペア相互差 0.015 0.005 A面に対するC面の走り平行度 表31 による

B面に対するD面の走り平行度 表31 による

7 9 12 14 15 20 25

高さMの寸法許容差 0.04 0.02 0.01 高さMのペア相互差 0.03 0.015 0.007 幅W 2 の寸法許容差 0.04 0.025 0.015 幅W 2 のペア相互差 0.03 0.02 0.01 A面に対するC面の走り平行度 表32 による

B面に対するD面の走り平行度 表32 による

表31 　 SRS5形、RSR3、5形精度規格別LMレール長さと走り平行度

単位：m LMレール長さ（mm） 走り平行度の値 こえる 以下 並級 精密級 25 2.5 1.5 25 50 3.5 2 50 100 5.5 3 100 150 7 4 150 200 8.4 5

表32 　 SRS7～25形、RSX形、RSR7～25形精度規格別LMレール長さと走り平行度

単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値 こえる 以下 並級 上級 精密級 40 8 4 1 40 70 10 4 1 70 100 11 4 2 100 130 12 5 2 130 160 13 6 2 160 190 14 7 2 190 220 15 7 3 220 250 16 8 3 250 280 17 8 3 280 310 17 9 3 310 340 18 9 3 340 370 18 10 3 370 400 19 10 3 400 430 20 11 4 430 460 20 12 4 460 520 21 12 4 520 550 22 12 4 550 640 22 13 4 640 670 23 13 4 670 700 23 13 5 700 820 23 14 5 820 850 24 14 5 850 970 24 15 5 970 1030 25 16 5 1030 1150 25 16 6 1150 1330 26 17 6 1330 1420 27 18 6 1420 1510 27 18 7 1510 1830 28 19 7 1830 2000 28 19 8

513J

A1-84

● MX形の精度は、 表33 のように形番ごとに並級および精密級に分類されます。

C

D F

M A

B

E

図22

表33 　 MX形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 並級 精密級

項　　目 無記号 P

5

高さMのペア相互差 0.015 0.005

B面に対するD面の直角度 0.003 0.002

B面に対するE面の走り平行度 表34 による

D面に対するF面の走り平行度 表34 による

7

高さMのペア相互差 0.03 0.007

B面に対するD面の直角度 0.01 0.005

B面に対するE面の走り平行度 表35 による

D面に対するF面の走り平行度 表35 による

表34 　 MX5形精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値

こえる 以下 並級 精密級

25 2.5 1.5

25 50 3.5 2

50 100 5.5 3

100 150 7 4

150 200 8.4 5

表35 　 MX7形精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値

こえる 以下 並級 精密級

40 8 1

40 70 10 1

70 100 11 2

100 130 12 2

130 160 13 2

160 190 14 2

190 220 15 3

220 250 16 3

250 280 17 3

280 310 17 3

310 340 18 3

340 370 18 3

370 400 19 3

513J

A1-85

LMガイド

選定のポイント精度の決定

● SRW形の精度は、 表36 のように形番ごとに精密級、超精密級、超超精密級に分類されます。

D

C

M

A B W2 図23

表36 　 SRW形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 精密級 超精密級 超超精密級

項　　目 P SP UP

70 85

高さMの寸法許容差 0 ‒0.05

0 ‒0.03

0 ‒0.015

高さMのペア相互差 0.007 0.005 0.003

幅W 2 の寸法許容差 0

‒0.04 0

‒0.025 0

‒0.015 幅W 2 のペア相互差 0.007 0.005 0.003 A面に対するC面の走り平行度 表37 による

B面に対するD面の走り平行度 表37 による

100

高さMの寸法許容差 0 ‒0.05

0 ‒0.04

0 ‒0.03

高さMのペア相互差 0.01 0.007 0.005

幅W 2 の寸法許容差 0

‒0.05 0

‒0.04 0

‒0.03 幅W 2 のペア相互差 0.01 0.007 0.005 A面に対するC面の走り平行度 表37 による

B面に対するD面の走り平行度 表37 による

130 150

高さMの寸法許容差 0 ‒0.05

0 ‒0.04

0 ‒0.03

高さMのペア相互差 0.01 0.007 0.005

幅W 2 の寸法許容差 0

‒0.05 0

‒0.04 0

‒0.03 幅W 2 のペア相互差 0.01 0.007 0.005 A面に対するC面の走り平行度 表37 による

B面に対するD面の走り平行度 表37 による

表37 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値

こえる 以下 精密級 超精密級 超超精密級

50 2 1.5 1 50 80 2 1.5 1 80 125 2 1.5 1 125 200 2 1.5 1 200 250 2.5 1.5 1 250 315 3 1.5 1 315 400 3.5 2 1.5 400 500 4.5 2.5 1.5 500 630 5 3 2 630 800 6 3.5 2 800 1000 6.5 4 2.5 1000 1250 7.5 4.5 3 1250 1600 8 5 4 1600 2000 8.5 5.5 4.5 2000 2500 9.5 6 5 2500 3090 11 6.5 5.5

513J

A1-86

● EPF形の精度は、 表38 のように形番ごとに並級、上級、精密級に分類されます。

M

W2 A

D

C

B

図24

表38 　 EPF形精度規格 単位：mm

形番 精度規格 並級 上級 精密級 項　　目 無記号 H P

7M 9M 12M 15M

高さMの寸法許容差 0.04 0.02 0.01 高さMのペア相互差 0.03 0.015 0.007 幅W 2 の寸法許容差 0.04 0.025 0.015 A面に対するC面の走り平行度 注） 0.008 0.004 0.001

B面に対するD面の走り平行度 注） 0.008 0.004 0.001

注） ストローク40mmを超える場合はTHKにお問い合わせください。

● SR-MS形の精度は、 表39 のように形番ごとに精密級、超精密級、超超精密級に分類されます。

C

A

D B

M

W2

図25

表39 　 SR-MS形精度規格 単位：mm

呼び形番 精度規格 精密級 超精密級 超超精密級 項　　目 P SP UP

15 20

高さMの寸法許容差

0 ‒0.03

0 ‒0.015

0 ‒0.008

高さMのペア相互差 0.006 0.004 0.003

幅W 2 の寸法許容差

0 ‒0.02

0 ‒0.015

0 ‒0.008

幅W 2 のペア相互差 0.006 0.004 0.003

A面に対するC面の走り平行度

表40 による

B面に対するD面の走り平行度

表40 による

表40 　 精度規格別LMレール長さと走り平行度 単位：m

LMレール長さ（mm） 走り平行度の値

こえる 以下 精密級 超精密級 超超精密級

P SP UP

50 2 1.5 1 50 80 2 1.5 1 80 125 2 1.5 1 125 200 2 1.5 1 200 250 2.5 1.5 1 250 315 3 1.5 1 315 400 3.5 2 1.5

513J