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CATALOG No.238-4T
採用獨自的模組結構的超薄型XYθ平台CMX
對位平台
CMX
1
CMX型的基本結構
用途
CMX型的結構與特長
●採用了劃時代性模組結構的超薄型平台(正在申請專利)在基座、工作台之間的四角平面裝上組合了交叉LM導軌CSR型和特殊交叉滾柱軸承的模組的獨特結構,實現了超薄型
結構。
●液晶面板製造設備、檢查裝置
●半導體製造設備、檢查裝置
●網紋印刷機
●印刷電路板製造設備、檢查裝置
■對應大型工件標準最大工作台尺寸為1500mm×1500mm的大型平台。
借由安裝所需數量的模組,也可以對應更大的尺寸。
■超薄型、輕量因為採用XYθ模組,所以實現了無中座的薄而輕的機
構。
■中空結構工作台、基座中央部分獲得較大的空間,可以作為光學
式檢查裝置或導通測試器使用。
■高剛性、高精度對構成模組的交叉LM導軌和交叉滾柱軸承施加了預壓,
是高精度、高剛性的結構。
馬達工作台
基座
滾珠螺桿
交叉LM導軌
交叉滾柱軸承
模組
θ
X Y
對位平台CMX型的結構
2
CMX型規格
精度測定方法
CMX型公稱型號的構成
公稱型號
工作台尺寸[mm]
行程[mm]※1
編碼器解析度[P/R]
滾珠螺桿導程[mm]
反復定位精度[µm]
平行度[µm]
搭載重量[kg]
靜額定負荷[kN]
本體重量[kg]
馬達型號[(株)安川電機]※2,3
驅動器型號[(株)安川電機]※2,3
光式微型感測器型號[歐姆龍(株)]※4
使用潤滑脂
工作台、基座的材質∕表面處理
CMX1 CMX2 CMX3
025 035 040 050 075 100 150
250×250 350×350 400×400 500×500 750×750 1000×1000 1500×1500
2048
1 2 4
±1
30 40 50 80 180 300 700
20 50 150
34.1 54
18 23 37 44 63 600 1150
127.2 254.4
A5052/黑色防蝕鋁處理 A2017/黑色防蝕鋁處理 FC250/THK AP-C處理
SGMM-A2C312 (20W) SGMAH-01BAA21 (100W) SGMAH-02BAA21 (200W)
SGDF-A2CP (20W) SGDM-01BDA (100W)
EE-SX672 (連接器:EE-1001)
THK AFF潤滑脂
SGDM-02BDA (200W)
*1. θ行程為工作台在X軸、Y軸的行程中央時的值。*2. CMX1用馬達驅動器的供給電源為DC24V。(其它為AC100V)*3. 附帶連接馬達~驅動器之間的線路(3m)。 *4. 光式微型感測器的位置請貴公司進行最終調整。
注) 本對位平台的規格為20±2℃時的數值。
8192 (13比特串行編碼器)
公稱型號 X軸[µm] Y軸[µm] θ軸[秒]
CMX1-025 0.12 0.12 0.29
CMX1-035 0.12 0.12 0.19
CMX2-040 0.24 0.24 0.34
CMX2-050 0.24 0.24 0.25
CMX2-075 0.24 0.24 0.15
CMX3-100 0.49 0.49 0.25 CMX3-150 0.49 0.49 0.16
表. 各軸的最小解析度
注) CMX1的最小解析度表示4倍增時的解析度。
10×10×6° 10×10×4° 10×10×7° 10×10×5° 10×10×3° 10×10×4° 10×10×2°
�����������
公稱型號
工作台尺寸(例:040=400mm×400mm)
使用雷射干涉測長器在任意一點從相同方向反復進行7
次定位,測量停止位置,求所得最大差的1/2。在移動
距離的中央及兩端的各個位置上進行測量,以所得值中
最大的為測量值,在最大差的1/2上加±符號表示。
將平台放在檢查工作台上,在工作台上全面滑動試驗指
示器進行測量。這時將工作台佈置在行程中央。以工作
台測量區域的最大差為測量值。
■反復定位精度 ■平行度
3
對位平台CMX型如下圖所示組合X1、X2、Y這3個軸的動作,可以
進行各種各樣的平台運動。
動作原理
基準位置 X方向移動(M1、M2驅動)
X1軸
Y軸・停止
X1軸・停止
馬達1 (M1)
馬達3 (M3)
馬達2 (M2)
X1軸
X2軸 X2軸
X1軸
X2軸・停止
X2軸
X2軸
X1軸
斜向移動(M1、M2、M3驅動)Y方向移動(M3驅動)
Y軸 Y軸
Y軸 Y軸
工作台中心旋轉(M1、M2、M3驅動) 旋轉移動(M1、M2、M3驅動)
4
送進量計算方法
參數表
0
下個位置
X
Y
θ0
δθ
現在位置
初期位置
計算為求得任意的工作台旋轉角δθ所需的各軸的相對送進量的算式。
X1軸:δX1 =R cos(δθ+θX1+θ0)ーR cos(θX1+θ0) (1式)
X2軸:δX2 =R cos(δθ+θX2+θ0)ーR cos(θX2+θ0) (2式)
Y軸 :δY =R s in(δθ+θY+θ0)ーR s in(θY+θ0) (3式)
δX1 :X1軸的相對送進量 [mm]
δX2 :X2軸的相對送進 [mm] 滾珠螺桿的送進量
δY :Y軸的相對送進量 [mm]
θX1 :連接在X1軸上的交叉滾柱軸承中心的角度位置 [°] (參照參數表)
θX2 :連接在X2軸上的交叉滾柱軸承中心的角度位置 [°] (參照參數表)
θY :連接在Y軸上的交叉滾柱軸承中心的角度位置 [°] (參照參數表)
θ0 :計算動作前的工作台角度 [°]
δθ :工作台旋轉角 [°]
R :通過連接在各軸上的交叉滾柱軸承中心的假設圓的半徑 [mm] (參照參數表)
δX1
δX2
θX1
θX2
δY
θY
0 R
X1軸
X2軸
Y軸
[計算舉例]
型號:CMX2-040
動作模式: 以各軸行程中心位置為原點,求使上滑台按以下順序進行動作時的各軸的送進量。
①X方向+1mm、Y方向+0.5mm平行移動
↓
②以工作台中央為旋轉中心進行+2°旋轉
↓
③ 從②的狀態-0.3°旋轉
算式所用記號的說明圖
X
Y
+
++ 0
CMX1
CMX2
CMX3
θY
0°
45°
θX1
90°
135°
θX2
270°
225°
025
035
040
050
075
100
150
R85
135
145 2
195 2
320 2
400 2
650 2
公稱型號
5
□E
4-M6深12
8-7開口ø11孔深12
(R)
DD
3H2H1H
H
WA
C
C
W
A
L
BB
L
BB
(基座中空尺寸)
CMX型外形圖
公稱型號 最大行程高度 基座 工作台
單位:mm
CMX1-025
CMX1-035
10×10×6°
10×10×4°
H
90
H1
23
H2
44
H3
23
L
350
450
B
160
210
E
80
180
W
250
350
D
80
180
A
160
220
C
60
80
(R)
(10)
CMX1型
首先,不用計算X、Y方向的平行移動,已有的值為各軸的送進
量。接著計算+2°的旋轉。根據參數表得知CMX2-040的各參
數為
R=145・√2
θY=45°
θX1=135°
θX2=225°
或者根據動作模式的條件得知
θ0=0°(因為現在位置為初期位置。)
δθ=2°
將以上數值分別帶入1式、2式、3式,則
關於X1軸計算得出
δX1 =145・√2・cos(2+135+0)-145・√2・cos(135+0)
=-4.97210(mm)
關於X2軸、Y軸也同樣得出以下結果。
δX2 =+5.14876(mm)
δY =+4.97210(mm)
最後求從該狀態旋轉-0.3°時的各軸的送進量。
根據動作模式的條件得知
θ0=2°
δθ=-0.3°
將該數值分別帶入1式、2式、3式,則
關於X1軸計算得出
δX1 =145・√2・cos((-0.3)+135+2)-145・√2・cos(135+2)
=+0.73431(mm)
關於X2軸、Y軸也同樣得出以下結果。
δX2 =-0.78333(mm)
δY =-0.73431(mm)
軸
X1
X2
Y
X方向+1mm+1
(+1)
+1
(+1)
0
(0)
Y方向+0.5mm0
(0)
0
(0)
+0.5
(+0.5)
旋轉方向+2°-4.97210
(-3.97210)
+5.14876
(+6.14876)
+4.97210
(+5.47210)
旋轉方向-0.3°+0.73431
(-3.23779)
-0.78333
(+5.36543)
-0.73431
(+4.73779)
相對送進量
單位:mm
◆ 步 驟
◆ 計算結果
注: ( )內的值表示距原點的絕對值(送進量)。
6
8-9開口ø14孔深14
8-M8深16
(R)
D
D
□E
3H2H1H
H
LB B
W1AAL
BB
W1AA
(基
座中
空尺
寸)
公稱型號 最大行程高度 基座 工作台
單位:mm
CMX2-040
CMX2-050
CMX2-075
20×20×7°
20×20×5°
20×20×3°
H
110
H1
27
H2
56
H3
27
L
500
600
850
B
235
285
410
E
210
310
560
W
400
500
750
D
210
310
560
A
180
280
530
A1
300
400
650
(R)
(15)
CMX2型
N-M10深20
12-14開口ø20孔深26
(R)
D
D
□E
2H 3H1HH
4A
4A
4A
2A
2A
1A3A W
B B BL
LB
BB
W3A1A
2A2A4A4A4A
(基
座中
空尺
寸)
公稱型號 最大行程高度 基座 工作台
單位:mm
CMX3-100
CMX3-150
30×30×4°
30×30×2°
H
160
H1
40
H2
72
H3
48
L
1200
1700
B
380
540
E
650
1000
W
1000
1500
D
650
1000
A1
800
-
A2
300
-
A3
-
1300
A4
-
350
N
12
16
(R)
(20)
CMX3型
7
●馬達規格
●驅動器規格
伺服馬達規格
驅動器型號 SGDF-A2CP SGDM-01BDA SGDM-02BDA
馬達容量[W] 20 100 200
額定∕最高轉速[min-1 ] 3000/5000
連續輸出電流 A [ rms] 2.0 2.4 3.0
最大輸出電流 A [ rms] 5.7 7.2 9.0
容許負載慣量JL [kg・cm2 ] 0.164 1.092 3.180
輸入電源
DC24V±10% 單相 AC100~115V+10~-15% (50/60Hz)
4A連續、9A峰值
控制方式 MOSFET-PWM方式 單相全波整流 IGBT PWM控制 正弦波電流驅動方式
反饋 增量編碼器 串行編碼器(增量)
使用溫度 0~+50℃ 0~+55℃
保存溫度 -20~+85℃
使用、保存濕度 90%RH以下 (無凝水)
耐振動∕耐衝擊 耐振動 4.9m/s2 耐衝擊 19.6m/s2
結構 基礎支架
概略重量[kg] 0.3 0.8 1.1
偏壓設置 0~450min-1 (設置解析度 1min-1)
前饋補償 0~100%(設置解析度 1%)
定位完畢幅度設置 0~250指令單位(設置解析度 1指令單位)
輸入種類 符號+脈衝列、CCW+CW脈衝列、90度相位差2相脈衝(A相+B相)
輸入脈衝形態 線路驅動器(+5V級)、開路集電極(+5V級或者+12V級)
輸入脈衝頻率 0~450kpps 0~500kpps,但是開路集電極為200kpps(max)
控制信號 清除信號(輸入脈衝形態與指令脈衝相同)
輸出形態 A相、B相、C相、開路集電極輸出 A相、B相、C相、線路驅動器輸出
分頻比 (16~2048)/2048 可任意分頻
序列輸入信號
序列輸出信號
制動(DB)功能 無 在主電源關閉、伺服警報器、伺服關閉時、超程時DB動作
防止超程(OT)功能 — 在P-ON、N-OT動作時DB停止、減速停止或者空轉停止
保護功能
顯示 Ready:綠 Alarm:紅 CHANGE、POWER、7段LED×5個
其它
適用馬達
使用周圍條件
指令脈衝
位置輸出
組合規格
基本規格
性能
輸出入信號
內裝功能
伺服ON、P動作、警報器復位、外部電流限制(3點)
伺服ON、P動作、禁止正轉∕逆轉驅動、警報器復位、正轉∕逆轉測電流限制
正在檢測電流限制、TGON、定位完畢、外部制動器聯鎖
及伺服警報器(2點)
過電流、過負載、過速度、原點異常、防止超出控制範圍、CPU異常、編碼器異常、偏差過大
制動器聯鎖信號輸出、JOG運轉、自動調諧、電子齒輪
伺服警報器、警報器電線(3比特輸出):CN1的輸出端子為固定
伺服準備、定位完畢(速度一致)、馬達轉動中、電流限制中、速度限制中、制動器解除警告、可從NEAR中選擇3種輸出信號
過電流、過電壓、電壓不足、過負載、再生異常、主線路檢測部分異常、散熱裝置過熱電源缺相、溢出、過速度、
編碼器異常、防止超出控制範圍、CPU異常、參數異常等
逆轉連接、原點搜索、馬達自動判別功能、電源高諧波控制DC電抗連接端子
CMX3CMX2公稱型號
項 目CMX1
馬達型號 SGMM-A2C312 SGMAH-01BAA21 SGMAH-02BAA21
額定輸出 [W] 20 100 200
額定扭力 [N・m] 0.0637 0.318 0.637
瞬間最大扭力 [N・m] 0.191 0.955 1.91
額定轉速 [min-1 ] 3000
最高轉速 [min-1 ] 5000
轉子慣量J [kg・cm2 ] 0.00548 0.0364 0.106
馬達重量 [kg] 0.2 0.5 1.1
8
●伺服馬達驅動器 外形尺寸圖
SGDF-A2CP
����
������ ������
���
���
���
������
��������������� �����
����
��
���
���
���
���
���
���
���
�����
(1)
(1)
��(35)
�
�
���
�
100(包括安裝螺絲)
149.5±
0.5
(安裝螺距)
92(安裝螺距)
散熱裝置
端子台
(33種)
地線端子
2-M4螺絲
2-M4螺絲孔
6 1055
6
160
17
銘板
銘板
銘板
(75) 130
5.5
(5)
5
55
連接器符號 Servopack測連接器 製造廠商
CN1、CN2 52822-4011 Molex
CN3 5569-03A4-201 Molex
CN4 5569-04A2-210 Molex
CN5 555153-1 Tyco Electronics AMP K.K.
連接器符號 Servopack測連接器 製造廠商
CN1 10250-52A2JL Sumitomo 3M Limited
CN2 53460-0611 Molex
CN3 10214-52A2JL Sumitomo 3M Limited
SGDM-01BDA
9
���
���
���
���
149.5±
0.5
(安裝螺距)端子台
(3種)
地線端子
2-M4螺絲
螺絲孔
6 6
512
10
75
160
149.5
17
銘板
銘板
(75) 130
5.5
(5)
12
75(63)
(5)
5.5 ø5孔
連接器符號 Servopack測連接器 製造廠商
CN1 10250-52A2JL Sumitomo 3M Limited
CN2 53460-0611 Molex
CN3 10214-52A2JL Sumitomo 3M Limited
SGDM-02BDA
※其它的詳細規格、尺寸等請參照(株)安川電機的AC伺服驅動
“Σ-mini系列”、“Σ-II系列”。
10
特殊對應對位平台
THK依照顧客的規格製作特殊的對位平台。
● 特殊對應品業實績舉例
① 大型規格
② 小型規格
③ 長行程規格
④ 高剛性中心驅動規格
⑤ 超高剛性高精度4軸驅動規格
⑥ 重搭載重量規格
⑦ 安裝姿勢變更規格
① 大型規格比標準產品CMX3-150型增大了基座尺寸、工作台尺寸的對位平台。
基座尺寸□1700mm~2400mm
工作台尺寸□1500mm~2200mm
模組數8set~10set
11
工作台尺寸□230mm以下
② 小型規格比標準產品CMX1-025還要小的工作台尺寸的對位平台。
長行程軸300mm行程以上
③ 長行程規格將對位平台與搬運用1軸平台合為一體,可以節省空間。
12
④ 高剛性中心驅動規格將驅動軸佈置在中央,空轉少,偏向的剛性提高。並且,可以將旋轉中心佈置在工作台中心,所以容易控制。
⑤ 超高剛性高精度4軸驅動規格在各模組上佈置滾珠螺桿,相對軸向獲得高度剛性,空轉少,可進行高精度的定位。
13
⑥ 高負載型加大LM導軌、滾珠螺桿、交叉滾柱軸承的型號,提高每套模組的額定負荷,可以承受高負載負荷。針對希望的搭載重
量,設計、製作最佳的模組。
θ
⑦ 安裝姿勢變更規格根據使用條件,作為特殊對應產品。
掛壁規格、斜面規格時需要考慮滾珠螺桿、軸承的軸向剛性。
搭載重量150kg~5000kg
掛壁規格 倒掛規格 斜面規格
以下規格也請向THK諮詢。
■ 不屬於上述任何一例的尺寸、行程、搭載重量時
■ 需要變更馬達容量時,或者指定使用的馬達時
■ 在特殊環境下使用時
■ 變更材質、表面處理時
■ 需要產品規格表(參照第2頁)以外的精度時
14
年 月 日
《對位平台規格磋商表》
電纜長度(馬達~驅動器之間)
材 質
使 用 環 境
□標準(3m) □指定( m)
□標準 □指定馬達(型號: )
縱: 橫: 高:
□工作台中央 □其它( )
□無 □有(負載負荷: 負荷方向: )外 部 負 載 [N]
X軸: Y軸: θ軸: °
X軸: Y軸: θ軸: °
搭 載 重 量 [kg ]
□一般大氣中 □潔淨室(等級 ) □真空( Torr)
□標準(任憑) □指定( )
□標準 □指定( )表 面 處 理
使 用 部 位
設 置 姿 勢
使 用 目 的
需 要 精 度 的 行 程 [mm]
機 械 止 動 器 間 行 程 [mm]
使 用 馬 達
尺 寸 限 制 [mm]
平 行 度 [µm]
反 復 定 位 精 度 [µm]
負 荷 位 置
□水平 □掛壁 □倒掛 □斜面 □其它( )
※ 請複印使用
公 司 名 稱
部 門 名 稱
姓 名
郵 政 編 碼
地 址
電 話
傳 真
電 子 郵 件
使用注意事項
●本產品的設置
‧請使用基座安裝孔進行設置。
‧使用時,請取下搬運用固定板及吊環螺栓。
●設置場所
請不要將本產品設置在以下場所。
‧周圍溫度超出0~40℃的範圍,周圍濕度在85%以上,產生凝水,產生腐蝕性氣體和可燃性氣體的場所。
‧有鐵粉等具有介質性粉體、塵埃、油霧、切削液、水分、鹽分及有機溶劑飛濺的場所。
‧陽光、輻射熱直接照到的場所。
‧發生強電場、強磁場的場所。
‧會傳到振動或衝擊的場所。
●安全注意事項
‧請在作業前仔細閱讀JIS規格“產業用操作機器人-安全性”(JIS B8433)及勞動省的“勞動安全衛生規則”,
並遵守。
‧搬運時請將有眼螺栓固定在基座上。
‧搬運時請安裝搬運用固定板。
對位平台 CMX
禁止擅自轉載
● “LM GUIDE”“ ”是THK株式會社的註冊商標。
● 會有本產品目錄記載的圖、照片與實際產品不同的情況。
● 會因改良而不經預告變更外觀、規格等,所以採用時請事先詢問。
● 我們以嚴謹的態度製作產品目錄,對於因錯字、漏字等產生的損害概不負責,請了解。
● 關於本公司產品、技術的出口及以出口為目的的銷售,以遵守外國匯兌和外國貿易法以及其它法令為基本方針。
並且,關於單件出口本公司產品,請事先洽商。
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