電磁界・荷電粒子・プラズマ解析ソフトウェアの現...

Hardware, Software and Professional services

電磁界・荷電粒子・プラズマ解析電磁界・荷電粒子・プラズマ解析ソフトウェアの現状ソフトウェアの現状

株式会社エーイーティー

川崎市麻生区栗木2-7-6菅野浩一

・応力解析・熱解析

・電磁界解析・流体解析

・荷電粒子解析・プラズマ解析

・回路設計・放射線防護

・分子動力学・その他

・応力解析・熱解析

・電磁界解析・流体解析

・荷電粒子解析・プラズマ解析

・回路設計・放射線防護

・分子動力学・その他

現在行われている現在行われているシミュレーションのシミュレーションの

数々数々

1. 電磁界・荷電粒子・プラズマ解析

2. 現在のコードで設定できる荷電粒子発生モデル

3. 電磁界・荷電粒子・プラズマ解析ソフトウェアと解析例紹介

シミュレーション、その前にシミュレーション、その前に．．．．．．

• 使用目的、開発目的に見合っているか–– 目標、￥￥予算、スケジュール、マンパワー

コンピュータ環境

• メッシュサイズは十分細かいか– 特に電子源に対して

• 計算が収束しているか• 比較条件が一致しているか• 粒子数は十分か

– セルとの関係も大切• ・・・

• 電磁界解析：

• 荷電粒子解析：

• プラズマ解析：

１．電磁界・荷電粒子・プラズマ解析１．電磁界・荷電粒子・プラズマ解析

２．現在のコードで設定できる荷電粒子発生モデル２．現在のコードで設定できる荷電粒子発生モデル

• 固定放出• 空間電荷制限放出• 熱電子放出• 電界電子放出• 光電子放出• 二次電子放出• プラズマからのイオン引き出し• 後方散乱、イオン化…

陰極の電子放出性能に依存

Richardson-Dushmanの式

放出電流

引き出し電圧

空間電荷制限放出、熱電子放出

Child-Langmuirの式( )3/2

( ) (0)4 29s

dqJm d

εΦ −Φ

s eATJΦ

放出面近傍の電場に依存d

仮想陰極

s eAEJ 2=

Fowler-Nordheimの式

•109-1010 V/m以上の高電界によって電子が発生•フィールドエミッターアレイ、ニードル陰極、CNT陰極など

放出電流

電場[V/m]

電界電子放出

電界放出型三極管コールドカソードATC-CCシリーズ

３．３．電磁界・荷電粒子・プラズマ解析電磁界・荷電粒子・プラズマ解析コードコードと解析例紹介と解析例紹介

電磁界･荷電粒子・プラズマ解析コード電磁界･荷電粒子・プラズマ解析コード

•• EGUNEGUN：：電子銃、電界放出解析電子銃、電界放出解析

•• IGUN/IGUN/nIGUNnIGUN：：プラズマイオン源解析プラズマイオン源解析

•• PARTICLE STUDIOPARTICLE STUDIO：３次元荷電粒子解析：３次元荷電粒子解析

•• MAGICMAGIC：：電磁界・荷電粒子運動解析電磁界・荷電粒子運動解析

•• LSPLSP：：大規模プラズマ解析大規模プラズマ解析

EGUNEGUN• 電子銃、イオン源に特化したコード

• Fowler-Nordheimの式に対応した電界電子放出の計算

•• 副分割が可能で陰極部副分割が可能で陰極部の電場の依存が強いの電場の依存が強い電電界電子放出陰極界電子放出陰極やや微小微小陰極陰極の計算も可能の計算も可能

EGUNEGUN familyfamily

Please access http://egun-igun.com/ !

SpindtSpindt型フィールドエミッター型フィールドエミッター

概要図

電子顕微鏡写真計算結果

W.B.Herrmannsfeldt,et. al.,”High-resolution simulating of field emission”,SLAC-PUB-5217

IGUNIGUN

• プラズマイオン源用コード

• プラズマ室のポテンシャル分布をシンプルな一次元シースモデルに基づいて取り扱い安定に計算– 電子エネルギー：ボルツマン分布– イオンエネルギー：const.

負イオン源用設計解析負イオン源用設計解析 nIGUNnIGUN• プラズマからの負イオン引き出しに不可欠な高速イオン・熱イオンの効果を考慮する世界で唯一のプログラム

• 正電荷を持つあらゆる数の高速イオンや熱イオンを考慮できる自己矛盾がない理論を導入

• 加速電場によるプラズマの分解をプロットすることも可能

SNSイオン源とLEBT(Low-Energy Beam Transport)

陽極

陰極

マグネティックレンズ

カソード付近のポテンシャルと磁場フラックスの2次元表示

陰極

PARTICLE STUDIOPARTICLE STUDIO CSTCST GmbHGmbH（独）（独）

• MAFIAに代わる、使いやすいGUI完備の3次元荷電粒子軌道解析

粒子密度

粒子放出モデル

PARTICLE STUDIOPARTICLE STUDIOにおけるにおける

粒子源の定義粒子源の定義

粒子定義ライブラリ

1. 固定放出 (電流とエネルギー)

2. 空間電荷制限放出 (Childの法則)

3. 熱電子放出 (Richardson-Dushmanの式)

4. 電界電子放出 (Fowler-Nordheimの式)

粒子放出設定ダイアログ

•エネルギー広がり

•Maxwell-Boltzmann速度分布

ポストプロセスポストプロセス

モニタリング平面の定義

粒子モニター:

任意のモニタリング面を選択可能

マルチビーム電子銃マルチビーム電子銃

チップ製造用リソグラフィービームチップ製造用リソグラフィービーム

チップ上に直接マスクパターンを作るための電子ビームの使用

Copyright by INTEL

半導体マスク

集束マグネット

電子源

偏向平板

モニタリング平面

リソグラフィービームの偏向リソグラフィービームの偏向

偏向電圧: 0V

偏向電圧: 2kV

偏向電圧: 10kV

偏向電圧: 16kV

フィールドエミッターフィールドエミッター

MAGICMAGIC ATK-Mission Systems(米)

• マイクロ波伝播問題から荷電粒子・プラズマ物理までをカバーする汎用ソフト

150.5150.5--MHz CW ExcitationMHz CW Excitation

MAGICMAGICにおけるにおける粒子源の定義粒子源の定義

ContCont’’dd

Using MAGIC3D to model the Using MAGIC3D to model the Baby Baby AmplitronAmplitron L4717L4717

WAVEGUIDE TAPER IMPEDANCE TRANSFORMER

TWO-WIRE TRANSFORMER

ANODE VANE BAR

Hot Test: Output PowerHot Test: Output Power

f = 2.89GHzB = .25 TeslaVdc rampedPinput 4.6 kW

Output Power

LSPLSP ATK-Mission Systems (米)

• PIC(Particle-in-cell)による大規模電磁気プラズマ用３次元電磁界解析コード

• 多様な電磁界・荷電粒子の解析が可能– 電界放出– トランスミッションライン境界– 誘電体– 分散的な磁気材料– 二次電子放出– 中性粒子のイオン化– 表面加熱と表面からの中性粒子の脱離

– ・・・

まとめまとめ

• 荷電粒子放出に関する理論モデルの多くは考慮されている

• ただし、メッシュを十分に細かくするなどの適切な処置は必須

• 副分割などの対応は市販のコードでも装備（FEAも計算可能）

• コード開発に時間を割いた場合のコストも要検討（あるものは利用してしまおう！）

• 最終的には、他分野、また設計や教育にも広く使われる（社会貢献!!）

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