View
70
Download
11
Category
Preview:
DESCRIPTION
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК. П.А.Цыганков МГТУ им. Н.Э.Баумана В.В.Крикотин «Экструзионные машины» М.А.Попов «Экструзионные машины». ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК. Ирвинг Ленгмюр. Кэтрин Блоджетт. ТОНКИЕ ПЛЁНКИ. КАК ВСЁ НАЧИНАЛОСЬ. - PowerPoint PPT Presentation
Citation preview
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
П.А.ЦыганковМГТУ им. Н.Э.Баумана
В.В.Крикотин«Экструзионные машины»
М.А.Попов«Экструзионные машины»
ТОНКИЕ ПЛЁНКИ. КАК ВСЁ НАЧИНАЛОСЬ
Ирвинг Ленгмюр
«Просветление» оптики – снижение RНанесение мономолекулярных слоев из раствора – метод Ленгмюра-Блоджетт
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Промышленная технология и Массовый продукт
Кэтрин Блоджетт
ОПТИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
Термо-вакуумные способы нанесения тонких пленок
НЕПРОСВЕТЛЕННАЯ
5%
ОДНОСЛОЙНОЕ ПРОСВЕТЛЕНИЕ
1.7%
МНОГОСЛОЙНОЕПРОСВЕТЛЕНИЕ
0.2%«Мокрые» технологии
Интерференционные фильтры
“There's Plenty of room at the Bottom”
Ричард Фейнман
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
РАСПЫЛЕНИЕ. ИОННО-ЛУЧЕВОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Энергия ионов ~ 1keVПлотность тока > 1 mА/cm2
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Мишень – катод разряда!
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
СТРУКТУРА ТОНКОЙ ПЛЁНКИ
Термическое испарение Магнетронное напыление Ионно-лучевое распыление
Структурно-зонная модель
Мовчан-Демчишин, 1969Ea/Es
ПЛЕНКА
ПОДЛОЖКА
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ТЕНДЕНЦИЯ
НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА БОЛЬШИЕ ПЛОЩАДИ: ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ РАВНОМЕРНОСТЬ
«Утонение»
ПЛЕНКА
ПОДЛОЖКА
GMR
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ТЕНДЕНЦИЯ
«Утолщение»
ПЛЕНКА
ПОДЛОЖКА
НАНОСТРУКТУРА
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
СОВРЕМЕННЫЕ УПРОЧНЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ
Эффект Холла-Петча (Hall-Petch) HV~d-0,5
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ТЕМПЕРАТУРОПРОВОДНОСТЬ ПОКРЫТИЙ
Термобарьер – Thermal Barrier Coatings
Термо-интерфейс – Thermal Interface Coatings
1700 0C
k= ke+kphMe Д Me Д
-gradT
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ВЫСОКОЭНТАЛЬПИЙНЫЕ СИСТЕМЫ. СОЗДАНИЕ НЕРАЗЪЕМНЫХ СОЕДИНЕНИЙ
СВАРКА:МЕТАЛЛ, КЕРАМИКА, УГЛЕРОДНЫЕ КОМПОЗИТЫ
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ПЕРЕНОСА МАТЕРИАЛА В ВАКУУМЕ
МНОГОСЛОЙНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ: ПРОИЗВОДСТВО И ПРИМЕНЕНИЕ
НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК: ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ РАВНОМЕРНОСТЬ
ВАКУУМНО-ПЛАЗМАТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ВАКУУМНО-ДУГОВЫЕ ИСПАРИТЕЛИ
МАГНЕТРОНЫ С НЕЭКВИПОТЕНЦИАЛЬНЫМ КАТОДОМ
МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
ИМПУЛЬСНЫЕ МАГНЕТРОНЫ
КРИТИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, которая может обеспечить качественный скачок в различных отраслях промышленности и способствовать
появлению на рынке новых массовых продуктов
КОНСОЛИДАЦИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ – для развития которой необходимо сотрудничество специалистов разных направлений – от физики плазмы до материаловедения. Наукоемкая, дорогостоящая…
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ
Recommended