Investeإںte أ®n oameni! FONDUL SOCIAL EUROPEAN ...old. de doctorat/Rezumate... Investeإںte أ®n oameni!

  • View
    1

  • Download
    0

Embed Size (px)

Text of Investeإںte أ®n oameni! FONDUL SOCIAL EUROPEAN ...old. de doctorat/Rezumate... Investeإںte...

  • Investeşte în oameni!

    FONDUL SOCIAL EUROPEAN Programul Operaţional Sectorial Dezvoltarea Resurselor Umane 2007 – 2013 Axa prioritară 1 „Educaţie şi formare profesională în sprijinul creşterii economice şi dezvoltării societăţii bazate pe cunoaştere” Domeniul major de intervenţie 1.5. „Programe doctorale şi post-doctorale în sprijinul cercetării” Titlul proiectului: „Burse doctorale pentru dezvoltare durabila” BD-DD Numărul de identificare al contractului: POSDRU/107/1.5/S/76945 Beneficiar: Universitatea Transilvania din Braşov

    Universitatea Transilvania din Brașov

    Școala Doctorală Interdisciplinară

    Departament: Știința Materialelor

    Ing. Daniel CRISTEA

    Rezumatul tezei de doctorat

    Cercetări privind sinteza și caracterizarea straturilor subțiri din sistemul MeOxNy obținute prin pulverizare reactivă în sistem

    magnetron.

    Summary of the Ph.D. thesis

    Research on the synthesis and characterization of MeOxNy system thin films deposited by reactive magnetron sputtering.

    Conducător ştiinţific

    Prof.dr.ing. Aurel CRIȘAN

    BRAȘOV, 2013

  • MINISTERUL EDUCAŢIEI NAŢIONALE

    UNIVERSITATEA “TRANSILVANIA” DIN BRAŞOV BRAŞOV, B-DUL EROILOR NR. 29, 500036, TEL. 0040-268-413000, FAX 0040-268-

    410525

    RECTORAT

    D-lui (D-nei) ..............................................................................................................

    COMPONENŢA Comisiei de doctorat

    Numită prin ordinul Rectorului Universităţii „Transilvania” din Braşov Nr. 5941 din 22.07.2013

    PREŞEDINTE: Prof.dr.ing. Teodor MACHEDON

    DECAN al Facultăţii de Ştiinţa şi Ingineria Materialelor Universitatea Transilvania din Braşov

    CONDUCĂTOR ŞTIINŢIFIC: Prof.dr.ing. Aurel CRIȘAN Universitatea Transilvania din Braşov

    REFERENŢI: Prof.dr.ing. Daniel MUNTEANU Universitatea Transilvania din Braşov

    Prof.asist.dr.fiz. Luis CUNHA Universitatea Minho, Portugalia

    Prof.asist.dr.fiz. Cacilda MOURA Universitatea Minho, Portugalia

    Data, ora şi locul susţinerii publice a tezei de doctorat: 27.09.2013, ora 9, sala W III 4.

    Eventualele aprecieri sau observaţii asupra conţinutului lucrării vă rugăm să le transmiteţi în timp util, pe adresele de e-mail: daniel.cristea@unitbv.ro, cristeadnl@yahoo.com.

    Totodată vă invităm să luaţi parte la şedinţa publică de susţinere a tezei de doctorat.

    Vă mulţumim.

  • Cercetări privind sinteza și caracterizarea straturilor subțiri din sistemul MeOxNy

    obținute prin pulverizare reactivă în sistem magnetron.

    Ing. Daniel CRISTEA Pag. 1

    Mulțumiri. Această lucrare este rezultatul unui program de cercetare realizat în cadrul Universității

    Transilvania din Brașov și a Universității Minho (Braga/Guimaraes) din Portugalia, cu ajutorul suportului financiar acordat de către Programul Operațional Sectorial pentru Dezvoltarea Resurselor Umane (POS DRU), ID76945, finanțat din Fondul Social European și de Guvernul României.

    Lucrarea nu s-ar fi putut finaliza fără ajutorul necondiționat al unui număr de persoane din mediul didactic și de cercetare.

    Doresc să mulțumesc Domnului Prof.Dr.Ing. Aurel CRIȘAN, care în calitatea sa de profesor coordonator al acestei lucrări, a oferit susținere și îndrumare pe toată perioada pregătirii acestei teze. Dialogul, atenția, răbdarea, amabilitatea și suportul oferite de către Domnul Prof.Dr.Ing. Aurel CRIȘAN pentru întocmirea acestei teze sunt apreciate și sunt considerate indispensabile.

    O parte semnificativă a programului experimental a fost efectuată în cadrul Departamentului de Fizică din Universitatea Minho, Portugalia, sub îndrumarea directă a Domnului Prof.Asist.Dr.Fiz. Luís António Carvalho Gachineiro da CUNHA. Țin să îi mulțumesc pe această cale pentru suportul științific, răbdarea, promptitudinea și amabilitatea evidențiate pe toată perioada programului de cercetare.

    Caracterizarea proprietăților straturilor subțiri studiate în cadrul acestei teze a fost posibilă datorită amabilității mai multor persoane, și anume: determinarea compoziției chimice – Dr.Fiz. Nuno Barradas și Dr.Fiz. Eduardo Alves, Institutul Superior Tehnic, Universitatea Tehnică din Lisabona, Portugalia; determinarea comportamentului tribologic – Dr. Jose Gomes și Dr. Cristiano Abreu, Centrul de Mecanică și Tehnologia Materialelor, Universitatea Minho, Portugalia; determinarea rezistivității electrice – Dr. Fiz. Senentxu Lanceros Mendez, Drd. Pedro Costa și Drd. Vanessa Cardoso, Departamentul de Fizică, Universitatea Minho, Portugalia, respectiv Conf.Dr.Fiz. Nicolae Crețu și Conf.Dr.Fiz. Marius Volmer, Departamentul de Fizică Aplicată, Universitatea Transilvania, Brașov; comportament dielectric, microscopie de forță atomică – Dr. Maria DINESCU și Dr. Nicu SCĂRIȘOREANU, Institutul de Fizica Laserilor, Plasmei și Radiației, Măgurele; determinarea comportamentului optic – Prof.Asist.Dr.Fiz. Cacilda Moura, Departamentul de Fizică, Universitatea Minho, Portugalia; determinarea comportamentului fotocatalitic – Prof.Dr.Ing. Anca DUȚĂ CAPRĂ și Conf.Dr. Luminița ANDRONIC, Departamentul Design de produs, Mecatronică și Mediu, Universitatea Transilvania, Brașov; microscopie de forţă atomică – Claudia Moldovan, Schaefer SouthEast Europe, Park Systems, Coreea de Sud.

    Doresc să mulțumesc membrilor comisiei de analiză a acestei teze, și anume: Prof.Asist.Dr.Fiz. Luis CUNHA, Prof.Asist.Dr.Fiz. Cacilda MOURA, Prof.Dr.Ing. Daniel MUNTEANU, pentru răbdarea și atenția acordate în procesul de analiză a tezei cât și pentru sugestiile și aprecierile oferite.

    În final doresc să mulţumesc colectivului de cadre didactice din Departamentul de Ştiinţa Materialelor de la Universitatea Transilvania din Braşov, pentru aprecierile și sugestiile oferite în urma analizei primelor versiuni ale acestei teze, cât și colegilor mei, doctoranzi, cercetători post-doc, de la Universitatea Transilvania, pentru prietenie şi pentru sprijin moral şi sfaturi.

  • Cercetări privind sinteza și caracterizarea straturilor subțiri din sistemul MeOxNy

    obținute prin pulverizare reactivă în sistem magnetron.

    Ing. Daniel CRISTEA Pag. 2

    CUPRINS

    LISTA DE ABREVIERI Pag. teză

    Pag. rezumat

    1. CAP. 1. Straturi subțiri multifuncționale. Scurtă introducere. 1 6 1.1 Istoric. Domenii de utilizare. 2 6 1.2 Metode de obținere - prezentare generală. 6 - 1.3 Obiectivul lucrării. 10 6

    2. CAP. 2 Straturi subțiri de tip oxinitrură (MeOxNy). Stadiul actual al cunoașterii.

    11

    7

    2.1 Straturi subțiri de tip oxinitrură (MeOxNy). 12 7 2.2 Straturi subțiri pe bază de Tantal. 14 7

    2.2.1 Straturi subţiri de tantal pur. 14 - 2.2.2 Straturi subţiri pe bază de oxizi de tantal. 15 - 2.2.3 Straturi subţiri pe bază de nitruri de tantal. 17 - 2.2.4 Straturi subţiri pe bază de oxinitruri de tantal. 18 7 2.3 Concluzii 24 8

    3. CAP. 3 Programul şi metoda de cercetare. 25 8 3.1 Programul de cercetare. 26 8 3.2 Sinteza straturilor subțiri. 31 12 3.2.1 Procedeul de obținere utilizat – pulverizarea reactivă în regim magnetron. Noțiuni teoretice.

    31

    -

    3.2.2 Descrierea instalației de depunere. 41 12 3.3 Procedee de caracterizare. Metode de interpretare a datelor. 44 12 3.3.1 Caracterizare chimică. Caracterizare structurală. 44 - 3.3.2 Caracterizarea proprietăților mecanice. 49 - 3.3.3 Caracterizarea proprietăților optice. 58 - 3.3.4 Caracterizarea proprietăților electrice. 63 - 3.4 Concluzii. 67 13 4. CAP. 4 Caracterizare chimică şi structurală. 69 14 4.1 Compoziția chimică şi structura probelor din Seria 1. 70 14 4.2 Compoziția chimică şi structura probelor din Seria 2. 75 18 4.3 Influența tratamentului termic de recoacere asupra structurii. 80 20 4.3.1 Seria 1. 80 20 4.3.2 Seria 2. 84 22 4.4 Concluzii. 87 25 5. CAP. 5 Proprietăți mecanice. 88 26 5.1 Grosimi de strat. 89 26 5.2 Duritate. Modul de elasticitate. 93 28 5.3 Tensiuni remanente. 97 30 5.4 Aderenţă la substrat. 98 32 5.4.1. Influența tratamentului termic de recoacere asupra aderenței la substrat.

    103

    35

    5.5 Rugozitatea suprafeţei. Influenţa temperaturii asupra rugozităţii. 105 37 5.6 Comportament tribologic. 107 39 5.7 Concluzii. 111 41 6. CAP. 6 Proprietăți optice şi electrice. 114 42

  • Cercetări privind sinteza și caracterizarea straturilor subțiri din sistemul MeOxNy

    obținute prin pulverizare reactivă în sistem magnetron.

    Ing. Daniel CRISTEA Pag. 3

    6.1 Proprietăți optice. 115 42 6.1.1 Spațiul de culoare. Influența tratamentului de recoacere asupra culorii.

    115

    42

    6.1.2 Transmitanța. Reflectanța. Influența tratamentului de recoacere.. 118 44 6.1.3 Comportament fotocatalitic. 121 47 6.2 Proprietăți electrice. 127 50 6.2.1 Rezistivitatea. 127 50 6.2.2 Comportament dielectric. 128 50 6.3 Concluzii. 129 51

Recommended

View more >