38

InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

  • Upload
    others

  • View
    5

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose
Page 2: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ TRIUKŠMŲ

TYRIMASAUGUSTINAS VIZBARAS

2006 02 09

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Page 3: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

TURINYS

• 1. TRIUKŠMAI.

• 2. GREITAVEIKIAI FOTODETEKTORIAI.

• 3. GFD TRIUKŠMŲ TYRIMAI

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Page 4: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Triukšmas – didžiausią informacijos kiekį turintis signalas, bet kartais –didžiausias trukdys.

U

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

t

Fliuktuacijos (triukšmai) – atsitiktiniai makroskopinių dydžių nuokrypiainuo jų vidutinės vertės

Fliuktuacijų susidarymo mechanizmai:1. Šiluminis mikrodalelių judėjimas. (Šiluminiai triukšmai).2. Atsitiktinis dalelių skaičiaus kitimas elektroniniuose srautuose. (Šratinis triukšmas).3. Žemadažnės medžiagos laidumo fliuktuacijos dėl krūvininkų

emisijos ir pagavimo makroskopiniuose defektuose. (1/f triukšmas).4. Feromagnetinių medžiagų domenų atsitiktinis persimagnetinimas. (Magnetiniai triukšmai,

Barkhauzeno reiškinys).

Page 5: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Istoriniai triukšmų tyrinėjimo faktai• Iki 1925m. Triukšmai nagrinėjami tik teoriškai (1905-1906m. A.Einšteinas –

Brauno dalelių judėjimas, 1918m. W. Shottky – šratinis triukšmas.).• 1925-1928m. - šiluminis triukšmas. (H. Nyquist ir J.B. Johnson), Naikvisto

teorema.• 1925m. 1/f triukšmas (J.B. Johnson ir A. Van der Ziel).• 1966m.R.J.McIntyre GFD dauginimo triukšmas.

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Page 6: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Šiluminis triukšmas. Naikvisto teorema.

1927m. J. Johnson. Stiprintuvo įėjime prijungus varžą, išėjime stebimas triukšmas

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Analogija su Brauno judesio teorija (A. Einstein)

1928m. H. Nyquist. Įtampos fliuktuacijų spektrinio tankio priklausomybė nuo varžos ir temperatūros.

2 ( ) 44U

U t kTR fS kTR∆ = ∆

=Idealiu atveju įtampos fliuktuacijų spektrinis tankistiesiog proporcingas varžai R bei absoliučiajai temperatūrai ir nepriklauso nuo dažnio.

Realiu atveju:

0U

fS→∞→

∆U2(t)~∆R, T

Page 7: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Mikroskopinis šiluminio triukšmo modelis

A.Einstein Brauno judesio teorija: 2 2x Dt=

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

D – difuzijos koeficientas

Dalelės nuokrypio nuo pradinės vertės kvadrato vidurkis tiesiogproporcingas stebėjimo trukmei t.

Remiantis Vinerio – Chinčino teorema, fliuktuacinės srovės spektrinis tankis žemų dažnių atveju: ( )

( )

2

2

0 4

0 4 4

j

j

S f e nD

kTDe

kTS f e n kTe

µ

µ σ

→ =

=

→ = =Šiluminio triukšmo taikymai:1. Kalibravimo šaltinis (etaloninis triukšmų generatorius)2. Temperatūros matavimas.3. Bolcmano konstantos nustatymas.4. Patogus būdas įvertinti tam tikrus medžiagų parametrus (laidį, varžą),

nenaudojant įtampos šaltinių.

Page 8: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Šratinis triukšmas. Shottky formulė.

Puslaidininkinių diodų triukšmas:a) krūvininkai pralekia pro potencialų barjerą nepriklausomai vienas nuo kito;b) vyksmas atsitiktinis;c) pro potencialų barjerą tekančių srovių sukeliamų srovės fliuktuacijų spektrinis tankis išreiškiamas Shottkyformule.

2IS eI=

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

1918m. W. Shottky

Šratinio triukšmo srovės fliuktuacijų spektras pastovus plačiame dažnių intervale.Žemuose dažniuose (f<10kHz) visada pasireiškia 1/f triukšmas.

102 103 104 105 10610-25

10-24

10-23

10-22

10-21

10-20

10-19

10-18

25,725,3

24,1223,022,018,016,0

S I, A2 s

f, Hz

28 fotodiodas, sufokusuota centras

U, V:

10,0

Page 9: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Žemadažnis 1/f triukšmas

1/f triukšmas – atsitiktiniai elektros srovės ir įtampos svyravimai, atsirandantys dėl medžiagos elektrinio laidžio arba elektroninių prietaisų parametrų atsitiktinių svyravimų ir nepastovumo.

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

1/f triukšmas pasireiškia visur: puslaidininkiuose, metaluose, dielektrikuose, plonuose sluoksniuose, visuose elektroniniuose, joniniuose ir puslaidininkiniuose prietaisuose ir kt.

Dažniausiai didelį 1/f triukšmą turi defektyvūs dariniai: blogi sąlyčiai, grūdėtos arba salelinės sandaros medžiagos, jonais bombarduoti ir neatkaitinti bandiniai.

Pagal 1/f triukšmo dydį dažnai sprendžiama apie medžiagos arba prietaiso kokybę, jų parametrų pastovumą ir t.t.

Page 10: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

1/f triukšmo galios spektrinio tankio priklausomybė nuo dažnio

Galios spektrinio tankio priklausomybė nuo dažnio: triukšmo galios spektrinis tankis didėja mažėjant dažniui.

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Problema Nr. 1: Ar gali galios spektrinis tankis neapibrėžtinai didėti, kai ?

,0.7 1.5f γ γ− < <

0f →

101 102 103 10410-17

10-16

10-15

10-14

10-13

10-12

f, Hz

SU/ V

2 s

1/f

1/f triukšmo galia bandinyje, kurio varža R ir juo teka nuolatinė srovė I, lygi:

2 2

1 1

2 2 21/

1

( ) lnf f

f if f

fAP R S f df R I df AI Rf f

= = =∫ ∫Matome, kad jei

1 1/0, ff P→ →∞neapibrėžtumas

Fizikinė uždavinio interpretacija:Esant termodinaminės pusiausvyros sąlygoms šiluminio triukšmo galią lemia tik termodinaminė temperatūra. Tekančios srovės fliuktuacijų galią lemia pridėtas išorinis šaltinis: 2 22

1/ 01

2

01

ln

ln 1 lim ( ) , 1

f

if

fP AI R P I Rf

fA S f ff

γ γ−

= < =

< ⇒ ∝ <

f: (5×10-7÷ 104) Hz

Page 11: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Tiesinių elementų 1/f triukšmasLaidžioje medžiagoje tekančios srovės fliuktuacijų spektrinis tankis:

221 1( )i

IS f I RN f f

∝ ∝

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

1) Srovės fliuktuacijas lemia laidininko varžos arba laidžio fluktuacijospusiausvyros sąlygose.2) Srovės fliuktuacijas lemia laidininke išsklaidoma maitinimo šaltinio energija.

Jei varžas R yra termodinaminėje pusiausvyroje:

0

2 2

( ) 4( ) ( )

( ) ( ) 4 ( )

u

u

S f kTRR t R R t

t u t kTR t fσ

== + ∆

= ∆ = ∆Irgi fliuktuos

2

2

20

2 2 20

( ) ( )

( )u

u

u

R

u

t R tR

arbaS S A

R fσ

σσ

σ

∆ ∆=

= =

Vadinasi, termodinaminės pusiausvyros sąlygosešiluminis triukšmas yra moduliuotas žemo dažnio varžos fliuktuacijomis, turinčiomis 1/f spektrą.

Page 12: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Pagrindinės teorijos, aiškinančios 1/f triukšmo prigimtį

1) Relaksacinis 1/f triukšmo modelis. Grindžiamas generacinių –rekombinacinių (relaksacinių) spektrų superpozicija. Triukšmo dydis atvirkščiai proporcingas suminiam judriųjų krūvininkų skaičiui bandinyje N.

2) 1/f triukšmas – krūvininkų judrio fliuktuacijos. (Spektro pobūdis postuluojamas, nepaaiškina žemadažnių fliuktuacijų, kai krūvininkų pralėkimo trukmė pro mažus bandinius labai trumpa.)

3) McWhorter tunelinis modelis. Žemadažnės medžiagos laidžiofliuktuacijos dėl krūvininkų tuneliavimo į paviršinį oksido sluoksnį. (Krūvininkų tuneliavimo trukmė kinta labai plačiame laiko intervale.)

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Page 13: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

2. Greitaveikiai puslaidininkiniai fotodektoriai

• Panaudojimas:• 1) Telekomunikacijų tinklai;• 2) Plačiajuosčiai vietiniai tinklai (LAN);• 3) Įvairūs instrumentai (jutikliai, apsaugos sistemos, karo pramonė, astronominiai

instrumentai ir t.t.).

• Klasifikacija:• 1) Medžiaga priklausomai nuo šviesos bangos ilgio (Si, GaAs, InGaAs, Ge, AlGaSb,

GaSb, AlGaAs, GaN ir t.t.).• 2) Tipai ( fotodiodai, pin fotodiodai, griūtiniai fotodiodai, fototranzistoriai ir t.t.).• 3)Struktūra ir sandara (kontaktų konfigūracija, šviesos surinkimas, sugeriančioji

medžiaga).

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Page 14: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Medžiagos ir bangos ilgiai

• Sugeriamos šviesos bangos ilgį lemia puslaidininkio draudžiamosios energijos

tarpas.

31.24 10 .Cg

nmE

λ ×=

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Optinės telekomunikacijų sistemos:(800 - 1600)nm

Fotonų skaičiavimas: (400 – 1800)nm

Astronomija:(200 - 1200)nm

Spektroskopija:(400 -6000)nm

Šiuolaikiniuose šviesolaidiniuosetelekomunikacijų tinkluose efektyviausianaudoti λ=0,85µm, 1,3µm ir 1,55µm.

31.24 10c

g

nmE

λ ×=

Viena populiariausių medžiagų : In0,53Ga0,47As.

Keičiant elementų sudėtį, galima keisti draudžiamųjų energijų tarpą, t.y.

suderinti priimamam bangos ilgiui.

Page 15: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Page 16: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Pagrindiniai greitaveikių fotodetektorių parametrai

• 1) Dažnių juostos plotis.• Riboja lėkio trukmė (transit time), RC

konstanta,difuzijos srovė ir krūvininkų pagavimas įvairiatarpėse sandūrose.

• 2) Kvantinis našumas.• Kvantiniam našumui įtakos turi krintančios

šviesos atspindys nuo fotodiodopaviršiaus, šviesa sužadintų krūvininkųrekombinacija paviršiuje ir nuskurdintamesluoksnyje bei šviesos sugertisnuskurdinto sluoksnio išorėje.

• 3) Triukšmų lygis.• Šratinis triukšmas, dauginimo triukšmas,• 1/f triukšmas, signalo – triukšmo santykis.

..

100%

foto

fdkr

Iq

Ph

η

υ

= •

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

211 (1 ) 1efF M kM

⎧ ⎫⎪ ⎪⎡ ⎤= − − −⎨ ⎬⎢ ⎥⎣ ⎦⎪ ⎪⎩ ⎭

Page 17: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Krūvininkų lėkio trukmė

Lvτ =

( ) e hqAv qAvEi t At W W

σ σε ∂= − = +

( ) e hqAv qAvEi t At W W

σ σε ∂= − = +

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Šviesos fotono medžiagoje sužadinti krūvininkai,prijungus užtvarinę įtampą, per tam tikrą laiko tarpąpasieks elektrodus.

Judėdami krūvininkai sukurs srovę:

Srovės impulso trukmė:0

0

ee

hh

W Xv

Xv

τ

τ

−=

=

Pereigos trukmę galime mažinti, didindami krūvininkų soties dreifinį greitį v.

Page 18: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

RC konstanta

• Ekvivalentinė fotodetektoriaus schema• Rs – nuostolių varža,• Cj – pn sandaros barjerinė talpa,• Cp – pašalinė talpa,• ZL – apkrovos varža

( )( )RC L s j pR R C Cτ = + +

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Difuzijos srovė

/dif e

dif

kT qJ qnL

µ⎛ ⎞

= ⎜ ⎟⎜ ⎟⎝ ⎠

Krūvininkai, eantys atstumu,artimu difuzijos nuotoliui, nuonuskurdintos srities, gali į jądifunduoti, taip sukurdamipašalinę difuzinę srovę.

Page 19: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Krūvininkų pagavimas įvairiatarpėse sandūrose

( )

( )

1( ) exp

1( ) exp

ne e

ph h

te t u t

te t u t

τ τ

τ τ

⎛ ⎞ ⎛ ⎞= −⎜ ⎟ ⎜ ⎟

⎝ ⎠⎝ ⎠⎛ ⎞ ⎛ ⎞

= −⎜ ⎟ ⎜ ⎟⎝ ⎠⎝ ⎠

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

1 exp( )beBe kT

ϕτ

= −

Įvairiatarpės sandūros lemia elektronų pagavimąlaidumo juostos netolydumuose ir skylių pagavimąvalentinės juostos netolydumuose.

Skylių pagavimas ir emisija įvairiatarpėje InP/InGaAs sandūroje – didelė problema.

Tam, kad suderintume įvairiatarpes draudžiamąsias juostas,naudojami gradientiniai sluoksniai (InGaAsP) ir supergardelės.

Page 20: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

Kvantinis našumas ir optinė sugertis

Apšviečiant puslaidininkį krūvininkai sukuriami tiekvykstant saviesiems (tarpjuostiniams) šuoliams per draudžiamosios energijos tarpą, tiek vykstantšuoliams iš priemaišinių centrų

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

..

100%

foto

fdkr

Iq

Ph

η

υ

= •

)exp( ab0 xPP α−=

Kvantinis našumas

Optinė sugertis

Laipsnišką kvantinio našumo mažėjimą trumpėjant bangos ilgiui daugiausia lemia didėjanti optinė sugertis tarp paviršiaus ir aktyviojo sluoksnio ir dėl krūvininkų rekombinacijos paviršiuje.

Page 21: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Griūtiniai fotodiodai

Fotodiodas su griūtiniu sluoksniu, kuriamesukuriamas stiprus elektrinis laukas, pakankamas sukelti smūginę jonizaciją. Prasideda elektronų (skylių) griūtis – griūtinis pramušimas.

Griūtinis fotodiodas – fotodiodas, turintisvidinį stiprinimą.

Page 22: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Griūtinė jonizacija ir pagrindiniai GFD parametrai

( ) ( ) ( )

( )

0 0 0

0 0

exp (0) ( )exp '

1 exp '

w w x

p i i n i i

w x

i i i

J w dx J q g x dx dxJ

dx dx

α β α β

α α β

⎡ ⎤ ⎡ ⎤− − + + − −⎢ ⎥ ⎢ ⎥⎣ ⎦ ⎣ ⎦=

⎡ ⎤− − −⎢ ⎥

⎣ ⎦

∫ ∫ ∫

∫ ∫

( ), ( )p nJ w J w

(0), (0)p nJ J

Pilnutinė fotosrovė:

Skylių ir elektronų srovės tankiai griūtinėje srityje.

,i iα β

( )g x

Injekuotų į griūtinę sritį krūvininkų srovės tankiai

Elektronų ir skylių jonizacijos koeficientai

Krūvininkų generacijos – rekombinacijos spartą apibūdinantis dydis

d du dmI I MI= +Pilnutinė tamsinė GFD srovė:

Triukšmų srovės spektrinis tankis:

McIntyre triukšmų faktorius

211 (1 ) 1efF M kM

⎧ ⎫⎪ ⎪⎡ ⎤= − − −⎨ ⎬⎢ ⎥⎣ ⎦⎪ ⎪⎩ ⎭22 2 ( )i du dmS qI qI M F M= +

Page 23: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

InGaAs/InP griūtinių fotodiodų triukšmų tyrimasTiriami bandiniai: 10Gbps Bookham™ griūtiniai InGaAs/InP fotodiodai,skirti šviesolaidiniams telekomunikacijų tinklams.

Tyrimo objektas:1) Ištirti griūtinio fotodiodo aktyviosios srities ir periferijos triukšmų priklausomybę nuo koordinatės.2) Ištirti jonizuojančios spinduliuotės įtaką fotodiodo triukšmams. 3) Įvertinti griūtinio fotodiodo kokybę ir patikimumą. 4) Apibendrinti gautus rezultatus ir pasiūlyti problemos sprendimą.Tyrimo apartūrinis kompleksas:1) Žemadažnių triukšmų spektrų matavimo stendas.(VU Triukšmų Tyrimo Laboratorija).2) National Instruments™ kompiuterinė plokštė –keitiklis(20Hz – 150kHz).3) Mikromanipuliatorius NanoCube© P-611.3S ir jo valdiklis E-664.S3(VU Triukšmų Tyrimo Laboratorija, VU LazeriniųTyrimų Centras)4) LabView™ duomenų apdorojimo programa.

1,55 mλ µ=

Page 24: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Tiriamieji griūtiniai fotodiodai

Griūtiniai fotodiodų dariniai buvo užauginti vieno ciklo metu naudojant cheminį garinį nusodinimą iš metalo organinių junginių (MOCVD).

Sukurti elektronai elektrinio lauko veikiami yra ištraukiami į n kontaktą. Tik skylės yra injekuojamos į dauginimo sluoksnį.

Aktyvusis fotodiodo paviršius, kurio skersmuo lygus 20 µm, padengtas šviesos neatspindinčia medžiaga. Aktyvųjį sluoksnį supa apsauginis žiedas.

Page 25: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Eksperimentas – triukšmų matavimas

2 2D st

0 et2 2et st

4UU US kT RU U

−=

− e4 RUI t

Tr

SS kTR

=

20

( )2

Ieksp

SF MqI M

=

211 (1 ) 1efF M kM

⎧ ⎫⎪ ⎪⎡ ⎤= − − −⎨ ⎬⎢ ⎥⎣ ⎦⎪ ⎪⎩ ⎭

Page 26: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Page 27: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Fotosrovės pasiskirstymas fotodiodo paviršiuje

2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 2610-6

10-5

10-4

10-3

centras periferija

I / A

U / V

28 fotodiodas Matome, kad įtampų intervale (0V – 14V) iki griūtinio pramušimo didžiausia suminė fotosrovė yra periferijoje!Teoriškai, fotosrovės ten neturėtų būti.Prasidėjus griūtiniampramušimui, beveik visa fotosrovės padidėjimą lemia aktyvioji sritis.

Problema: Kokią įtaką fotodiodo veikai ir triukšmams turi periferija?

8µm2-3µm

Page 28: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Triukšmų spektrai aktyviosios srities centre ir periferijoje

Centre triukšmų spektraituri didesnį 1/f triukšmo indėlį visame dažnių intervale. Keičiant įtampą nuo 5V iki 25V, fotosrovės triukšmai padidėjaapie 3 eiles. Priežastis: Griūtinė fotodiodo veika. Intensyvi krūvininkų rekombinacija aktyviosios srities pakraščių defektuose.

Periferijoje triukšmų spektrai demonstruoja labiau ‘baltą’spektro pobūdį. Keičiant įtampą, fotosrovės triukšmaiPakinta ~1,5 eilės.Priežastis: Periferijoje elektrinio lauko stipris žymiai silpnesnis nei aktyviojoje srityje. Krūvininkų dauginimas mažas.2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28

10-7

10-6

10-5

10-4

centras periferija

I, A

U, V

28 fotodiodas

102 103 104 105 10610-16

10-15

10-14

10-13

Su, V

2 s

f, Hz

Ud, V:

25,024,6

23,721,58,0

No. 28periferinesritis

101 102 103 104 105 10610-16

10-15

10-14

10-13

10-12

10-11

10-10

Su,

V2 s

f, Hz

Ud, V:

25,725,3

24,5

23,022,020,318,016,014,010,0

aktyviojisritis

No. 28

Page 29: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 2810-7

10-6

10-5

10-4

centras periferija

I,

A

U, V

28 fotodiodas

2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 280

4

8

12

16

20

24

28

32

M

U, V

28 fotodiodas, centras

8 10 12 14 16 18 20 22 24 2610-25

10-24

10-23

10-22

10-21

10-20

S I , A2 s

f, Hz

f= 20kHz28 fotodiodas, centras

Aktyviosios srities centre,po griūtinio pramušimo

(14V – 25V),fotosrovė išauga ~32 kartus.

(griūtinė veika)eksperimentiškai apskaičiuotas

triukšmų faktoriuspalyginamas su teorine kreive.

Efektyvusis jonizacijos koeficientas k~=0,45. Literatūroje

pateikiama vertė InGaAsmedžiagai0,2<k<0,5.

Centre viskas puiku.Tai kokia periferijos įtaka?

0 5 10 15 20 250

5

10

15

F

M

eksp. teor.kef=0,45

No. 28

Page 30: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

101 102 103 104 105 10610-25

10-24

10-23

10-22

10-21

10-20

25,3

24,21

23,021,019,4117,8

SI, A

2 s

f, Hz

28 fotodiodas, apšviestas lempute

U, V:

15,6

2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 2610-7

10-6

10-5

10-4

centras periferija lempute

I, A

U, V

28 fotodiodas

2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 280

4

8

12

16

20

24

28

32 centras periferija lempute

M

U/ V

Apšvieskime visa fotodiodo paviršių

Triukšmų spektrai demonstruoja

mažesnį 1/f triukšmą, spektrų

pobūdis “baltesnis” (panašiai kaip ir

periferijoje).Voltamperinė

charakteristikarodo, kad apšvietus

visą fotodiodo paviršių

dominuoja periferija.Kodėl?

Atsakymas –aktyviosios srities

paviršius daug mažesnis nei periferijos.

Page 31: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

020

4060

80100 0

20

40

60

80

100

0,01

0,02

0,03

I ph, m

A

Y, µ

mX, µm

U = 7 V

020

4060

80100 0

20

40

60

80100

0,01

0,02

0,03

0,04

I ph, m

A

Y, µ

m

X, µm

A = 13 V

020

4060

80100 0

20

40

60

80100

0,010,02

0,030,04

0,05

0,06

I ph ,m

A

Y, µ

m

X, µm

U = 15 V

020

4060

80100 0

20

40

60

80100

0,020,04

0,06

0,08

0,10

I ph ,

mA

Y, µ

m

X, µm

U = 21 V

020

4060

80100 0

20

40

6080

1000,1

0,2

0,3

0,4

0,5

0,6

I ph ,

mA

Y, µ

m

X, µm

U = 29 V

Fotosrovės pasiskirstymas aiškiai rodo, kad apšviečiant fotodiodo

paviršių nekoherentine IR šviesa, t.y. apšviečiant ir visą aktyviąją sritį, ir periferinę sritį, vertinti krūvininkų

dauginimo koeficientą M ir šratinio dauginimo triukšmo koeficientą F

nėra tikslinga, nes fotosrovė periferinėje ir aktyviojoje srityje nuo

užtvarinės įtampos priklauso visiškai skirtingai.

Norint teisingai įvertinti F ir M, reikia stipriai sufokusuoti spindulį, kad jo pluošto skersmuo

neviršytų aktyviosios srities ploto.

Fotosrovės pasiskirstymo fotodiodo paviršiuje tyrimo išvados

Page 32: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Jonizuojančiosios spinduliuotės įtaka fotodiodų charakteristikoms

Yra žinoma, kad jonizuojančioji spinduliuotė kaip ir terminis atkaitinimas gali būti panaudoti tam tikrų darinių parametrų pagerinimui ir stabilizavimui.

Eksperimentas:

Fotodiodai buvo švitinami Rentgeno spinduliais:Vamzdis su Cu anodu, kurio įtampa 30 kV.Spinduliuotės dozės galia 3,4 Gy/(s⋅cm2) .(VU Kieto kūno elektronikos katedra )

Po to buvo atliekami tamsinės srovės, fotosrovės ir triukšmų matavimai.

Fotodiodai buvo švitinami nuo 10min. iki 1,5h, siekiant išsiaiškinti spinduliuotės poveikio veiksmingumą ir taikymo galimybes

Page 33: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Rezultatai. GFD No.27

0 5 10 15 20 25 3010-12

10-11

10-10

10-9

10-8

10-7

10-6

10-5

10-4

10-3

T = 292 K

I d , A

Ud , V

1

2

101 102 103 104 105 10610-16

10-15

10-14

10-13

10-12

10-11

10-10

10-9

10-8

Su,

V2 s

f, Hz

Ud , V:

27,526,726,022,216,0610,19

8,03

3,9

P = 10 µWNo. 27

101 102 103 104 105 10610-16

10-15

10-14

10-13

10-12

Su ,

V 2s

f, Hz

Ud, V:27,50

26,19

24,97

22,19

10,00

9,14

8,00

P = 8 µWNo. 27

Prieš švitinimą

Po 30min. švitinimo.Tamsinė srovė, esant 10 V įtampai, sumažėjo nuo 100 pA iki 20 pA. Fotosrovė po švitinimo

rentgeno spinduliuote beveik nepakito.

Nešvitinto bandinio įtampos fliuktuacijų spektrinis tankis žemiau 1kHz yra 1/f pavidalo.

Ties 20Hz yra 10-9 V2s eilės.Po 30min. švitinimo žemadažnių fliuktuacijų

spektrinis tankis neviršija 10-12 V2s.Toks tamsinės srovės ir 1/f triukšmo elgesys rodo, kad

švitinant rentgeno spinduliuote dalis aktyvių nepusiausvirinių defektų išnyko, panašiai kaip ir atkaitinimo

atveju.

Page 34: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Rezultatai. GFD No. 26

101 102 103 104 105 10610-16

10-15

10-14

10-13

10-12

10-11

Su,

V2 s

f, Hz

Ud , V:

28,0

27,0

26,025,022,0

9,0

8,0

P = 10 µWNo. 26

101 102 103 104 105 10610-16

10-15

10-14

10-13

10-12

10-11

10-10

10-9

Su,

V2 s

f, Hz

Ud , V:

28,0427,8427,7225,58

12,26

9,18

8,04

No. 26 P = 10 µW

GFD No. 26 iš pradžių buvo 20min. švitinamas Rentgeno spinduliais. Rezultati panašūs kaip ir GFD No. 27: sumažėjo tamsinė srovė, žemadažnis triukšmas sumažėjo apie 2 eiles.

Po pirminio švitinimo GFD No. 26 buvo pakartotinai 30min. švitinamas rentgeno spinduliais. Po švitinimo atlikti fotosrovės, tamsinės srovės ir triukšmų matavimai parodė ryškų fotodiodo caharakteristikų pablogėjimą.

Tai rodo, kad papildomas švitinimas sukūrė daug aktyvių defektų, turinčių labai platų relaksacijos trukmių pasiskirstymą. Panašūs rezultatai buvo gauti ir su kitais

griūtiniais fotodiodais.

Švitinant tam tikros energijos rentgeno spinduliuote ir tam tikra doze galima gerokai sumažinti fotodiodų tamsinę srovę,

o dar labiau galima sumažinti 1/f triukšmo lygį. Tačiau švitinimo poveikis yra labiau efektyvus, kai jis yra

vienkartinis. Kartotiniai švitinimai dažniausiai tik pablogina fotodiodo triukšmų charakteristikas.

Page 35: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Išvados

Nustatyta, kad triukšmų tyrimo rezultatai atspindi ne tik fundamentinius fotodiodo reiškinius, apibūdinančius krūvininkų pernašą ir jų dauginimą fotodioduose esant

įvairioms užtvarinėms įtampoms, tačiau ir defektų kitimą tiek gaminant, tiek ir sendinant fotodiodus. Parodyta, kad veikiant atitinkamos energijos ir atitinkamos dozės rentgeno

spinduliuote galima keliomis eilėmis sumažinti žemadažnio triukšmo lygį. Taip pat parodyta, kad norint įvertinti šratinio dauginimo triukšmo koeficientą, būtina labai

stipriai sufokusuoti lazerio spinduliuotę, kad jos pluošto skerspjūvio plotas neviršytų aktyviosios srities ploto.

020

4060

80100 0

20

40

60

80100

0,010,02

0,030,04

0,05

0,06

I ph ,m

A

Y, µ

m

X, µm

U = 15 V

Page 36: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

VU Triukšmų Tyrimo Laboratorijavad. prof. Vilius Palenskisdoc. Jonas Matukasdr. Sandra Pralgauskaitėdoktorantas Emilis Šermukšnisstudentai Augustinas Vizbaras

Kristijonas Vizbaras

Mes tiriame:

InGaAsP/InPlazeriniai diodai su nanodariniais

Greitaveikiai InGaAsgriūtiniai fotodiodai

InSnO/Si saulės elementai

Bendradarbiaujame:

McMaster University(Kanada)

BookhamTechnologies(D. Britanija)

Oslo University(Norvegija)

Page 37: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Mus galima rasti FF rūsyje:

Nori pradėti dirbti? ------------------ Ateik ir dirbk! ☺ Mums kaip tik trūksta rankų!

Page 38: InGaAs/InP GRIŪTINIŲ FOTODIODŲ AKTYVIOSIOS SRITIES ...projektai.vu.lt/s-lasercenter/ppt/InGaAs griutiniu fotodiodu tyrimas AV.pdf · Spektroskopija: (400 -6000)nm Šiuolaikiniuose

VU TRIUKŠMŲ TYRIMO LABORATORIJA

Literatūra:

1. V. Palenskis, “Fliuktuacijos elektroninėse sistemose”, Vilnius (1998).2. F. N. Hooge, T. G. M Kleipenning, L. K. J. Vandamme, “Experimental studies on 1/f

noise”, Rep. Prog. Phys., vol. 44, pp. 479 – 532 (1981).3. V. Palenskis, “Flicker noise problem (review)”, Lith. Phys. J., vol. 30, pp. 107–152 (1990).4. J. E. Bowers, Y. G. Wey, “High Speed Photodetectors”, Handbook of optics, vol. 1, pp.

706-731 (1995).5. M. Fukuda, Optical semiconductor devices. (John Willey& Sons, New York, 1999).6. J. Matukas, V. Palenskis, S. Pralgauskaitė, R. Mallard, A. Vizbaras, “Photosensitivity and

noise characteristics investigation of ultrafast InGaAs/InP avalanche photodetectors”, MIKON- 2006.

7. S. Smetona, J. Matukas, V. Palenskis, M. Olechnovičius, K. A. Kaminskas, R. Mallard, “Low- frequency noise, reliability and quality of high-speed avalanchephotodiodes”, Proc. SPIE, vol. 5577, pp. 834-842 (2004).

8. E. Šermukšnis, V. Palenskis, J. Matukas, S. Pralgauskaitė, J. Vyšniauskas, K. Vizbaras, R. Baubinas, “Noise measurments of InGaAsP/InP laser diodes near thethreshhold current”, Lith. Phys. J. vol?., pp. ??-?? (2006).